MAGAZINE EEN UITGAVE VAN DE VERENIGING CONTAMINATION CONTROL NEDERLAND JAARGANG 27 EDITIE

MAGA ZINE EEN UITGAVE VAN DE VERENIGING CONTAMINATION CONTROL NEDERLAND | JAARGANG 27 | EDITIE 3  2014

THEMANUMMER: ESD IN CLEANROOMS

Guus Staaltjens

ESD materialen in cleanrooms Bas Grootemaat

ESD in vogelvlucht (Electro Static Discharge) Laurie Janssen

ESD veilige kleding in een cleanroom Vereniging Contamination Control Nederland

Wij doen waar wij het beste in zijn, zodat u zich kunt focussen op waar u het beste in bent: uw core business.

Zijn uw risico’s nu volledig geborgd?

Doe de cleanroom stresstest Scan de QR-code of bel met Micronclean. Micronclean, Cleanroom service van Berendsen Tel. 0515 570 820, [email protected], www.cleanroomservice.nl

INHOUD

M AG A Z I N E EEN UITGAVE VAN DE VERENIGING CONTAMINATION CONTROL NEDERLAND | JAARGANG 27 | EDITIE 3  2014

THEMANUMMER: ESD IN CLEANROOMS

05 Voorwoord

Guus Staaltjens

ESD materialen in cleanrooms

Van de Redactie, Ingrid Sweegers

Bas Grootemaat

ESD in vogelvlucht (Electro Static Discharge) Laurie Janssen

ESD veilige kleding in een cleanroom Vereniging Contamination Control Nederland

07 Bedrijfsinterview met… Ronald Vossen, Pedak meettechniek

Een nieuwe uitgave van VCCN, Vereniging Contamination Control Nederland Jaargang 27 | Cleanrooms | Editie 3 - 2014

REDACTIE Philip van Beek | Mariëlle Rijpstra Ingrid Sweegers | Dennis Wortel REDACTIE COÖRDINATIE Verenigingsbureau VCCN Contactpersoon: Eva Rietbroek De Mulderij 12 3831 NV Leusden Postbus 311 3830 AJ Leusden T 033-4345765 F 033-4321581 E [email protected] www.vccn.nl ADVERTENTIEVERKOOP Bel voor onze tarieven naar 033-4345765 of bezoek: www.vccn.nl LIDMAATSCHAP Persoonlijk lidmaatschap: € 50,- per jaar. (incl. BTW) Bedrijfslidmaatschap: € 225,- per jaar. (excl. BTW) Inclusief vier keer per jaar het VCCN magazine en nog veel meer voordelen. Aanmelden via www.vccn.nl FOTOVERANTWOORDING Archief VCCN VORMGEVING Passionals Vormgeving Creatie & Styling VERANTWOORDING De realisatie van VCCN magazine is zorgvuldig voorbereid, gepland en uitgevoerd. Desondanks kan VCCN geen verantwoordelijkheid aanvaarden voor de gevolgen van eventuele onjuistheden. COPYRIGHTS Behoudens uitzondering door de Wet gesteld, mag zonder schriftelijke toestemming van de rechthebbende(n) op het auteursrecht niets uit deze uitgave verveelvoudigd en/of openbaar worden gemaakt door middel van druk, microfilm of in enige digitale, elektronische of optische of andere vorm, hetgeen ook van toepassing is op de gehele of gedeeltelijke bewerking.

09 Het ontstaan van elektrostatische lading. ESD in vogelvlucht Bas Grootemaat

13 ESD materialen in cleanrooms Guus Staaltjens

16 ESD in de cleanroom Jack Willems

18

ESD veilige kleding in een cleanroom Laurie Janssen

18

VCCN richtlijn nummer 9 IR. Koos Agricola

23 Verenigingsnieuws Agenda • Aankondiging 12de Nationale CleanroomDag 2014

24 Verenigingsnieuws • Cursussen Cursussen en Opleidingen

26 Verenigingsnieuws Geslaagden CGC/ICEB Register • Nieuwe leden

RECTIFICATIE In het VVCN Magazine, editie 2-2014, is in de inhoudsopgave een storende fout geconstateerd. De bedrijfsnaam was niet goed weergegeven. De juiste naam van het bedrijf van managing director Menno Niehe is Texwipe.

VCCN MAGAZINE | EDITIE 3 - 2014

3

VA N D E R E DAC T I E

Voorwoord Na een lange periode van lidmaatschap bij de VCCN en een professionele loopbaan in de wereld van cleanrooms van nu toch al 17 jaar, is voor mij de tijd aangebroken om zelf actief een steentje bij te dragen aan de vereniging. Vol enthousiasme start ik dan ook als nieuw redactielid van het VCCN Magazine. VCCN bestaat namelijk niet alleen voor haar leden, maar leeft vooral van de input van haar leden en dat sprak me enorm aan. Door mijn huidige beroep heb ik een brede achtergrond en ervaring in cleanrooms kunnen opbouwen die zich op zeer uiteenlopende industrieën oriënteert. In de afgelopen jaren heb ik dan ook mogen ervaren dat in geen van deze industrieën de ontwikkelingen hebben stilgestaan. Dit is zeker van toepassing voor het ‘prikkelende’ thema; ‘ESD’ in com• Ingrid Sweegers binatie met cleanrooms. Een thema dat in eerste instantie vaak alleen maar wordt geassocieerd met industrieën die ESD gevoelige componenten produceren of assembleren, maar ook van toenemend belang is in industrieën waar wordt gewerkt met vluchtige, vlambare substanties die eveneens een controleerbare elektrostatische omgeving vereisen. Het eerste artikel in dit magazine van Bas Grootemaat ‘ESD (Electro Static Discharge) in vogelvlucht’ geeft een verhelderend inzicht over enkele basisaspecten zoals ‘Waardoor ontstaat Elektronische lading’ en welke ladingen wekken wij als mens eigenlijk op bij het uitvoeren van een aantal dagelijkse handelingen? Het artikel van Guus Staaltjens ‘ESD materialen in cleanrooms’, beschrijft de problemen van koolstofhoudende geleidende materialen in tegenstelling tot cleanrooms waar een lage deeltjesafgifte gewenst is. Jack Willems gaat met zijn artikel ‘ESD in de cleanroom’ inhoudelijk in op de maatregelen die genomen kunnen worden vanuit een praktijksituatie. We sluiten af met het artikel van Laurie Janssen wat zich toe spitst op één van de maatregelen die men moet nemen in deze EPA (Electrostatic Protected Area) omgeving, namelijk het belang van geschikte ESD cleanroomkleding inclusief de borging hiervan tijdens het decontaminatieproces. Ik wens u namens de redactie veel leesplezier toe!

Ingrid Sweegers Redactie VCCN Magazine

Vereniging Contamination Control Nederland


5

BEDRIJFSINTERVIEW

Bedrijfsinterview met…

Roland Vossen, Directeur Pedak meettechniek Heythuysen

Cleanrumours Dat was een “knetterend” optreden Stoffy, zegt Beesy. Ik weet niet hoe je jezelf zo hebt opgeladen, maar ik vond het een fantasti-

Sinds wanneer is Pedak meettechniek bedrijfslid van VCCN?

Acht jaar geleden is Pedak meettechniek lid geworden van VCCN. Dat was dus in 2006. Al vanaf de start van ons bedrijf, nu bijna 40 jaar geleden, leveren wij meetoplossingen aan bedrijven en instellingen. Hoogwaardige klimaatsensoren zijn een belangrijk onderdeel van ons productenpakket. Inmiddels leveren we niet alleen cleanroomsensoren, we ontwikkelen ook innovatieve cleanroom-oplossingen.

Waarom bent u bedrijfslid?

Pedak vindt een meetoplossing pas goed als deze perfect aansluit op de meetvraag. Dankzij VCCN blijven we goed op de hoogte van alle actuele kennis, regels en richtlijnen. Dat helpt ons om onze producten naadloos te laten aansluiten op alle wensen en eisen die gelden in cleanrooms. De symposia die VCCN organiseert zijn interessant. We gaan er vaak naartoe en je vindt ons dan ook op de informatiemarkt. Deze bijeenkomsten bieden ons de kans om bestaande klanten en nieuwe mensen te ontmoeten. Zo kom je te weten naar wat voor oplossingen je klanten op zoek zijn. Wij merkten bijvoorbeeld dat er vraag was naar een product dat op de werkvloer van een operatiekamer, laboratorium of andere cleanroom helder en snel inzicht geeft in de status van het klimaat. Er was behoefte aan een product dat in één oogopslag weergeeft of het klimaat in de werkomgeving goed of fout is. Met de kennis en inzichten die we, mede dankzij het lidmaatschap van VCCN opgedaan hebben, ontwikkelden we in 2008 ons eerste cleanroom display.

Wat voor cleanrooms heeft u?

Als leverancier van meetoplossingen hebben wij zelf geen cleanrooms. Onze technici zijn wel vaak actief in cleanrooms, omdat ze ter plekke onze apparatuur installeren en onderhouden. Ook daarom blijven we graag op de hoogte van de laatste ontwikkelingen. In ons bedrijfspand in Heythuysen hebben wij een kalibratielaboratorium waar we bijvoorbeeld temperatuur, verschildruk en luchtvochtigheid kalibreren. Dit is echter geen cleanroom. Dat is voor het meten van deze grootheden ook niet nodig.

Wat is uw toekomstverwachting met betrekking tot cleanrooms en contaminatiecontrole?

Er worden steeds meer eisen gesteld aan cleanrooms zoals operatiekamers, laboratoria en apotheken. Niet alleen vanuit de overheid, maar ook vanuit de industrie en de consument. Hierdoor worden wij steeds meer een adviseur en partner van de ingenieur, installateur en eindgebruiker. Daarnaast zien we dat gedrag een steeds belangrijkere factor wordt in de cleanroom. Het gedrag van de mensen die er werken heeft invloed op het klimaat in de cleanroom. Mag je een cleanroom binnengaan als de temperatuur te hoog is, of de verschildruk te laag? Hoe vaak mag de deur open? En hoe lang? Van de mensen op de werkvloer wordt verwacht dat zij de antwoorden weten en ook toepassen, maar omdat hun focus vaak bij andere werkzaamheden ligt gaat het wel eens mis. Er zullen meer eenvoudige hulpmiddelen ontwikkeld worden die medewerkers helpen hun taak verantwoord uit te voeren. Wat we ook zien is dat er niet alleen meer behoefte is aan advies over het gebruik van juiste meetinstrumenten, maar ook aan advies over de randvoorwaarden. De aanschaf van kwalitatief hoogwaardige meetinstrumenten is immers zinloos als je ze niet op de juiste manier gebruikt. Steeds vaker kunnen we laten zien dat het op de juiste manier toepassen en onderhouden van meetinstrumenten kan zorgen voor een aanzienlijke kostenbesparing. En dat is leuk voor ons… Vereniging Contamination Control Nederland maar nog veel leuker voor de eindgebruiker! ●

sche performance. Praat me er niet van Beesy, zegt Stoffy, ik doe dat helemaal niet bewust hoor, maar elke keer voel ik me zo aangetrokken tot al die oppervlaktes en dan springt de vonk vanzelf over! Vreemd, zegt Beesy, ik heb dat eigenlijk nooit, ik sta denk ik steviger met beide voeten op de grond, maar misschien komt dit doordat ik veel beter kan aarden dan jij? Dat denk jij maar, zegt Stoffy, er gaan namelijk geruchten dat als ik aangetrokken word samen met mijn collega Stoffy’s, wij mogelijk wel een lift geven aan een aantal van jouw soortgenoten. Zodra daar meer duidelijkheid over komt , heb jij ook een probleem Beesy, let maar op! Wat me overigens wel opvalt, zegt Stoffy, dat steeds meer mensen om ons heen van die mooie armbanden en ruitjespakken dragen. Sindsdien voel ik me steeds minder aangetrokken tot iedereen. Maar het kan ook zijn dat ik mijn aantrekkingskracht aan het verliezen ben……

Stoffy & Beesy


7

Kweeklab LabMicTA, Hengelo

We hebben de kennis, de ideeën, de materialen... Dankzij verzwaarde elementen in de wanden hangen de biohazard-kasten in het BSL3 lab vrij van de vloer. Tevens is de vloer tegen het meubilair en de wanden opgewerkt waardoor reiniging optimaal kan plaatsvinden.

www.cleanroomcg.com

Het klantproces centraal ...brengt ideeën tot leven

Deerns heeft alle kennis in huis om ultra schone productie- en laboratoriumruimten volgens internationale normen (ISO, VDI GMP, BSL, FDA) te realiseren. Deze kennis is gebaseerd op jarenlange ervaring met technieken voor onder andere geavanceerde luchtbehandeling, cleanroommaterialen, inrichtingsapparatuur en lucht- en vloeistoffiltratie.

13_Deerns_Adv_VCCN_Het_Klantproces_Centraal_206x130.indd 1

www.cleantechnology.deerns.com

19-08-13 19:58

ARTIKEL

Het ontstaan van elektrostatische lading

ESD (Electro Static Discharge) in vogelvlucht BAS GROOTEMAAT • KINGSIZE CONSULTANCY • QUALIT Y ENGINEERING CONSULTANT

Het steeds gevoeliger worden van elektronische componenten voor elektrostatische ontladingen en een steeds verdergaande integratie van elektronica in ons dagelijks leven, maakt het beteugelen van elektrostatische ladingsopbouw tot bittere noodzaak. Mede door het veelvuldig gebruik van diverse soorten kunststof, die onder bepaalde omstandigheden deze statische elektriciteit makkelijk opwekt, zijn de problemen niet beperkt gebleven tot de elektronische industrie. Bij de fabricage van elektronische producten treft het voornamelijk de producten zelf die schade ondervinden van het fenomeen ESD (Elektro Static Discharge) Terwijl in andere industrieën het meer de opbouw van de elektrostatisch lading zelf is, die problemen in het productieproces geeft.

Beteugelen ESD bittere noodzaak

plotseling te scheiden. De aard van de materialen, mate van contact, luchtvochtigheid en snelheid van scheiden spelen hierbij een belangrijke rol.

• bij een atoom in “rusttoestand” is de resulterende lading nul • er zijn evenveel protonen (positieve ladingdragers) als elektronen (negatieve ladingdragers) • als twee materialen langs elkaar gehaald worden, in fig. 1 weer gegeven als twee atomen, kan er een uitwisseling van elektronen plaats vinden. • door deze materialen (atomen) nu plotseling te scheiden kan het evenwicht tussen de positieve en negatieve

Fig.1 Tijdens het bij elkaar brengen verandert een elektron van baan

Tijdens het werken in de Cleanroom kan er op diverse manieren elektrostatische lading opgebouwd worden op producten, productiesystemen en de mens. Het vervelende van deze elektrostatische oplading en vervolgens ontlading, is dat een aantal elektronische componenten al degradeert en/of faalt bij waarden van +/- 25 volt, terwijl wij zelf pas verschijnselen van een ontlading waarnemen (in de vorm van een elektrische schock) bij zo’n 2500-3000 volt.

Fig.2 Na het scheiden is er een elektron achter gebleven

Elektrostatische lading kan eenvoudig opgebouwd worden door twee materialen tegen elkaar te wrijven en dan

Het ontstaan van elektrostatische lading kan op de volgende manier worden verklaard:

ladingen van de verschillende atomen verstoord worden en een ladingsopbouw ontstaan (zie fig. 2). VCCN MAGAZINE | EDITIE 3 - 2014

9

Bij het scheiden heeft, in dit voorbeeld, het rechter atoom een elektron afgestaan aan het linker atoom. Het ontvangend (linker)atoom heeft nu een overschot aan elektronen terwijl het rechter nu een tekort aan elektronen heeft en als zodanig een positieve lading heeft gekregen. Welk materiaal elektronen afgeeft en in welke hoeveelheid, hangt in belangrijke mate af van het soort materiaal en de positie in de tribo elektrische reeks. (zie fig. 3 waarin enkele materialen zijn weergegeven ).

Ladingsverschillen en ontladingen

Fig. 4

Het effect van lopen op een nylon vloerbedekking. Binnen 5 seconden is er al meer dan 1000volt lichaamsspanning opgebouwd.

Fig. 5

Lading op heftruck tijdens normale werkzaamheden. Na 3 seconden rijden wordt er al meer dan 4500volt opgebouwd.

Wordt staal over teflon gewreven, dan zal het teflon negatief en het staal positief zijn. Wordt staal over glas gewreven dan zal het glas positief worden en het staal negatief. Ons dagelijks handelen bestaat voor een groot deel uit het bij elkaar brengen en scheiden van diverse materialen:

10

• Rijden op een heftruck (zie fig.5).

materialen en personen.

Fig. 3

Kortom, bij elke beweging van zowel personen als materialen kan er lading opgebouwd worden.

• Lopen (zie fig.4); • Gaan zitten en opstaan; • Voortduwen van een winkel- of laboratoriumwagen; • Op en afrollen van plastic folie; • Aan- en uittrekken van kleding; • Haar kammen; • Onderdelen oppakken en neerleggen;

Als gevolg van deze elektrostatische opladingen ontstaan er willekeurige ladingsverschillen. Afhankelijk van een aantal factoren kunnen er als gevolg van deze ladingsverschillen (op meestal ongewenste momenten) elektrostatische ontladingen optreden tussen personen, materialen onderling en ook tussen

De krachtigste ontladingen vinden plaats tussen sterk positief en negatief geladen objecten. Deze meestal, ongewilde, willekeurige elektrostatische ontladingen kunnen voor de nodige problemen zorgen in elektronische apparaten en componenten. Zie figuur 6.


Bij het werken met voor stof gevoelige producten, is het de elektrostatische lading op het product zelf die voor problemen kan zorgen. Zie fig.7

ARTIKEL

Fig. 6

Doorslag op chip level.

Opbouw van elektrostatische lading en ontlading als gevolg daarvan kan voorkomen worden door: • geleidende delen van systemen, werkplek etc. doeltreffend elektrisch te aarden; • personen te aarden, hetzij via een polsband of een persoon/ schoen/ vloersysteem; Bij de laatst genoemde manier van aarden heeft de vloer een bepaalde

weerstandswaarde naar aarde en heeft tevens de schoenzoel een bepaalde elektrische weerstand, zodat er een aardingspad geschapen is voor het laten afvloeien van elektrostatische lading • gebruik van “ESD veilige kleding”; Dit is kleding waar geleidende draden zodanig in verweven zijn zodat een kooi van Farady ontstaat en de effecten van de persoonlijke kleding worden geëlimineerd. • zo min mogelijk gebruik te maken

van materialen die makkelijk met elkaar op te laden zijn (zie tribo-reeks); • in die gevallen waar, hetzij door het productie proces en of gebruikte materialen, het ontstaan van lading niet te voorkomen is, toepassen van lucht ionisatie; • door training van het personeel. Als in een ruimte alle mogelijke voorzieningen getroffen zijn om het opbouwen van elektrostatische lading te voorkomen spreken we van een ESD Protected Area (EPA). Gebruikers handleiding en eisen voor het zogenaamde ESD veilig werken zijn te vinden in de Internationale norm IEC61340-5-1 (eisen) en IEC61340-5-2 (handleiding). ●


Fig. 7

Door het elektrisch veld rond het geladen product worden stofdeeltjes uit de omgeving gepolariseerd en aangetrokken tot het product. VCCN MAGAZINE | EDITIE 3 - 2014

11

ARTIKEL

Steeds hogere eisen in cleanrooms

ESD materialen in cleanrooms GUUS STAALTJENS • ROMEX B.V • PRODUC T GROUP MANAGER

In cleanrooms is het gebruik van ESD veilige materialen een must. In het verleden werden zwarte materialen toegepast en was dit geen probleem. Door de steeds hogere eisen in cleanrooms op het gebied van vervuiling, worden deze zwarte materialen steeds vaker vervangen door niet koolstofhoudende kunststoffen, zoals het nieuwere IDP materiaal. Dit materiaal is wel ESD veilig maar wordt zonder koolstof geproduceerd. Normale zwarte koolstofhoudende ESD materialen zijn niet gewenst vanwege het afgeven van koolstof dus contaminatie. Als men een zwart materiaal over een wit oppervlak haalt, laat dit zwarte strepen achter en werkt het als een potlood. Voor ESD veilig transport of opslag is het prima en vergelijkbaar qua afscherming als de gemetalliseerde shielding zakken. Dit materiaal werkt als een kooi van Faraday voor electronica.

Normale plastic bakken zijn isolerend en dus niet veilig voor electronica, omdat deze zeer statisch kunnen zijn en de electronica kunnen beschadigen. Vanwege de hoge statische lading kan het tevens stof aantrekken (voor zover dit in de cleanroom aanwezig is). Van het IDP materiaal worden meerdere verpakkingsproducten gemaakt, zoals

materiaal zich toch statisch op kunnen laden. Bovendien heeft het rose materiaal een oppervlaktebehandeling ondergaan en kan dit een residu achterlaten op het kritische product. Het IDP materiaal heeft geen oppervlaktebehandeling ondergaan en dus door en door dissipatief. Ook heeft dit materiaal een lage outgassing, laag extractable ionenniveau en een lage deeltjesafgifte. Ook softwall gordijnenstrips kunnen van IDP materiaal gemaakt worden. Diverse productietechnieken waarbij het IDP materiaal gebruikt kunnen worden zijn thermovormen, spuitgieten of extrusie. IDP producten worden reeds geproduceerd voor diverse hightech industrieën zoals disk drive productie, Semiconductor productie, verpakkingsindustrie en diverse toepassingen in cleanrooms.

IDP (inherently dissipative polymer) materiaal

Overige ESD veiligheidszaken

opslagbakken, grijpbakjes, blisterverpakkingen en zakjes (als alternatief voor de welbekende rose pinkpoly zakken). Het voordeel van dit IDP materiaal wat we o.a. in geel, rood, grijs en groen kunnen verwerken, is dat dit permanent dissipatief (ofwel antistatisch) is onafhankelijk van de luchtvochtigheid in de ruimte. Zelfs bij een zeer lage luchtvochtigheid is dit materiaal ESD veilig en zou het rose

Andere belangrijke zaken in cleanrooms op het gebied van ESD veiligheid, kunnen we onderverdelen in: • ESD vloeren in de electronica cleanrooms vanwege de dissipatie van statische lading van de persoon via de vloer naar aarde. Mogelijkheden hier zijn gietvloeren voor zwaardere belasting en plakvloeren in tegelvorm, eventueel op een verhoogde computervloer vanwege recirculatie van lucht.

Zwart materiaal

IDP een goed alternatief Als een alternatief is het zogenaamde IDP (inherently dissipative polymer) materiaal ontwikkeld dat een goede oppervlakteweerstand combineert met een lage deeltjesafgifte. Hierdoor is het uitermate geschikt voor gebruik in electronica cleanrooms waar ESD veilig werken een must is. Waar de weerstand van de zwarte materialen ligt rond de 10 tot 4e, ligt deze bij de IDP materialen rond de 10 tot 9e (ofwel 1 gigaOhm). Hierdoor zijn deze materialen niet statisch oplaadbaar en niet stof aantrekkend.


13

ARTIKEL

Ionisatie in cleanrooms • ESD meubilair die aan aarde verbonden dient te worden en voorzien zijn van een dissipatieve toplaag op het werkblad en werkstoelen die voorzien moeten zijn van ESD wielen en zitting, leuning en kunststof delen aan de achterzijde. • ESD veilige stofzuigers die een metalen behuizing hebben, voorzien van ESD wielen en hulpstukken/ slang e.d. Normale plastic stofzuigers kunnen statisch opgeladen worden. • ESD kleding voorzien van een geleidende draad geweven in de polyester cleanroomstof en manchetten die contact maken met de huid van de drager. Ook cleanroom boots moeten een dissipatieve zool hebben, of eventueel ESD cleanroom sokken gedragen in witte ESD veiligheidsschoenen. • Draadrekken en karren dienen ook voorzien te zijn van ESD wielen (non marking) en de verbinding tussen de schappen en de poten dienen van aluminium of dissipatief plastic te zijn voor een goede geleiding.

14

DIVERSE TYPES IONIZERS DIE WORDEN TOEGEPAST ZIJN: • • •

Pulsed DC ionizers; AC ionizers; Steady state ionizers.

Afhankelijk van de toepassing is een van deze ionisatie technieken het meest geschikt.In de semiconductor industrie zijn deze systemen de laatste jaren enorm geëvolueerd vanwege de hoog gestelde eisen. Bronnen: Bron ionisatie; John Gorczyca director Product Development Simco Ionization for Electronics Manufacture. Dipl. Ing. Rainer Pfeifle werkzaam bij de firma Wolfgang Warmbier Duitsland en NARTE gecertificeerd ESD Engineer en lid van de internationale ESD Association Standards Committee. Bob Vermillion Certified ESD Engineer en ook lid van ESD Association Stds Comm en CTO van RMV Technology consulting gevestigd op het NASA Research center California USA.

Ionisatie in cleanrooms

van een product of werkplek geblazen waardoor de opgebouwde statische lading geneutraliseerd wordt. Dit kan in de vorm van afblaaspistolen, ventilatoren of zelfs complete ruimteionisatiesystemen waarbij er emitters onder de hepafilters in het plafond geplaatst worden.

Indien normale statische plastics niet vervangen kunnen worden door antistatische alternatieven, vanwege hun cleane eigenschappen, kan men ionisatie toepassen. Hierbij worden negatieve en positieve ionen over het oppervlak

Bijkomend voordeel is dat ionisatie ook het stofgetal positief kan beïnvloeden, waardoor de stofconcentraties, bijvoorbeeld in een waferfab, aanzienlijk lager kunnen zijn dan zonder ionisatie. ●



OPROEP EXTRA LID COMMISSIE MARKETING & COMMUNICATIE De commissie 06 Marketing & Communicatie van VCCN is nog op zoek naar één lid ter versterking. De commissie is in maart dit jaar gestart en gezien de samenstelling is het belangrijk dat het nieuwe lid werkzaam is bij een pharmaceutisch of semiconductor bedrijf en bekend is met alle aspecten en het gebruik van cleanrooms. De Marketing & Communicatie commissie komt vier tot zes keer per jaar bijeen en elk lid levert zijn/haar bijdrage voor het opzetten en implementeren van een goed marketing communicatieplan voor het VCCN. Goede kennis van de cleanroom markt is hierbij een belangrijk aspect.

Wat zou uw energiebesparing zijn met deze

W VoCHTV en TemperaTUUr T sensor?

U NIE

• bel ons voor een rekenvoorbeeld! • kalibratie zonder meetonderbreking • unieke verwisselbare sensor • tot 4 sensoren op 1 unit

Cleanroom displays Weergave en status van klimaat in één display

• voor weergeven van T, RV, dP, teller, enz. • visueel en akoestisch alarm • strak en compact design • communicatie met GBS

Heeft u interesse? Neem contact op met Eva Rietbroek, via telefoonnummer 033 434 57 64 of e-mail [email protected] [email protected] | www.pedak.nl T 0475-497424

on

ibrati

Cal ents &

m Instru

Lighthouse Benelux “2.0” Nu uitgebreid tot 1800m² Cleanroom Technology • Tweede bedrijfspand in Boven Leeuwen • Monitoring Systems team uitgebreid • Extra kalibratie mogelijkheden door uitbreiding van kalibratie labs en bussen

ring S

ystems

Monito

• Extra monitoring software capaciteiten • Uitgebreider product assortiment Cleanroom meetapparatuur

On-site

Calibra

tion

Lighthouse Benelux BV Van Heemstraweg 19A NL-6657 KD Boven Leeuwen T +31 (0)487-560811 www.golighthouse.nl

Electro Static Discharge

ESD in de cleanroom J A C K W I L L E M S • VA N U I T D E P R A K T I J K • P R O C E S T E C H N O LO O G

Schade als gevolg van elektrostatische ontlading kan op elk moment plaatsvinden, vanaf de productie van componenten tot aan een onderhoudsbeurt van een systeem bij de eindgebruiker. Wat voor schade kan ESD aanrichten? Vaak krijgt schade door ESD de kans doordat er onvoldoende ESD-maatregelen genomen zijn. Een elektrisch component wordt tijdens een elektrostatische ontlading beschadigd doordat een enorme hoeveelheid warmte gecreëerd wordt, die niet kan verdwijnen. Hierdoor smelten onderdelen van de componenten weg. In het algemeen kan de schade in twee vormen optreden: • Een Direct Catastrophic Failure; • Een Latent Catastrophic Failure.

vaak zeer kostbaar omdat het meestal bij de klant naar voren komt. Daarnaast zal het de reputatie van uw producten sterk beïnvloeden.

Beperking schadelijke gevolgen Statische elektriciteit is een natuurkundig verschijnsel en kan niet uitgebannen worden. Het is daarentegen wel mogelijk de schadelijke gevolgen te voorkomen binnen uw organisatie.

Foto 1 ESD ontlading Bij een Direct Catastrophic Failure functioneert het component direct niet meer. Het elektrisch circuit is permanent beschadigd en het component of de printplaat zal niet door de volgende testfase komen. Bij een Latent Catastrophic Failure wordt het component beschadigd of verzwakt, maar zal het toch kunnen blijven functioneren en door de volgende testfase komen. Echter, de levensduur is drastisch ingekort en na verloop van tijd zal het systeem waarin het component is verwerkt een storing geven. Het verhelpen van dergelijke storingen is

16


Foto 2 Schade op spoor van chip

Begrippen en Afkortingen: ESD: Electro Static Discharge. Dit is het fenomeen waarbij elektrische ontlading beschadigingen kan veroorzaken aan de daarvoor gevoelige producten. ESD tester: Test instrument waarmee schoeisel, hielaarders, polsbanden op hun ESD-veiligheid getest worden. (De ontlading komt tot stand wanneer materialen met verschillende ladingen met elkaar in contact komen).

ESD veilig: Een dusdanige inrichting waarbij door ESD bescherming zoveel mogelijk ESD schade voorkomen wordt. (Er kunnen geen ontladingen plaatsvinden). Megger: Instrument voor het meten van de oppervlakteweerstand, zoals de vloeroppervlakte en tafelbladen. Ladingsmeter: Dit meetinstrument wordt gebruikt om te bepalen of er een elektrische lading aanwezig is. EPA: ESD protected area. ESD beschermde afdeling. Deze afdelingen zijn te herkennen aan de waarschuwingsborden ‘ESD PROTECTED AREA’. ESDS: Electro Static Discharge Sensitive. Gevoelig voor elektrische ontlading.

EPA in de cleanroom Wanneer er producten in een cleanroom verwerkt worden, die gevoelig zijn voor statische ontladingen, moeten maatregelen genomen worden. Het is mogelijk om een gebied in een cleanroom ESD af te bakenen waar deze producten verwerkt worden. Ook is er de mogelijkheid om een volledige cleanroom ESD in te richten. Tevens moeten diversen maatregelen genomen worden om de producten te beschermen tegen deze ontladingen.

ESD eisen norm IEC 61340-5-1/2 De eisen van de cleanroom zijn vastgelegd in de ISO 14644-1, terwijl de ESD eisen in de norm IEC 61340-5-1/2 zijn opgenomen. Deze twee normen hebben geen enkele

ARTIKEL

relatie met elkaar en kunnen in de praktijk veel tegenstellingen oproepen. Voor een cleanroom worden bij voorkeur materialen toegepast die geen deeltjes afgeven aan de omgeving, waardoor voor (hoogwaardige) kunststoffen wordt gekozen. Juist deze hoogwaardige kunststoffen zijn in de regel isolatiematerialen die een hoge elektrostatische lading genereren. Als voorbeeld uit de praktijk geef ik u een overzicht van een aantal maatregelen binnen onze organisatie welke wij hiervan hebben afgeleid en ingevoerd: • ESD beleid; • Opleiding ESD; • Audits; • Kleding, stoelen, tafels, gereedschap etc; • Verpakking; • ESD meetapparatuur; • Signaal borden.

Maatregelen nemen De luchtvochtigheid beheersen in een cleanroom kan bijdragen aan ESD veiligheid. Elektrisch opladen van materialen (zoals door materiaal wrijving, luchtstroom, ...) betekent: • deeltjes hechten zich op de geladen oppervlakken; • deeltjes kunnen niet worden verwijderd uit de luchtstroom; • onregelmatige uitstoot van hoge doses van deeltjes. Het gebruik van materialen met geschikte ESD-eigenschappen wordt daarom aanbevolen.

Voor de inrichting gelden twee belangrijke regels: * Alles wat isolerend is moet worden verwijderd, afgeschermd of vervangen; * Alles wat geleidend is moet op één potentiaal worden gebracht. De totale oppervlakte van onze cleanrooms bedraagt 1400 m² cleanroom waarin electronica geassembleerd wordt. Om deze cleanroom ESD veilig te maken zijn er een aantal maatregelen genomen: • Bij het ontwerp, de bouw en de inrichting; • Bij het reinigen; • Rondom de cultuur en het gedrag van de medewerkers; • Rondom de vastlegging van de werkwijze. Wij voorzien PCB’s van componenten en mechanische onderdelen. Hier worden vooral prototypes en kleine series geproduceerd. Op deze PCB’s kunnen ESD gevoelige componenten geplaatst en gesoldeerd worden. Ook in de cleanroom worden voor diverse klanten producten geproduceerd die niet alleen voor contaminatie en uitgassing gevoelig zijn, maar ook voor statische ontladingen. Het ESD inrichten van een cleanroom heeft verstrekkende gevolgen. De gehele keten moet gesloten zijn. Alles van het inrichten tot het reinigen van de cleanroom moet beschreven zijn. Het reinigen van de ESD ruimte kan zomaar een failure geven. Als, bijvoorbeeld bij het reinigen van de vloer het verkeerde schoonmaakmiddel wordt gebruikt zou dit de keten van ESD kunnen opheffen. Het reinigen met een verkeerd middel kan als isolatie werken.

Foto 3 Testen van ESD protocol in een cleanroom/kleedsluis de soms tegenstrijdige belangen van cleanroomwerk en ESD veilig werken te verenigen. ●


Bovengenoemde maatregelen zijn een flinke uitdaging, maar noodzakelijk om VCCN MAGAZINE | EDITIE 3 - 2014

17

Wat zijn de risico’s van het produceren van elektronica/halfgeleiders in cleanrooms?

ESD veilige kleding in een cleanroom LAU R I E J A N SSE N • M IC RO N C L E AN Z U ID  NL C L EA NR OOM SER V IC E VA N B ER ENDSEN • ACCOU NTMANAG ER

Cleanrooms worden vooral gebruikt bij de fabricage van halfgeleiders en geneesmiddelen. Voor de halfgeleiders dienen dan ook extra voorzorgsmaatregelen te worden getroffen om risico’s van ESD beschadiging te voorkomen. Door het aanbrengen van een geleidende vloer en het toepassen van geleidend schoeisel, stoelen, werkplekken, kleding etc. kan een volledige ESD veilige werkomgeving (EPA) Electrostatic Protected Area gecreëerd worden. Welke normen zijn van toepassing voor de cleanroom en ESD? De eisen van de cleanroom zijn vastgelegd in de ISO 14644-1, terwijl de ESD eisen in de norm IEC 61340-5-1 zijn opgenomen. Deze twee normen hebben geen enkele relatie en kunnen in de praktijk veel tegenstellingen oproepen. Voor een cleanroom worden bij voorkeur materialen toegepast die geen deeltjes afgeven aan de omgeving. Daarom wordt voor (hoogwaardige) kunststoffen gekozen. Juist deze hoogwaardige kunststoffen zijn in de regel isolatie materialen, die hoge elektrostatische lading genereren.

Kwaliteitsbeheersing van de ESD kleding: meten is weten De ESD kleding dient periodiek gewassen te worden, waarbij het wasproces de kwaliteit kan beïnvloeden. Indien een te agressief wasproces wordt toegepast, is de kans groot dat de carbondraden carbon verliezen. Hierdoor verliest de ESD kleding de geleidende eigenschappen, waardoor deze buiten de specificaties vallen. Om dit onder controle te houden dient de ESD kleding periodiek getest te worden, dit volgens de IEC-61340-4-9 norm. Het juist onderhouden en reinigen van de ESD kleding verlengt de levensduur aanzienlijk. Het speciale ESD wasproces zorgt

ESD kleding moet veiligheid en comfort combineren Het is vanzelfsprekend dat, bijvoorbeeld de ESD kleding, die in een cleanroom wordt gedragen, extra eisen vraagt naast het niet afgeven van deeltjes en draagcomfort. Een extra eis is dan ook, dat de statische lading moet kunnen afvloeien via de kleding, medewerker, schoenen en vloer. De ESD kleding is een belangrijke schakel in de keten. De polyester kleding is in dit geval voorzien van geleidende manchetten en een raster patroon van carbondraden, daarnaast zijn de naden tevens voorzien van carbondraad. Deze carbondraden geleiden de statische elektriciteit. Bepalend hierin is tevens de grootte van het rasterpatroon waardoor de elektrische verbinding gewaarborgd blijft van mouw tot mouw.

18


• ESD Cleanroomoverall

ervoor dat de eigenschappen van de ESD kleding zo lang mogelijk aanwezig blijven. Het zorgt er echter niet voor dat kleding (weefsel) zonder ESD eigenschappen, deze alsnog verkrijgen.

Door metingen gaat ESD kleding langer mee De standaard is om ESD kleding na 50 wasbeurten af te keuren. In de praktijk blijkt echter, dat wanneer de metingen nog voldoen aan de gestelde waarden, de ESD kleding niet afgekeurd hoeft te worden. Hierdoor kan de kleding langer mee en bespaart men kosten. Door het toepassen van de testen volgens IEC61340-4-9 kan de ESD veiligheid van de ESD kleding gegarandeerd blijven.

• XR83 kleding

ARTIKEL

deeld. Deze meting voldoet aan de IEC 61340-5. Belangrijk bij kleding is dat de verschillende delen van het kledingstuk contact met elkaar maken. De naden tussen de manchet, mouw en overige delen van het kledingstuk moeten geleidend gestikt zijn, anders is er geen juist pad gecreëerd waarlangs de statische lading kan wegvloeien.

• Maxxan motors

ESD risico’s beheersen in een cleanroom Belangrijk bij ESD veilig werken is dat er contact moet zijn tussen alle ESD veilige oppervlakten om een goede geleiding te geven. Zo moet de kleding de huid raken en via de schoenen naar de vloer geleiden. Als deze keten onderbroken wordt zal er alsnog een ontlading plaatsvinden. ESD is een natuurkundige reactie die niet volledig kan worden vermeden. Maar het kan sterk worden beperkt door het minimaliseren en het veilig afleiden van oplading. Succesvolle ESD is dus altijd afhankelijk van

KATOENEN ESD KLEDING In niet geclassificeerde cleanroom omgevingen gebruiken bedrijven in de praktijk katoen als ESD veilige kleding. Katoen is namelijk een natuurlijke geleider. Katoen geleidt omdat het vocht opneemt. Op een droge dag is de kleding echter minder veilig. Daarnaast wordt katoen dunner naarmate je het meer wast – dit betekent dat het minder vocht vasthoudt en dus minder geleidend is. Het is van groot belang om, als er katoenen kleding wordt gedragen, ook een carbondraad in de kleding te verwerken om de ESD-veiligheid te waarborgen.

een systeemoplossing, een combinatie van ESD preventie en ESD maatregelen. De hierboven beschreven ESD kleding is een belangrijke schakel om dit te realiseren. ●

• ESD Jas De kleding kan worden gemeten met een oppervlakte weerstandmeting of een doorgangsweerstand meting (sleeve to sleeve meting) met een minimale waarde van 106 tot 1012 Ohm. De doorgangsweerstand meting is een betrouwbare meting omdat hierbij gebruik gemaakt wordt van twee meetprobes die met hun voorgeschreven gewicht altijd dezelfde aandrukkracht uitoefenen op het onderliggende weefsel. Deze meetmethodiek geeft een goed beeld van de geleiding van het weefsel waarbij ook de wijze van confectie wordt beoor-

Mensen zijn goede geleiders van elektriciteit. Simpelweg door rond te lopen, kan men een statische lading van verschillende duizenden volts opbouwen. ESD gerelateerde schade is een belangrijke bron van defecten in elektronische productie. Met personeel in de juiste werkkleding en schoenen, gebruik van ESD gecertificeerde apparatuur, zorgt men ervoor dat hun producten niet worden beschadigd door ongecontroleerde ontlading van deze opgebouwde elektriciteit.


• Telestatjas VCCN MAGAZINE | EDITIE 3 - 2014

19

VCCN ontwikkelt nieuwe deeltjesdepositie richtlijn

VCCN richtlijn nummer 9 I R . K O O S A G R I CO L A • V O O R Z I T T E R P R O J E C TG R O E P D D M

De VCCN projectgroep Deeltjesdepositie meting heeft VCCN richtlijn 9 m.b.t. deeltjesdepositie geschreven onder de titel “Particle deposition in cleanrooms and associated controlled environments” en “Deeltjes depositie in cleanrooms en aanverwante geregelde ruimten”. Het bijzondere is dat deze eerst in het Engels is geschreven en daarna in het Nederlands is vertaald. Het document is (net als een VDI 2083 richtlijn) tweetalig opgezet. In dit artikel wordt de achtergrond, de kern van de inhoud en de status van de VCCN richtlijn 9 Deeltjes depositie besproken. Achtergrond Binnen de VCCN worden de begrippen Deeltjes Depositie Klasse (DDK) of Deeltjes Neerslag Klasse (DNK) of Deeltjes Neerslag Niveau (DNN) gebruikt. Bedrijven als Océ-Canon, ASML en TNO passen dit in de praktijk toe en de VCCN behandelt de begrippen in de Cleanroom en Contamination Control cursussen voor gevorderden. Deze begrippen zijn zo’n 10 jaar geleden ontwikkeld in de VCCN Monitorgroep “Contamination control voor technische producten”. De basis ligt in VCCN richtlijn 4 Oppervlakte reinheid en het werk van Ruud Geilleit in TC209 WG 9 “Surface Cleanliness by Particle concentrations” (ISO 146244-9: 2012). Toen werd nog het begrip statisch en dynamische oppervlakte reinheid gehanteerd. De oppervlakte reinheid classificatie is slechts een momentopname. Door deeltjesneerslag zal de deeltjesconcentratie op een oppervlak toenemen. Het was toen niet gelukt dit begrip in ISO 14644-9 te krijgen. De toepassing van deeltjesdepositie meting is beschreven in VCCN boek “Strategisch strijden tegen stofdeeltjes”. Na de opheffing van de VCCN Monitorgroep is o.a. de projectgroep Deeltjesdepositie meting ontstaan. Het doel was samen met de geïnteresseerde bedrijven en organisaties deeltjesdepositie meting toegankelijker te maken. Inmiddels zijn

20

er meerdere meetsystemen op de markt . Potentiële nieuwe gebruikers zoeken daarbij naar handvatten. Er zijn tevens al diverse publicaties rondom deeltjesdepositie meting verschenen (zie literatuurlijst).

Internationaal uitgerold Het uitwerken van een deeltjesdepositie classificatie in ISO stijl is belangrijk om internationaal meer cleanroom gebruikers vertrouwd te maken met deeltjesdepositie meten en monitoren. Na een jaar werk is de VCCN richtlijn 9 afgerond en wordt deze internationaal uitgerold in de hoop dat de TC209 deze richtlijn wil uitwerken als nieuwe standaard of als aanvulling op ISO 14644-9.

VCCN richtlijn 9 Deeltjes depositie Deeltjes, die neervallen of neerslaan op oppervlakken, bevonden zich eerst in de lucht en bepaalden op een gegeven moment en een gegeven locatie de luchtreinheid. Andersom kan men zeggen dat: deeltjes neerslag = de luchtreinheid (uitgedrukt in deeltjes per m3) x depositie snelheid van de deeltjes (uitgedrukt in m per uur). De depositiesnelheid van een

VCCN VERENIGINGSNIEUWS | EDITIE 3 - 2014

deeltje hangt af van de afmetingen, massa en vorm. De depositie hangt tevens samen met de luchtbeweging. Het pakketje lucht met het beschouwde deeltje kan de ruimte al verlaten voordat het kan neervallen. APMON: Advanced Particle MONitor van Technology of Sense (www.technologyofsense.com) PDM: Particle Deposition Meter van SAC Nederland (http://particle-deposition.com) Omneo: Teqvision, kleine variant op PDM (www.omneosystems.com) Door turbulentie kan het deeltje tegen een oppervlak gegooid worden en op die manier neerslaan. Een cleanroom is zodanig ontworpen en gebouwd dat de meeste deeltjes niet de kans krijgen neer te slaan. Dit lukt heel goed met de zwevende deeltjes. De concentratie van zwevende deeltjes in de lucht kan gemeten worden met een deeltjesteller. De zwevende deeltjes hebben zich min of meer regelmatig verdeeld over de ruimte en dit kan gebruikt worden om een cleanroom te classificeren. Het wordt al wat moeilijker met deeltjes groter dan 5 µm in een cleanroom in bedrijf. De gemiddelde depositiesnelheid

NORMEN EN RICHTLIJNEN • VERENIGINGSNIEUWS

voor een deeltje van 5 µm is orde grootte 2 m/uur, voor 10 µm is dit 10 m/uur, voor 20 µm is dit 45 m/uur en voor een deeltje van 50 µm is dit al 270 m/uur. De generatie van deeltjes is over het algemeen evenredig met de afmeting. Hoe groter het deeltje, hoe minder er gegenereerd worden en hoe sneller die uit de lucht vallen. Dus hoe groter het deeltje hoe lager de concentratie in de lucht en hoe moeilijker de concentratie te meten is. Daarom kan men voor deeltjes groter dan 10 µm beter de depositie meten.

Classificatie van deeltjesdepositie Een cleanroom wordt voor het maken van kwetsbare producten gebruikt. In een cleanroom waarin mensen werken, lopen er deeltjesbronnen rond, die per persoon zo’n 900.000 deeltjes ≥ 20 µm per uur verspreiden. Deze worden grotendeels niet door de cleanroom lucht verwijderd en komen op alle oppervlakken terecht. De hoeveelheid deeltjesdepositie per m2 per kan als volgt bepaald worden:

niveau kan de totale deeltjesneerslag op een kwetsbaar oppervlak A gedurende blootstelling t (in uren) bepaald worden door de vergelijking: PDR. t .A. Neergevallen deeltjes kunnen alleen via reiniging verwijderd worden. Als PDR bekend is kan ook bepaald worden hoe vaak gereinigd moet worden om de oppervlaktereinheid binnen bepaalde grenzen te houden. Naast de cleanroom classificatie, op basis van luchtreinheid voor de concentratie zwevende deeltjes, zou een classificatie van deeltjesdepositie toegevoegd moeten worden. Het deeltjesdepositie niveau op een locatie is bepaald door de verandering van de oppervlakte reinheid gedurende een bepaalde tijd. Het maximale depositie niveau kan gebruikt worden

voor deeltjes groter dan of gelijk aan de beschouwde deeltjesgrootte; M het PDC klasse getal (Particle Deposition Class) en loopt van PDC klasse 1 tot PDC klasse 6; D de beschouwde deeltjes grootte in micrometers; K een constante 1, in micrometers. De Deeltjes Depositie Klasse (PDC) wordt bepaald door de 10log van de verandering van de concentratie deeltjes ≥ 1 µm per m2 per uur. PDC = M = 10log (RD*D) Om verwarring met DDK te voorkomen wordt ook in de Nederlandse tekst PDC gebruikt. De geselecteerde PDC klassen worden weergegeven in Tabel 1 and Figuur 1 (zie volgende pagina).

• Tabel 1. Selected PDC classes and associated maximum values of particle deposition PDR = (Cf - Ci) / (t - ti) Hierin is, PDR (Particle Deposition Rate) is de deeltjesdepositie hoeveelheid of niveau per m2 per uur voor deeltjes groter dan of gelijk aan de gemeten grootte in micrometers; Cf is de eind (final) concentratie van deeltjes per m2; Ci is de begin (initial) concentratie van deeltjes per m2; t is de eindtijd in uren; ti is de begintijd in uren. Door het meten van het deeltjesdepositie

rate per m2 per hour at considered particle sizes

om een cleanroom te classificeren op een zelfde manier als in ISO 14644-9, waarin de oppervlakte reinheid in cleanroom wordt geclassificeerd. Hieruit volgt de volgende analoge vergelijking: R D = k. 10M / D

De deeltjesdepositie niveau voor de verschillende deeltjes groottes hangen met elkaar samen. Voor interpolatie of extrapolatie kan de volgende vergelijking gebruikt worden: R D = 10PDC / D

Hierin is, RD het maximaal toelaatbare deeltjesdepositie niveau (PDR) per m2 per uur

VCCN richtlijn 9 heeft de structuur van een ISO norm en de classificatie is op een vergelijkbare manier afgeleid: deeltjes-


21

• Fig. 1.

Geselecteerde PDC klasses grafisch weergegeven.

depositie voor deeltjes ≥ 1 µm per m2 per uur. Dit leidt tot grote getallen en dus wordt voor de klasse bepaling de logaritme met grondgetal 10 toegepast.

Technisch Commissie 209 in Seoul. Daarom is op het IEST ESTECH congres in San Antonio een lezing over deeltjesdepositiemeting gegeven.

In de richtlijn wordt verder beschreven hoe de deeltjesdepositie gemeten kan worden. Dit komt overeen met ISO 14644-3: DIS 2014. In de bijlage van de richtlijn worden toepassingsvoorbeelden behandeld.

Apparatuur voor deeltjesdepositie meting en voor deeltjesdepositie monitoring zijn nu bijna een jaar op de markt en steeds meer bedrijven ervaren de kracht van meten en monitoren van deeltjesneerslag voor de contamination control van hun product. (foto AP3)

Relatie tussen PDC, PDR en DDK De PDC deeltjesdepositie klasse geeft een grenswaarde van de PDR = RDD aan. De PDR = 10PDC. Binnen de VCCN gebruikten we al de DDK, DNK of DNN, hetgeen verschillende namen voor hetzelfde zijn namelijk de deeltjesdepositie (deeltjesneerslag) klasse of niveau per dm2 per uur. In feite zijn dit verschillende termen voor PDR maar dan per dm2 per uur. DDK = nD.D, waarbij nD de deelpositie van het aantal deeltjes ≥ D µm per dm2 per uur is. Door de DDK waarde met 100 te vermenigvuldigen krijgt men de PDR waarde per m2 per uur. Door daar de 10log van te nemen kan men de met de PDC deeltjesdepositie klasse vergelijken. Bijvoorbeeld: DDK 500 beschrijft een deeltjesdepositie van bijvoorbeeld 10 deeltjes ≥ 50 µm per dm2 per uur. Dit komt overeen met 1.000 deeltjes ≥ 50 µm per dm2 per uur. De PDC klasse waarde is dan: 10log 50.000 = 4,7. DDK 500 komt overeen met PDC 4,7.

Toekomst In dit voorjaar is een presentatie over deze VCCN richtlijn gegeven op het R3 Nordic symposium in Finland. (foto r3nordic) In oktober wordt de richtlijn gepresenteerd op het ICCC 2014 symposium in Zuid Korea. Bovendien wordt getracht de bruikbaarheid ervan te bespreken in de

22

Workshops deeltjesdepositie meting De VCCN projectgroep Deeltjesdepositie meting komt nog bij elkaar om praktijkervaringen uit te wisselen en fabrikanten gebruikerswensen voor te leggen. De VCCN geeft op afroep workshops deeltjesdepositie meting waarin kleine groepjes deelnemers in een halve dag de PDM en APMON leren gebruiken. Vraag hiernaar bij de VCCN Opleidingen coördinator Jos Bijman ([email protected]).

Literatuur • Agricola K. and Geilleit R.; Classification of Contamination Control Practice. VDI Wissenforum Reinraum Technik, Basel 2007. • Agricola K. and Weling P.; Particle Deposition Monitor to reduce cleanroom costs. Cleanrooms Europe 2008, Stuttgart. • Agricola K.; Quality Assurance of Product Cleanliness. Cleanrooms Europe 2009, Stuttgart. • Agricola K. en Oostendorp C.; Strategisch strijden tegen stofdeeltjes. VCCN 2009.


A

• Agricola K.; Determination of operational quality of cleanroom by particle deposition monitoring, ICCCS 2012, Zürich. • Agricola K.; Particle deposition monitoring, the missing link in contamination control. R3Nordic symposium 2014, Naantali, Finland. • Agricola K., Proposal for the classification of particle deposition, to be published in ICCCS 2014, Seoul. • Hamberg O. and Shon E.M., Particle size distribution on Surfaces in Cleanrooms, The Aerospace Corporation, Report SD-TR-84-43, El Segundo, USA, 1984. • Kohli, R. and Mittal, K.L.; Developments in Surface Contamination and Cleaning; Part Two, Particle Deposition, Control and Removal. Elsevier, Amsterdam 2010. • Parasuraman D.K., Kemps A.A.M., Veeke H.P.M. and Lodewijks G., Prediction Model for Particle Fallout in Cleanrooms, Journal of the IEST, V55-1, USA, 2012. • Whyte W, Whyte WH, Blake S and Green G.; Dispersion of Microbes from Floors when Walking in Ventilated Rooms, International Journal of Ventilation ISSN 1473-3315 Vol 12 No 3 December 2013. • VCCN Richtlijn 4: Oppervlakte reinheid (1996). VCCN Richtlijn 9: Deeltjesdepositie in cleanrooms en aanverwante geregelde ruimten (2014). • ISO 14644-9: 2012: Cleanrooms and associated controlled environments: Classification of surface cleanliness by particle concentration. • ISO 14644-1, 2 and 3: DIS 2014, Cleanrooms and associated controlled environments: Classification of air cleanliness by particle concentration, Monitoring and Test Methods. ●


A

AGENDA

30 SEPTEMBER EN 1 OKTOBER 2014 Tweedaagse Cleanroom Techniek Cursus (CTC) Leusden 08 OKTOBER 2014 Nationale CleanroomDag ’t Spant, Bussum 30 OKTOBER 2014 Cleanroom Reiniging Cursus (CRC) Leusden 3 NOVEMBER 2014 (’S MIDDAGS) OpfrisCleanroom Gedrag Cursus (OCGC) Leusden

AGENDA • VERENIGINGSNIEUWS

VOORAANKONDIGING

12de Nationale CleanroomDag 2014 WOENSDAG 8 OKTOBER 2014

Op woensdag 8 oktober a.s. organiseert VCCN de 12de Nationale CleanroomDag in combinatie met een informatiemarkt. Deze dag vindt plaats in congrescentrum Spant! in Bussum. Ontvangst en bezoek van de informatiemarkt is vanaf 09.00 uur. Aanvang programma om 09.55 uur. Einde: ca. 17.00 uur. Het programma bestaat uit twee parallelle programma’s. ● VOOR NIEUWE VAKGENOTEN IS ER EEN LEZINGENPROGRAMMA MET DE ONDERWERPEN:

13, 20 EN 21 NOVEMBER 2014 Cleanroom Testen en Certificeren (OCT) Leusden en Boven-Leeuwen

• • • • • •

26 NOVEMBER 2014 Excursie A15 Apotheek Gorinchem

Het laatste uur bestaat uit het in groepjes uitwerken van een praktijkvoorbeeld. Er zijn drie cases vastgesteld: beheer en monitoring op OK’s, productreiniging in de Farmacie en ruimtedoorlatendheid (VCCN richtlijn 10). U kunt ter plekke een keuze maken.

27 NOVEMBER 2014 Contamination Control Cursus (CCC) (incl. Deeltjes Depositie Meting DDM) Leusden 2 OF 3 DECEMBER 2014 Kennis(sen) Regio Midden-Nederland N.T.B. 15 DECEMBER 2014 Cleanroom Gedrag Cursus Leusden 28 JANUARI 2015 VCCN Ledenmiddag Hoevelaken Bezoek voor meer informatie www.vccn.nl

Contamination Control als rode draad Normen Ontwerp en Specificatie Het realisatietraject van een cleanroom Cleanroomvalidatie: doel en methode Operations (schoonmaak & desinfectie, beheer en kleding).

● VOOR DE MEER ERVAREN VAKGENOTEN IS ER KEUZE TUSSEN DIVERSE WORKSHOPS MAXIMAAL 3 OF DEELNAME AAN EEN GEDEELTE VAN HET LEZINGENPROGRAMMA. WORKSHOPONDERWERPEN MET AANMELDING VOORAF: • Monitoring OK’s • Commissioning • Centrale Sterilisatie Afdeling (CSA) • Projectmanagement • Cleanroom materialen / reiniging & desinfecteren • Schone bedrijfsstoffen • Hygiënisch ontwerp • Isolatiekamers Het laatste uur bestaat uit het in groepjes uitwerken van een praktijkvoorbeeld. Er zijn drie cases vastgesteld: beheer en monitoring op OK’s, productreiniging in de Farmacie en ruimtedoorlatendheid (VCCN richtlijn 10). U kunt ter plekke een keuze maken.

Voor vragen en overige informatie: Sandra van Ewijk-Jansma, (033) 434 57 65, [email protected], www.vccn.nl


23

Kennis van een Cleanroom is van essentieel belang

Cursussen & Opleidingen De cursussen van VCCN zijn uitstekende kennisbronnen om tot een succesvol ontwerp, bouw en beheer en gebruik van Cleanroom productie-omgevingen te komen. Of het nu de ontwerper, de productiemedewerker of schoonmaker betreft, het belang van kennis van een Cleanroom is van essentieel belang.

bouwen en beheren van Cleanrooms. Indien het examen succesvol is afgerond wordt de student door de ICEB (International Cleanroom Education Board) gecertificeerd, ontvangt hij het VCCN/ ICEB certificaat en wordt opgenomen in het CTE-register van de VCCN.

Opleiding Cleanroom Testen en Certificeren (OCT)

Ontwerp en realisatie Voor het ontwerpen en realiseren van Cleanrooms heeft VCCN enkele interessante opleidingsmogelijkheden. Hierbij kan gekozen worden voor een korter durende cursus (2 dagen, CTC) dan wel voor een uitgebreidere opleiding (10 dagdelen, CTE) met afsluitend examen.

Cleanroom Techniek Cursus (CTC) De Cleanroom Techniek Cursus is een tweedaagse cursus bedoeld voor een ieder die een Cleanroom gaat opzetten: ontwerpers, bouwers en toekomstige gebruikers. Het unieke van deze techni-

24

sche VCCN Cleanroom cursus is dat deze aan alle genoemde doelgroepen tegelijk wordt gegeven. Dit betekent dat men tijdens de cursus al kennis kan maken met de verschillende partijen, die ook bij de realisatie van een Cleanroomproject aan bod komen.

Cleanroom Technology Education (CTE) Voor personen die meer diepgang willen en daarnaast de theorie van de Cleanroom wil koppelen aan de praktijk is de CTE ontwikkeld. Met de avondopleiding CTE biedt VCCN een internationaal gecertificeerde opleiding aan voor het ontwerpen,


Meettechnici zijn een onmisbare schakel in het op de juiste manier testen en valideren van de Cleanroom en het controleren of de techniek (nog) voldoet aan de gestelde eisen. Een gecertificeerde meettechnicus geeft de eindgebruiker de garantie dat de uitkomst van het testen van de Cleanroom betrouwbaar is. VCCN biedt de gecertificeerde Opleiding Cleanroom Testen en Certificeren aan waarmee meettechnici zich op twee niveaus kunnen laten certificeren, namelijk als Associate en als Professional. De Associate wordt getoetst op theoretische kennis terwijl de Professional (met minimaal 2 jaar ervaring) zowel theoretisch als praktisch wordt getoetst. Deze opleiding wordt onder auspiciën van CTCB-i uitgevoerd (Cleanroom Testing and Certifaction Board - International; www.ctcb-i.net) en is gecertificeerd door de ICEB. Het is ook mogelijk de opleiding op het niveau van Belangstellende te volgen. Deze vorm bestaat uit een theorie en een praktijkdag.

Gebruik en Beheer van uw Cleanroom Discipline en gedrag van het personeel zijn van groot belang voor de luchtkwaliteit in een Cleanroom. Dit geldt voor zowel de leidinggevende, productiemedewerker als schoonmaker. Foutief gedrag leidt tot verontreinigingen en heeft negatieve gevolgen voor de gewenste productiekwaliteit.

CURSUSSEN • VERENIGINGSNIEUWS

C l e a N r o o m pa s

Mevr. K.L. de Kort - de Lange Pasnummer 123456789 Datum afgifte 01.07.2013 Geldig t/m 31.12.2013


• Geen toegang zonder De CleanroomPas®

Cleanroom Gedrag Cursus (CGC) Om het bewustzijn van uw medewerkers over hun invloed op de luchtkwaliteit in een Cleanroom te vergroten heeft VCCN de Cleanroom Gedrag Cursus opgezet. De cursisten maken kennis met de strenge eisen die gesteld worden aan het betreden van Cleanrooms. De internationaal gecertificeerde cursus (ICEB, International Cleanroom Education Board) wordt afgesloten met een toets. Bij een positief resultaat ontvangt de cursist een certificaat en de CleanroomPas® in de vorm van een persoonsgebonden badge met afgiftedatum. De personen worden opgenomen in het CGC/ICEB-register®. Voor personen die reeds in bezit zijn van een pas waarvan de afgiftedatum is verstreken, bestaat de mogelijkheid de opfriscursus van een halve dag te volgen. Deelnemers ontvangen dan een vernieuwde pas.

Cleanroom Reiniging Cursus Deze ééndaagse cursus is ontwikkeld voor de leidinggevende van een schoonmaakploeg of beheerder van een Cleanroom. In deze cursus is het leren kiezen en beoordelen van reinigingstechnieken en het opstellen van reinigingsschema’s de hoofddoelstelling. Een deel van de cursus bestaat uit de behandeling van de verschillende reinigingstechnieken en de meettechnieken voor het beoordelen van het resultaat.

Cleanroom Schoonmaak Cursus Deze cursus bevat praktische informatie voor het uitvoeren van de reinigingswerkzaamheden in een Cleanroom door professionele schoonmakers, volgens een Cleanroom reinigingsprogramma. Er zijn praktische demonstraties en oefeningen omtrent het systematisch uitvoeren van oppervlaktereiniging van grote en kleine oppervlakken. Tevens worden manieren om het resultaat te evalueren behandeld. De cursus duurt een halve dag.

Contamination Control Cursus In praktijk blijkt dat operationele factoren, zoals het aantal personen, hun kleding en gedrag, de kwaliteit van de productieapparatuur en de reiniging, een grote rol spelen bij de gewenste klasse en de kwaliteit van de stofarme condities. POCC staat voor Product Orientated Contamination Control. Deze VCCN-cursus behandelt het POCC-stappenplan, een gestructureerde analyse om een correcte oplossing voor een product, productieproces en/ of schone omgeving te vinden waarmee contaminatie door stofdeeltjes zo veel mogelijk wordt voorkomen. De cursus richt zich op dode deeltjes en niet op microbiologische contaminatie. POCC is maatwerk dat zich richt op: • het product en zijn productie; • het meten van contaminatie; • het opstellen van een risicoanalyse; • het nemen van maatregelen; • de Cleanroom en zijn technische voorzieningen; • de aard en het gedrag van verontreinigingen; • de kwaliteit van de reiniging. De cursist leert het product, de productie en de schone omgeving kritisch onder de loep te nemen en efficiëntere en vaak

minder dure oplossingen te implementeren om contaminatie zo veel mogelijk te voorkomen. Tevens doet de cursist de hiervoor benodigde kennis op over meettechnieken, Cleanrooms, stof op oppervlakken, neerdwarrelend stof en reiniging.

VCCN bijscholingsaanbod Het volledige aanbod van VCCN is terug te vinden op de website www.vccn.nl/ cursussen.

Inhouse cursussen Heeft u een grote groep medewerkers voor een specifieke cursus? Informeer dan eens naar onze mogelijkheden voor een inhouse cursus. Vooral de Cleanroom Gedrag Cursus wordt regelmatig als ééndaagse cursus inhouse verzorgd. VCCN levert hierbij het lesmateriaal, de docent en natuurlijk de toetsen en Cleanroompas. U kunt contact opnemen met het VCCN Cursussecretariaat voor meer informatie, tel. 033-434 57 65 of email [email protected] Op de vernieuwde website van VCCN, www.vccnnl/cursussen, treft u meer informatie aan en elders in dit magazine de agenda met startdata van de cursussen. ●



25

GESLAAGDEN CGC/ICEB REGISTER Opfris Cleanroom Gedrag Cursus Thermo Fisher Scientific Prionics Lelystad BV 2 juni 2014 • Lelystad Mevr. N. Badal-Ghoerai M.W. Bodegom Mevr. J.M. Brandenburg Mevr. D.J. van Domselaar W. Hamer A.C. de Kooter H.M. van Veen-Neef I.T. Withaar-Bakker Mevr. G. Peek W. Scholten

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus ITT Motion Technologies - Koni 10 mei 2014 • Oud Beijerland J.W. Bolle Mevr. G. DubroviČova P. Kohút A.M. de Kruyk B.L. Scholte J.H. Schuurbiers M. Verbaas

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus CSU Cleaning Services BV 16 mei 2014 • Amsterdam Mevr. T. Ayar Mevr. K. Boz P.A. Cournooh Mevr. A.A. Dapaah Mevr. E. Elmas L. Faerber Mevr. E. Karali Mevr. S. Karali Mevr. C.J. Kolopita Mevr. H. Ozcelik Mevr. N. Tek Pancar Mevr. F. Yildiz Mevr. C. Yilmaz

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus CSU Cleaning Services BV 19 mei 2014 • Amsterdam C. Amhaouach Mevr. B. Atabay Mevr. F.A. Ayar Mevr. S. Boomgaarden-Ramdhan Mevr. J. Cullens Mevr. B. Dardogan Mevr. T.P. Dardogan A. El Marani C. Elebdellaou Ezaamdaou Mevr. K. Erol R.J.M.G. Franken N. Machichi Mevr. E.H.O. Meertens C.A. Pas

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus Cantorclin Schoonmaak B.V. 27 mei 2014 • Meppel Mevr. N.A. Abd Ashafy Mevr. N. Arbib Mevr. Y.E. Arrindell Mevr. J.J. Bijland D. van den Burg Mevr. D. Civan Mevr. M. Donker Mevr. A.H. Dragani Mevr. A.C.C. Duyvestijn-Alsemgeest Mevr. J.M. Emmanuel Mevr. J.H. Graver M. Jami H. Jami H.T. Klink Mevr. O. Kuzu-Kildir Mevr. M. Mc Lellan-van Beelen Mevr. G. Özdemir-Sahin A. Snoussi D. Tularcevic Mevr. R.V.N. van Wijk-Zimmerman

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus Thermo Fisher Scientific Prionics Lelystad BV 2 juni 2014 • Lelystad C. Bol

26


R.C.G.J. van Eekelen Mevr. M. van Heiningen R. Leijdekkers M. Zweers

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus Heijmans Academie 5 juni 2014 • Rosmalen J.G.B.P. Beijk J.W. van den Berg R. van den Bliek S.R.R.M. Bulters P. Groot Nuelend J.T. Jans M.H.M. van Loon A.G.R. Maas M.V. Petrona C.L. Ruiter R.J.J.M. Smits M.J.M. Voermans H.J. Wes P.A. Woltman

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus Liquavista 5 juni 2014 • Eindhoven Mevr. P. Alamar G. Boon S.R.C. Carneiro F.H. Feijen C.E. Hendriks R.L Leguijt G.A.P. Martens R.M. Massard Mevr. M.C. Petcu I.A. Shah Mevr. L.T. Tauk M. Trainor

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus Liquavista Eindhoven 12 juni 2014 D. Akloe P.J.C. Bouts Mevr. M.C.C.H. van den Enden J.C. van der Gaag F. González Rodiquez

GESLAAGDEN & NIEUWE LEDEN • VERENIGINGSNIEUWS

GESLAAGDEN CGC/ICEB REGISTER A.C. Janssen J.J.M. Joosten G. Manukyan M. van Mil Mevr. A. van der Padt J.M.M. Trebels J.G. de Wit

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus Liquavista Eindhoven 18 juni 2014 J.P.H. Delft Mevr. I. Fischer M.W. Hampton K.J.G. Hinnen A. Klignet H.T.M. van Kollenburg E.J.A. Lassauw J.J.A. Mans I. Sharifi M. Somers Mevr. C.T. Staats Mevr. E.C.H. Stienen-Geuns M.H.H. Thijssen H.J.H. Tigelaar A.A.M. van Weert M.A.R.C. de Wolf

INHOUSE Cleanroom Gedrag Cursus Pharmaline BV Oldenzaal 21 juni 2014 Mevr. J.G.M. van den Berg L.B.S. Franke Mevr. J.B. Greveling Mevr. C. Iz V.J. ten Kate Mevr. L.E.S. Kok Mevr. B.M.H. Löwik-Haarhuis F.G.M. van Mook Mevr. J.M. Netjes R.H. Notkamp Mevr. J.C.M. van Oers Mevr. S. Örnek-Demir Mevr. F.C.M. Pots-ten Dam Mevr. F. Soltani T.H.L. Veldman

Cleanroom Gedrag Cursus (CGC) 25 juni 2014 • Mevr. M. Afkir Asito BV • Mevr. K. Beldhuis Hectas Facility Services CV • Mevr. W.H. van den Berg HeginMetalFinishing BV • De heer J. Bouwhuis Masevon Technolgoy • Mevr. H. van Brussel HeginMetalFinishing BV • Mevr. C. Haddaoui Asito BV • Mevr. L. Hapke Asito BV • Mevr. M. Holst-Heuker GOM Schoonhouden • De heer J.F.A Hooijen BAM Techniek Zuid-Oost BV

• De heer L. Lamberts HeginMetalFinishing BV • De heer K. Maazane Asito BV • Mevr. D. Malagić Asito BV • Mevr. M. de Nijs-Condrat Pahan Asito BV • De heer F.H.J. Oude Avenhuis Asito BV • Mevr. M. Schirru CSG B.V. • Mevr. K. Stegge Asito BV • Mevr. A.M. Szaflik Asito BV • Mevr. J. Tejeda Cuevas Hectas Facility Services CV • Mevr. A.H. Westbroek CSG BV

NIEUWE LEDEN Nieuwe bedrijfsleden

Nieuwe persoonlijke leden

Orbis Medisch Centrum

De heer ing. J.E. Denninger

Naam persoon Postbus 5500 6130 MB SITTARD ●

D&G Engineering ●

De heer Drs. W.J.G. Herings WUQ ●

Masevon Technology Naam persoon Postbus 287 7770 AG HARDENBERG ●

De heer Ing. P.H.J. Joosten MBA Kuijpers Centrale Projecten B.V. ●

De heer R.F.J. Kools AHC Benelux BV

Befeko Techniek BV ●

Naam persoon Hurksestraat 32 5652 AL EINDHOVEN ●

De heer T.J. Mojet

BAM Techniek Regio Oost

De heer B. Saris

Naam persoon LAAN VAN WESTENENK 162 7336 AV APELDOORN ●

Python Specialized Cleaning Technologies ●

Valiaz Controles & Validaties ●

De heer ir. M.J. Tan Denios BV

Tebodin Netherlands BV ●

Naam persoon Chr. Huijgensweg 4 2408 AJ ALPHEN AAN DEN RIJN ●


27

Het concept van de Flex OK berust op drie unieke elementen: Wandsysteem: Het innovatieve wandsysteem maakt het mogelijk om toekomstige aanpassingen, vooraf in de fabriek uit te voeren. Hierdoor kan het wandelement, buiten de operationele OK-tijden, binnen +/- twee uur vervangen worden. Dit voorkomt productieverlies van een OK.

The future is here De ‘Flex OK’ is het nieuwe OK-concept van Interflow. Dit concept is een resultante van de twee seminars over de OK van de toekomst, die onlangs door Interflow gehouden zijn. Wensen en eisen van gebruikers, managers, onderzoekers, adviseurs, architecten, de inspectie en andere publieksgroepen hebben wij kunnen vertalen naar innovatieve oplossingen. De Flex OK is toekomstbestendig, biedt maximale flexibiliteit, is eenvoudig aanpasbaar en geeft

Plafondsysteem: Het plafondsysteem is eenvoudig en snel (her) indeelbaar aan te passen aan de toekomstige wensen. Filtermodules, verlichting, stralings- en servicepanelen zijn in een handomdraai te vervangen of te verplaatsen. Luchtbehandeling: Welke plafond- of filterindeling er ook in de OK gekozen wordt, door het gebruik van een alternatief luchtbehandelingsysteem is de afzuiging altijd optimaal. Het Flex OK-concept is geschikt voor zowel nieuwbouw als renovatie. Meer weten over de Flex OK? Neem contact op met Erik Burgmeijer, OK-deskundige bij Interflow. E-mail: [email protected]

minimale onderhoudsinspanning (= kosten) tijdens de exploitatiefase. Interflow is onderdeel van BAM Techniek bv

www.interflow.nl

MAGAZINE EEN UITGAVE VAN DE VERENIGING CONTAMINATION CONTROL NEDERLAND JAARGANG 27 EDITIE

Recommend Documents