Akusztikus felületi hullámú TV KF-szűrő gyakorlati megvalósítása
A °AJ N
A
R
S
N D O R N E *
DRBELEZNAY FERENC, P Ü S P Ö K I SÁNDOR, S E R É N Y I MIKLÓS M T A Műszaki Fizikai K u t a t ó Intézete DR.
A hazai fejlesztésű akusztikus felületi hullámú T V K F - s z ű r ő tervezési módszerét az [1] m u n k á b a n is m e r t e t t ü k . Jelen cikkben a szűrő gyakorlati meg valósítását tárgyaljuk. Ennek során k i t é r ü n k a piezoelektromos hordozó tulajdonságaira, az eszköz m ű k ö d é s é t kísérő zavaró h a t á s o k (másodlagos jelen ségek) elnyomására, az interdigitális elektródarend szerek előállítási technológiájára és végül a kísérleti eredményekre [2, 3]. Piezoelektromos hordozó Az I D á t a l a k í t ó k közepes frekvenciája egyrészt az elektródák távolságától, másrészt a piezoelektromos hordozón a felületi hullám terjedési sebességétől (hangsebesség) függ. Mivel a szűrő nem hangolható, szükséges, hogy adott alapanyag esetén a terjedési sebesség k í v á n t pontossággal ( ~ 5 - 1 0 ~ ) és időbeli stabilitással r e p r o d u k á l h a t ó legyen. E z é r t T V K F szűrő célokra jelenleg csak egykristályos anyagok jöhetnek számításba, amelyek előállítási költsége lé nyegesen nagyobb, mint a piezoelektromos kerá miáké. A k é t leggyakrabban használt anyag a lítiumniobát ( L i N b 0 ) és a l í t i u m t a n t a l á t ( L i T a 0 ) . A z előbbi nagy elektromechanikai csatolási állandóval, az u t ó b b i a frekvencia stabilitás szempontjából ked vezőbb hőmérsékleti e g y ü t t h a t ó v a l t ű n i k k i . Sajná latos m ó d o n a nagy mennyiségben rendelkezésre álló és viszonylag olcsóbb kvarc nem a l k a l m a z h a t ó hor dozóként. A kis elektromechanikai csatolási állandó az adott relatív sávszélességnél (~15%) m á r túlsá gosan nagy beiktatási csillapítást okozna [4]. Tekintve, hogy i m p o r t ú t j á n csak L i N b 0 egy kristály volt beszerezhető, t o v á b b á , hogy a Kristály fizikai K u t a t ó L a b o r a t ó r i u m b a n m á r 1974-ben fog lalkoztak L i N b 0 kísérleti növesztésével [5], ezt az alapanyagot v á l a s z t o t t u k piezoelektromos hordozó k é n t . A k é t intézet k ö z ö t t i j ó e g y ü t t m ű k ö d é s lehe t ő v é tette, hogy 1978-ban m á r hazai alapanyagot használjunk a fejlesztési m u n k á k h o z [6, 7]. Az egykristály a l a p a n y a g ú hordozók jellemzője, hogy az eszköz szempontjából érdekes fizikai tulaj donságok (pl. terjedési sebesség, elektromechanikai csatolási állandó) nemcsak a kristály kémiai összetéte létől, hanem — az anizotrópia m i a t t — a felhasznált szelet orientáltságától is függ. A z általunk megvaló sított szűrőknél az elektromechanikai csatolási ál landó és a h u l l á m diffrakció szempontjából kedvező Y k r i s t á l y t a n i tengelyre merőleges felületet és a Z 4
3
hullám terjedési i r á n y t v á l a s z t o t t u k . A z orientálás röntgendiffrakcióval, 1° pontossággal t ö r t é n t . A z Y—Z orientációnak megfelelő fontosabb anyagi ál l a n d ó k a t az 1. t á b l á z a t b a n foglaltuk össze. Másodlagos jelenségek elnyomása a megvalósítás s o r á n Tömbhullámok A bemeneti á t a l a k í t ó a felületi h u l l á m m a l egyidejű leg n e m k í v á n a t o s t ö m b h u l l á m o k a t is gerjeszt [9]. A kimeneti átalakító ezeket a h u l l á m o k a t is detek tálja, így a z á r ó t a r t o m á n y b a n a jelelnyomás lényege sen eltérhet a tervezettől. Ez a zavaró h a t á s elhanyagolhatóvá t e h e t ő az ú n . sokelektródás csatoló (multistrip coupler) alkalmazásával, amely a hullám terjedés ú t j á b a helyezett, egymástól független p á r huzamos fémcsíkokból áll [10]. A sokelektródás csa toló megtöri a felületi hullám terjedési i r á n y á t , így az adó- és a vevő-átalakítók által m e g h a t á r o z o t t terjedési t a r t o m á n y o k nem esnek egybe ( 1 . á b r a ) . 1.
3
3
táblázat
LiNb03 fontosabb anyagi állandói Y—Z orientáció esetén [8,15]
Hullámterjedési sebesség (v) [m/s]
3488
Elektrotechnikai csatolási állandó
0,045
Anizotrópiát jellemző paraméter (y)
—1,08
A késleltetési idő hőmérsékleti együttha tója, (dr/dr)/T [ppm/'C]
94
3
Mivel a csatoló a t ö m b h u l l á m energiájának csak egy kis h á n y a d á t , a felületi hullám energiáját pedig majdnem veszteségmentesen csatolja á t , ezért a k é t hullámforma jó hatásfokkal szétválasztható. A z optimális energiatranszferhez szükséges elektródák száma fordítottan arányos az elektromechanikai csa tolási állandóval [10]. E z é r t alkalmazásuk elsősorban a nagy csatolási állandójú L i N b 0 - n á l előnyös, ahol az optimális elektródaszám ~ 140-nek adódik. A sok elektródás csatoló alkalmazásán kívül a hordozó alját d u r v í t o t t u k , hogy a t ö m b h u l l á m o k a t minél jobban szétszórja. 3
* Jelenlegi munkahelye: MTA Központi Fizikai Kutató Intézet
Az ID átalakító elektródáitól származó
B e é r k e z e t t : 1981. I V . 17.
A szabad és a fémezett felületű piezoelektromos anya gokon terjedő hullámok sebessége különböző [11].
Híradástechnika
XXXIII.
évfolyam 1982. 7. szám
reflexió
299
(3)
(4)
ti)
EzUül
1. ábra. Sokelektródás csatoló alkalmazása a tömbhullámok elnyomására: (1) piezoelektromos hordozó; (2) bemeneti I D átalakító; (3) sokelektródás csatoló; (4) kimeneti I D átalakító; (5) hullám elnyelő közeg Ez a sebességkülönbség okozza, hogy az akusztikus h u l l á m energiájának egy része az átalakitó elektró dáiról visszaverődik. E jelenség az egyszerű felépí tésű elektróda geometriánál (2a. á b r a ) a frekvencia válasz torzulását okozza, amely számottevő lehet a nagy elektromechanikai csatolási állandójú L i N b 0 esetén. A z elektródák negyed hullámhossznyi távol ságban t ö r t é n ő felhasításával (2b. ábra) az effektus jelentősen csökkenthető, mert ekkor a reflektált hul lámok gyengítik vagy kioltják e g y m á s t [12]. A hossz-súlyozott bemeneti á t a l a k í t ó n á l ez a p r o b l é m a automatikusan megoldódik, mert az á t alakító közepes frekvenciáját — a frekvenciaválasz szimmetrizálásakor — a hasznos jelátviteli s á v köze pes frekvenciájának közel kétszeresére v á l a s z t o t t u k [1]. í g y az átalakító s t r u k t ú r á j a egy kvázi felhasított elektródarendszernek felel meg. A tényleges felhasí t á s t csak a homogén kimeneti átalakítónál kell el végezni. 3
A hordozó végeiről történő
reflexió
Egy I D elektródarendszer m i n d k é t i r á n y b a sugároz, ezért akusztikus energia terjed nemcsak a vevő felé, hanem a hordozó széle felé is. A vevő elektródarend szer az adó jelét csak részben alakítja elektromos jellé, ezért a felületi h u l l á m energiájának egy része a vevő alatt a kristály szélére j u t . Ezek a hullámok a kristály széleiről visszaverődnek és a direkt jelhez képest késve j u t n a k a vevőre. H a t á s u k r a az átviteli karakterisztika torzulhat, ezért külön gondot kell fordítani elnyelésükre. Ennek érdekében a hordozó végeit olyan fizikai p a r a m é t e r ű m ű g y a n t á v a l vonjuk be, amely viszonylag kis terjedési hosszon képes az akusztikus hullámok hatásos csillapítására. A m ű g y a n t á v a l szemben t á m a s z t o t t másik követelmény az, hogy a hordozó — abszorbens anyag határfelüle téről t ö r t é n ő reflexió minimális legyen. A k i a l a k í t o t t szűrőkonstrukciónál a visszaverődés mértékének csökkentése érdekében sem az abszorbens anyag
300
EMI?] 2. ábra. Elektróda geometriák: a) egyszerű felépítésű elektródarendszer esetén, b) felhasított elektródarendszer esetén határfelülete, sem a hordozó széle nem merőleges a hullámterjedés irányára. Az akusztikus hullámfront
torzulása
A változó hosszúságú elektródákból álló, egyszerű felépítésű hossz-súlyozott elektródarendszer (3a. ábra), az akusztikus hullámfront torzulását idézi elő [13]. Ennek oka, hogy a hullámok a fémezett és nem fémezett felületeken eltérő sebességgel terjednek. Az effektust ún. „ál e l e k t r ó d á k " alkalmazásával kom penzáljuk (3ö. ábra). Híradástechnika
XXXIII.
évfolyam 1982, 7. szám
A felületi hullámok
diffrakciója
Kis apertúrájú (új hosszúságú) I D átalakítóknál a gerjesztett vagy a d e t e k t á l t felületi hullám a résen á t h a l a d ó fényhez hasonlóan diffrakciót szenved, melynek következtében amplitúdó- és fázishibák jönnek létre. Hossz-súlyozott átalakítók esetén a diffrakciós hibák nagysága az a p e r t ú r a méretén kívül jelentősen függhet az elektródarendszer s t r u k t ú r á jától. Számítások szerint izotróp piezoelektromos hor dozó esetén az a p e r t ú r a méretének legalább 20 hul lámhossznyi m é r e t ű n e k kell lennie [14]. E g y k r i s t á lyos hordozó esetén a diffrakció mértéke az elektró d á k n a k a hullámhosszhoz viszonyított méretén kí vül még a hullám terjedési irányától is függ. A kris tály anizotrópiáját, valamint a hullámterjedés irány függése és a diffrakció közötti kapcsolatot az ú n . anizotrópia-paraméter (y) jellemzi [15]. Abban az esetben, amikor y=— 1, a diffrakciót a speciális anizotrópia kompenzálja. A valóságban természete sen ez soha nem valósul meg tökéletesen. Az általunk használt Y—Z orientációjú L i N b 0 hordozó kedvező diffrakciós tulajdonságú mert y = — 1 , 0 8 ( 1 . t á b l á zat), í g y a hossz-súlyozott bemeneti átalakító esetén 25, a súlyozatlan kimeneti átalakító esetén 15 hul lámhossznyi a p e r t ú r á t választva a diffrakciós hiba elhanyagolható volt. A z eltérő a p e r t ú r á k alkalmazá sát a t ö m b h u l l á m o k elnyomására k ö z b e i k t a t o t t sokelektródás csatoló tette lehetővé.
résekkel a zavaró jeleket szétválasztottuk, és a fent leírt megoldások h a t á s á t külön-külön megvizsgáltuk. Ennek alapján lehetséges volt a teljes zavaró jelet a megengedhető szint alá csökkenteni. Ez a szint bizto sítja, hogy a megvalósított szűrő karakterisztikái eleget tesznek az előírt tolerancia-sémának. Az elektródarendszerek kialakítása
A bemeneti és a kimeneti átalakító k ö z ö t t kapacitív ú t o n közvetlen jelátcsatolás j ö h e t létre. Ennek követ keztében jelentősen lecsökkenhetnek a csapdamély ségek, hullámzások jöhetnek létre az amplitúdó- és futásiidő-karakterisztikákban. Ez a zavaró h a t á s a tok megfelelő kialakításával és a kimenet földszim metrikus lezárásával (differenciál-erősítő alkalmazá sával) elhanyagolhatóvá t e h e t ő . Az i t t felsorolt legfontosabb másodlagos jelenségek zavaró h a t á s a együttesen jelentkezik. Speciális m é -
Mikroáramköri technológia szempontjából a problé m á t az jelenti, hogy viszonylag nagy felületet ( ~ 0 , 5 cm ) kell hibamentesen m e g m u n k á l n i . A Í 2 [xm széles e l e k t r ó d á k n a k 1—4 m m hosszon kell zárlatés szakadásmentesen futni. Az ilyen elektródák száma az eszközben eléri a h á r o m s z á z a t . Az integrált á r a m köröknél szokásos fogalmakat alkalmazva, a litográ fia szempontjából ez L S I szintet jelent. A tökéletes t a p a d á s érdekében a fémréteg párolog t a t á s a előtt nagyon gondos tisztítást v é g e z t ü n k , majd oxigénben való hőkezeléssel (800 °C, 60 perc) biztosítottuk, hogy a L i N b 0 felületén ne keletkez zék a későbbi technológiai lépések során oxigén hiány. A z elektródák anyaga A l volt. A jó t a p a d á s elérése szempontjából nagy jelentősége van a szubsztráthőmérsékletnek. Megállapítottuk, hogy m i n . 200 °C szükséges a megfelelő tulajdonságok beállításához. A fotolitográfiás m u n k á k h o z 1350 H típusú lakkot használtunk. A m a r á s a félvezető-technológiában is mert m ó d o n foszforsavban t ö r t é n t . A hibamentesség igénye m i a t t — minthogy csak kontakt fotolitográfiát volt m ó d u n k b a n alkalmazni — a maszkot minden egyes megvilágítás u t á n gondosan tisztítani kellett. E z é r t erre a célra csak k r ó m vagy vasoxid maszkot tudtunk alkalmazni, mert a fotoemulziós maszkok tisztítása körülményesebb. A hordozón k i a l a k í t o t t elektródarendszereket a 4. ábra szemlélteti. A z á b r á n l á t h a t ó tízfilléres érme jól érzékelteti a tokozatlan szűrő méretét. A bemeneti á t a l a k í t ó , melyet egy nagyobb n a g y í t á s b a n az 5. á b r a mutat, 162, a sokelektródás csatoló 110, a k i meneti átalakító pedig 15 (felhasított) e l e k t r ó d á t tartalmaz.
3. ábra. Hossz-súlyozott elektródarendszerek: a) egyszerű felépítésű elektródarendszer, b) „ á l elektródák"-kal kiegészített elektródarendszer
4. ábra. A hordozón kialakított elektródarendszerek nagyított képe, balról jobbra: bemeneti átalakító, sokelektródás csatoló és a kimeneti átalakító. (A hor dozó befoglaló méretei: 1 1 x 4 , 5 x 0 , 5 mm)
3
Kapaciíív
jeláícsafolás
Híradástechnika
XXXIII.
évfolyam 1982. 7. szám
2
3
301
5. ábra. A bemeneti átalakító elektródarendszere na gyobb nagyításban Mérési feltételek M i n d az átviteli karakterisztikák mérése, mind a _ gyakorlati alkalmazás során biztosítanunk kell a szűrő be- és kimeneti kapcsainak megfelelő lezárását. Ellenkező esetben az egyik legkellemetlenebb zavaró jelenséget okozhatja a kétszeres reflexió, amelynek " során a kimeneti átalakítóra érkező jel egy része visszajut a bemenetre, majd onnan ismét a kimenetre (triple transit) [16]. Ennek következtében az ampli t ú d ó - és a futásiidő-karakterisztikákban — az á t v i teli sávhoz képest — rövid periódusú hullámzás lép fel, a TV-képernyőn pedig szellemkép alakulhat k i . A zavar m é r t é k e függ a beiktatási csillapítástól, ezen keresztül pedig a be- és a kimenet lezárásaitól. A két szeresen reflektált j e l nem okoz észrevehető zavart, ha legalább 40 dB-lel elnyomjuk a hasznos jelhez képest. Mivel szintje közelítőleg a beiktatási csillapí t á s kétszerese + 6 dB-lel van alacsonyabban a hasz nos jel szintjénél, a lezáró i m p e d a n c i á k a t ú g y kell megválasztani, hogy a beiktatási csillapítás legalább 17 dB legyen [17]. A lezárások megválasztásánál t o v á b b i problémát jelent, hogy a szűrő bemenő- és kimenőimpedanciája frekvenciafüggő. Mindezek f i gyelembevételével a bemenőoldali lezárást 50— 100 ohm, a kimenőoldali lezárást pedig 300—400 ohm k ö z ö t t célszerű megválasztani. A mérések során 50 ohmos belső ellenállású feszültségforrást és 400 ohm|]6 p F terhelést alkalmaztunk.
34
36
f [MHz] 6. ábra. A szűrő m é r t relatív amplitúdó-karakteriszti kája n o r m á s külföldi szűrőkével. Megállapították, hogy a felhasználás szempontjából fontos paraméterek egyenértékűek a hasonló külföldi típusokéval. Összefoglalás Az O M F B megbízásából kifejlesztettük az első hazai akusztikus felületi h u l l á m ú eszközt, és elkészí t e t t ü n k 50 m i n t a p é l d á n y t . A L i N b 0 egykristály alapanyagot a fejlesztési programhoz kapcsolódva az M T A Kristályfizikai K u t a t ó L a b o r a t ó r i u m b a n állították elő. 3
Mérési eredmények Az elkészített m i n t a p é l d á n y o k egyikének jellegzetes a m p l i t ú d ó - és futásiidő-karakterisztikáját a toleran ciákkal e g y ü t t a 6. és 7. á b r á k o n mutatjuk be. A vizs gált m i n t á k n á l — a fenti lezárások mellett — az egyenletes átviteli s á v b a n a feszültségleosztás jel lemző értéke ~ 2 0 dB. A szűrők abszolút késleltetési ideje ~ 1 , 7 \is, amit az átalakítók közötti akusztikus jelterjedési idő h a t á r o z meg. A bemeneti és kimeneti a d m i t t a n c i á k p á r h u z a mos vezetőképesség és k a p a c i t á s ekvivalenseinek frekvenciafüggését a 8. és 9. á b r á k szemléltetik. A hazai viszonyokra kifejlesztett k é t n o r m á s szű rők n é h á n y p é l d á n y á t alkalmazási kísérletekre á t adtuk az Orion Fejlesztési F ő o s z t á l y á n a k . A szű rőket egy CT451 típusú színes televíziókészülékben megvizsgálták és jellemzőiket összehasonlították egy-
302
35
36 f[MHz]
H792-7
7. ábra. A szűrő mért relatív futásiidő-karakterisztikája Híradástechnika
XXXIII.
évfolyam 1982. 7. szám
1.4
"51.0
- 22
- 18
r
E
eo 0.6-
•14
0.2 •
- 10 I—,
!
30
,
32
!
,
, — ...
,
34
36
,
,
38
,
,
1
40
f [MHzl
|H792-81
8. ábra. A bemeneti admittancia párhuzamos vezetőképesség és kapacitás ekvivalenseinek frekvenciafüggése 0.6
30
32
34
36 f [MHz]
38
40 [H792^9|
9. ábra. A kimeneti admittancia párhuzamos vezetőképesség és kapacitás ekvivalenseinek frekvenciafüggése A szűrők n é h á n y p é l d á n y á t az^ Orion R á d i ó és Villamossági Vállalat Fejlesztési F ő o s z t á l y á n meg vizsgálták, és megállapították, hogy a m i n t á k n a k megfelelő minőségű szűrők g y á r t m á n y a i k b a n felhasz nálhatók. A fejlesztési m u n k á k zárószakaszában, a K — 7 cél program keretében, kutatási-fejlesztési eredményein ket á t a d t u k a Híradástechnikai Ipari K u t a t ó Intézet nek, ahol kidolgozták a szűrő kissorozatú előállítási technológiáját, és 1000 db-os p r ó b a g y á r t á s t végez tek [18]. Jelenleg a sorozatgyártás előkészítése folyik. Köszönetnyilvánítás Megköszönjük az intézet vezetőségének a k u t a t á s i feladat indításában n y ú j t o t t t á m o g a t á s á t . Ezen a helyen is szeretnénk köszönetet mondani kollégáinknak, akik m u n k á j u k k a l hozzájárultak a feladat eredményes elvégzéséhez. K ö s z ö n e t ü n k e t fejezzük k i az M T A Kristályfizikai K u t a t ó L a b o r a t ó r i u m , az Orion Rádiótechnikai és Villamossági Vállalat Fejlesztési Főosztály, a H í r adástechnikai Ipari K u t a t ó Intézet Rétegtechnikai Egyedi Eszközök és az Á r a m k ö r Tervezési Osztály m u n k a t á r s a i n a k értékes segítségükért. IRODALOM [1] Püspöki S.: Akusztikus felületi hullámú T V K F szűrő tervezése analitikus közelítő módszerrel. Híradástechnika, X X X I I I . évf. 6. sz. (1982.) 241-247. Híradástechnika
XXXIII.
évfolyam 1982. 7. szám
[2] Andrási A-né— Beteznay F.— Püspöki S. —Serényi M.: Akusztikus felületi hullámok terjedésén ala puló KF-szűrők kifejlesztése színes televízióhoz. MFKF79 É v k ö n y v , 2 2 - 2 4 . [3] Püspöki S.—Serényi M.: Akusztoelektromos fe lületi hullámú (AFH) T V KF-szűrők tervezése és megvalósítása. — Előadás, Alkatrész konferen cia, Szombathely, 1979. szept. [4] C. S. Hartrnann-D. T. Bell-R. C. Rosenfeld: Impulse Model Design of Acoustic Surface-Wave Filters. I E E E Trans. Sonics and Ultrasonics, V . 20. No. 2. (1973) pp. 8 0 - 9 3 . [5] Dr. Voszka Rudolf magánközleménye. [6] K. Polgár—L. Jeszenszky—K. Raksányi—E. Hartmann: Growth, stoichiometry and properties of LiNbOg single cristal. Acta Physica Hungarica, V. 47. No. 1 - 3 . (1979) pp. 125-132. [7] Lassányiné Polgár Katalin: Mikroelektronikai célra alkalmas LiNb03 egykristályok előállítása. Egyetemi doktori értekezés, Eötvös Loránd Tudo mányegyetem, Budapest, 1980. [8] M. B. Schulz—B. J. Matsinger: Rayleigh Wave Electromechanical Coupling Constants. A p p l . Phys. Letters, V . 20. No. 9. (1972) pp. 3 6 7 - 3 6 9 . [9] R. F. Miisom: Bulk Wave Generation by the I D T . Wave Electronics, V . 2., No. 1/2/3. (1976) pp. 6 4 81. [10] F. G. Marshall-C. O. Newton-E. G. S. Paige: Theory and Design of the Surface Acoustic Wave Multistrip Coupler. I E E E Trans. Sonics and Ultra sonics, V . 20., No. 2. (1973) pp. 124-133. [11] J. J. Campbell— W. R. Jones: A Method for Estimating Optimál Grystal Cuts and Propagation Directions for Excitations of Piezoelectric Surface Waves. I E E E Trans. Sonics and Ultrasonics, V . 15., No. 10. (1968) pp. 209-217. [12] T. W. Bristol-W. R. Jones-P. B. Snow-W. R. Smith: Applications of Double Electrodes in
303
Acoustic Surface Wave Device Design. 1972 Ultrasonics Symp. Proc., pp. 343—345. [13] H. M. Gerard-G. W. Judd-M. E. Pedinoff: Phase Corrections for Weighted Acoustic Surface "Wave Dispersive Filters. I E E E Trans. Microwave Theory andTechn.,V. 20., No. 2. (1972) pp. 188— 192. ; [14] -R. F. Mitchell: Surface Acoustic Wave Transversal Filters: Theír Use and Limitations. I E E Conf. Publ. 109, 1973, pp. 130-140. [15] T. L . Szabó-A. J. Slobodnik: The Éífect of Diffraction on the Design of Acoustic Surface Wave
Devices. I E E E Trans. Sonics and Ultrasonics, V . 20., No. 3. (1973) pp. 240 - 251. [16] W. R. Smüh: Basics of the SAW Interdigital Transducer. Wave Electronics, V . 2., No. 1/2/3. (1976) pp. 2 5 - 6 3 . [17] D. W. Parker—R. G. Pratt~F. W. Smüh — R. Stevens: Acoustic surface-wave bandpass filters. Mullard Technical Communications, V . 14., No. 133. (1977) pp. 110-124. [18] Ligeti R-né—Várkonyi T. — Pádár Gy.: Akusztikus felületi hullámok ( A F H ) elvén m ű k ö d ő eszközök alkalmazási lehetőségei. — Előadás, Alkatrész Szeminárium Győr, 1980. október.
