KONTAMINASI KONTROL DAN TEORI DIFUSI; Teknik Pembuatan Sensor Layar Sentuh, oleh Dr. Ir. Saludin Muis, M.Kom. Hak Cipta © 2015 pada penulis GRAHA ILMU Ruko Jambusari 7A Yogyakarta 55283 Telp: 0274-889398; Fax: 0274-889057; E-mail:
[email protected] Hak Cipta dilindungi undang-undang. Dilarang memperbanyak atau memindahkan sebagian atau seluruh isi buku ini dalam bentuk apa pun, secara elektronis maupun mekanis, termasuk memfotokopi, merekam, atau dengan teknik perekaman lainnya, tanpa izin tertulis dari penerbit. ISBN: 978-602-262-410-3 Cetakan Pertama, tahun 2015
KATA PENGANTAR
Kontaminasi
M
enyelesaikan penulisan buku ini merupakan kebahagiaan tersendiri dimana penulis dapat membagi sepotomg pengetahuan teknologi nano yang jarang dilihat oleh masyarakat umum kepada pembaca budiman, yaitu dapur pembuatan layar sentuh /touch panel yang menyangkut teknologi dimensi nano meter. Penulis berharap lewat buku ini mampu menjadikan sesuatu yang canggih menjadi hal yang biasa dihadapan para pembaca dan dapat menjadi sebuah deskripsi yang baik untuk bidang terkait bila di kemudian hari bangsa Indonesia memiliki kesempatan memasuki dunia teknologi nano yang canggih yang masih menjadi milik negara maju saat ini.
Buku ini merupakan kelanjutan dari buku karangan penulis yang telah diterbitkan yaitu “Teknologi Nano Dalam Pembuatan Sensor Layar Sentuh” dan “Teknologi Nano jilid 1 Dalam Pembuatan Sensor Layar Sentuh” dan “Teknologi Nano jilid-2 Dalam Pembuatan Sensor Layar Sentuh” dan “Teknologi Nano jilid-3 Dalam Pembuatan Sensor Layar Sentuh” serta “Teori Keandalan dan Mekanisme Korosi, Teknik Pembuatan Layar Sentuh”. Adapun isi buku ini ditujukan untuk melengkapi 5 buku yang telah diterbitkan dengan beberapa teori pelengkap yang berkaitan dengan metode produksi layar sentuh antara lain : Kontaminasi dan kontrol, Teknik semprot dingin, teori difusi dan kasus pembelajaran. Disamping itu juga dilengkapi lampiran berupa teknik chemical strengthen sekunder/glare dan korosi pada kaca, yang bermanfaat agar menyempurnakan keseluruhan seri buku teknologi nano dalam pembuatan sensor layar sentuh., sehingga menjadi lebih utuh dan memberikan nilai tambah kepada pembaca. Penulis mengucapkan terima kasih kepada Albert Ray J dan Alexander Rex J yang senantiasa memberikan semangat kepada penulis untuk menyelesaikan keseluruhan seri buku pembuatan layar sentuh yang merupakan salah satu teknologi skala nano yang berperan besar merubah cara hidup manusia pada abad ini dan juga pada masa mendatang.
Kontaminasi
DAFTAR ISI
Kata Pengantar ...................................................................................................................
v
Daftar Isi ............................................................................................................................
vii
Daftar Gambar ...................................................................................................................
xi
Daftar Tabel .......................................................................................................................
xxi
Pendahuluan .....................................................................................................................
xxiii
BAB VI KONTAMINASI DAN CARA KONTROL .............................................................. 1.1 Pengantar ..................................................................................................... 1.2 Dasar-Dasar Filtrasi ....................................................................................... 1.2.1 Teori Filter Serat ............................................................................... 1.2.2 Filter Membran ................................................................................. 1.2.3 Elektrostatik ...................................................................................... 1.3 Kemurnian Air Ultra Tinggi ........................................................................... 1.3.1 Proses Air Murni ............................................................................. 1.3.2 Teknologi Air Murni ........................................................................ 1.4 Kontrol Kontaminasi pada Proses Lithography .............................................. 1.4.1 Apa Photoresist itu ? ......................................................................... 1.4.2 Resist Bukan Optik .......................................................................... 1.4.3 Primer .............................................................................................. 1.4.4 Masalah Kontaminasi Photoresist ...................................................... 1.4.5 Kontrol Kontaminasi dalam Pemroses Photoresist .............................. 1.4.6 Ringkasan dan Kesimpulan ...............................................................
1 1 2 2 15 21 27 27 28 38 38 45 46 46 47 54
viii
Kontaminasi Kontrol dan Teori Difusi
1.5 Pakaian Ruang Anti Debu dan Kain ............................................................... 1.5.1 Pengantar ......................................................................................... 1.5.2 Rancangan Pakaian Ruang Bersih/Style ............................................. 1.5.4 Kain Ruang Bersih............................................................................. 1.5.5 Masa Pakai Pakaian Ruang Bersih ..................................................... 1.5.6 Sterilisasi Pakaian Ruang Bersih ........................................................ 1.6 Tuntunan untuk Manajemen Ruang Anti Debu dan Disiplin .......................... 1.6.1 Kriteria Ruang Bersih ........................................................................ 1.6.2 Disiplin Personel .............................................................................. 1.6.3 Pakaian Ruang Bersih ....................................................................... 1.6.4 Pemeliharaan Kebersihan Bangunan ................................................. 1.6.5 Prosedur Penyalaan Fasilitas ............................................................. 1.6.6 Instalasi Peralatan dan Perbaikan Fasilitas yang Ada .......................... 1.6.7 Memonitor Kontrol Kontaminasi .......................................................
55 55 56 66 74 77 77 78 80 81 82 85 87 87
TEKNIK SEMPROT DINGIN ................................................................................. 2.1 Interaksi Kecepatan Tinggi Partikel dengan Substrate : Percobaan dan Pemodelan ....................................................................................................... 2.1.1 Deformasi Partikel Mikro pada Kecepatan Benturan Tinggi ............... 2.1.2 Semprotan Lapisan Awal dan Pengaruhnya Terhadap Proses Formasi Pelapisan .......................................................................................... 2.1.3 Memodelkan Interaksi Partikel Tunggal dengan Substrate dalam Kerangka Mekanik Media Kontinu. ................................................... 2.1.4 Formasi Lapisan pada Sebuah Aliran Kecepatan Tinggi di Sekitar Bidang Kontak Substrate Partikel-Mikro Padat ................................... 2.1.5 Interaksi Adhesi Partikel-Substrate dalam Sebuah Benturan ............... 2.2 Dinamik Gas pada Teknik Semprot Dingin.................................................... 2.2.1 Aliran pada Mulut Semprotan dengan Sebuah Aspek Rasio Besar dan Penampang Lintang Persegi .............................................................. 2.2.2. Pengamatan Pembuangan Jet Udara Supersonik dari Mulut Semprotan 2.2.3. Benturan Jet Supersonik pada Substrate ............................................. 2.2.4. Transfer Panas Antara Bidang Supersonik Jet dan Substrate dalam Kondisi Semprot Dingin ....................................................................
89
192
BAB III TEORI DIFUSI DAN KAITAN DENGAN PROSES CHEMICAL STRENGTHEN PADA KACA ........................................................................................................ 3.1 Cacat Titik pada Kristal ................................................................................. 3.1.1 Logam Murni .................................................................................... 3.1.2 Substitusi Campuran Biner ................................................................ 3.1.3 Senyawan Ionik ................................................................................
203 204 204 215 217
BAB II
89 90 97 111 121 127 156 158 170 178
ix
Daftar Isi
3.1.4 Inter-Logam ...................................................................................... 3.1.5 Semikonduktor ................................................................................. 3.2 Mekanisme Difusi ......................................................................................... 3.2.1 Mekanisme Interstisi ......................................................................... 3.2.2 Mekanisme Kolektif .......................................................................... 3.2.3 Mekanisme Kekosongan ................................................................... 3.2.4 Mekanisme Dwi-Kosong ................................................................... 3.2.5 Mekanisme Interstisitas ..................................................................... 3.2.6 Mekanisme Pertukaran Interstisi- Substitusi ....................................... 3.3. Korelasi dengan Difusi Keadaan Padat .......................................................... 3.3.1 Mekanisme Interstisi ......................................................................... 3.3.2 Mekanisme Interstisitas ..................................................................... 3.3.3 Mekanisme Kosong Difusi-Diri.......................................................... 3.3.4 Faktor Korelasi Difusi Diri ................................................................. 3.3.5 Difusi Terlarut Kekosongan-Termediasi ............................................. 3.3.6 Cacatan Kesimpulan ......................................................................... 3.4. Ketergantungan Difusi Terhadap Suhu dan Tekanan ...................................... 3.4.1 Ketergantungan Suhu ........................................................................ 3.4.2 Ketergantungan Tekanan ................................................................... 3.4.3 Korelasi Antara Sifat-Sifat Difusi dan Bahan Induk .............................
221 222 225 226 227 229 230 231 232 233 235 236 236 243 245 250 252 252 257 265
CONTOH KASUS PENCEMARAN DAN HASIL CS ...............................................
273
Daftar Perpustakaan .........................................................................................................
345
Lampiran A : Korosi pada Permukaan Kaca ........................................................................
347
Lampiran B : Teknik Chemical Strengthen Sekunder ..........................................................
369
Lampiran C : Kebersihan Substrate .....................................................................................
375
Lampiran D : Pengantar polimer konduktif .........................................................................
399
Bab IV
x
Kontaminasi Kontrol dan Teori Difusi