SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM GYŐR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Szén nanoszerkezetek grafén nanolitográfiai szimulációja
Dr. László István, Dr. Zsoldos Ibolya BMGE Elméleti Fizika Tanszék, SZE Anyagtudomány és Technológia Tanszék
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM GYŐR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Motiváció, előzmény: Grafén atomi pontosságú megmunkálás: STM nanolitográfia Forrás: Bíró László Péter: Nanotechnológia csodái http://www.mfa.kfki.hu/int/nano MTA MFA, Nanoszerkezetek Osztály
Tapasztó,Levente; Dobrik,Gergely; Lambin,Philippe; Biró,László,P. Nature Nanotechnology 3, 397(2008)
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Motiváció, előzmény: Grafén atomi pontosságú megmunkálása oxidációs eljárással MTA MFA Nanoszerkezetek Osztály 1. SiO2 hordozóra helyezés 2. Mesterséges hibák létrehozása 3. Lassú, kontrollált oxidáció Forrás:
Nemes-Incze Péter; Magda Gábor; Kamarás Katalin; Biró László Péter: CRYSTALLOGRAPHICALLY SELECTIVE NANOPATTERNING OF GRAPHENE ON SIO 2; Nano Research 3, 110(2010)
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Grafén szabásmintákból szén nanoszerkezetek ?
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Grafén szabásmintákból szén nanoszerkezetek Molekuláris dinamikai szimuláció: • Atomi erők számítása: kvantumkémiai módszerrel • Mozgásegyenletek integrálása: Verlet algoritmussal • Környezeti hőmérséklet figyelembe vétele: Nosé-Hoover termosztáttal
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Grafén szabásmintákból szén nanoszerkezetek Futtatási eredmények
0.0ps
0.0ps
1.6ps
1.9ps
7.0ps
2.3ps
8.3ps
2.7ps
8.6ps
3.1ps
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
8.7ps
3.2ps
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Grafén szabásmintákból szén nanoszerkezetek Futtatási eredmények
0.0ps
0.0ps
45.5ps
0.7ps
57.4ps
2.5ps
62.0ps
7.4ps
67.9ps
11.8ps
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
70.2ps
12.1ps
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Grafén szabásmintákból szén nanoszerkezetek
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Motivációs célunk az eredményekkel: Létezhet olyan módszer, technológia, amellyel fullerének, szén nanocsövek, nanocső elágazások előállítását az eddig ismert eljárásokkal ellentétben TERVEZETT, ELLENŐRZÖTT MÓDON lehet végezni. A grafén alapú nanoáramkörökben a nanoszalagok szélein adódó instabil viselkedés a szén nanocső elágazásokból felépített nanoáramkörök esetében nem jelentkezik. SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Publikációk: I László, I Zsoldos: Graphene-based molecular dynamics nanolithography of fullerenes, nanotubes and other carbon structures, EUROPHYSICS LETTERS 99: (63001) pp. 1-5. (2012) István László, Ibolya Zsoldos: Molecular dynamics simulation of carbon nanostructures: The C60 buckminsterfullerene, PHYSICA STATUS SOLIDI BBASIC SOLID STATE PHYSICS 249: pp. 2616-2619. (2012) I László, I Zsoldos: Molecular dynamics simulation of carbon nanostructures: The D5h C70 fullerene, PHYSICA E - LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS AND NANOSTRUCTURES, (under publishing), DOI: 10.1016/j.physe.2012.08.009
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
SZÉCHENYI ISTVÁN SZÉCHENYI ISTVÁN EGYETEM UNIVERSITÄT GYŐR GYÖR
ANYAGTUDOMÁNYI és TECHNOLÓGIAI TANSZÉK
Köszönöm a figyelmet!
SZE Anyagtudományi és Technológiai Tanszék bemutatása
Mór 2010. júniusa9-10 . Tisztítás utánösszejövetelén, visszamaradó szennyeződés vizsgálatának módszerei „Nanotörzsasztal” 2013. 02. 28-i Budapest, MTA
