PENGARUH SUHU PEMANASAN TERHADAP SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS MnS YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE CHEMICAL BATH DEPOSITION
DHONI SAPUTRA
DEPARTEMEN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM INSTITUT PERTANIAN BOGOR 2006
PENGARUH SUHU PEMANASAN TERHADAP SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS MnS YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE CHEMICAL BATH DEPOSITION
DHONI SAPUTRA
DEPARTEMEN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM INSTITUT PERTANIAN BOGOR 2006
One sighted You'll never understand to be the followers of a truth that never come in a flashing light seek the wrong from right and stuck with one sight close your eyes receive the lies every little child has a chance to live to hope and die and even if we die we don’t know what we want and what to try close your eyes and receive the lies you will never understand we are the eyes you will never understand we are the eyes
Eyeliner, Trancesectional 2006
DHONI SAPUTRA. Pengaruh Suhu Pemanasan Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis MnS Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Chemical Bath Deposition. Pembimbing : Akhiruddin Maddu, M.Si ABSTRAK Mangan Sulfida (MnS) adalah bahan semikonduktor paduan yang telah lama dikenali dan diteliti. Bahan ini terutama digunakan dalam aplikasi optoelektronik. Dalam beberapa tahun terakhir, penelitian terhadap bahan MnS mendapat banyak perhatian, karena bahan ini dapat digunakan untuk pencampuran dengan Zn dan Cd untuk membentuk (Zn, Mn)S dan (Cd, Mn)S yang memiliki sifat magneto optik yang menonjol. MnS merupakan bahan semikonduktor senyawa VII-VI. MnS pada penggunaannya selain berguna untuk perangkat opto-elektronik, perangkat sel surya sebagai material buffer dan juga merupakan komponen terpenting dalam teknologi pembuatan baja. Teknik Chemical Bath Deposition merupakan salah satu dari berbagai macam jenis teknik deposisi yang sudah lazim digunakan dan banyak dipakai untuk mendapatkan semikonduktor yang baik. CBD merupakan teknik dimana lapisan tipis semikonduktor dideposisikan pada substrat yang dicelupkan dalam larutan yang mengandung ion-ion logam dan sumber-sumber ion hidroksida, sulfida, atau selenida [10]. Metode CBD merupakan metode yang sederhana dan murah serta dilakukan pada suhu yang rendah (25°C - 90°C). Dengan metode ini juga berbagai lapisan tipis dapat dibuat. Pada tahun 1991 dilaporkan bahwa lebih dari 35 bahan senyawa yang dapat dibuat dengan metode ini [10]. Sampel MnS-1 MnS-2 MnS-3
A 0.661 0.652 1.273
T (%) 66.68 77.62 73.11
n 2.7 2.8 4.51
Eg (eV) 2.7 2.6 2.5
R (%) 31.09 31.2 51.93
Pengaruh suhu annealing lapisan ternyata sangat mempengaruhi beberapa sifat optik material seperti absorbansi, transmitansi, reflektansi dan indeks bias. Nilai energi celah yang di dapat adalah antara 2.5 – 2.7 eV sedangkan nilai energi celah bahan semikonduktor MnS adalah antara 2.6 – 3.9 eV [3].
PENGARUH SUHU PEMANASAN TERHADAP SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS MnS YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE CHEMICAL BATH DEPOSITION
DHONI SAPUTRA
Skripsi sebagai salah satu syarat untuk memperoleh gelar Sarjana Sains Pada Departemen Fisika
DEPARTEMEN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM INSTITUT PERTANIAN BOGOR 2006
Judul : Pengaruh Suhu Pemanasan Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis MnS Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Chemical Bath Deposition. Nama : Dhoni Saputra NRP : G07400036
Menyetujui, Pembimbing
Akhiruddin Maddu, MSi NIP 132206239 Mengetahui, Dekan Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Institut Pertanian Bogor
Prof. Dr. Ir. Yonny Koesmaryono, MS NIP 131473999
Tanggal Lulus: ..............................
PRAKATA Segala puji dan syukur penulis panjatkan kehadirat Allah SWT (SANG ASA), karena hanya berkat rahmat dan hidayah-Nya sehingga penulis dapat menyeleaikan penulisan laporan penenlitian ini. Laporan penelitian yang berjudul “Pengaruh Suhu pemanasan Terhadap Sifat optik Lapisan Tipis MnS Yang Ditumbuhkan dengan Metode Chemical Bath Deposition” ini disusun sebagai persembahan saya bagi SANG ASA, sebagai sedekah yang semoga bermanfaat bagi dunia dan sebagai pelengkap untuk meraih gelar Sarjana Sains di Departemen Fisika FMIPA IPB. Untuk semua dukungan, semangat dan bantuan, penulis ingin menyampaikan terimakasih sebesar-besarnya kepada: 1. Akhiruddin Maddu, MSi., sebagai pembimbing Tugas Akhir yang telah memberikan bimbingan, saran dan kepercayaan dalam menyelesaikan Tugas Akhir ini. 2. Semua Staf di Departemen Fisika FMIPA IPB terutama Pak Yani, Bu Grace, Pak Maulana, Pak Mus, Pak Firman, Pak Parman, Bu Grace, Pak Toni untuk semua ide , bantuan, arahan, saran dan informasinya. Pak Sulis dan Pak Bambang dari P3IB-BATAN, Serpong atas segala niat baiknya. 3. Ir. Hanedi Darmasetiawan, MS. Atas bimbingan dan bantuannya. Pak Nur Indro, Bang Umar, Pak Irmansyah, Ibu Mersi Kurniati atas dukungan moral dan masukannya. 4. Alm. Mama atas usahanya untuk membesarkan saya dan memberikan dukungan moral yang tiada batas sampai akhir hayatnya. Untuk Papa dan Mama di Batu Ampar atas nasehatnya selama saya kuliah. Keluarga Besar HM.Mansyur, keluarga Besar Alm.Hastimar, keluarga besar Palayu 53, keluarga besar Hasvarani, keluarga besar saya di Paninjauan, Solok. 5. Dhani, Destri, Dhandy, Dina dan Dela atas senyum dan kasih yang kalian berikan kepada kakak. 6. Mee atas sayang, harapan, kebahagiaan dan tawa yang selalu memberikan semangat bagiku. Ini untukmu. 7. MAFIA 37(Ami, Reza, Fahd, Kun, Sofyan, Izzu, Kristin, Ina, Apit, Ifa, Leli, Henny, Ias, Esti, Reni] Ex 37 Bambang dan keponakan-keponakanku dari Ifa n Reni, Schro Catz [Enkz, Cepy, Fati, Rey, Tongkang, Mance, Fuad, Iwan, Ewing, Iqin, Kun, yerri] atas waktu yang kita habiskan bersama dalam suka maupun duka. Ciwaluya 9 [wiwid, kaka, monique, rifky], Walet dan anak-anak Informatika 37 atas waktunya, MAFIA 34, 35, 36, 38 8. Keluarga besar Eyeliner [Subnet6, Fu Kocha and Levi] Blacksmith a.k.a ChePhe dan e|Org Management, all indie movement, britpop culture, dark wave. Semua orang besar yang menginspirasikan saya terutama Nabi Muhammad SAW, Jesús Christ, Siddharta Gautama, Yubal keturunan Adam AS [Bapak semua orang yang memainkan kecapi dan suling] dan Brian Molko. 9. Terima kasih atas semua dukungan dan harapan teman – teman yang tak tersebut kepada saya dan permohonan maaf sebesar-besarnya kepada SANG ASA. Bogor, September 2006 ttd
Penyusun [Konstanta]
RIWAYAT HIDUP Penulis dilahirkan di Jakarta pada tanggal 22 Desember 1982 dari bapak Muhammad Ridho Suryadianil dan ibu Dharma Aini. Penulis merupakan putera pertama dari enam bersaudara. Tahun 2000 penulis lulus dari SMA Negeri 54 Jakarta Timur dan lulus seleksi masuk IPB melalui jalur Ujian Masuk perguruan Tinggi Negeri (UMPTN). Penulis diterima pada program studi Fisika, Departemen Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam. Selama mengikuti perkuliahan, penulis pernah menjadi asisten praktikum mata kuliah Fisika Dasar I dan II serta Fisika Umum tahun 2002-2004. Selain itu penulis juga merupakan vocalist dari sebuah band indie terkenal di Bogor. Disamping itu penulis juga aktif di lembaga kemahasiswaan, diantaranya yaitu sebagai anggota HIMAFI dan Himpunan Mahasiswa Islam (HMI) komisariat FMIPA IPB Bogor.
DAFTAR ISI Halaman PRAKATA.........................................................................................................................................i DAFTAR ISI.................................................................................................................................... ii DAFTAR TABEL........................................................................................................................... iii DAFTAR GAMBAR .......................................................................................................................iv PENDAHULUAN Latar Belakang ...........................................................................................................................1 Tujuan Penelitian .......................................................................................................................1 TINJAUAN PUSTAKA Teori Semikonduktor .................................................................................................................1 Material Mangan Sulfida (MnS) ................................................................................................1 Teknik Chemical Bath Deposition (CBD) .................................................................................2 Sifat Optik Bahan.......................................................................................................................3 Absorbansi ..........................................................................................................................3 Transmitansi .......................................................................................................................3 Indeks Bias..........................................................................................................................3 Reflektansi...........................................................................................................................4 Energi Gap..........................................................................................................................4 BAHAN DAN METODE Waktu dan Tempat Penelitian ....................................................................................................4 Alat dan Bahan...........................................................................................................................4 Metode Penelitian ......................................................................................................................4 Deposisi Lapisan MnS dengan Metode CBD .....................................................................4 Karakterisasi Lapisan MnS ........................................................................................................5 Karakterisasi XRD..............................................................................................................5 Karakterisasi Optik .............................................................................................................5 Diagram Alur Penelitian ............................................................................................................6 HASIL DAN PEMBAHASAN Hasil Deposisi Lapisan MnS......................................................................................................6 Ketebalan Lapisan MnS .............................................................................................................6 Karakterisasi XRD .....................................................................................................................7 Sifat Optik..................................................................................................................................7 Absorbansi ..........................................................................................................................7 Pengaruh Suhu Annealing pada Absorbansi...........................................................7 Transmitansi .......................................................................................................................8 Pengaruh Suhu Annealing pada Transmitansi........................................................8 Absorbansi ..........................................................................................................................7 Pengaruh Suhu Annealing pada Absorbansi...........................................................7 Reflektansi...........................................................................................................................9 Pengaruh Suhu Annealing pada Reflektansi ...........................................................9 Indeks bias ........................................................................................................................10 Energi Gap (Eg) ................................................................................................................11 KESIMPULAN DAN SARAN Kesimpulan ..............................................................................................................................11 Saran ........................................................................................................................................12 DAFTAR PUSTAKA .....................................................................................................................12 LAMPIRAN....................................................................................................................................13
DAFTAR GAMBAR Halaman 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 20. 21.
Struktur Kristal MnS alabandite, zinc blend dan wurtzite .......................................................2 Skema Proses Deposisi ..............................................................................................................2 Pembiasan Berkas Cahaya .........................................................................................................3 Bagan pengaturan alat untuk uji sifat optik................................................................................5 Diagram Alur Kerja Penelitian...................................................................................................6 Kurva XRD MnS .......................................................................................................................7 Kurva Absorbansi vs panjang gelombang dari MnS-1...............................................................7 Kurva Absorbansi vs panjang gelombang dari MnS-2...............................................................8 Kurva Absorbansi vs panjang gelombang dari MnS-3...............................................................8 Kurva Transmitansi vs panjang gelombang dari MnS-1............................................................8 Kurva Transmitansi vs panjang gelombang dari MnS-2............................................................8 Kurva Transmitansi vs panjang gelombang dari MnS-3............................................................9 Kurva Reflektansi vs panjang gelombang dari MnS-1...............................................................9 Kurva Reflektansi vs panjang gelombang dari MnS-2...............................................................9 Kurva Reflektansi vs panjang gelombang dari MnS-3.............................................................10 Kurva indeks Bias vs panjang gelombang dari MnS-1 ............................................................10 Kurva indeks Bias vs panjang gelombang dari MnS-2 ............................................................10 Kurva indeks Bias vs panjang gelombang dari MnS-3 ............................................................10 Kurva Band Gap MnS-1 ..........................................................................................................11 Kurva Band Gap MnS-2 ..........................................................................................................11 Kurva Band Gap MnS-3 ..........................................................................................................11
DAFTAR TABEL Halaman 1. Perlakuan Suhu Annealing Pada Sampel MnS .............................................................................6 2. Nilai Absorbansi Tertinggi Pada Sampel MnS .............................................................................8 3. Nilai Transmitansi (%) Tertinggi Pada Sampel MnS....................................................................9 4. Nilai Reflektansi (%) Tertinggi Pada Sampel MS.........................................................................9 5. Nilai Indeks Bias Tertinggi Pada Sampel MnS...........................................................................10 6. Nilai Band Gap (Ev) Tertinggi Pada Sampel MnS......................................................................11
DAFTAR LAMPIRAN Halaman 1. Data Pengukuran Nilai A dan Perhitungan Nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, Sampel MnS ...13 2. Data Pengukuran Ketebalan Lapisan Tipis MnS dengan Menggunakan Metode Gravimetri .....22 3. Spesifikasi Alat “Ocean Optic USB 2000 Fiber Optic Spectrometer”........................................22 4. Prosedur Pengambilan Data Nilai Absorbansi ............................................................................24 5. Foto Alat-alat yang Digunakan ...................................................................................................26 6. Data Intensitas dan 2θ XRD........................................................................................................26
1
PENDAHULUAN Latar Belakang Dalam beberapa dekade terakhir ini, penelitian mengenai semikonduktor paduan menjadi semakin luas dan melibatkan berbagai disiplin ilmu. Penelitian ini terus berkembang karena adanya kemungkinan terbentuknya material baru yang bersifat optik, magnetik dan sifat lainnya yang baru. Pengkajian akan sifat-sifat ini akan membawa pada perkembangan aplikasi teknologinya. Mangan Sulfida (MnS) adalah bahan semikonduktor paduan yang telah lama dikenali dan diteliti. Bahan ini terutama digunakan dalam aplikasi optoelektronik. Dalam beberapa tahun terakhir, penelitian terhadap bahan MnS mendapat banyak perhatian, karena bahan ini dapat digunakan untuk pencampuran dengan Zn dan Cd untuk membentuk (Zn, Mn)S dan (Cd, Mn)S. Paduan ini memiliki sifat magneto optic yang menonjol. Telah banyak teknik yang dikembangkan dalam pendeposisian lapisan MnS seperti Chemical Bath Deposition (CBD), Chemical Vapour Deposition (CVD), Sputtering, Evaporasi Termal dan lain-lain [1]. Dalam penelitian ini, teknik deposisi lapisan MnS dilakukan dengan metode Chemical Bath Depositon (CBD), karena proses pembuatannya relatif mudah serta murah.
Tujuan Penelitian Menumbuhkan lapisan MnS pada substrat kaca dengan metode Chemical Bath Deposition dan menguji sifat optiknya.
TINJAUAN PUSTAKA Teori Semikonduktor Semikonduktor merupakan bahan padat yang mempunyai pita valensi yang berenergi rendah dan pita konduksi yang berenergi lebih tinggi. Pada suhu nol mutlak, pita valensi terisi penuh oleh elektron dan pita konduksi tidak terisi dengan elektron (kosong), sehingga pada suhu nol mutlak material ini menjadi isolator sempurna. Terjadinya perpindahan elektron dari pita valensi ke pita konduksi diakibatkan
oleh pengaruh suhu dan penyinaran. Tetapi secara alami pada suhu di atas nol mutlak, sebagian elektron telah berada di pita konduksi. Elektron dapat berpindah bila energinya lebih besar atau sama dengan celah energi yang ada di atasnya. Elektron yang berpindah ke pita konduksi akan menjadi elektron bebas dan akan meninggalkan sejumlah kekosongan di pita valensi yang disebut sebagai lubang (hole) yang nantinya akan berekombinasi kembali dengan elektron. Elektron dan hole inilah yang menjadi penghantar arus listrik pada material semikonduktor. Berdasarkan asal muatan pembawa, semikonduktor dibedakan menjadi dua kelompok yaitu semikonduktor instrinsik dan semikonduktor ekstrinsik. Semikonduktor instrinsik hanya terdiri dari sebuah unsur atau senyawa, elektron ataupun hole berasal dari atom itu sendiri. Pada semikonduktor ekstrinsik, elektron maupun hole-nya tidak hanya dari bahan utamanya saja melainkan juga berasal dari atom-atom pengotornya. Pemberian pengotor pada bahan semikonduktor disebut sebagai doping. Dengan adanya doping, bahan semikonduktor mengalami perubahan jumlah pembawa muatan, konduktivitasnya bertambah dan resistansinya menurun. Berdasarkan mayoritas pembawa muatannya semikonduktor digolongkan menjadi semikonduktor tipe-p dan semikonduktor tipe-n. Pada semikonduktor tipe-n atom pengotornya kelebihan elektron (atom donor) sehingga semikonduktor ini bermuatan negatif, sedangkan pada semikonduktor tipe-p atom pengotornya kekurangan elektron (atom akseptor) sehingga semikonduktor ini bermuatan positif dengan pembawa mayoritas adalah hole. Jika disinari, bahan semikonduktor akan mengalami efek fotovoltaik, yaitu penyerapan cahaya sehingga menaikkan energi elektron sehingga tereksitasi ke level energi yang lebih tinggi dan menghasilkan arus listrik.
Material Mangan Sulfida (MnS) MnS merupakan bahan semikonduktor senyawa VII-VI. Mangan Sulfida pada penggunaannya selain berguna untuk perangkat opto-elektronik, perangkat sel surya sebagai material buffer dan juga
2
merupakan komponen terpenting dalam teknologi pembuatan baja. Selain dari keuntungannya sebagai material semikonduktor, MnS juga terkait dalam penelitian dari campuran logam campuran semimagnetik yang mengandung Mn dan S. Pada umumnya, MnS memiliki bentuk amorf dan kristal, pada bentuk amorf material ini tidak memiliki keteraturan pada susunan atom-atomnya. Dalam bentuk kristal, material ini memiliki tiga fase. Fase α-MnS (alabandite) oktahedral dengan struktur rock-salt, struktur tetragonal yaitu β-MnS (zinc-blend type) dan γ-MnS (wurtzite) dengan struktur hexagonal yang dapat dilihat pada Gambar 1. Fase γ-MnS dapat dibentuk pada suhu rendah tetapi akan berubah menjadi α-MnS di atas 200 0C. Fase α-MnS dapat bertahan pada semua suhu [2].
α-MnS
β-MnS
yang berat dan hasilnya sedikit jarang ditemui. Teknik CBD telah menghasilkan lapisan amorf dan nanokristalin (merupakan material yang memiliki ukuran dalam orde nanometer), sedangkan teknik Thermal Evaporation menghasilkan sampel polikristalin yang terdiri dari beberapa kristalit kecil; meskipun struktur tetrahedral atau oktahedral, bergantung pada temperatur substrat [2]. Teknik Chemical Bath Deposition (CBD) CBD merupakan salah satu dari berbagai macam jenis teknik deposisi yang sudah lazim digunakan. CBD merupakan teknik dimana lapisan semikonduktor dideposisikan pada substrat yang dicelupkan dalam larutan yang mengandung ion-ion logam dan sumber-sumber ion hidroksida, dan sulfida [6]. Metode CBD merupakan metode yang sederhana dan murah serta dilakukan pada suhu yang rendah (25°C - 90°C). Dengan metode ini juga berbagai lapisan dapat dibuat. Pada tahun 1991 dilaporkan bahwa lebih dari 35 bahan senyawa yang dapat dibuat dengan metode ini [6]. CBD berasal dari klasifikasi yang sama dengan proses deposisi dari larutan dengan Electroless Deposition (ELD) yang secara luas digunakan untuk deposisi logam dalam artian proses kimia yang tidak melibatkan pertukaran elektron dengan bahan penghantar seperti dalam teknik elektrodeposisi [7]. Keuntungan utama dari penggunaan teknik CBD adalah dapat mendeposisi senyawa-senyawa yang sukar larut.
Substrat Kaca Larutan Kompleks
γ-MnS Gambar 1.
Struktur Kristal MnS alabandite, Blend dan wurtzite
Stirrer
Zinc
Lapisan MnS memiliki pita celah optik dengan rentang antara 2,6 - 3,9 eV [3] dan memiliki hambatan listrik yang berkisar antara 105 sampai 106 Ω.cm dengan konduktivitas listrik bertipe-p [4] yang berpotensial untuk diaplikasikan pada aplikasi optoelektronik seperti solar selective coatings, solar cells, sensors dan photoconductors. Pembuatan lapisan MnS dengan kualitas tinggi telah menjadi tugas
Hot Plate
Gambar 2.
Skema Proses Deposisi
Substrat kaca yang akan dideposisi, dicelupkan secara vertikal ke dalam larutan kompleks. Selama proses deposisi berlangsung, temperatur diatur pada nilai yang diinginkan dan pengaduk (stirrer) terus berputar hingga selesainya proses deposisi.
3
Skema instalasi teknik deposisi diperlihatkan pada Gambar di atas.
Transmitansi (T)
Sifat Optik Bahan
Didefinisikan sebagai rasio antara intensitas cahaya yang ditransmisikan dengan intensitas cahaya yang menuju sampel.[11],[12]
Bila suatu radiasi berinteraksi dengan bahan maka dapat diperoleh informasi tentang karakteristik bahan tersebut. Interaksi antara radiasi dan materi dapat berupa refleksi, refraksi dan difraksi. Selain itu, ketika radiasi berinteraksi dengan bahan maka akan terjadi proses absorbsi, pemendaran (luminenscence), emisi atau penghamburan (scattering), tergantung pada sifat materi. [8]
Dengan melakukan substitusi persamaan (1) dan (4), didapatkan hubungan antara absorbansi dan transmitansi sebagai berikut : [13] A = − log T (5)
Absorbansi (A)
Indeks Bias (n)
Absorbsi meliputi transisi dari tingkat dasar ke tingkat yang lebih tinggi, yakni tingkat tereksitasi. Dengan menelaah frekuensi bahan yang tereksitasi maka dapat diidentifikasi dan dianalisis karakteristik dari sebuah bahan. [9] Pada bahan semikonduktor, kemampuan dalam menyerap radiasi disebut sebagai absorbsitivitas dimana masingmasing bahan semikonduktor memilki nilai absorbsitivitas dengan rentang panjang gelombang yang berbeda-beda. Absorbansi dapat didefinisikan sebagai [6],[10] :
Ketika cahaya melewati medium yang, secara optik, “renggang” menuju medium “rapat”, cahaya akan dibiaskan dengan sudut bias r, (yaitu sudut yang dibentuk antara berkas sinar yang dibiaskan dengan garis yang tegak lurus permukaan) yang lebih kecil dibandingkan sudut datang i, seperti pada Gambar 3.
A = Log
I0 I
T=
I I0
(4)
(1)
Karena untuk lapisan tipis berlaku : Gambar 3.
I0 = eαd I
(2)
maka :
α = 2.303 dengan :
A d α = koefisien absorbsi d = ketebalan lapisan I0 = intensitas cahaya yang menuju sampel (awal) I = intensitas cahaya yang keluar dari sampel.
(3)
Pembiasan berkas cahaya ketika datang dari medium lebih renggang menuju medium lebih rapat. nvac mewakili indeks bias vakum (udara) dan nmed mewakili indeks bias medium. Sedangkan cvac mewakili cepat rambat cahaya di vakum (udara) dan nmed mewakili cepat rambat cahaya di medium
Fenomena ini digunakan untuk mendefinisikan kekuatan pembiasan suatu material dan dikenal sebagai hukum Snellius, [11],[12]
sin i ci ni = = = nmed sin r cr nr
(6)
Indeks bias berhubungan dengan reflektansi, dengan hubungan sebagai berikut {untuk cahaya yang tegak lurus dengan bidang batas}[12], [6]
4
R=
(n − 1)2 (n + 1)2
Alat dan Bahan (7)
Atau dapat dituliskan kembali sebagai berikut
n=
1+ R
(8)
1− R Reflektansi (R)
Didefinisikan sebagai rasio antara intensitas cahaya yang dipantulkan, Ig, dengan intensitas cahaya awal, I0. [11], [12]
R=
Ig
(9)
I0
Reflektansi berhubungan dengan transmitansi dan koefisien absorbsi dengan hubungan sebagai berikut : [12]
1 (1 − R ) α = ln d T
2
(10)
Atau dapat dituliskan kembali sebagai berikut
⎡1 ⎤ R = T exp ⎢ αd ⎥ ⎣2 ⎦
(11)
Energi Gap (Eg) Penentuan nilai energi gap (celah energi) semikonduktor dapat dilakukan dengan membuat grafik hubungan antara (αhυ)2 terhadap hυ berdasarkan persamaan : αhυ = C(hυ – Eg)n/2 dengan :
Bahan-bahan yang digunakan dalam penelitian ini adalah substrat kaca preparat, Larutan 20 ml 1 M MnCl2.4H2O, 20 ml 1 M NH4OH, 15 ml 1 M Thiourea dan 25 ml Akuades. Alat yang digunakan adalah neraca elektronik, gelas ukur, gelas erlenmayer, pengaduk, hot plate, gelas pyrex, penjepit, furnace, sumber cahaya polikromatis, seperangkat komputer, USB 2000 VIS-NIR Spectrophotometer dan Difraktometer Sinar-X (XRD) merk Shimadzu tipe XD610.
(12)
C = konstanta n = bilangan yang bergantung sifat transisi
BAHAN DAN METODE Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2005 sampai dengan Juli 2006, bertempat di Laboratorium Fisika Material, Departemen Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Institut Pertanian Bogor.
Metode Penelitian Deposisi Lapisan MnS dengan metode CBD Pembersihan substrat memainkan peranan yang sangat penting dalam pendeposisian lapisan. Sebelum proses pendeposisian dilangsungkan, substrat dicelupkan ke dalam Ultrasonic Bath yang telah diisi dengan Ethanol 90% selama 30 menit lalu dicelupkan menggunakan akuades lalu dikeringkan Lapisan MnS (Mangan Sulfid) dibuat dengan metode CBD. Proses deposisi ini merupakan deposisi kimia larutan yang mengandung ion-ion Mn2+ dan ion-ion S2-. Sebagai sumber ion Mn2+ adalah larutan MnCl2.4H2O, sedangkan sumber ion S2adalah Thiourea. Pada penelitian-penelitian yang dilakukan oleh peneliti sebelumnya , penumbuhan MnS dilakukan dengan menggunakan bahan Mn(CH3COO)2 sebagai sumber Mn2+ dan Thioacetamide sebagai sumber S2- Dalam penelitian ini, bahan pereaksi tersebut diganti dengan maksud melihat perbedaan hasil lapisan MnS yang didapatkan. Dengan tujuan untuk mendapatkan hasil yang optimum pada deposisi lapisan MnS. Pengaruh konsentrasi dari bahan pereaksi, suhu bath dan waktu deposisi dari penumbuhan dan kualitas lapisan MnS. Penelitian-penelitian sebelumnya telah menyimpulkan bahwa pengaruh konsentrasi ion Mn dan S (<5x10-1 M) menghasilkan bentuk lapisan yang tidak bagus. Maka dari itu, penelitian ini menggunakan konsentrasi 1 M untuk mendapatkan hasil lapisan MnS yang baik.
5
Pembuatan larutan ini dilakukan dengan mencampurkan 1 M MnCl2.4H2O, 1 M NH4OH, 1 M Thiourea (SC(NH2)2) dan Akuades dengan komposisi tertentu ke dalam gelas reaksi yang kemudian ditempatkan di atas Magnetic Stirrer. Setelah larutan berubah warna menjadi putih susu atau kurang lebih 20 menit lalu substrat yang telah dibersihkan dimasukkan secara vertikal ke dalam larutan dan didiamkan selama 12 jam dengan suhu kamar. Setelah itu substrat diangkat dan dikeringkan di udara selama 1 jam. Untuk mendapatkan hasil deposisi lapisan MnS yang maksimal, maka temperatur bath, konsentrasi bahan pereaksi dan suhu pemanasan (annealing) divariasikan. Dalam penelitian ini, konsentrasi bahan pereaksi dibuat tetap 1 M sedangkan yang divariasikan adalah suhu annealing-nya. Temperatur bath merupakan salah satu hal terpenting dalam metode CBD karena dapat mempengaruhi pelepasan ion sulfid dan penguraian ion logam dari complaxtant. Adapun reaksi kimia yang terjadi pada proses deposisi dapat dituliskan sebagai berikut: MLn2+ + SC(NH2)2 + 2OH + 2H2O + nL + CN2H2
MS
(13)
Karakterisasi Lapisan MnS Karakterisasi XRD Karakterisasi X-Ray Diffraction (XRD) dilakukan untuk mengetahui karakteristik kristalografi dari lapisan MnS yang berhasil ditumbuhkan dengan metode CBD, dilakukan karakterisasi dengan menggunakan XRD (X-Ray Diffraction). Pola-pola difraksi berupa puncak-puncak karakteristik dari orientasi kristal MnS dapat dilihat dari rekaman intensitas difraksi sampel terhadap sudut 2θ. Pola-pola difraksi yang diperoleh menggambarkan orientasi penumbuhan kristal yang daripadanya dapat ditentukan struktur kristal dan karakteristikkarakteristik kristal lainnya seperti jarak kisi kristal dan lain sebagainya. Karakterisasi Optik Penelitian sifat optik dilakukan dengan menggunakan alat USB VIS-NIR Spectrophotometer yang terhubung ke
seperangkat komputer. Bagan setting alat ditunjukkan pada Gambar 4.
Gambar 4.
Bagan pengaturan alat untuk uji sifat optik
Prosedur pengambilan data untuk menentukan nilai absorbansi pada software yang digunakan, mengharuskan dilakukannya pengambilan data intensitas referensi (dalam hal ini intensitas cahaya dengan sampel kaca preparat) atau I0. Selain itu, juga mengharuskan pengambilan data intensitas gelap (ID) yaitu intensitas ketika jalur cahaya dari sumber cahaya ke monokromator ditutup dalam keadaan lampu sumber cahaya menyala. Setelah kedua data tersebut diambil, baru bisa dilakukan pengukuran absorbansi dengan meletakkan substrat hasil deposisi ke tempat sampel. Oleh karena itu, perumusan yang digunakan untuk menghitung nilai absorbansi pada persamaan (1) mengalami modifikasi sebagai berikut [14] :
⎛I −I ⎞ A = log⎜⎜ 0 D ⎟⎟ ⎝ I − ID ⎠
(14)
6
Diagram Alur Penelitian
HASIL DAN PEMBAHASAN
Persiapan Bahan
Hasil Deposisi Lapisan MnS
Pembuatan Larutan Deposisi
Deposisi Lapisan MnS dengan temperatur bath 250C
XRD
Annealing 1000C
Karakterisasi Optik
Annealing 2000C
Dalam penelitian ini dibuat 1 sampel suhu bath nya sesuai dengan suhu kamar. Substrat yang digunakan adalah kaca preparat biasa dengan ukuran (2.4 x 2.4) cm yang kemudian dibersihkan dengan menggunakan Ultrasonic Bath yang kemudian dibersihkan dengan menggunakan akuades lalu dikeringkan. Setelah substrat kering maka proses pendeposisian dilakukan memakai metode CBD dengan suhu kamar selama 12 jam. Kemudian substrat di angkat dan dikeringkan selama 1 jam . Selanjutnya lapisan MnS dipanaskan didalam furnace pada temperatur ruang sampai dengan 1000C, 2000C dan 3000C untuk selanjutnya di ambil data optiknya tiap-tiap perlakuan suhu annealing. Sampel
Suhu Bath
MnS-1 MnS-2 MnS-3
Suhu kamar Suhu kamar Suhu kamar
Suhu Annealing 1000C 2000C 3000C
Tabel 1. Perlakuan Suhu Annealing pada Sampel MnS
Ketebalan Lapisan MnS Karakterisasi Optik
Annealing 3000C
Karakterisasi Optik
Analisa Data Gambar 5.
Diagram Alur Kerja Penelitian
Pengukuran ketebalan lapisan tipis MnS ini bertujuan untuk menghitung nilai koefisien absorbsi dari bahan. Ketebalan lapisan MnS yang terdeposisi pada substrat kaca diukur dengan metode gravimetri, yakni dengan cara menimbang substrat kaca yang belum dideposisikan dan dicatat angkanya kemudian ditimbang lagi setelah dideposisikan dengan lapisan. Selisih massanya merupakan massa dari film MnS. Pengambilan data dimulai dari mengukur panjang dan lebar substrat yang akan dipakai, pengambilan data dilakukan dengan 5 kali ulangan dan diambil nilai rataratanya (p = 2.4142 cm dan l = 2.4175 cm), lalu ditimbang massanya (1.37 g), setelah substrat telah terdeposisi, dilakukan penimbangan ulang untuk mengetahui massa substrat + lapisan (1.3702 g), kemudian diambil selisihnya untuk mendapatkan massa dari lapisan yaitu 0.0002 g. dengan menggunakan persamaan (15), maka didapat ketebalan (dalam hal ini tinggi) dari lapisan
7
dengan menggunakan persamaan (16) yaitu sebesar 700 nm. Data pengukuran ketebalan lapisan MnS dengan menggunakan metode gravimetri ditampilkan pada lampiran 2.
ρ= t=
Δm v
(15)
Δm ρ(p × l)
(16) = densitas MnS (4.00 g/cm3)
dengan ; ρ p
= panjang (cm)
l
= lebar (cm)
t
= tinggi atau lapisan (cm)
ketebalan
Δm = massa lapisan (g) = volume lapisan (cm3)
v
Karakterisasi XRD Hasil keluaran dari karakterisasi XRD dapat kita lihat pada Gambar 6. Di sini dapat dilihat bahwa belum ada puncak-puncak yang menonjol, ini mungkin disebabkan karena kristal belum terbentuk sempurna (amorf). Ini sesuai dengan hasil penelitian sebelumnya yang menyatakan bahwa proses deposisi lapisan MnS dengan suhu bath 25 – 30 0C, menghasilkan lapisan MnS amorf [17]. 80 70 Intensitas
60
Absorbansi (A) Nilai absorbansi setiap λ yang terukur ditampilkan pada tabel L1, L2 dan L3 pada lampiran 1. Dari nilai tersebut dapat ditampilkan bentuk kurva hubungan antara absorbansi terhadap panjang gelombang pada Gambar 7, 8, 9. Secara umum, nilai absorbansi menurun untuk panjang gelombang yang lebih besar. Hal ini merupakan karakteristik daerah penyerapan pada sampel. Pengaruh Suhu Annealing pada Absorbansi Untuk mengetahui pengaruh pemanasan pada sifat optik bahan, dilakukan proses annealing. Proses ini dilakukan dengan memvariasikan suhu annealing sebesar 100 0C, 200 0C dan 300 0C. Pengambilan data absorbansi dilakukan tiap kali proses annealing selesai dilakukan. Pada Gambar 7, 8 dan 9 menunjukkan bahwa daerah serapan tertinggi bahan terjadi di daerah panjang gelombang antara 370 – 470 nm yaitu pada spektrum UV, ini menunjukkan karakteristik bahan yang dapat mengabsorbsi panjang gelombang pada daerah tersebut. Pada suhu 100 0C dan 200 0C tidak terlihat perbedaan yang menonjol pada kurva serapannya, tetapi pada suhu 300 0C, terlihat perubahan yang menonjol yaitu pada nilai absorbansi yang tinggi dibandingkan dengan perlakuan suhu lainnya sebesar 1.273. Ini menunjukkan bahwa pada suhu ini, sampel menyerap spektrum sinar UV lebih tinggi.
50 40
Absorbansi
30 1.6
20
1.4
10 0 30
40
50
60
70
2 theta
Gambar 6.
Kurva XRD MnS
Absorbansi
1.2
20
1 0.8 0.6 0.4 0.2
Sifat Optik Sifat optik suatu material semikonduktor dapat diamati dengan menggunakan USB VIS-NIR Spectrophotometer yang terhubung ke seperangkat komputer, yaitu nilai absorbansi. Dari data absorbansi dapat ditentukan nilai reflektansi dan indeks bias sebagai fungsi panjang gelombang yang selanjutnya dapat dipakai untuk menghitung energi gap lapisan semikonduktor..
0 370
470
570
670
770
870
970
λ nm
Gambar 7.
Kurva absorbansi vs gelombang dari MnS-1
panjang
8
Transmitansi (T)
Absorbansi 1.6 1.4
Absorbansi
1.2 1 0.8 0.6 0.4 0.2 0 370
470
570
670
770
870
970
λ nm
Kurva absorbansi vs gelombang dari MnS-2
Gambar 8.
panjang
Pengaruh Suhu Annealing pada Transmitansi Hubungan antara transmitansi terhadap panjang gelombang untuk suhu annealing berbeda diperlihatkan pada Gambar 10, 11 dan 12. Dari Gambar tersebut dapat diamati bahwa sampel yang diberikan suhu annealing akan mengubah nilai % transmitansinya .
Absorbansi 1.6 1.4
absorbansi
1.2 1 0.8 0.6 0.4 0.2 0 370
470
570
Kurva transmitansi sebagai fungsi panjang gelombang (Gambar 10, 11, 12) menunjukkan panjang gelombang yang yang diteruskan oleh bahan semikonduktor. Dari kurva tersebut terlihat bahwa transmitansinya terus meningkat seiring meningkatnya panjang gelombang yang dikenai pada bahan semikonduktor.
670
770
870
970
λ nm
Transmitansi
Gambar 9.
Kurva absorbansi vs gelombang dari MnS-3
panjang
100 90
MnS-1 MnS-2 MnS-3 Tabel 2.
Suhu Bath Suhu kamar Suhu kamar Suhu kamar
Suhu Annealing 100 0C 0
200 C 0
300 C
Nilai Absorbansi Sampel MnS
1.273
60 50 40 30
10 0 370
470
570
670
770
870
970
λ nm
Kurva transmitansi gelombang dari MnS-1
Gambar 10.
Nilai Absorbansi Tertinggi 0.661 0.652
70
20
vs
panjang
Transmitansi 100 90 80 Transmitansi (%)
Sampel
Transmitansi (%)
80
Untuk perlakuan suhu 100 0C, nilai absorbansi tertinggi sampel adalah 0.661 pada panjang gelombang 378 nm, sedangkan pada perlakuan suhu 200 0C, nilai absorbansi tertingginya 0.652 pada panjang 387 nm.dan untuk perlakuan 300 0C, nilai absorbansi tertingginya 1.273 pada panjang gelombang 390 nm.
70 60 50 40 30 20 10
Tertinggi
Pada
Dari Gambar 7, 8 dan 9 dapat diamati bahwa semakin tinggi suhu annealing sampel, panjang gelombang yeng ditempati nilai absorbansi tertingginya berubah dari 378 nm untuk suhu 100 0C, 387 nm untuk suhu 200 0C dan 390 nm untuk suhu 300 0C. Fenomena ini disebabkan oleh semakin rapat dan teraturnya susunan atom-atom MnS yang mengakibatkan nilai absorbansi dari bahan semakin tinggi,
0 370
470
570
670
770
870
970
λ nm
Gambar 11.
Kurva transmitansi gelombang dari MnS-2
vs
panjang
9
Pengaruh Suhu Annealing pada Reflektansi Suhu annealing memberikan pengaruh kepada nilai reflektansi, sebagaimana diperlihatkan Gambar 13, 14 dan 15. Semakin tinggi suhu annealing yang diterima sampel, nilai reflektansi semakin meningkat. Data nilai reflektansi dapat dilihat pada tabel4 di bawah.
Transmitansi 100 90
Transmitansi (%)
80 70 60 50 40 30 20 10 0 370
470
570
670
770
870
970
Sampel
λ nm
Gambar 12.
Kurva transmitansi gelombang dari MnS-3
Sampel
Suhu Bath
MnS-1
Suhu kamar Suhu kamar Suhu kamar
MnS-2 MnS-3 Tabel 3.
Suhu Annealing
vs
Suhu Bath
panjang
MnS-1
100 0C
Nilai Transmitansi Tertinggi 66.68
200 0C
77.62
300 0C
73.11
MnS-2 MnS-3
Suhu kamar Suhu kamar Suhu kamar
Suhu Annealing 100 0C
Nilai Reflektansi Tertinggi 31.09
200 0C
31.2
300 0C
51.93
Nilai Reflektansi (%) Tertinggi Pada Sampel Mns
Tabel 4.
Reflektansi 100
Nilai Transmitansi (%) Tertinggi Pada Sampel MnS
90 80 Reflektansi (%)
70 60 50 40 30 20 10 0 370
470
570
670
770
870
970
λ nm
Kurva reflektansi vs gelombang dari MnS-1
Gambar 13.
panjang
Reflektansi 100 90 80 70 Reflektansi (%)
Karakteristik ketiga perlakuan suhu annealing pada Gambar 10, 11 dan 12 memperlihatkan bahwa nilai transmitansi berbeda untuk panjang gelombang yang sama. Dari kurva transmitansi di atas juga terlihat bahwa sampel mentransmisikan cahaya tampak lebih besar dibandingkan spektrum UV. Di bawah 670 nm, terlihat bahwa ada penurunan % transmitansi sampel yang disebabkan karena pada daerah panjang gelombang ini, sampel mengabsorbsi energi yang mengenainya, fenomena ini konsisten dengan hubungan transmitansi terhadap absorbansi yang kurang lebih berbanding terbalik dengan nilai absorbansinya .
60 50 40 30 20 10
Reflektansi (R)
0 370
470
570
670
770
870
970
λ nm
Nilai reflektansi diperoleh dengan menggunakan hubungan reflektansi, koefisien absorpsi, ketebalan film dan transmitansi pada persamaan (11). Nilai tersebut ditampilkan pada tabel L1, L2 dan L3 lampiran 1. Dengan menyatakan dalam persen, hubungan antara reflektansi terhadap panjang gelombang diperlihatkan pada Gambar 13, 14 dan 15. Secara umum, nilai reflektansi lebih besar untuk panjang gelombang kecil dan semakin menurun terhadap panjang gelombang yang besar. Hal ini merupakan karakteristik daerah pemantulan sampel.
Gambar 14.
Kurva reflektansi vs gelombang dari MnS-2
panjang
10
Sampel
Reflektansi 100
Suhu Bath
Suhu Annealing 100 0C
Nilai Indeks bias Tertinggi 2.7
200 0C
2.8
300 0C
4.51
90 80
MnS-1
Reflektansi (%)
70
Suhu kamar Suhu kamar Suhu kamar
60 50
MnS-2
40 30
MnS-3
20 10
470
570
670
770
870
970
Kurva reflektansi vs gelombang dari MnS-3
Gambar 15.
Nilai Indeks Bias Tertinggi Pada Sampel MnS
Tabel 5.
λ nm
panjang
Indeks bias 6
5 4 Indeks Bias
Karakteristik ketiga perlakuan suhu annealing pada Gambar 13, 14 dan 15 memperlihatkan bahwa nilai reflektansi berbeda untuk panjang gelombang yang sama. Dari kurva transmitansi di atas juga terlihat bahwa sampel merefleksikan daerah panjang gelombang 600 – 970 nm.
Kurva indeks bias pada Gambar 16, untuk sampel MnS-1 berada pada rentang panjang gelombang 450 – 950 nm. Nilai indeks bias tertinggi ada pada panjang gelombang 450 nm dengan nilai 2.7.
Indeks Bias (n)
Nilai indeks bias bisa diperoleh dengan menerapkan hubungan antara reflektansi terhadap indeks bias pada persamaan (8). Hasil perhitungan ditampilkan pada tabel L1, L2 dan L3 lampiran 1. Hasil ini kemudian ditampilkan dalam bentuk kurva hubungan antara indeks bias terhadap panjang gelombang pada Gambar 16, 17 dan 18. Molekul MnS merupakan medium yang lebih rapat bagi cahaya jika dibandingkan dengan udara. Oleh karena itu selalu didapatkan nilai indeks bias yang lebih besar dari 1 yang merupakan konsekuensi hukum snellius. Hal ini bersesuaian dengan hasil yang didapatkan pada semua sampel (semua sampel menunjukkan nilai indeks bias yang lebih besar dari 1), sebagaimana diperlihatkan pada Gambar 16, 17 dan 18.
3
2 1
0 450
500
550
600
650
700
750
800
850
900
950
Kurva indeks bias gelombang dari MnS-2
vs
panjang
λ nm
Gambar 17.
Kurva indeks bias pada Gambar 17, untuk sampel MnS-1 berada pada rentang panjang gelombang 450 – 950 nm. Nilai indeks bias tertinggi ada pada panjang gelombang 450 nm dengan nilai 2.8. Indeks bias 6
5 4 Indeks Bias
0 370
3
2 1
0 450
500
550
600
650
700
750
800
850
900
950
Kurva indeks bias gelombang dari MnS-3
vs
panjang
λ (nm)
Indeks bias 6
Gambar 18.
5
Indeks Bias
4
3
2 1
0 450
500
550
600
650
700
750
800
850
900
950
Kurva indeks bias gelombang dari MnS-1
vs
panjang
λ nm
Gambar 16.
Kurva indeks bias pada Gambar 18, untuk sampel MnS-1 berada pada rentang panjang gelombang 450 – 950 nm. Nilai indeks bias tertinggi ada pada panjang gelombang 450 nm dengan nilai 4.51.
11
Energi Gap (Eg)
Band gap 5E-11
Penentuan nilai band gap (celah energi) semikonduktor dapat dilakukan dengan membuat grafik hubungan antara (αhυ)2 terhadap hυ berdasarkan persamaan : αhυ = C(hυ – Eg)n/2 dengan :
(16)
C = konstanta n = bilangan yang bergantung sifat transisi
4E-11
3E-11
2E-11
1E-11
0 1
1.5
Gambar 20.
2
2.5
3
Kurva Band Gap MnS-2 Band gap
Sampel MnS-1 MnS-2 MnS-3 Tabel 6.
Suhu Bath Suhu kamar Suhu kamar Suhu kamar
Suhu Annealing 100 0C
Nilai Band gap (eV) 2.7
200 0C
2.6
300 0C
2.5
Nilai Band Gap (eV) Tertinggi Pada Sampel MnS
Band gap 5E-11
4E-11
(ahv)
3E-11
2E-10 1.8E-10 1.6E-10 1.4E-10 1.2E-10 (αhv)2
Dalam hal ini, n bernilai 1 yang mengacu pada transisi langsung dari pita valensi ke pita konduksi, kemudian dibuat grafik (αhυ)2 terhadap hυ. Hasil penghitungan ditampilkan pada L1, L2 dan L3 dan dalam bentuk kurva hubungan (αhυ)2 terhadap hυ pada Gambar 19, 20 dan 21. Dengan menarik garis linear pada kurva sehingga berpotongan dengan garis sumbu x maka didapatkan nilai band gap pada titik perpotongan tersebut. Dari semua sampel didapatkan hasil nilai band gap sekitar 2.7 eV untuk sampel MnS-1, 2.6 eV untuk sampel MnS-3 dan 2.5 eV untuk sampel MnS-3. Ini bersesuaian dengan hasil penelitian-penelitian sebelumnya yang mendapatkan band gap MnS dengan rentang 2.6 – 3.9 eV [3].
1E-10 8E-11 6E-11 4E-11 2E-11 0 1
1.5
2
2.5
Gambar 21.
Kurva Band Gap MnS-3
KESIMPULAN DAN SARAN Kesimpulan Lapisan MnS dapat dibuat dari larutan Mn(Cl2).4H2O, thiourea dan ammonia dengan metode Chemical Bath Deposition (CBD). Dalam penelitian ini, lapisan MnS yang dihasilkan amorf, ini sesuai dengan penelitian-penelitian sebelumnya yang menyatakan bahwa penumbuhan lapisan tipis MnS dengan suhu bath 20-30 0C akan menghasilkan lapisan tipis yang berstruktur amorf. Pengaruh suhu annealing lapisan ternyata sangat mempengaruhi beberapa sifat optik material seperti absorbansi, transmitansi, reflektansi dan indeks bias. Dari hasil yang diperoleh, dapat disimpulkan bahwa semakin tinggi perlakuan suhu annealing yang diberikan kepada sampel maka nilai absorbansi sampel akan meningkat dan menurun pada nilai % transmitansinya. Sampel
A
T (%)
n
MnS-1 MnS-2 MnS-3
0.661 0.652 1.273
66.68 77.62 73.11
2.7 2.8 4.51
2E-11
1E-11
0 1
1.5
2
2.5
3
3
hv (eV)
Eg (eV) 2.7 2.6 2.5
R (%) 31.09 31.02 51.93
hv (eV)
Gambar 19.
Kurva Band Gap MnS-1
Nilai energi celah yang di dapat adalah antara 2.5 – 2.7 eV sedangkan nilai energi celah bahan semikonduktor MnS adalah antara 2.6 – 3.9 eV [3].
12
Saran Penelitian ini dapat terus dikembangkan atau dicoba lagi baik dengan metode yang sama maupun dengan metode yang berbeda dengan modifikasi yang lain, karena makin banyak metode yang digunakan makin banyak pula pilihan yang dapat diambil ketika akan dibuat lapisan semikonduktor. Selain itu dengan makin banyaknya metode yang dilakukan, kemungkinan akan didapat sifat-sifat lain yang diperlukan untuk aplikasinya. Untuk penumbuhan lapisan MnS dengan metode CBD, sebaiknya memvariasikan suhu bath pada proses deposisinya dengan maksud mendapatkan hasil lapisan yang baik dan kristal. Selain itu juga bisa digunakan dengan variasi konsentrasi larutan atau perbandingan larutan yang digunakan dan melakukan proses annealing untuk mendapatkan perbandingan data yang lebih baik.
DAFTAR PUSTAKA [1] Dong Bo Fan. et al. 2003. Direct Fabrication Of oriented MnS Thin Films By Chemical Bath Deposition. Surface Review and Letters, Col. 11. No. 1 (2004) 2731.
Thin Films”. Turk J Phy 24(2000), 651 – 659. [7] Khopkar, S. M. 1990. Konsep Dasar Kimia Analitik. Universitas Indonesia Press, Indonesia. [8] J. Lu. et al. 2001. J. Mater. Chem. 13, 2169. [9] Jergel, M. et al. 1997. Thin Solid Films 305 (1997) 157. [10] Nair, P.K. et al, 1983 Semiconductor Thin Film by Chemical Bath Deposition for Solar Related Applications. Journal of Solar Energy Materials and Solar Cells 52 page 313-344 [11] Hecht, Eugene . 2002 . “Optics, Fourth Edition” . Addison Wesley : San Francisco, Amerika Serikat. [12] Hummel, Rolf E. 2001.”Electronic Properties of Materials, Third Edition” . Springer Science+ Bussines Inc: Amerika Serikat. [13] Willard, Hobart H. dkk. 1988. “Instrumental Methods of Analysis, th
7 Edition”. Wadsworth Publshing Company: Belmont, California, Amerika Serikat.
[2] Cullity, B. D. 1978. Element of X-Ray Diffraction. 2nd edition. AddisonWesley Publishing Company. Filipina.
[14] ... 2003. “USB 2000 Fiber Optic Spectrometer Operating Instructions” . Ocean Optic, Inc. : USA.
[3] Nnabuchi, M. N. “Optical and Solid State Characterization of Optimized Manganese Sulphide Thin Films and Their Possible Applications in Solar Energy ”. The Pacific Journal of Science and Technology. Vol. 7. Number 1. May 2006.
[15] Lincot, D. et al. Chemical Deposition of Chalcogenide Thin Films from Solution. Jurnal. Perancis.
[4] Dong Bo Fan. et al. 2003. Photoluminescence of MnS thin film prepared by Chemical Bath Deposition. Physica B 337 (2003) 165-169. [5] David, L. et al, J. Cryst. Growth 251, 591 (2003). [6] Nadeem, M.Y., dan Waqas Ahmed . 1999. “Optikal Properties of ZnS
[16] Lokhande, C. D. et al. 1998a. Thin Solid Films. 330.70. [17] Dong Bo Fan. et al. 2003. Preparation of crystalline MnS thin films by chemical bath deposition. Materials and physics 80 (2003) 44-47.
LAMPIRAN
13
Lampiran 1. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n Tabel L1. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, sampel MnS-1 α
(αhv)2
λ nm
A
hv
n
R(%)
343.37
0.081
2.6649E-07
9.29699E-13
3.618181553
1.542659655
4.554897457
343.75
1.239
4.07631E-06
2.17047E-10
3.614181818
5.994380008
50.98761747
346
1.199
3.94471E-06
2.00624E-10
3.590679191
5.803143979
49.84618051
347.88
1.025
3.37225E-06
1.45039E-10
3.571274577
5.016098444
44.56345264
349.01
0.628
2.06612E-06
5.4093E-11
3.559711756
3.4518871
30.33281059
349.38
0.54
1.7766E-06
3.99106E-11
3.555941954
3.1395053
26.71344184
349.76
0.456
1.50024E-06
2.83979E-11
3.552078568
2.849492664
23.08331794
350.13
0.57
1.8753E-06
4.4278E-11
3.548324908
3.244909946
27.96796616
350.89
0.453
1.49037E-06
2.78453E-11
3.540639517
2.839255911
22.95039676
351.26
0.699
2.29971E-06
6.61598E-11
3.536909981
3.711642213
33.12227541
351.64
1.013
3.33277E-06
1.3865E-10
3.533087817
4.964358753
44.17925434
352.01
0.482
1.58578E-06
3.13243E-11
3.529374166
2.938531256
24.22573838
352.39
0.889
2.92481E-06
1.06329E-10
3.525568262
4.447361204
40.04988126
352.76
0.99
3.2571E-06
1.31586E-10
3.521870393
4.866057482
43.435416
353.14
0.702
2.30958E-06
6.60203E-11
3.518080648
3.722784593
33.2376487
353.51
0.446
1.46734E-06
2.65928E-11
3.514398461
2.815398031
22.63935334
353.89
0.689
2.26681E-06
6.33285E-11
3.51062477
3.674601694
32.73625586
354.26
0.473
1.55617E-06
2.97835E-11
3.506958166
2.90764309
23.83221826
354.64
0.653
2.14837E-06
5.66432E-11
3.503200429
3.54250819
31.32804422
355.01
0.739
2.43131E-06
7.23944E-11
3.499549308
3.861381568
34.64432711
355.39
1.24
4.0796E-06
2.0339E-10
3.495807423
5.999212869
51.01581807
355.76
0.703
2.31287E-06
6.52369E-11
3.492171689
3.72650184
33.27606222
356.14
0.452
1.48708E-06
2.69112E-11
3.488445555
2.835845271
22.90603867
356.51
0.639
2.10231E-06
5.3673E-11
3.48482511
3.491651367
30.77247811
356.88
0.643
2.11547E-06
5.42344E-11
3.481212172
3.506153323
30.93166833
357.26
0.642
2.11218E-06
5.39509E-11
3.477509377
3.502525705
30.89190513
357.63
0.638
2.09902E-06
5.31705E-11
3.473911585
3.488029417
30.73262325
358.01
0.64
2.1056E-06
5.33909E-11
3.470224295
3.495274729
30.81231003
358.38
0.649
2.13521E-06
5.47897E-11
3.466641554
3.527949006
31.16976757
358.76
0.648
2.13192E-06
5.45054E-11
3.462969673
3.524312811
31.13014144
359.13
0.657
2.16153E-06
5.59145E-11
3.459401888
3.55709054
31.48595691
359.51
0.651
2.14179E-06
5.47819E-11
3.45574532
3.535225712
31.24895144
359.88
0.649
2.13521E-06
5.43339E-11
3.452192397
3.527949006
31.16976757
360.25
0.648
2.13192E-06
5.40554E-11
3.448646773
3.524312811
31.13014144
360.63
0.648
2.13192E-06
5.39416E-11
3.445012894
3.524312811
31.13014144
361
0.65
2.1385E-06
5.41638E-11
3.441481994
3.531586638
31.2093709
361.38
0.654
2.15166E-06
5.47173E-11
3.437863191
3.546151599
31.36755648
361.75
0.656
2.15824E-06
5.49399E-11
3.434346925
3.553442772
31.44651281
362.13
0.655
2.15495E-06
5.46576E-11
3.430743103
3.549796459
31.407046
362.5
0.654
2.15166E-06
5.43797E-11
3.427241379
3.546151599
31.36755648
362.87
0.657
2.16153E-06
5.47679E-11
3.423746796
3.55709054
31.48595691
363.25
0.655
2.15495E-06
5.43211E-11
3.420165175
3.549796459
31.407046
363.62
0.658
2.16482E-06
5.47083E-11
3.416685001
3.560739765
31.52537831
363.99
0.658
2.16482E-06
5.45972E-11
3.413211901
3.560739765
31.52537831
364.37
0.659
2.16811E-06
5.46491E-11
3.409652277
3.564390451
31.56477703
14
364.74
0.654
2.15166E-06
5.37138E-11
3.406193453
3.546151599
31.36755648
365.12
0.661
2.17469E-06
5.47556E-11
3.402648444
3.571696211
31.64350647
365.49
0.656
2.15824E-06
5.38213E-11
3.399203809
3.553442772
31.44651281
365.86
0.66
2.1714E-06
5.43695E-11
3.39576614
3.568042599
31.60415308
366.24
0.66
2.1714E-06
5.42567E-11
3.392242792
3.568042599
31.60415308
366.61
0.663
2.18127E-06
5.46406E-11
3.388819181
3.579007841
31.72214534
366.98
0.66
2.1714E-06
5.40381E-11
3.385402474
3.568042599
31.60415308
367.36
0.658
2.16482E-06
5.36001E-11
3.381900588
3.560739765
31.52537831
367.73
0.659
2.16811E-06
5.3655E-11
3.378497811
3.564390451
31.56477703
368.1
0.658
2.16482E-06
5.33848E-11
3.375101874
3.560739765
31.52537831
368.48
0.663
2.18127E-06
5.40874E-11
3.371621255
3.579007841
31.72214534
368.85
0.664
2.18456E-06
5.41419E-11
3.368239122
3.582665862
31.76143085
369.22
0.664
2.18456E-06
5.40335E-11
3.364863767
3.582665862
31.76143085
369.6
0.664
2.18456E-06
5.39224E-11
3.361404221
3.582665862
31.76143085
369.97
0.662
2.17798E-06
5.34909E-11
3.358042544
3.575351291
31.68283722
370.34
0.66
2.1714E-06
5.3062E-11
3.354687584
3.568042599
31.60415308
370.72
0.658
2.16482E-06
5.26329E-11
3.351248921
3.560739765
31.52537831
371.09
0.661
2.17469E-06
5.3008E-11
3.347907516
3.571696211
31.64350647
371.46
0.659
2.16811E-06
5.25828E-11
3.344572767
3.564390451
31.56477703
371.84
0.663
2.18127E-06
5.31144E-11
3.341154798
3.579007841
31.72214534
372.21
0.664
2.18456E-06
5.31689E-11
3.337833481
3.582665862
31.76143085
372.58
0.666
2.19114E-06
5.33834E-11
3.334518761
3.58998633
31.83993406
372.95
0.665
2.18785E-06
5.31177E-11
3.331210618
3.586325358
31.80069375
373.33
0.666
2.19114E-06
5.31692E-11
3.327819891
3.58998633
31.83993406
373.7
0.664
2.18456E-06
5.27457E-11
3.32452502
3.582665862
31.76143085
374.07
0.664
2.18456E-06
5.26414E-11
3.321236667
3.582665862
31.76143085
374.45
0.665
2.18785E-06
5.2693E-11
3.317866204
3.586325358
31.80069375
374.82
0.664
2.18456E-06
5.2431E-11
3.314591004
3.582665862
31.76143085
375.19
0.664
2.18456E-06
5.23276E-11
3.311322263
3.582665862
31.76143085
375.56
0.661
2.17469E-06
5.17537E-11
3.308059964
3.571696211
31.64350647
375.94
0.658
2.16482E-06
5.11814E-11
3.304716178
3.560739765
31.52537831
376.31
0.657
2.16153E-06
5.09256E-11
3.301466876
3.55709054
31.48595691
376.68
0.66
2.1714E-06
5.12909E-11
3.298223957
3.568042599
31.60415308
377.05
0.662
2.17798E-06
5.1501E-11
3.294987402
3.575351291
31.68283722
377.43
0.662
2.17798E-06
5.13973E-11
3.291669979
3.575351291
31.68283722
377.8
0.661
2.17469E-06
5.11418E-11
3.288446268
3.571696211
31.64350647
378.17
0.661
2.17469E-06
5.10418E-11
3.285228865
3.571696211
31.64350647
378.54
0.66
2.1714E-06
5.0788E-11
3.282017752
3.568042599
31.60415308
378.91
0.661
2.17469E-06
5.08426E-11
3.278812911
3.571696211
31.64350647
379.29
0.662
2.17798E-06
5.08944E-11
3.27552796
3.575351291
31.68283722
379.66
0.661
2.17469E-06
5.0642E-11
3.272335774
3.571696211
31.64350647
380.03
0.66
2.1714E-06
5.03906E-11
3.269149804
3.568042599
31.60415308
380.4
0.659
2.16811E-06
5.01403E-11
3.265970032
3.564390451
31.56477703
380.77
0.658
2.16482E-06
4.98912E-11
3.262796439
3.560739765
31.52537831
381.15
0.658
2.16482E-06
4.97917E-11
3.259543487
3.560739765
31.52537831
381.52
0.659
2.16811E-06
4.98464E-11
3.256382365
3.564390451
31.56477703
381.89
0.657
2.16153E-06
4.94483E-11
3.253227369
3.55709054
31.48595691
382.26
0.66
2.1714E-06
4.98044E-11
3.250078481
3.568042599
31.60415308
382.63
0.659
2.16811E-06
4.95576E-11
3.246935682
3.564390451
31.56477703
383.01
0.659
2.16811E-06
4.94593E-11
3.243714263
3.564390451
31.56477703
15
383.38
0.656
2.15824E-06
4.89154E-11
3.240583755
3.553442772
31.44651281
383.75
0.655
2.15495E-06
4.86724E-11
3.237459283
3.549796459
31.407046
384.12
0.653
2.14837E-06
4.82825E-11
3.234340831
3.54250819
31.32804422
384.49
0.65
2.1385E-06
4.77478E-11
3.23122838
3.531586638
31.2093709
384.86
0.651
2.14179E-06
4.78028E-11
3.228121914
3.535225712
31.24895144
385.23
0.651
2.14179E-06
4.77111E-11
3.225021416
3.535225712
31.24895144
385.61
0.649
2.13521E-06
4.73249E-11
3.221843313
3.527949006
31.16976757
385.98
0.647
2.12863E-06
4.69436E-11
3.218754858
3.520678052
31.0904925
386.35
0.647
2.12863E-06
4.68537E-11
3.215672318
3.520678052
31.0904925
386.72
0.645
2.12205E-06
4.64754E-11
3.212595676
3.513412831
31.01112612
387.09
0.643
2.11547E-06
4.60994E-11
3.209524917
3.506153323
30.93166833
387.46
0.643
2.11547E-06
4.60114E-11
3.206460022
3.506153323
30.93166833
387.83
0.639
2.10231E-06
4.53541E-11
3.203400975
3.491651367
30.77247811
388.21
0.638
2.09902E-06
4.51237E-11
3.20026532
3.488029417
30.73262325
388.58
0.637
2.09573E-06
4.48968E-11
3.197218076
3.484408878
30.69274546
388.95
0.635
2.08915E-06
4.45305E-11
3.194176629
3.477172023
30.61292098
389.32
0.633
2.08257E-06
4.41663E-11
3.191140964
3.469940781
30.53300456
389.69
0.631
2.07599E-06
4.38044E-11
3.188111063
3.462715132
30.4529961
390.06
0.63
2.0727E-06
4.35828E-11
3.18508691
3.459104398
30.41295731
390.43
0.63
2.0727E-06
4.35003E-11
3.182068489
3.459104398
30.41295731
390.8
0.629
2.06941E-06
4.32802E-11
3.179055783
3.455495055
30.37289548
391.17
0.626
2.05954E-06
4.27873E-11
3.176048777
3.444675343
30.25257155
391.54
0.625
2.05625E-06
4.25701E-11
3.173047454
3.441071536
30.21241739
391.91
0.623
2.04967E-06
4.22183E-11
3.170051798
3.433868054
30.13203969
392.28
0.621
2.04309E-06
4.18686E-11
3.167061793
3.426670061
30.05156942
392.66
0.621
2.04309E-06
4.17876E-11
3.163996842
3.426670061
30.05156942
393.03
0.618
2.03322E-06
4.13069E-11
3.161018243
3.415883322
29.9306902
393.4
0.616
2.02664E-06
4.09628E-11
3.158045247
3.408698963
29.84998802
393.77
0.615
2.02335E-06
4.07532E-11
3.155077837
3.405108817
29.80960208
394.14
0.614
2.02006E-06
4.05446E-11
3.152115999
3.401520022
29.76919289
394.51
0.612
2.01348E-06
4.02054E-11
3.149159717
3.394346477
29.68830471
394.88
0.61
2.0069E-06
3.98682E-11
3.146208975
3.387178307
29.60732337
395.25
0.608
2.00032E-06
3.95331E-11
3.143263757
3.380015489
29.52624876
395.62
0.607
1.99703E-06
3.93295E-11
3.140324048
3.376436081
29.48567644
395.99
0.606
1.99374E-06
3.91268E-11
3.137389833
3.372858004
29.44508076
396.36
0.605
1.99045E-06
3.8925E-11
3.134461096
3.369281254
29.40446172
396.73
0.603
1.98387E-06
3.8596E-11
3.131537822
3.362131726
29.32315346
397.1
0.601
1.97729E-06
3.82689E-11
3.128619995
3.354987476
29.24175155
397.47
0.599
1.97071E-06
3.79439E-11
3.125707601
3.347848482
29.16025589
397.84
0.597
1.96413E-06
3.76209E-11
3.122800623
3.340714722
29.07866637
398.21
0.597
1.96413E-06
3.7551E-11
3.119899048
3.340714722
29.07866637
398.58
0.596
1.96084E-06
3.73559E-11
3.11700286
3.337149798
29.03783638
398.95
0.594
1.95426E-06
3.70368E-11
3.114112044
3.330023848
28.95610586
399.32
0.591
1.94439E-06
3.65957E-11
3.111226585
3.319344627
28.83333355
399.69
0.59
1.9411E-06
3.64045E-11
3.108346469
3.315787463
28.79236231
400.06
0.588
1.93452E-06
3.60912E-11
3.105471679
3.308676983
28.71034907
400.43
0.586
1.92794E-06
3.57799E-11
3.102602203
3.301571614
28.62824137
400.8
0.584
1.92136E-06
3.54705E-11
3.099738024
3.294471335
28.5460391
16
Tabel L2. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, sampel MnS-2 λ nm
A
340.74
0.131
4.3099E-07
α
2.46941E-12
(αhv)^2
3.64610847
hv
1.7378066
n
R(%)
341.11
0.331
1.08899E-06
1.57313E-11
3.64215356
2.42749184
17.345803
341.87
0.698
2.29642E-06
6.96444E-11
3.63405681
3.7079312
33.0837734 8.79740245
7.26238956
342.62
0.16
5.264E-07
3.64344E-12
3.6261018
1.84334918
344.5
0.061
2.0069E-07
5.23816E-13
3.6063135
1.45621473
3.44989555
344.88
0.158
5.1982E-07
3.50651E-12
3.60233994
1.83618783
8.69236006
345.63
0.116
3.8164E-07
1.88187E-12
3.59452304
1.68143959
6.45830707
348.63
1.457
4.79353E-06
2.91801E-10
3.56359177
7.11157011
56.7669739
349.01
1.191
3.91839E-06
1.94556E-10
3.55971176
5.76537785
49.6147228
349.38
0.154
5.0666E-07
3.24596E-12
3.55594195
1.82181863
8.48191218
349.76
0.341
1.12189E-06
1.58806E-11
3.55207857
2.46104088
17.8201468
350.13
0.202
6.6458E-07
5.56085E-12
3.54832491
1.9908523
10.9755909
350.51
0.634
2.08586E-06
5.46607E-11
3.54447805
3.4735557
30.5729743
350.89
0.425
1.39825E-06
2.45094E-11
3.54063952
2.74404439
21.6986688
351.26
0.457
1.50353E-06
2.82795E-11
3.53690998
2.85290654
23.127574
351.64
0.254
8.3566E-07
8.71702E-12
3.53308782
2.16850748
13.6004576
352.01
0.166
5.4614E-07
3.71538E-12
3.52937417
1.86474535
9.11180514
352.39
0.892
2.93468E-06
1.07048E-10
3.52556826
4.45950383
40.1533035
352.76
0.306
1.00674E-06
1.25713E-11
3.52187039
2.34361427
16.1479307
353.14
0.404
1.32916E-06
2.18658E-11
3.51808065
2.67298506
20.7465459
353.51
0.82
2.6978E-06
8.98921E-11
3.51439846
4.17278821
37.621211
353.89
0.335
1.10215E-06
1.4971E-11
3.51062477
2.44091054
17.5358682
354.26
0.453
1.49037E-06
2.7318E-11
3.50695817
2.83925591
22.9503968
354.64
0.562
1.84898E-06
4.1956E-11
3.50320043
3.21669754
27.6355414
355.01
0.65
2.1385E-06
5.60071E-11
3.49954931
3.53158664
31.2093709
355.39
0.57
1.8753E-06
4.2977E-11
3.49580742
3.24490995
27.9679662
355.76
0.208
6.8432E-07
5.71097E-12
3.49217169
2.01156789
11.2824847
356.14
0.633
2.08257E-06
5.27792E-11
3.48844556
3.46994078
30.5330046
356.51
0.678
2.23062E-06
6.04245E-11
3.48482511
3.63403405
32.3090604
356.88
0.56
1.8424E-06
4.11366E-11
3.48121217
3.20965652
27.5521958
357.26
0.564
1.85556E-06
4.16377E-11
3.47750938
3.22374337
27.7187912
357.63
0.568
1.86872E-06
4.21431E-11
3.47391158
3.23784955
27.8850034
358.01
0.568
1.86872E-06
4.20536E-11
3.4702243
3.23784955
27.8850034
358.38
0.572
1.88188E-06
4.256E-11
3.46664155
3.25197525
28.0508335
358.76
0.569
1.87201E-06
4.20256E-11
3.46296967
3.24137914
27.9264967
359.13
0.565
1.85885E-06
4.13514E-11
3.45940189
3.2272681
27.7603801
359.51
0.564
1.85556E-06
4.11181E-11
3.45574532
3.22374337
27.7187912
359.88
0.565
1.85885E-06
4.11793E-11
3.4521924
3.2272681
27.7603801
360.25
0.566
1.86214E-06
4.12403E-11
3.44864677
3.23079403
27.8019451
360.63
0.564
1.85556E-06
4.08631E-11
3.44501289
3.22374337
27.7187912
361
0.576
1.89504E-06
4.25332E-11
3.44148199
3.26612065
28.2162822
361.38
0.579
1.90491E-06
4.2887E-11
3.43786319
3.27674275
28.340119
361.75
0.59
1.9411E-06
4.4441E-11
3.43434692
3.31578746
28.7923623
362.13
0.589
1.93781E-06
4.41976E-11
3.4307431
3.31223158
28.7513675 28.7103491
362.5
0.588
1.93452E-06
4.39578E-11
3.42724138
3.30867698
362.87
0.588
1.93452E-06
4.38682E-11
3.4237468
3.30867698
28.7103491
363.25
0.597
1.96413E-06
4.51268E-11
3.42016518
3.34071472
29.0786664
17
363.62
0.604
1.98716E-06
4.60973E-11
3.416685
3.36570583
29.3638193
363.99
0.603
1.98387E-06
4.58514E-11
3.4132119
3.36213173
29.3231535
364.37
0.603
1.98387E-06
4.57558E-11
3.40965228
3.36213173
29.3231535
364.74
0.604
1.98716E-06
4.58146E-11
3.40619345
3.36570583
29.3638193
365.12
0.605
1.99045E-06
4.58708E-11
3.40264844
3.36928125
29.4044617
365.49
0.611
2.01019E-06
4.66905E-11
3.39920381
3.39076172
29.6478257
365.86
0.61
2.0069E-06
4.64437E-11
3.39576614
3.38717831
29.6073234
366.24
0.615
2.02335E-06
4.71103E-11
3.39224279
3.40510882
29.8096021
366.61
0.616
2.02664E-06
4.71683E-11
3.38881918
3.40869896
29.849988
366.98
0.615
2.02335E-06
4.69205E-11
3.38540247
3.40510882
29.8096021
367.36
0.627
2.06283E-06
4.86686E-11
3.38190059
3.44828053
30.2927026
367.73
0.626
2.05954E-06
4.84159E-11
3.37849781
3.44467534
30.2525716
368.1
0.628
2.06612E-06
4.86278E-11
3.37510187
3.4518871
30.3328106
368.48
0.627
2.06283E-06
4.83732E-11
3.37162125
3.44828053
30.2927026
368.85
0.628
2.06612E-06
4.84303E-11
3.36823912
3.4518871
30.3328106
369.22
0.628
2.06612E-06
4.83333E-11
3.36486377
3.4518871
30.3328106
369.6
0.627
2.06283E-06
4.80804E-11
3.36140422
3.44828053
30.2927026
369.97
0.627
2.06283E-06
4.79843E-11
3.35804254
3.44828053
30.2927026
370.34
0.632
2.07928E-06
4.86553E-11
3.35468758
3.46632726
30.4930118
370.72
0.631
2.07599E-06
4.84021E-11
3.35124892
3.46271513
30.4529961
371.09
0.636
2.09244E-06
4.90742E-11
3.34790752
3.48078975
30.6528447
371.46
0.64
2.1056E-06
4.95944E-11
3.34457277
3.49527473
30.81231
371.84
0.644
2.11876E-06
5.01137E-11
3.3411548
3.50978236
30.9714087
372.21
0.645
2.12205E-06
5.01696E-11
3.33783348
3.51341283
31.0111261
372.58
0.646
2.12534E-06
5.02254E-11
3.33451876
3.51704473
31.0508207
372.95
0.649
2.13521E-06
5.05924E-11
3.33121062
3.52794901
31.1697676
373.33
0.649
2.13521E-06
5.04895E-11
3.32781989
3.52794901
31.1697676
373.7
0.648
2.13192E-06
5.02344E-11
3.32452502
3.52431281
31.1301414
374.07
0.648
2.13192E-06
5.01351E-11
3.32123667
3.52431281
31.1301414
374.45
0.646
2.12534E-06
4.9725E-11
3.3178662
3.51704473
31.0508207
374.82
0.642
2.11218E-06
4.90142E-11
3.314591
3.50252571
30.8919051
375.19
0.645
2.12205E-06
4.93758E-11
3.31132226
3.51341283
31.0111261
375.56
0.646
2.12534E-06
4.94315E-11
3.30805996
3.51704473
31.0508207
375.94
0.652
2.14508E-06
5.02522E-11
3.30471618
3.53886623
31.2885092
376.31
0.651
2.14179E-06
4.99997E-11
3.30146688
3.53522571
31.2489514
376.68
0.65
2.1385E-06
4.97484E-11
3.29822396
3.53158664
31.2093709
377.05
0.651
2.14179E-06
4.98037E-11
3.2949874
3.53522571
31.2489514
377.43
0.653
2.14837E-06
5.00093E-11
3.29166998
3.54250819
31.3280442
377.8
0.652
2.14508E-06
4.97586E-11
3.28844627
3.53886623
31.2885092
378.17
0.652
2.14508E-06
4.96613E-11
3.28522887
3.53886623
31.2885092
378.54
0.653
2.14837E-06
4.97164E-11
3.28201775
3.54250819
31.3280442
378.91
0.65
2.1385E-06
4.91645E-11
3.27881291
3.53158664
31.2093709
379.29
0.655
2.15495E-06
4.98238E-11
3.27552796
3.54979646
31.407046
379.66
0.651
2.14179E-06
4.91213E-11
3.27233577
3.53522571
31.2489514
380.03
0.651
2.14179E-06
4.90257E-11
3.2691498
3.53522571
31.2489514
380.4
0.649
2.13521E-06
4.86301E-11
3.26597003
3.52794901
31.1697676
380.77
0.649
2.13521E-06
4.85357E-11
3.26279644
3.52794901
31.1697676
381.15
0.648
2.13192E-06
4.82898E-11
3.25954349
3.52431281
31.1301414
381.52
0.651
2.14179E-06
4.86435E-11
3.25638237
3.53522571
31.2489514
381.89
0.653
2.14837E-06
4.8848E-11
3.25322737
3.54250819
31.3280442
18
382.26
0.654
2.15166E-06
4.89029E-11
3.25007848
3.5461516
31.3675565
382.63
0.654
2.15166E-06
4.88084E-11
383.01
0.655
2.15495E-06
4.88607E-11
3.24693568
3.5461516
31.3675565
3.24371426
3.54979646
383.38
0.656
2.15824E-06
31.407046
4.89154E-11
3.24058376
3.55344277
31.4465128
383.75
0.655
384.12
0.655
2.15495E-06
4.86724E-11
3.23745928
3.54979646
31.407046
2.15495E-06
4.85787E-11
3.23434083
3.54979646
384.49
31.407046
0.654
2.15166E-06
4.83373E-11
3.23122838
3.5461516
31.3675565
384.86
0.653
2.14837E-06
4.8097E-11
3.22812191
3.54250819
31.3280442
385.23
0.653
2.14837E-06
4.80047E-11
3.22502142
3.54250819
31.3280442
385.61
0.653
2.14837E-06
4.79101E-11
3.22184331
3.54250819
31.3280442
385.98
0.652
2.14508E-06
4.76719E-11
3.21875486
3.53886623
31.2885092
386.35
0.652
2.14508E-06
4.75807E-11
3.21567232
3.53886623
31.2885092
386.72
0.652
2.14508E-06
4.74897E-11
3.21259568
3.53886623
31.2885092
387.09
0.653
2.14837E-06
4.75444E-11
3.20952492
3.54250819
31.3280442
387.46
0.652
2.14508E-06
4.73084E-11
3.20646002
3.53886623
31.2885092
387.83
0.651
2.14179E-06
4.70735E-11
3.20340097
3.53522571
31.2489514
388.21
0.649
2.13521E-06
4.66931E-11
3.20026532
3.52794901
31.1697676
388.58
0.65
2.1385E-06
4.6748E-11
3.19721808
3.53158664
31.2093709
388.95
0.648
2.13192E-06
4.63724E-11
3.19417663
3.52431281
31.1301414
389.32
0.646
2.12534E-06
4.5999E-11
3.19114096
3.51704473
31.0508207
389.69
0.645
2.12205E-06
4.57697E-11
3.18811106
3.51341283
31.0111261
390.06
0.641
2.10889E-06
4.51181E-11
3.18508691
3.49889951
30.852119
390.43
0.642
2.11218E-06
4.51732E-11
3.18206849
3.50252571
30.8919051
390.8
0.641
2.10889E-06
4.49474E-11
3.17905578
3.49889951
30.852119
391.17
0.641
2.10889E-06
4.48624E-11
3.17604878
3.49889951
30.852119
391.54
0.641
2.10889E-06
4.47776E-11
3.17304745
3.49889951
30.852119
391.91
0.639
2.10231E-06
4.44146E-11
3.1700518
3.49165137
30.7724781
392.28
0.638
2.09902E-06
4.41923E-11
3.16706179
3.48802942
30.7326233
392.66
0.637
2.09573E-06
4.39686E-11
3.16399684
3.48440888
30.6927455
393.03
0.635
2.08915E-06
4.36107E-11
3.16101824
3.47717202
30.612921
393.4
0.635
2.08915E-06
4.35287E-11
3.15804525
3.47717202
30.612921
393.77
0.633
2.08257E-06
4.31737E-11
3.15507784
3.46994078
30.5330046
394.14
0.631
2.07599E-06
4.28208E-11
3.152116
3.46271513
30.4529961
394.51
0.631
2.07599E-06
4.27405E-11
3.14915972
3.46271513
30.4529961
394.88
0.63
2.0727E-06
4.25254E-11
3.14620897
3.4591044
30.4129573
395.25
0.629
2.06941E-06
4.23111E-11
3.14326376
3.45549505
30.3728955
395.62
0.626
2.05954E-06
4.18301E-11
3.14032405
3.44467534
30.2525716
395.99
0.624
2.05296E-06
4.14857E-11
3.13738983
3.43746911
30.1722401
396.36
0.623
2.04967E-06
4.12756E-11
3.1344611
3.43386805
30.1320397 30.0918161
396.73
0.622
2.04638E-06
4.10665E-11
3.13153782
3.43026837
397.1
0.622
2.04638E-06
4.099E-11
3.12861999
3.43026837
30.0918161
397.47
0.621
2.04309E-06
4.07823E-11
3.1257076
3.42667006
30.0515694
397.84
0.619
2.03651E-06
4.04447E-11
3.12280062
3.41947754
29.9710065
398.21
0.618
2.03322E-06
4.02392E-11
3.11989905
3.41588332
29.9306902
398.58
0.615
2.02335E-06
3.97756E-11
3.11700286
3.40510882
29.8096021
398.95
0.614
2.02006E-06
3.95728E-11
3.11411204
3.40152002
29.7691929
399.32
0.613
2.01677E-06
3.9371E-11
3.11122659
3.39793258
29.7287604
399.69
0.614
2.02006E-06
3.94264E-11
3.10834647
3.40152002
29.7691929
400.06
0.613
2.01677E-06
3.92254E-11
3.10547168
3.39793258
29.7287604
400.8
0.61
2.0069E-06
3.86992E-11
3.09973802
3.38717831
29.6073234
19
Tabel L3. Data pengukuran nilai A dan perhitungan nilai T(%), α, (αhv)2, hv, R(%), n, sampel MnS-3 λ nm 340.74
A
α
0.596
1.96084E-06
(αhv)^2
hv
n
R(%)
5.11144E-11
3.64610847
3.337149798
35.0567848
341.11
0.75
2.4675E-06
8.07664E-11
3.64215356
3.903014725
13.5009471
341.87
0.252
8.2908E-07
9.07771E-12
3.63405681
2.161737163
-23.946194
342.24
-0.373
-1.22717E-06
1.98451E-11
3.63012798
#NUM!
1.99424545
342.62
0.035
1.1515E-07
1.74344E-13
3.6261018
1.328879076
-6.7812166
342.99
-0.114
-3.7506E-07
1.84563E-12
3.62219015
#NUM!
27.8434862
344.88
0.567
1.86543E-06
4.51572E-11
3.60233994
3.234321182
-37.317276
345.25
-0.551
-1.81279E-06
4.25533E-11
3.59847936
#NUM!
-14.746443
347.13
-0.239
-7.8631E-07
7.9197E-12
3.57899058
#NUM!
12.146284
349.38
0.225
7.4025E-07
6.92893E-12
3.55594195
2.069910426
31.4465128
350.13
0.656
2.15824E-06
5.86471E-11
3.54832491
3.553442772
38.6184006
350.89
0.848
2.78992E-06
9.75769E-11
3.54063952
4.283137175
23.6127136
351.26
0.468
1.53972E-06
2.96573E-11
3.53690998
2.89051429
20.700919
351.64
0.403
1.32587E-06
2.19437E-11
3.53308782
2.669607787
91.1957941
352.39
4.222
1.38904E-05
2.39821E-09
3.52556826
43.40979468
55.8110255
352.76
1.419
4.66851E-06
2.70336E-10
3.52187039
6.907256462
32.9681341
353.14
0.695
2.28655E-06
6.47102E-11
3.51808065
3.696807468
39.8078672
353.51
0.882
2.90178E-06
1.03999E-10
3.51439846
4.419096096
23.7005913
353.89
0.47
1.5463E-06
2.94684E-11
3.51062477
2.897363177
39.1110014
354.26
0.862
2.83598E-06
9.89162E-11
3.50695817
4.338855719
41.3130264
354.64
0.926
3.04654E-06
1.13905E-10
3.50320043
4.598353432
27.510487
355.39
0.559
1.83911E-06
4.13343E-11
3.49580742
3.206137805
27.1759511
355.76
0.551
1.81279E-06
4.00762E-11
3.49217169
3.178030762
41.9846902
356.14
0.946
3.11234E-06
1.17879E-10
3.48844556
4.681107103
44.4996037
356.88
1.023
3.36567E-06
1.37279E-10
3.48121217
5.007453441
44.6272281
357.26
1.027
3.37883E-06
1.3806E-10
3.47750938
5.024752169
44.2755528
357.63
1.016
3.34264E-06
1.34839E-10
3.47391158
4.977264407
44.8815972
358.01
1.035
3.40515E-06
1.39633E-10
3.4702243
5.059454567
43.7600342
358.38
1
0.00000329
1.3008E-10
3.46664155
4.908658197
44.5634526
358.76
1.025
3.37225E-06
1.36376E-10
3.46296967
5.016098444
44.5634526
359.13
1.025
3.37225E-06
1.36095E-10
3.45940189
5.016098444
44.7227538
359.51
1.03
3.3887E-06
1.37135E-10
3.45574532
5.03774914
44.6590883
359.88
1.028
3.38212E-06
1.36323E-10
3.4521924
5.029082306
44.6272281
360.25
1.027
3.37883E-06
1.35778E-10
3.44864677
5.024752169
44.3076154
360.63
1.017
3.34593E-06
1.32866E-10
3.44501289
4.981570619
45.3868351
361
1.051
3.45779E-06
1.41608E-10
3.44148199
5.129282285
45.1979159
361.38
1.045
3.43805E-06
1.39702E-10
3.43786319
5.103030492
45.7002543
361.75
1.061
3.49069E-06
1.43718E-10
3.43434692
5.173213556
45.6377147
362.13
1.059
3.48411E-06
1.42876E-10
3.4307431
5.164409408
45.5437702
362.5
1.056
3.47424E-06
1.41778E-10
3.42724138
5.151219983
45.7939288
362.87
1.064
3.50056E-06
1.43641E-10
3.4237468
5.18643661
46.568292
363.25
1.089
3.58281E-06
1.50156E-10
3.42016518
5.297420407
46.2598831
363.62
1.079
3.54991E-06
1.47111E-10
3.416685
5.252856454
46.4759556
363.99
1.086
3.57294E-06
1.48723E-10
3.4132119
5.284027225
46.1050118
364.37
1.074
3.53346E-06
1.45151E-10
3.40965228
5.230659914
46.3834597
364.74
1.083
3.56307E-06
1.47295E-10
3.40619345
5.270654632
46.1360217
365.12
1.075
3.53675E-06
1.44825E-10
3.40264844
5.235094682
46.7524871
20
365.49
1.095
3.60255E-06
1.4996E-10
3.39920381
5.324268728
46.966579
365.86
1.102
3.62558E-06
1.51576E-10
3.39576614
5.355696605
47.0275899
366.24
1.104
3.63216E-06
1.51811E-10
3.39224279
5.364696814
47.0275899
366.61
1.104
3.63216E-06
1.51505E-10
3.38881918
5.364696814
47.3921839
366.98
1.116
3.67164E-06
1.54504E-10
3.38540247
5.418893379
48.113861
367.36
1.14
3.7506E-06
1.60888E-10
3.38190059
5.528300584
48.1437151
367.73
1.141
3.75389E-06
1.60846E-10
3.37849781
5.532888831
48.2331743
368.1
1.144
3.76376E-06
1.61368E-10
3.37510187
5.546667885
48.0541013
368.48
1.138
3.74402E-06
1.59351E-10
3.37162125
5.519131236
47.6338514
368.85
1.124
3.69796E-06
1.55142E-10
3.36823912
5.455211465
47.6940946 48.2033718
369.22
1.126
3.70454E-06
1.55383E-10
3.36486377
5.464314495
369.6
1.143
3.76047E-06
1.59781E-10
3.36140422
5.54207248
47.9643326
369.97
1.135
3.73415E-06
1.57237E-10
3.35804254
5.505395053
48.2331743
370.34
1.144
3.76376E-06
1.59422E-10
3.35468758
5.546667885
47.9942727
370.72
1.136
3.73744E-06
1.56878E-10
3.35124892
5.509971405
48.0839897
371.09
1.139
3.74731E-06
1.57393E-10
3.34790752
5.52371472
48.2927281
371.46
1.146
3.77034E-06
1.59017E-10
3.34457277
5.555865865
48.6190511
371.84
1.157
3.80653E-06
1.61753E-10
3.3411548
5.606626244
49.0607207
372.21
1.172
3.85588E-06
1.65644E-10
3.33783348
5.676315834
49.4985937
372.58
1.187
3.90523E-06
1.69574E-10
3.33451876
5.746554185
49.7016444
372.95
1.194
3.92826E-06
1.7124E-10
3.33121062
5.779521557
49.7595087
373.33
1.196
3.93484E-06
1.71464E-10
3.32781989
5.78896308
49.7016444
373.7
1.194
3.92826E-06
1.70553E-10
3.32452502
5.779521557
49.7016444
374.07
1.194
3.92826E-06
1.70216E-10
3.32123667
5.779521557
50.076575
374.45
1.207
3.97103E-06
1.7359E-10
3.3178662
5.841069254
49.9327028
374.82
1.202
3.95458E-06
1.71815E-10
3.314591
5.817347259
49.6437133
375.19
1.192
3.92168E-06
1.68635E-10
3.31132226
5.770089945
49.9038786
375.56
1.201
3.95129E-06
1.70854E-10
3.30805996
5.812610343
50.3630802
375.94
1.217
4.00393E-06
1.75082E-10
3.30471618
5.888701033
50.0190758
376.31
1.205
3.96445E-06
1.71309E-10
3.30146688
5.831572966
50.134008
376.68
1.209
3.97761E-06
1.72109E-10
3.29822396
5.850575546
50.0478336
377.05
1.206
3.96774E-06
1.7092E-10
3.2949874
5.836319861
50.2773017
377.43
1.214
3.99406E-06
1.72847E-10
3.29166998
5.874385135
50.305911 50.2773017
377.8
1.215
3.99735E-06
1.72793E-10
3.28844627
5.879154585
378.17
1.214
3.99406E-06
1.72171E-10
3.28522887
5.874385135
50.248676
378.54
1.213
3.99077E-06
1.71552E-10
3.28201775
5.869618198
50.5057157
378.91
1.222
4.02038E-06
1.73767E-10
3.27881291
5.91261126
50.7897582
379.29
1.232
4.05328E-06
1.76269E-10
3.27552796
5.960621499
50.9876175
379.66
1.239
4.07631E-06
1.7793E-10
3.27233577
5.994380008
51.1846812
380.03
1.246
4.09934E-06
1.79596E-10
3.2691498
6.02826385
51.2127684
380.4
1.247
4.10263E-06
1.79535E-10
3.26597003
6.033114666
50.9594006
380.77
1.238
4.07302E-06
1.76609E-10
3.26279644
5.989549705
51.5764349 51.5485571
381.15
1.26
4.1454E-06
1.82577E-10
3.25954349
6.096409986
381.52
1.259
4.14211E-06
1.81934E-10
3.25638237
6.091525593
51.798881
381.89
1.268
4.17172E-06
1.84187E-10
3.25322737
6.135578715
52.0203052
382.26
1.276
4.19804E-06
1.86158E-10
3.25007848
6.174914468
52.1581785
382.63
1.281
4.21449E-06
1.87257E-10
3.24693568
6.199584541
52.1306356
383.01
1.28
4.2112E-06
1.86594E-10
3.24371426
6.194645268
51.9097205
383.38
1.272
4.18488E-06
1.83913E-10
3.24058376
6.155225656
51.798881
383.75
1.268
4.17172E-06
1.82406E-10
3.23745928
6.135578715
51.9373906
21
384.12
1.273
4.18817E-06
1.83493E-10
3.23434083
6.160143929
51.8543326
384.49
1.27
4.1783E-06
1.82278E-10
3.23122838
6.145396958
51.798881
384.86
1.268
4.17172E-06
1.81355E-10
3.22812191
6.135578715
52.0755021
385.23
1.278
4.20462E-06
1.83873E-10
3.22502142
6.184774613
52.0479116
385.61
1.277
4.20133E-06
1.83224E-10
3.22184331
6.179843228
52.0479116
385.98
1.277
4.20133E-06
1.82873E-10
3.21875486
6.179843228
52.1857056
386.35
1.282
4.21778E-06
1.83955E-10
3.21567232
6.204526448
52.1306356
386.72
1.28
4.2112E-06
1.83031E-10
3.21259568
6.194645268
52.5694258
387.09
1.296
4.26384E-06
1.87277E-10
3.20952492
6.273990637
52.5147978
387.46
1.294
4.25726E-06
1.86343E-10
3.20646002
6.264035374
52.623991
387.83
1.298
4.27042E-06
1.87139E-10
3.20340097
6.283956542
52.4874601
388.21
1.293
4.25397E-06
1.85336E-10
3.20026532
6.259061729
52.4053528
388.58
1.29
4.2441E-06
1.84126E-10
3.19721808
6.244156714
52.3505358
388.95
1.288
4.23752E-06
1.83207E-10
3.19417663
6.234233287
52.0479116
389.32
1.277
4.20133E-06
1.79749E-10
3.19114096
6.179843228
51.9373906
389.69
1.273
4.18817E-06
1.78285E-10
3.18811106
6.160143929
51.6321425
390.06
1.262
4.15198E-06
1.74885E-10
3.18508691
6.10618656
51.6321425
390.43
1.262
4.15198E-06
1.74554E-10
3.18206849
6.10618656
51.5206632
390.8
1.258
4.13882E-06
1.73121E-10
3.17905578
6.086643793
51.5206632
391.17
1.258
4.13882E-06
1.72794E-10
3.17604878
6.086643793
51.5485571
391.54
1.259
4.14211E-06
1.72741E-10
3.17304745
6.091525593
51.6599722
391.91
1.263
4.15527E-06
1.73513E-10
3.1700518
6.111078744
51.5206632
392.28
1.258
4.13882E-06
1.71817E-10
3.16706179
6.086643793
51.5206632
392.66
1.258
4.13882E-06
1.71485E-10
3.16399684
6.086643793
51.5206632
393.03
1.258
4.13882E-06
1.71162E-10
3.16101824
6.086643793
51.6321425
393.4
1.262
4.15198E-06
1.71928E-10
3.15804525
6.10618656
51.5764349
393.77
1.26
4.1454E-06
1.71062E-10
3.15507784
6.096409986
51.5764349
394.14
1.26
4.1454E-06
1.70741E-10
3.152116
6.096409986
51.6321425
394.51
1.262
4.15198E-06
1.70962E-10
3.14915972
6.10618656
51.3249558
394.88
1.251
4.11579E-06
1.6768E-10
3.14620897
6.052543668
51.1284583
395.25
1.244
4.09276E-06
1.65499E-10
3.14326376
6.018569927
51.0158181
395.62
1.24
4.0796E-06
1.64129E-10
3.14032405
5.999212869
50.8463708
395.99
1.234
4.05986E-06
1.6224E-10
3.13738983
5.970254034
50.8746526
396.36
1.235
4.06315E-06
1.622E-10
3.1344611
5.975074124
50.8463708
396.73
1.234
4.05986E-06
1.61636E-10
3.13153782
5.970254034
50.6763373
397.1
1.228
4.04012E-06
1.5977E-10
3.12861999
5.941386959
50.5911002
397.47
1.225
4.03025E-06
1.58694E-10
3.1257076
5.926987711
50.5057157
397.84
1.222
4.02038E-06
1.57624E-10
3.12280062
5.91261126
50.3345039
398.21
1.216
4.00064E-06
1.5579E-10
3.11989905
5.883926551
50.1626997
398.58
1.21
3.9809E-06
1.5397E-10
3.11700286
5.855332448
50.076575
398.95
1.207
3.97103E-06
1.52924E-10
3.11411204
5.841069254
50.0190758
399.32
1.205
3.96445E-06
1.52135E-10
3.11122659
5.831572966
50.076575
399.69
1.207
3.97103E-06
1.52358E-10
3.10834647
5.841069254
50.0478336
400.06
1.206
3.96774E-06
1.51824E-10
3.10547168
5.836319861
49.9038786
400.43
1.201
3.95129E-06
1.5029E-10
3.1026022
5.812610343
49.8461805
400.8
1.199
3.94471E-06
1.49513E-10
3.09973802
5.803143979
49.788416
22
Lampiran 2. Data pengukuran ketebalan lapisan MnS dengan menggunakan metode gravimetri P(cm)
L(cm) 2.43
rataan
P(rata-rata) Substrat [cm] 2.414166667
L(rata-rata) Substrat [cm] 2.4175
Massa Substrat [g] 1.37
2.425
2.4
2.4
2.425
2.41
2.4
2.42
2.42
2.44
2.41
2.41
2.414166667
2.4175
Massa Substrat+Film [g]
Massa Film [g]
Densitas [g/cm3]
1.3702
0.0002
4
Volum Sampel [cm3] 4.16667E05
Tinggi sampel [cm] 7.13929E-06
Lampiran 3. Spesifikasi Alat “Ocean Optic USB 2000 Fiber Optic Spectrometer”
ketebalan mikro 0.713929005
23
24
Lampiran 4. Prosedur pengambilan data nilai absorbansi
25
26
Lampiran 5. Foto alat-alat yang digunakan
Lampiran 6. Data Intensitas dan 2θ XRD 2θ 20 20.027 20.054 20.081 20.108 20.135 20.163 20.19 20.217 20.244 20.271 20.298 20.325 20.352
Intensitas 36 35 26 39 32 28 43 38 30 34 30 48.7 29 29
2θ 21.327 21.354 21.381 21.409 21.436 21.463 21.49 21.517 21.544 21.571 21.598 21.625 21.652 21.679
Intensitas 32 51 32 27 29 40 46 48 45 40 48 30 42 33
2θ 22.682 22.709 22.736 22.763 22.79 22.817 22.844 22.871 22.898 22.926 22.953 22.98 23.007 23.034
Intensitas 43 38 46 45 38 43 43 34 41 53 50 35 43 51
27
20.379 20.406 20.433 20.46 20.488 20.515 20.542 20.569 20.596 20.623 20.65 20.677 20.704 20.731 20.758 20.786 20.813 20.84 20.867 20.894 20.921 20.948 20.975 21.002 21.029 21.056 21.084 21.111 21.138 21.165 21.192 21.219 21.246 21.273 21.3
34 23 38 44 35 31 38 35 38 40 39 43 33 34 34 46.5 39 51 50 38 26 46 30 39 48 42 35 25 40 44 37 42 39 30 45
21.707 21.734 21.761 21.788 21.815 21.842 21.869 21.896 21.923 21.95 21.977 22.005 22.032 22.059 22.086 22.113 22.14 22.167 22.194 22.221 22.248 22.275 22.302 22.33 22.357 22.384 22.411 22.438 22.465 22.492 22.519 22.546 22.573 22.6 22.628
46 44 40 49 46 50 45 52 37 36 52 50 53 39 49 38 41 38 49 43 41 37 42 38 42 52 37 46 41 50 46 50 43 44 44
23.061 23.088 23.115 23.142 23.169 23.196 23.223 23.251 23.278 23.305 23.332 23.359 23.386 23.413 23.44 23.467 23.494 23.521 23.549 23.576 23.603 23.63 23.657 23.684 23.711 23.738 23.765 23.792 23.819 23.847 23.874 23.901 23.928 23.955 23.982
48 47 44 38 33 43 38 40 47 49 43 45 49 49 51 45 53.6 50 47 56 47 55 36 45 50 55 45 43 46 53 44 51 40 35 49