Předpoklady pro miniaturizaci. Miniaturizace v analytické chemii. Jan Preisler 312A14

1 Předpoklady pro miniaturizaci micromachining, microfabrication (litografie, reactive plasma etching...) - výroba čipů ( microfabricated devic...
Author:  Monika Beranová

148 downloads 144 Views 2MB Size