P.H.J. Schellekens A.G. de Gilde W.P. van Vliet

Afnamerapport van een ZEISS UC 850 3D-meetmachine, eigendom van DAF B.V., Westerloo. Rapportnr.: WPA 0812, Okt. 1989.

P.H.J. Schellekens A.G. de Gilde W.P. van Vliet

- 1 -

1. Inleiding In dit rapport z1Jn de gegevens vastgelegd van afname-metingen verricht aan een ZEISS UC 850 portaal-meetmachine geïnstalleerd in de meetkamer van DAF B.V. - Westerloo. De metingen zijn uitgevoerd volgens een meetplan en meetprocedures opgesteld in het Laboratorium voor Geometrische Meettechniek van de TU Eindhoven. De meetprocedures zijn conform het plan voor afnameprocedures 3D-meetmachines zoals dat thans binnen de Nederlandse Kalibratie Organisatie is ontwikkeld. Het meetplan volgt zoveel mogelijk de aanbevelingen zoals deze zijn vastgelegd rn

VDI 2617.

De afnamemetingen zijn uitgevoerd door eigen personeel van de TV-Eindhoven. De afname is uitgevoerd via meting van de basis-bronnen van afwijkingen, terwijl daarnaast extra metingen zijn uitgevoerd om de resteffecten van afwijkingen van de machine te analyseren; dit nadat softwarecorrectie van een aantal geometrie-afwijkingen is uitgevoerd door de leverancier Zeiss.

- 2 -

2. Het meetplan 2.1 Inleiding

De Zeiss UC 850 meetmachine bezit de meetassen X, Y en Z met de volgende meet bereiken: X-as: 850 mm Y-as: 2400 mm Z-as: 600 mm De 1D-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens (U95 ): 1 81 1 ~ 2,3 + 300 [µm], 1 in mm De 3D-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens (U95 ): 1 81 3 ~ 2,8 + 250 [µm], 1 in mm Zoals reeds is opgemerkt z1Jn deelmetingen uitgevoerd om daarmee de grootte van enkele foutenbronnen vast te leggen. De volgende meetinstrumenten en meetmiddelen zijn bij deze metingen ingezet: - HP-laserinterferometer, type 5528A met automatische compensatie voor brekingsindexinvloeden en uitzettingseffecten van de meetmachine; - eindmaat 9 mm, pasring 17 mm en een kalibratiekogel van 30 mm diameter; - gekalibreerde eindmaten van nominaal 800 en 1000 mm lengte voor het uitvoeren van kalibratiemetingen langs vlakken en ruimtediagonalen; - temperatuursmeetopstelling, eigenbouw TUE, waarmee de temperaturen van de meetsystemen van de meetmachine én eindmaat zijn vastgesteld tijdens de metingen met de eindmaten. Bovenstaande meetinstrumenten vallen onder de erkenning zoals deze door de NKO voor het lab voor Geometrische Meettechniek van TV-Eindhoven onder erkennings-nummer 014 is afgegeven. De eindmaat, pasring en kogel, die niet onder de erkenning vallen, zijn alleen voor specifieke metingen toegepast. Zij zijn echter wel op specifieke eigenschappen d.i. rondheid gecontroleerd.

- 3 -

2.2 Overzicht van het meetprogramma

In het uiteindelijk uitgevoerde meetprogramma zijn een aantal deelmetingen uitgevoerd die zijn onder te verdelen in de volgende hoofdgroepen:

* Translatie-afwijkingen

Tij met i,j = X, Y, Z De afwijkingen Tii zijn bepaald tegen de liniaire laserinterf erometer met automatische compensator. De metingen voor Txx en Tyy zijn op de positie van kleinste en grootste comparatorafwijking uitgevoerd, die voor Tzz op de positie van de kleinste comperatorafwijking.

* Om de effecten van resterende rotatie- en haaksheidsafwijkingen vast te stellen, na softwarecorrectie van deze afwijkingen, zijn eindmaatmetingen langs alle vlakkendiagonalen uitgevoerd op posities van de kleinste en grootste comparatorafwijkingen. Daarnaast zijn langs alle ruimtediagonalen eindmaatmetingen uitgevoerd.

* Het gedrag van het tastsysteem is geanalyseerd via meting van een kleine eindmaat (1D), een ring (2D), en een kogel (3D).

* Ter

vaststelling van de absolute meetnauwkeurigheid van de machine met inachtneming van temperatuurscompensatie en tastsysteem is de lengte van een eindmaat van 1000 mm gemeten evenwijdig aan de y-as op de kleinste comparatorafwijking.

- 4 -

3. Resultaten

De meetresultaten van de deelmetingen ZIJn uitgebreid weergegeven in de bijlagen via numerieke en grafische presentatie. Hierna wordt een samenvatting van de belangrijkste meetresultaten gegeven, waarbij de bovengrenswaarde, in absolute zin, van de bijbehorende systematische afwijking is vermeld. Translatie-afwijkingen: 1.

Txx

~

0,6 µm, meting op positie van de kleinste comparatorafwijking.

2.

Txx

~

1,3 µm, meting op positie van de grootste comparatorafwijking.

3.

Tyy < 2,5 µm, meting op positie van de kleinste comparatorafwijking.

4.

Tyy < 2,4 µm, meting op positie x

=0

5.

Tyy < 8,3 µm, meting op positie x

= 850

6.

Tyy < 8,6 µm, meting op positie van de grootste comparatorafwijking.

7.

Tzz < 0,3 µm

mm, z

= -600

mm, z

mm.

= 0 mm.

NB. De translatiemetingen Txx, Tyy en Tzz z1Jn uitgevoerd via vergelijking van machinemeetwaarden tegen laserinterferometer-waarden waarbij geen gebruik is gemaakt van de temperatuurscorrectie van de meetmachine. De correctie voor uitzetting van de meetlinialen is via het temperatuursmeetsysteem van de laserinterferometer doorgevoerd.

- 5 -

8.

Eindmaatmetingen op de vlakkendiagonalen. Deze metingen zijn uitgevoerd op de grenzen van het meetvolume waarvan de hoekpunten in onderstaande schets zijn aangegeven. Het machinenulpunt bevindt zich in H.

z

G

I

1

1 1 _L

F

1

1

Jl /

.,,.,.....-

~-

l

/

--

/

B

Figuur: schematische weergave van het meetvolume.

- 6 -

c

8.1. Meetresultaten van de vlakkendiagonalen: X - Z vlak:

AF = BE = IK = JL =

X - Y vlak:

AD = 1000,0016 mm BIT = 1000,0011 mm

Y - Z vlak:

AH EIT

= =

800,0022 800,0024 800,0029 800,0037

mm mm mm mm

CM Im

= =

800,0028 mm 800,0038 mm

EU = 999.9980 mm EH = 1000,0005 mm

1m = 1000,0037 mm

1000,0041 mm 999,9973 mm

FD =

999,9978 mm

8.2. Eindmaatmetingen op de ruimtediagonalen.

De eindmaten zijn hierbij opgesteld langs de vier ruimtediagonalen aangegeven met AG, BH, CE en DF (zie schets onder 6). Meetresultaten:

AU = 1000,0015 mm BH = 1000,0011 mm

UF = 999,9968 mm CE

=

999,9968 mm

8.3. Meting langs de y-as op de kleinste comparatorfout positie; meetlengte 1000 mm. y = 1000,0013 mm s = 0,0002 mm 9.

Berekening haaksheidsafwijking uit eindmaatmetingen. x - y vlak: óa = 0,3 " x - z vlak: óa = 0,0 " Y - z vlak: óa = 1 , 5 "

- 7 -

10.

Vergelijking temperatuursmeting meetmachine met TUE-apparatuur. De temperatuurmeetwaarden van de sensoren op de x-as en de y-as van de meetmachine zijn met de meetwaarden van de TUE-apparatuur vergeleken bij de heersende temperatuur in de meetruimte. Y - as

nr. 1 2

xnr. 1 2

TUE- sensor temperatuur 20,45 OC 20,39 OC

Zeiss- sensor temperatuur 20,43 OC 20,35 OC

as TUE-sensor temperatuur 20,35 OC

Zeiss-sensor temperatuur 20,30 OC 20,30 OC

Onnauwkeurigheid TUE-sensoren: 0,05 11.

°c.

Controle van het tastsysteem. De afwijkingen ten gevolge van het tastsysteem bij metingen in 1D, 2D en 3D: - 1D. Meting eindmaat 9 mm: x-as T1D ~ 0,3 µm y-as T1D < 0,2 µm z-as T1D < 0,2 µm -

2D. Meting ring met 17 mm diameter: x-y vlak T2D ~ 0,2 µm x-z vlak T2D < 0, 1 µm y-z vlak T2D < 0,2 µm

- 8 -

- 3D. Meting bol met diameter 30 mm: Fluktuaties in diametermetingen: bolmeting r 30 ~ 0,1 µm

Onnauwkeurigheid van de metingen:

* Laserinterf erometer Onnauwkeurigheid voor deze metingen: 81 < 0,1 [µm] + 10- 6* 1

* Eindmaatmetingen 800 mm: 81 ~ 1 µm 1000 mm: 81 ~ 1,2 µm

* Bepaling haaksheidsafwijking per meetpositie: 8a

~

0,5 "

- 9 -

4. Bepaling van de meetonnauwkeurigheid

Zoals eerder is vermeld wordt de onnauwkeurigheid apart gespecificeerd voor 1D- en 3D-metingen.

* 1D-meetonnauwkeurigheid. Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen langs deze assen. X-richting: 81x < - 1,3 µm Y- richting: 8Ly < 8,6 µm Z- richting: 8Lz < 0,3 µm

* 3D-meetonnauwkeurigheid. Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen in het meetvolume. Deze is vastgesteld via metingen van een eindmaat van 1000 mm lengte waarbij het temperatuurscorrectiesysteem voor de meetsystemen en object was ingeschakeld. De meetresultaten vallen ruimschoots binnen de specificaties.

NB. Ter controle van het correctiesysteem voor 1D-metingen is een eindmaat van 1000 mm gemeten langs de y-as op positie van de kleinste comparatorafwijking. Ook hierbij vallen de gemeten afwijkingen ruim binnen de specificaties.

- 10 -

5. Conclusies Ten aanzien van de deelmetingen kan gesteld worden dat geen van de afwijkingsbronnen extreem grote afwijkingen vertoont. Samenvattend kan worden geconcludeerd: 1]}-meet~nnau~keurigh~id:

Zowel óL x , óL y als óL z vallen binnen de specificaties opgegeven als: L óLx, óLY, óLz ~ 2,3 + 300 [µm], L in mm De nauwkeurigheid óL y wordt beïnvloed door de gevonden haaksheidsafwijking die naar onze mening het gevolg is van een kleine vormafwijking van de y-geleiding gezien in het y-z vlak. Deze vormafwijking kan het gevolg zijn van temperatuursinvloeden op de meettafel. 2]}- meetonnauwkeurigheid:

Geen opgave aanwezig.

3]}-meetonnauwkeurigheid: De 3D-meetonnauwkeurigheid óL 3 valt binnen de specificaties, opgegeven als: L óL 3 ~ 2,8 + 250 [µm], L in mm Uit de eindmaatmetingen in de vlakken en de ruimte kan worden vastgesteld dat, tezamen met de resultaten van de 1D-metingen, de resulterende onnauwkeurigheid ruimschoots binnen de specificaties valt. Invloed tastsysteem: Uit de separate tests van het tastsysteem is gebleken dat de reproduceerbaarheid van de meetresultaten beter is dan 0,5 µm voor zowel 1D-, 2D- als 3D-metingen. De hierdoor geïntroduceerde meetonnauwkeurigheid is dan ook van ondergeschikt belang.

- 11 -

Invloed temperatuurscorrectiesysteem:

Er is een vergelijking tussen TUE-meetwaarden en Zeiss-meetwaarden voor een meetpunt rond 20 °c uitgevoerd. De geconstateerde afwijkingen kwamen binnen de meetnauwkeurigheid van het TUE-systeem overeen. Er is derhalve geen aanleiding wijzigingen voor te stellen.

- 12 -

6. Bijlagen: Meetresultaten

Hierna worden de meetresultaten van de deelmetingen gegeven met de bijbehorende grafische representaties. De eerste set resultaten betreft de translatiemetingen Tii. Hier zijn heen-, retour- en gemiddelde meetresultaten gepresenteerd. Daarna worden de resultaten van de eindmaatmetingen in 1D, 2D en 3D weergegeven. Tenslotte zijn de meetresultaten van de tasterkalibratie opgenomen.

- 13 -

Zeiss UC850 DAF B.V. Vesterloo

Type meting Meetmiddel Datum

TXX K.K.F. Laserinterf erometer 26- 9-1989

Startpositie Temperatuur

y = z =

0 mm 0 mm = 20 .46 oC

Positie Aflezing Afwijking Positie Af lezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine X-AS HEEN HEEN HEEN X-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [µm] [µm] [µm] [mm] [mm] [mm] [mm] 0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000

0.0000 99.9997 199.9997 299.9997 399.9997 499.9998 599.9992 699.9992 799.9993

0.0 0.3 0.3 0.3 0.3 0.2 0.8 0.8 0.7

0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000

-0.0001 100.0000 200.0000 299.9999 400.0000 499.9999 599.9998 699.9996 799.9998

0.1 -0.0 -0.0 0.1 0.0 0.1 0.2 0.4 0.2

0.0 0.1 0.1 0.2 0.2 0.2 0.5 0.6 0.5

ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO

2.

Type meting : TXX K.K.F. Datum : 26-9-1989

Tijd : 17:55

1.5

1.

.5

0.5

-0.5

-1.

+--------l----+-----+----+----+----t--------+-----t

0.

100.

200.

300.

400.

500.

600.

X-AS x =HEEN

+=TERUG

o = GEMIDDELD

700.

800.

Zeiss UC850 DAF B.V. Westerloo


TXX G.K.F. Laserinterf erometer 26- 9- 1989


0 mm y = z = -600 mm = 20.43 oC

Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine X-AS HEEN HEEN HEEN X-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [µm] [µm] [µm] [mm] [mm] [mm] [mm] 0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000

0.0000 100.0001 199.9998 299.9998 400.0000 499.9994 599.9990 699.9986 799.9986

0.0 -0.1 0.2 0.2 0.0 0.6 1.0 1.4 1.4

0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000

0.0000 100.0001 200.0001 299.9999 399.9999 499.9994 599.9988 699.9989 799.9987

0.0 -0 .1 -0.1 0.1 0.1 0.6 1. 2 1.1 1.3

0.0 -0.1 0.1 0.2 0.1 0.6 1.1 1.3 1.3


3.

Type meting : TXX G.K.F. Datum : 26-9-1989

Tijd : 17:29

2.5 2.

,......,

ê

1.5

~

0 0 0

.

~

1.

.

~ ,..;

ç:

(J)

on

0.5

~ .,..;

.~

·~ ,..;

~

0. -0.5 -1. -1.5

-+-------+----+-----+----+-----l------1f-----+-------t

0.

100.

200.

300.

400.

500.

600.

X-AS

x =HEEN

+=TERUG

o = GEMIDDELD

700.

800.


Type meting : TYY K.K.F. Meetmiddel Laserinterf erometer Datum 27- 9-1989

Startpositie : x = 850 mm z = - 600 mm Temperatuur = 20.26 oC

Positie Af lezing Afwijking Positie Af lezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2390.0000

0.0000 100.0003 200.0005 300.0010 400.0015 500.0019 600.0011 700.0013 800.0008 900.0010 1000.0014 1100.0014 1200.0009 1300.0015 1400.0015 1500.0009 1600.0008 1700.0012 1800.0017 1900.0020 2000.0021 2100.0021 2200.0017 2300.0020 2390.0025

0.0 -0.3 -0.5 -0.9 -1. 5 -1.9 -1.1 -1.3 -0.8 -1.0 -1.4 -1.4 -0.9 -1.5 -1. 5 -0.9 -0.8 -1. 2 -1. 7 -2.0 - 2.1 - 2 .1 -1. 7 -2.0 - 2. 5

0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2390.0000

-0.0002 100.0000 200.0003 300.0006 400.0011 500.0010 600.0009 700.0010 800.0010 900.0009 1000.0013 1100.0013 1200.0010 1300.0013 1400.0017 1500.0011 1600.0011 1700.0014 1800.0015 1900.0022 2000.0026 2100.0023 2200.0020 2300.0020 2390.0025

0.2 0.0 -0.3 -0.6 -1.1 -1.0 -0.9 -1.0 -1.0 -0.9 -1. 3 -1. 3 -1.0 -1.3 -1. 7 -1.1 -1.1 -1.4 -1. 5 - 2. 2 -2.6 -2.3 -2.0 -2.0 - 2 .5

0.1 -0. 2 -0.4 -0.8 -1.3 -1.4 -1.0 -1.1 -0.9 -0.9 -1.4 -1.4 -0.9 -1.4 -1.6 -1.0 -0.9 -1.3 -1. 6 - 2 .1 -2.3 - 2. 2 -1.8 -2.0 - 2. 5


1.

Type meting: TYY K.K.F. Datum: 27-9-1989

Tijd: 14:39

0. ,.......,

ê

-1.

~

0 0 0

.

-2 .

t......j

~

·~

~

(J)

0.0 ~

-3.

·~

~

•-:. ·~

~ ~

-4.

-5.

-6.

;---------+-----____,f--------+--------+----------l

0.

500.

1000.

1500.

2000.

Y-AS x =HEEN

+=TERUG

o = GEMIDDELD

2500.



TYY Laserinterf erometer 27- 9- 1989


0 mm x = z = -600 mm = 20.32 oC

Positie Af lezing Af wijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2390.0000

0.0000 100.0010 200.0010 300.0011 400.0010 500.0013 600.0011 700.0005 800.0005 900.0008 1000.0012 1100.0015 1200.0014 1300.0016 1400.0012 1500.0009 1600.0009 1700.0013 1800.0016 1900.0020 2000.0023 2100.0022 2200.0023 2300.0027 2390.0029

0.0 -0.9 -1. 0 -1.1 -1.0 -1.3 -1.1 -0.5 -0.5 -0.8 -1. 2 -1. 5 -1.4 -1. 6 -1. 2 -0.9 -0.8 -1.3 -1.6 -2.0 -2.3 -2. 2 -2.3 -2.6 -2.8

0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2300.0000

0.0000 100.0005 200.0004 300.0002 400.0003 500.0005 600.0002 699.9998 799.9993 899.9993 999.9999 1100. 0001 1200.0002 1300.0008 1400.0003 1500.0000 1600.0004 1700.0007 1800.0012 1900.0016 2000.0019 2100.0018 2200. 0017 2300.0021 2300.0019

-0.1 -0.5 -0.4 -0. 2 -0.2 -0.5 -0.2 0.2 0.7 0.7 0.1 -0.1 -0. 2 -0.8 -0.3 -0.0 -0.3 -0. 7 -1. 2 -1.6 -1. 9 -1.8 -1. 7 - 2 .1 -1.8

-0.0 -0. 7 -0. 7 -0.6 -0.6 -0.9 -0.6 -0.1 0.1 -0.0 -0.6 -0.8 -0.8 -1. 2 -0. 7 -0.5 -0.6 -1.0 -1.4 -1.8 - 2 .1 -2.0 - 2 .0 -2.4 - 2 .3


2.

Type meting: TYY

Datum: 27-9-1989

Tijd: 19:42

1.

l""""""I

ê

~

0 0 0 i........i

.

c:: c:: Q)

·~

-1. -2.

bJ)

c::

·~

~

·~

!<

-3.

-4. -5.

-6.

-+--------+------1----------+---------+----------1

0.

500.

1000.

1500.

2000.

Y-AS

x =HEEN

+=TERUG

o = GEMIDDELD

2500.



TYY Laserinterf erometer 27- 9- 1989


x

z

= 850 0 = = 20.24

mm mm oC

Positie Aflezing Afwijking Positie Af lezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] [mm] [mm] 0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2390.0000

0.0000 100.0007 200.0010 300.0014 400.0020 500.0022 600.0023 700.0024 800.0026 900.0027 1000.0031 1100.0037 1200.0038 1300.0041 1400.0045 1500.0043 1600.0047 1700.0053 1800.0059 1900.0067 2000.0068 2100.0073 2200.0074 2300.0079 2390.0083

0.0 -0. 7 -1.0 -1.4 -2.0 - 2. 2 -2.3 -2.4 -2.6 -2. 7 -3.1 -3. 7 -3.8 -4.1 -4.5 -4.3 -4. 7 -5.3 -5.9 -6. 7 -6.8 -7.3 -7.4 -7.9 -8.3

0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2390.0000

-0.0007 100.0000 200.0003 300.0010 400.0018 500.0021 600.0017 700.0020 800.0023 900.0022 1000.0031 1100.0034 1200.0039 1300.0044 1400.0048 1500.0047 1600.0050 1700.0054 1800.0064 1900.0071 2000.0070 2100.0075 2200.0074 2300.0079 2390.0083

0.7 0.1 -0.3 -1.0 -1.8 - 2 .1 -1. 7 -2.0 -2 .3 - 2. 2 -3.1 -3.4 -3.8 -4.4 -4.8 -4. 7 -5.0 -5 .4 -6.4 - 7 .1 -7 .0 -7 .5 -7.4 -7 .9 -8.3

0.3 -0.3 -0. 7 -1. 2 -1. 9 - 2. 2 -2.0 - 2. 2 -2.4 -2.4 - 3 .1 -3.6 -3.8 -4. 2 -4. 7 -4.5 -4.8 -5.3 -6. 2 -6.9 -6.9 -7.4 -7.4 -7 .9 -8.3


2.

Type meting: TYY G.K.F. Datum: 27-9-1989

Tijd: 11:45

0. -2. ,.--,

e e

-4.

~

0 0 0

.

-6.

i.......,j

c:: -8. c:: Q) bi) c:: -10. ·~ ·~

~

·~

·~

i

<

-12. -14. -16. -18. 0.

500.

1000.

1500.

2000.

Y-AS

x =HEEN

+=TERUG

o = GEMIDDELD

2500.



TYY G.K.F. Laserinterf erometer 27- 9-1989


x =

0 mm 0 mm = 20.24 oC

z =

Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2390.0000

0.0000 100.0012 200.0012 300.0018 400.0021 500.0025 600.0027 700.0025 800.0027 900.0033 1000.0035 1100.0043 1200.0047 1300.0053 1400.0058 1500.0063 1600.0059 1700.0064 1800.0068 1900.0075 2000.0077 2100.0079 2200.0084 2300.0089 2390.0086

0.0 -1. 2 -1. 2 -1.8 - 2 .1 -2. 5 -2.8 -2.5 -2. 7 -3.3 -3.5 -4.3 -4. 7 -5.3 -5.8 -6.3 -5.9 -6.4 -6.8 -7 .5 -7. 7 -7 .9 -8.4 -8.9 -8.6

0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 600.0000 700.0000 800.0000 900.0000 1000.0000 1100.0000 1200.0000 1300.0000 1400.0000 1500.0000 1600.0000 1700.0000 1800.0000 1900.0000 2000.0000 2100.0000 2200.0000 2300.0000 2390.0000

-0.0015 99.9992 199.9994 299.9999 400.0002 500.0011 600.0012 700.0012 800.0018 900.0018 1000.0025 1100.0030 1200.0038 1300.0044 1400.0047 1500.0052 1600.0054 1700.0058 1800.0065 1900.0069 2000.0074 2100.0074 2200.0078 2300.0082 2390.0087

1.5 0.8 0.6 0.1 -0.2 -1.1 -1. 2 -1. 2 -1.8 -1.8 - 2. 5 -3.0 -3.8 -4.4 -4. 7 - 5. 2 -5.4 - 5 .8 -6.5 -6.9 -7.4 -7.4 -7 .8 -8.2 -8. 7

0.7 -0. 2 -0.3 -0.9 -1.1 -1.8 -2.0 -1.9 -2.3 -2.6 -3.0 -3.6 -4.2 -4.8 - 5. 2 -5. 7 -5 .6 -6.1 -6.6 -7. 2 -7 .5 -7 .6 -8.1 -8.5 -8.6


4.

Type meting: TYY G.K.F. Datum: 27-9-1989

Tijd: 12:16

2.

,.......,

ê

~

0 0 0 .......i

.

t:: ·~ t:: Q) 00

-2. -4. -6 . -8.

t::

·~

~

·~

~ <

-10. -12. -14. -16. -18. 0.

500.

1000.

1500.

2000.

Y-AS x =HEEN

+=TERUG

o = GEMIDDELD

2500.

Zeiss UC850 DAF B.V. Vesterloo


TZZ Laser interferometer 27-9-1989


x =

0 mm 0 mm = 20.26 oC

y =

Af lezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking Positie machine meetmiddel machine machine machine meetmiddel machine HEEN TERUG TERUG GEMIDDELD Z-AS HEEN HEEN Z-AS TERUG [mm] [mm] [µm] [µm] [mm] [mm] [µm] 0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 520.0000

0.0000 99.9999 199.9999 299.9998 399.9997 499.9998 519.9997

0.0 0.1 0.1 0.2 0.3 0.2 0.3

0.0000 100.0000 200.0000 300.0000 400.0000 500.0000 520.0000

-0.0000 99.9998 200.0001 299.9999 399.9999 499.9999 519.9997

0.1 0.2 -0.1 0.1 0.1 0.1 0.3

0.0 0.1 -0.0 0.1 0.2 0.2 0.3


0.7

Type meting: TZZ

Datum: 27-9-1989

Tijd: 15:31

0.6 0.5

î

0.4

~

g.

0.3

0

i........i

.5

0.2

~

0.1

t::

·~ ~

·~

·~

~

0.

---------------- -- ------- ------------------------------.

-0.1 -0.2 -0.3

-+----+----+----+----4-------+----1----+-----1------1----f-------1

0.

50.

100.

150.

200.

250.

300.

350.

400.

450.

Z-AS x =HEEN

+=TERUG

o = GEMIDDELD

500.

550.

Vlakdia&onalen van het x-y vlak

Gemiddelden:

BD

FH

AC [mm]

[mm]

EG [mm]

[mm]

1000,0024 1000,0017 1000,0012 1000,0014 1000,0013 1000,0016 1000,0015 1000,0016 1000,0017 1000,0018 1000,0016

1000,0007 1000,0011 1000,0011 1000,0012 1000,0011 1000,0008 1000,0013 1000,0014 1000,0014 1000,0010 1000,0011

999,9987 999,9981 999,9976 999,9978 999,9979 999,9981 999,9983 999,9976 999,9979 999,9980 999,9980

1000,0005 1000,0000 1000,0010 1000,0012 1000,0006 1000,0007 1000,0005 1000,0005 1000,0001 1000,0004 1000,0005

Vlakdia~onalen

AF

Gemiddelden:

Gemiddelden:

van het x-z vlak

[mm]

[mm]

DG [mm]

CM [mm]

800,0022 800,0017 800,0024 800,0015 800,0021 800,0026 800,0023 800,0029 800,0024 800,0022 800,0022

800,0021 800,0025 800,0021 800,0025 800,0020 800,0027 800,0024 800,0027 800,0026 800,0022 800,0024

800,0029 800,0031 800,0030 800,0030 800,0030 800,0034 800,0031 800,0034 800,0028 800,0031 800,0038

800,0027 800,0022 800,0024 800,0026 800,0029 800,0028 800,0030 800,0031 800,0036 800,0031 800,0028

IK [mm]

JL [mm]

800,0027 800,0030 800,0029 800,0028 800,0031 800,0027 800,0025 800,0029 800,0029 800,0030 800,0029

800,0032 800,0038 800,0039 800,0038 800,0037 800,0038 800,0035 800,0038 800,0038 800,0035 800,0037

BE

Vlakdiagonalen van het y-z vlak

Gemiddelden:

AH [mm]

ED

BG

[mm]

FC

[mm]

[mm]

1000,0041 1000,0039 1000,0041 1000,0040 1000,0039 1000,0041 1000,0041 1000,0045 1000,0037 1000,0044 1000,0041

999,9974 999,9969 999,9978 999,9971 999,9975 999,9975 999,9976 999,9973 999,9971 999,9970 999,9970

1000,0032 1000,0037 1000,0038 1000,0033 1000,0041 1000,0041 1000,0040 1000,0035 1000,0038 1000,0037 1000,0037

999,9977 999,9983 999,9976 999,9980 999,9978 999,9980 999,9981 999,9976 999,9978 999,9972 999,9978

Ruimtedia~onalen

Gemiddelden:

AG [mm]

BH

DF

[mm]

CE

[mm]

[mm]

1000,0019 1000,0011 1000,0010 1000,0016 1000,0009 1000,0015 1000,0019 1000,0018 1000,0016 1000,0015 1000,0015

1000,0001 1000,0010 1000,0004 1000,0012 1000,0016 1000,0018 1000,0015 1000,0011 1000,0011 1000,0016 1000,0011

999,9968 999,9971 999,9964 999,9967 999,9972 999,9971 999,9971 999,9962 999,9969 999,9966 999,9968

999,9965 999,9974 999,9967 999,9967 999,9960 999,9969 999,9969 999,9971 999,9968 999,9973 999,9968

Test meetmachine op absolute meetnauwkeurigheid met inbegrip van temperatuurscorrectie en aantastsysteem. Meting langs de y-as op KKF positie. Meting met eindmaat van 1000 mm.

y [mm]

1000,0012 1000,0016 1000,0009 1000,0015 1000,0014 1000,0014 1000,0013 1000,0015 1000,0013 1000.0013

y = 1000,0013 mm s = 0,0002 mm

Meetresultaten tasterkalibratie

* 1D-metingen aan 9 mm eindmaat. x-as: 8,9999 9,0000 8,9996 8,9994 9,0002 9,0001 8,9995 9,0003 8,9995 9,0000 T1D ~ 0,3 µm

y-as: 8,9999 8,9999 9,0004 9,0001 9,0004 9,0002 9,0002 9,0006 9,0002 9,0002 T1D ~ 0,2 µm

z-as: 9,0003 9,0002 9,0003 9,0000 9,0004 9,0006 9,0002 9,0002 9,0004 9,0004 9,0006 9,0002 9,0004 9,0003 9,0004 T1D ~ 0,2 µm

*

2D-meting aan ring van 17 mm diameter. x-y vlak: 16.9997 x-z vlak: 16,9997 y-z vlak: 16,9997 16,9996 16,9996 16,9996 16,9996 16,9998 16,9997 16,9995 16,9998 16,9996 16,9999 16.9998 16,9997 16,9996 16,9997 16,9996 16,9996 16,9998 16,9996 16,9995 16,9996 16,9996 17,0000 16,9997 16,9995 16,9997 16,9995 16,9996 16,9997 16,9999 16,9995 16,9996 16,9997 16,9994 16,9996 16,9998 16,9994 16,9999 16,9998 16,9998 16,9996 16,9996 16,9998 T2D ~ 0,1 µm T2D ~ 0,2 µm

* 2D-meting

aan ring van 17 mm diameter (vervolg): x-y vlak: 16,9994 16,9995 16,9996 16,9996 16,9996 r 20 ~ 0,2 µm

* 3D-meting

aan een bol van 30 mm diameter: 29,9895 29,9895 29,9895 29,9893 29,9895 29,9895 29,9894 29,9894 29,9894 29,9893 29,9894 29,9894 29,9894 29,9895 29,9895 r 30 ~ O, 1 µm

P.H.J. Schellekens A.G. de Gilde W.P. van Vliet

Recommend Documents