Inhoudsopgave Blad nr

RWV nr. Document Hoofdstuk Beheerder

: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 0. Inhoud : Systeembeheerder

Blad nr. : 1.1 Epcode’s : M15 Datum

: 14-08-2006

Auteur: J.v.Zijl

Inhoudsopgave Blad nr.

1. 2. 3. 4.

5.

6. 7.

Wijzigingen t.o.v. de vorige versie ...............................................................................1.2 Veiligheid ......................................................................................................................2.1 Algemene werking ........................................................................................................3.1 3.1 Inschakelen....................................................................................................................3.1 3.2 Uitschakelen ..................................................................................................................3.1 Operator voorschrift ......................................................................................................4.1 4.1 Bediening met de muis:.................................................. Error! Bookmark not defined. 4.1.1Het meten van SI plakken m.b.v wafer casette .....................................................4.1 4.1.2Het meten van substraten zonder gebruik te maken van auto loader ....................4.3 4.2 Beschikbare meet programma’s ....................................................................................4.4 Proces voorschrift..........................................................................................................5.1 5.1 Operator menu...............................................................................................................5.1 5.2 Probe Kwalificatie.........................................................................................................5.2 5.3 SPC-meten.....................................................................................................................5.2 Maintenance voorschrift................................................................................................6.1 6.1 Storingen .......................................................................................................................6.1 Instructie........................................................................................................................7.1


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 1. Wijzigingen : Systeembeheerder

1. Wijzigingen t.o.v. de vorige versie Datum + W.B.:

Bladnr.:

14-08-2006

alle

Nieuw versienr.: 01.1

Omschrijving: eerste versie


: 14-08-2006


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 2. Veiligheid : Systeembeheerder


: 14-08-2006

2. Veiligheid Het afstellen en vervangen van onderdelen is alleen toegestaan aan de systeem beheerder en maintenance Engineer van D.T.S. Aan de voorzijde van de machine bevinden zich een aantal draaiende delen, steek hier nooit je hand in. Mocht dit toch gebeuren dan bevindt zich aan de linkervoorzijde van de machine een noodstop waarmee de machine volledig wordt uitgeschakeld. De computer echter werkt wel gewoon door. Om de noodstop weer te ontgrendelen is een sleutel nodig, deze bevindt zich in het koffertje naast het apparaat. Wanneer de noodstop weer ontgrendeld is kan de machine worden ingeschakeld volgens de procedure in hoofdstuk 3.1. Bij calamiteiten dient de netspanning te worden uitgeschakeld.


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 3. Algemene werking : Systeembeheerder


: 14-08-2006

3. Algemene werking De CDE ResMap 168 is bedoeld voor het meten van de vierkantsweerstand van lagen. De CDE ResMap meet d.m.v. een meetkop op de plak te plaatsen, met 4 naalden met het zogenaamde vierpuntsprincipe. Door nu door twee van de vier naalden een stroom te sturen kan over de andere twee pennen een spanning gemeten worden. Vervolgens kan dan m.b.v. de computer de weerstand worden berekend. Door het gebruik van het vierpuntsprincipe worden invloeden van buitenaf zoals contactproblemen en vervuiling tot een minimum beperkt. Tevens heeft de CDE ResMap 168 dicht bij de meetnaalden een temperatuursensor, waarmee de omgevingstemperatuur kan worden gemeten. Hierdoor wordt het mogelijk om temperatuursonafhankelijk te meten. De machine is ook voorzien van een autoloader met flatfinder, waardoor gegarandeerd kan worden dat er telkens op dezelfde positie gemeten wordt wat de reproduceerbaarheid van de meting vergroot. De aangesloten computer zorgt voor de verwerking van de data, en het bedieningsgemak van de operator.

3.1 Inschakelen Voordat de machine mag worden ingeschakeld moet deze tenminste een halve minuut uitgestaan hebben. De aan/uit schakelaar is te vinden aan de rechterzijde, achteraan de meetunit. Met de bovenste groene drukschakelaar kan de meetunit worden ingeschakeld. De computer werkt onafhankelijk van de meetunit en moet derhalve apart worden ingeschakeld. De aan/uit schakelaar zit aan de voorzijde van de computer. Na inschakelen start de computer automatisch op. Na verloop van tijd komt de melding Geef als usernaam fabwa Geef als password Cleanroom Druk na het beeindigen van het inloggen op de ikoon van resmap. Deze start automatisch het programma op en de meetunit geinitialiseerd. Op de vraag “Do you want to initialize all motors “ klik je “Yes” De volgorde van inschakelen is niet belangrijk.

3.2 Uitschakelen De machine kan uitgeschakeld worden met de aan/uit schakelaar aan de rechterzijde, achteraan de meetunit. Met de onderste rode drukschakelaar kan de machine worden uitgeschakeld. De computer dient apart uitgeschakeld te worden. Hiervoor moet echter eerst het besturingssysteem worden verlaten, om beschadiging van het bestandssysteem te voorkomen. Druk om het programma te verlaten eerst de toetscombinatie (d.w.z. druk de toets in en houd deze vast, druk vervolgens op in, selecteer in het popup window de optie shut down computer, als deze al niet geselecteerd is, en druk vervolgens op <Enter>. Wacht nu op de mededeling dat de computer veilig kan worden uitgeschakeld, schakel dan de computer uit met de aan/uit schakelaar aan de voorzijde van de computer.


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 4. Bedienings voorschrift : Systeembeheerder


: 14-08-2006

4. Bedienings voorschrift Het programma voor het meten met de CDE ResMap 168 is op twee manieren te bedienen, met behulp van de muis of met het toetsenbord. Als eerste wordt de bediening van het programma met de muis uitgelegd, daarna zal de bediening met het toetsenbord uitgelegd worden. Bij deze uitleg wordt er van uit gegaan dat het programma zich in de uitgangspositie bevindt. Het programma blijft echter in de positie waarin het laatst is achtergelaten, hierdoor kan het voorkomen dat slechts een deel van de uitgelegde procedure hoeft te worden doorlopen Voor de meest gangbare substraten Si is een meet programma gemaakt. Voor speciale substraten en wensen moet er een programma gemaakt worden door de apparaat eigenaar. Neem hiervoor kontakt op met : J.v.Zijl Wag-p5.21 tel 48220 of Pieper 0432 ( *870432)

4.1 Het automatisch meten van SI plakken in wafer casette ( 4, 5,6 en8”) l. 2. 3. 4.

5. 6.

Als de machine zich in de uitgangspositie bevindt is er een grijze achtergrond zichtbaar, met daarboven een zogenaamd pull-down menu. Plaats eerst een cassette met de te meten plakken op de autoloader van de machine. Klik met de muis op operator, er komt dan een pull-down menu tevoorschijn. Klik met de muis op Run recipe. Er verschijnt dan een window met twee kolommen.

In de linker kolom bevinden zich de zogenaamde hoofdgroepen. Klik in dit window op de betreffende hoofdgroep. Meestal zal dit FabWA_Si zijn. In de rechterkolom verschijnen dan de recepten die gedefinieerd zijn voor deze hoofdgroep. Klik afhankelijk van de te meten plak op Er verschijnt dan een window met een aantal invoer- en keuzevelden, en de recept informatie.

RWV nr. Document Hoofdstuk Beheerder 7.

8.

9.

10. 11.

12.



: 14-08-2006

Aan de linkerkant kunnen een aantal zaken worden ingevuld zoals partijgegevens en operator gegevens. Invullen hiervan is niet verplicht. wil men toch gegevens invullen, klik dan in een veld en vul de gewenste gegevens in.

Links onderaan kan men een keuze maken voor de printout. Hierin kan men een viertal keuzes maken, te weten: - No Autoplots: er worden geen gegevens geprint. - Contour/Diam: Er wordt een contour of diameter plot gemaakt. - Waferdata: De meetdata wordt op de meetpositie geprint. - Datasequence: Er wort een SPC grafiek met meetdata geprint. Hieruit kan een keuze gemaakt worden voor het printen van de gewenste gegevens. Aan de rechterzijde van het window bevinden zich 26 aankruisvakjes, met daarachter een slot nummer. Deze nummers komen overeen met de plakposities van de plakken in de cassette. Wanneer een vakje is aangekruist zal de machine deze plak (proberen te) meten. De selectie van een vakje kan worden omgekeerd door er een keer met de muis in te klikken. wanneer een vakje is aangekruist, maar de betreffende positie in de cassette is leeg, dan zal de machine toch proberen deze plak te gaan meten. De machine stopt dan echter met een vacuum error, daarna zal het recept opnieuw dienen te worden gestart. Wanneer alle juiste keuzes zijn gemaakt kan men de meting starten door op het blok met run te drukken. Als de machine klaar is met meten wordt er op het scherm een overzicht getoond met de meetgegevens. Wanneer men deze gegevens geprint wil hebben, moet men in het menu van dit window op Print klikken. Door te klikken op het liggende streepje, linksboven in de hoek van het window komt men terug in het recept window. Men kan nu een volgende meting starten door de procedure vanaf punt 6 weer te volgen. Door ook in dit window op het liggende streepje linksboven in de hoek te klikken, komt men weer in de uitgangspositie van het programma, en dient men de procedure weer vanaf punt 1 te vervolgen.




: 14-08-2006

4.1.1 Het meten van substraten zonder gebruik te maken van auto loader

l. 2. 3.

4.

Als de machine zich in de uitgangspositie bevindt is er een grijze achtergrond zichtbaar, met daarboven een zogenaamd pull-down menu. leg het te meten substraat welke groter is dan 3” op de meettafel van de machine. Klik met de muis op operator, er komt dan een pull-down menu tevoorschijn.

5.

Klik met de muis op Run recipe. Er verschijnt dan een window met twee kolommen In de linker kolom bevinden zich de zogenaamde hoofdgroepen. Klik in dit window op de betreffende hoofdgroep. Meestal zal dit FabWA zijn.

6. 7. 8.

Aan de rechterzijde onderin van het window bevindt zich het veld wafer id for manual Indien men het veld invult zal het meetsysteem de automatische wafer lader niet gebruiken. Druk op run om de meting te starten.

load.




: 14-08-2006

4.2 Beschikbare meet programma’s Sustraat materiaal Si Wafers

Substraten CD formaat Glas

Diameter 4”

Dikte 525µm

5”

670 µm

6”

760 µm

8”

760µm

4” ‫ڤ‬ 6” ‫ڤ‬ 120 mm 6” ‫ڤ‬

2 mm 2 mm 1 mm 1.2 mm

Meet methode 5 ptn Kruis 9 ptn Kruis 49 ptn Diameter 51 ptn contour 5 ptn Kruis 9 ptn Kruis 49 ptn Diameter 49 ptn contour 5 ptn Kruis 9 ptn Kruis 49 ptn Diameter 49 ptn Contour 121 ptn Contour 121ptn diameter 13pt Kruis 49pt contour 49pt diameter 121pt contour 121pt diameter 225pt contour

94 pt

diameter Contour

Receptnaam 4in5pt 4in9pt 4indiam 4in51pt 5in5pt 5in9pt 5indiam 5in49pt 6in5pt 6in9pt 6indiam 6in49pt 6in121pt 6in121di 8in13pt 8in49pt 8indiam 8in121pt 8in121di 8in225pt

6inSq

Edge exclusion

6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm 6 mm




: 14-08-2006

4.3 Het meten van niet standaard substraten. Het is niet de bedoeling dat iedereen programma’s aanmaakt Neem voor afwijkende programma’s kontakt op met de beheerder. Beheerder: Jeroen van Zijl Wag- P 5.21 Tel 48220 of pieper 432 ( *870432)


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 5. Proces voorschrift : Systeembeheerder

Blad nr. : 5.1 Epcode : M15 Datum

: 14-08-2006

5. Proces voorschrift 5.1 Operator menu Naast de mogelijkheid van het meten van plakken in het operator menu zijn er nog een aantal keuze mogelijkheden voor de operator om te kiezen. Soms kan het handig zijn om van deze mogelijkheden gebruik te kunnen maken, daarom volgt hieronder van elke keuzemogelijkheid een korte omschrijving.

Run Recipe: Om te meten, zie ook hoofdstuk 4.1 en 4.2 List Recipe Files: Alle aanwezige data gemeten met dit recept worden op het scherm getoond.

PlotTrendChart: De data wordt getoond in een zogenaamde trend grafiek. Read Data File: Maakt het mogelijk om bewaarde data van eerdere metingen weer terug te halen en in het geheugen te plaatsen. Contour Plot: Maakt een contour plot van de in het geheugen aanwezige data. 3D Plot: Maakt een driedimensionale grafiek van de hoogte van de aanwezige data. DiamScanPlot: Maakt een hoogte lijn van de aanwezige data over de diameter van de plak. HistogramPlot: Laat een histogram zien van de aanwezige data. WaferDataPlot: Plot de aanwezige data in een plak op de gemeten positie. PostProcessDataFile: Dit maakt het mogelijk om verschillende bewerkingen uit te voeren met de meetdata, bijvoorbeeld om de vierkantsweerstand om te laten rekenen naar soortelijke weerstand. Probe Goto X-O: Om de meetkop naar het midden van de plak te sturen. Park All Motors: Om alle motors naar hun uitgangspositie te brengen. ViewData: Geeft de mogelijkheid om een tekst file op het scherm te tonen. Home All Motors: Hiermee worden alle motors geinitialiseerd.

Probe Repeatability: Om de conditie van de meetprobe te testen. Probe Conditioning: Geeft de mogelijkheid om de kop te reinigen met behulp van een speciaal A10x plaatje.


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 5. Proces voorschrift : Systeembeheerder


: 14-08-2006

5.2 Probe Kwalificatie Wanneer er twijfel gerezen is over de juistheid van de meerwaarden, zijn er twee controlemogelijkheden. De eerste mogelijkheid is kijken naar de zogenaamde MERIT waarde op het scherm of de printout. Hoe hoger deze is des te betrouwbaarder de meerwaarden, deze MERIT waarde moet in ieder geval hoger zijn dan 1. Wanneer de MERIT waarde kleiner is dan 1, of er nog twijfel is moet m.b.v. de optie Probe Repeatability de probe kwalificatie test uitgevoerd worden. Ga hiervoor als volgt te werk: 1. Neem uit de doos met referentie plakken de plak gemerkt COMNIxx. 2. Plaats deze met een pincet direct op het midden van de chuck. 3. Kies in het Operator menu Probe Repeatabilty. 4. Vul achter No of sets 1 in. 5. Vul achter No of Sites 10 in. 6. Druk op <Enter> 7. Wacht tot de machine gestopt is met meten. 8. Neem de plak weer van de chuck en stop deze terug in de doos.

Nadat de machine klaar is met meten staat er een tekstwindow op het scherm. Van belang hiervan is de tweede tekstregel. Hierin staat onder ander RsAverage, met daarachter een waarde voor STD in %. Dit percentage is van belang. Dit moet in ieder geval kleiner zijn dan 0.2%. Is dit niet het geval dan moet de probe conditioning uitgevoerd worden uit het operator menu. Eerst dient echter het tekstscherm verlaten te worden, door op het kruisje te klikken rechtsboven aan het tekstscherm, of door de toetscombinatie te gebruiken. Vervolgens moet men het ResMap programma weer actief maken, door ergens in het grijze venster te klikken of door net zolang te drukken tot dit venster weer actief wordt.

5.3 SPC-meten Voor het SPC meten zijn de drie weerstandsplakken nodig die ook gebruikt worden voor de Prometrix RS50 machines. Dit zijn 3 plakken met de opschriften COX xx (YWA934A), TIB1 xx (YWA934B) en SWIK xx (YWA934C). Zorg ervoor dat deze 3 plakken in de posities 1 t/m 3 in het rekje zitten, plaats dan het rekje met deze 3 plakken op de autoloader van de machine. Volg dan de volgende procedure: 1. Ga met de toets <Esc> naar de uitgangspositie van het programma. 2. Reinig de kop m.b.v. het Alox plaatje en de optie Probe Conditioning in het Operator Menu. Vul in de checkbox het getal 25 in. 3. Ga in het menu operator naar Run Recipe. 4. Kies in de hoofdgroep SPC het recept SPC. 5. Druk op <Enter>. 6. Wacht tot de machine klaar is met meten en het resultaten scherm wordt getoond. Druk dan op de toetscombinatie om de gegevens te printen. 7. Breng vervolgens de meetwaarden in met de functie METEN in ……..


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 6. Maintenance voorschrift : Systeembeheerder


: 14-08-2006

6. Maintenance voorschrift Een keer per half jaar dient de machine gecontroleerd te worden volgens checklist Voor maintenance informatie wordt naar de volgende map verwezen: RWV 084-202-933 Resmap Manual.

6.1 Storingen

Wanneer er slechte / onjuiste meetresultaten verkregen worden kan dat verschillende oorzaken hebben. Verstandig is om in zulke situaties eerst de SPC-metingen uit te voeren. wanneer deze metingen goed zijn kun je er vanuit gaan dat de machine goed is. Bij storingen moet de beheerder in kennis gesteld worden.. . (tel.48220) of pieper 432 (*870432). Geef duidelijk aan wat het probleem is en hoe het ontstaan is. Vermeld ook eventuele foutmeldingen

MOGELIJKE PROBLEMEN.

* Machine reageert niet meer, computer hangt: Kijk met CTRL+ALT+DEL welk programma niet meer reageert. LET OP! HET KAN 30 SEC DUREN VOOR ER IETS GEBEURT. Beëindig deze taak door deze te selecteer en taak beëindigen te kiezen. Druk net zolang op totdat keuze scherm in beeld komt. Kies Restart Computer en druk op <Enter>. Wacht tot de machine weer helemaal opgestart is. NB. ALLEEN ALS DE TOETSCOMBINATIE OOK NIET MEER WERKT MAG DE COMPUTER GERESET OF UITGESCHAKELD WORDEN. * Printer werkt niet: --> Controleer of er nog papier in zit.


: RWV-011-080-015/01.1 : Bedieningsvoorschrift CDE Resmap 168 : 7. Instructie en toets : Systeembeheerder


: 14-08-2006

7. Instructie Indien men instruktie wil krijgen in het gebruik van het apparaat dient men kontact op te nemen met de beheerder van het apparaat. Beheerder: J.v.Zijl WA-p 5.21 tel 48220 of pieper 0432 (*870432).

Inhoudsopgave Blad nr

Recommend Documents