9. Měření teploty přednášky A3B38SME Senzory a měření zdroje převzatých obrázků: pokud není uvedeno jinak, zdrojem je monografie Haasz, Sedláček: Elektrická měření a skripta Ripka, Ďaďo, Kreidl, Novák: Senzory P. Ripka 2014
A3B38SME přednáška 9
1
Senzory teploty -teplota = termodynamická stavová veličina -teplotní stupnice: Kelvinova (trojný bod vody 273,16 K), Celsiova, ... ITS-90 (4 rozsahy) elektrické: • odporové kovové (RTD) • odporové polovodičové: - termistory NTC - termistory PTC - monokrystalické Si • polovod. s PN přechodem • krystalové • termolelektrické dilatační a tlakové (kapalinové, plynové,...) speciální(šumové, akustické,…)
kontaktní
senzory teploty:
bezkontaktní 2014
A3B38SME přednáška 9
2
2014
A3B38SME přednáška 9
3
Měřicí obvody
- vlastní oteplení = vliv měřícího proudu chyba:
RI 2 D
D – zatěžovací konstanta (teplotní vodivost)
Pt 100: pro = 0.1oC Idov=1mA Termistory: Idov < 10 A voltampérová charakteristika: perličkový negastor
2014
A3B38SME přednáška 9
pozistor
4
• linearizace termistorů
Číslicová
podmínka: stabilita charakteristiky
Aktivní analogová Pasivní analogová
seriové zapojení:
paralelní zapojení:
Rs = 0
2014
A3B38SME přednáška 9
RS RT
B 2Ti B 2Ti
5
2.3 Monokrystalické PN senzory teploty
Schockleyova rce: UD mU T I D IS e 1
ID UD mUT ln 1 IS
IS – saturační proud PN v závěrném směru ID - proud PN v propustném směru m – rekombinační koeficient UD – napětí na PN v propustném směru UT – teplotní napětí kT UT e – elementární náboj e k – Boltzmanova konstanta
teplotní závislost napětí
2014
A3B38SME přednáška 9
6
tranzistorová dioda
m=1
ID U D mU T ln 1 IS pro Io>> IS
2014
0,1mA…2,3 V
Ud 2 až 2, 3 mV/K T ID A3B38SME přednáška 9
1mA…2,0 V
7
integrovaný PN senzor
U BE 2 UT
I 2 Se 2e U BE 1 I1 S e 1e U T
e
U BE 2 U BE 1 UT
r – počet paralelně spojených tranzistorů tvořících T1 Se – plocha emitor. přechodu
r
U BE U T ln r
předp. I1= I2
k I ln( r )T I E 1 R R e 2
typ. r = 8 R = 358 předp. = AD 590: 1 A/K LM 35Z: 10 mV/K nelinearita cca 0,1% 2014
A3B38SME přednáška 9
AD590 8
AD 630 2014
A3B38SME přednáška 9
9
Teploměr s tranzistorovou diodou:
Odvoďte výstupní napětí v závislosti na teplotě tak, aby Uv [mV] ≈ t [C]
2014
A3B38SME přednáška 9
10
Kompenzační krabice (opakování)
napětí na diagonále: 2014
dRCu dU ab R1 U Z d S ( R1 RCu ) 2 d A3B38SME přednáška 9
11
Diodový kompenzační obvod pro termočlánky:
dU V dU D R2 d d R1 R2 2 mV / K
2014
A3B38SME přednáška 9
12
porovnání
tepl. rozsah citlivost linearita záměnnost stárnutí pasivní rychlost odolnost
2014
termočl.
RTD
NTC
PN polovod.
-200..2300
-200..850 + ++
-80..150 + -drahé samoohřev + +
-40..100 ++ + +
-+ -+ ++ ++
+ --
A3B38SME přednáška 9
-
13
Další teploměry • • • • • •
Skleněné teploměry Tlakové teploměry Plynové a parní teploměry Dvojkovové senzory teploty Krystalové teploměry c p RT 2 Akustický teploměr w cv M
kde cp, cv jsou měrné tepelné kapacity plynu, R je plynová konstanta a M je molekulová hmotnost plynu
2014
A3B38SME přednáška 9
14
2.6 Kontaktní neelektrické teploměry
tempearture indicating lacquers
Reversible Temperature Indicating Labels (liquid 2014 crystal)
A3B38SME přednáška 9
© Omega
15
Časová konstanta dotykových senzorů
S m t dt mc dt teplo přivedené do senzoru S
teplo akumulované v senzoru
je plocha povrchu senzoru, součinitel přestupu tepla, teplota měřeného prostředí, teplota senzoru, t čas, m hmotnost senzoru, c měrná tepelná kapacita senzoru.
t t m m 0 1 e
mc S
U reálného senzoru není tepelná vodivost senzoru = a přechodová charakteristika nebude prvního řádu. 2014
A3B38SME přednáška 9
16
Základy pyrometrie
- pyrometrie = bezkontaktní měření teploty 0.4 μm ... 25 μm
- 40 0C ... 10 000 0C
výhody: • zanedbatelný vliv měřící techniky na objekt • možnost měření rotujících nebo pohybujících se těles • možnost měření rychlých teplotních změn • lze snímat a zobrazovat celé povrchy těles – termovize nevýhody: • chyba způsobená nejistotou stanovení emisivity měřeného tělesa • chyba způsobená prostupností prostředí • chyba způsobená odraženým zářením z okolního prostředí 2014
A3B38SME přednáška 9
17
Planckův zákon:
M 0
c1 cT2 e 1 5
Mo - spektrální hustota intenzity záření [W/m2] C1 = 3,74.10-16 Wm-2 C2 = 1,44. 10-2 mK
Stefan-Boltzmanův zákon:
M
0
M
0
d T
0
d W M0 2 M0 dS m
= 5,6710-8 Wm-2K-4 2014
4
M0 [W.cm-2.m-1]
104 102
3000K 1000K
10-2
500K 300K 200K
10-4
77K
100
10-6 -1 10
100
viditelné spektrum: 0.4 .. 0.78 μm A3B38SME přednáška 9
1
10
10
2
103 [m] 18
Wienův zákon:
T 0 , 1 c 2 , T 3000 K zjednodušený Planckův zák.:
M
0
c1
5e
C2 T
Wienův posunovací zákon:
b m T
s rostoucí T klesá a naopak
b = konst. = 2898 mK 2014
A3B38SME přednáška 9
19
Iφ
zářivost:
zář:
Lφ
d d
Φ (W) ... zářívý výkon (tok)
d Iφ
d 2 dS cosφ d dS cosφ
Lambertův zákon:
I φ I n cos φ Lφ S cos φ Lφ S n Iφ In Lφ konst. S S n Kirchhoffův zákon:
M f (T , ) 2014
A3B38SME přednáška 9
20
• pohltivost
p d
• prostupnost
t d • odrazivost
r d
- pohltivost pro danou vln. délku
p -pohlcený tok d -dopadající tok
!! vztahy jsou pro monochromatické záření - prostupnost pro danou vln. délku pro danou vlnovou délka !! t -prostupující tok
d -dopadající tok
- odrazivost pro danou vln. délku
r -odražený tok d -dopadající tok
• emisivita
M ε M0 2014
M – intenzita vyzařování zářiče M k intenzitě vyzařování černého tělesa M0 A3B38SME přednáška 9
M M 0 ; M M 0 21
- atmosférická prostupnost 25 oC :
2014
A3B38SME přednáška 9
22
propustnost optiky
100 80 (%) 60
KBr
safír ZnSe
40 křemen
2014
2
Ge
MgF2 Si
20 0
300K 77K
BaF2 4
6
8
10
12
A3B38SME přednáška 9
14
16
18
20 (m)
23
Pyrometrie = bezkontaktní měření teloty • termočlánkové baterie senzory infračerveného záření
• Bolometry • pyroelektrické detektory • polovodičové (kvantové) detektory
hlavní problémy: • emisivita: neznámá závislá na vlnové délce závislá na teplotě • závislost na úhlu k měřenému povrchu • pohltivost prostředí 2014
A3B38SME přednáška 9
24
Okolní vlivy na přesnost IR teploměru
2014
A3B38SME přednáška 9
25
1. termočlánková baterie
- konstruována jako tenké kovové pásky nebo Si technologií - často umístěna ve vakuové baňce parametr pro výběr materiálu:
2 Z typ –18 až 500 oC a víc typ 7 - 18 m
2014
A3B38SME přednáška 9
26
2. Bolometry
- užívají principu odporových senzorů teploty - tenké vrstvy oxidů (např. MnO, MgO, NiO,…) nanesené na nevodivé tenké podložce Mikrobolometrická matice v uspořádání FPA Uspořádání matice FPA detail elementu
IR záření mikromůstek
CMOS
matice FPA
2014
A3B38SME přednáška 9
27
Mikrobolometrický element matice SCD 2001.PPT
odporové čidlo Si membrána kontakt upevnění
mezera ,
substrát obvodové vymezení selekce elementu
odporový senzor teploty spojen se substrátem jen tenkými přívody
2014
A3B38SME přednáška 9
28
3. Pyroelektrické detektory
pyroelektrický jev = změna spontánní polarizace PS při změně teploty T materiály: TGS, PZT, LiTaO3, PVDF pyroelektrický koeficient:
PS p T T pyroelektrický čip se zesilovačem
P dQ S S dT S p(T ) dT T T
C
S
dU 2014
a
o r (T ) S a
a p(T )dT o r (T )
U
Q C
transparentní elektroda
nutná rotující clona elektroda
A3B38SME přednáška 9
pyroelektrikum
S 29
kompenzovaný integrovaný pyroelektrický senzor:
optický filtr
2014
A3B38SME přednáška 9
30
4. Kvantové (fotoelektrické) detektory
Relativní citlivost (detektivita) infračervených detektorů 2014
A3B38SME přednáška 9
31
Pyrometry • úhrnné pyrometry
• jednopásmové • dvoupásmové
1. Úhrnné radiační pyrometry
- vyhodnocení teploty podle Stefan-Boltzmanova zákona:
TS – skutečná teplota T0 – „černá“ teplota = teplota černého zářiče M – intenzita záření
M 0 M 0 d T 4 0
= 5,6710-8 Wm-2K-4
-pyrometry jsou výrobcem cejchovány podle černého tělesa -tepelné záření se na senzor zaostřuje soustavou čoček nebo zrcadlem 2014
A3B38SME přednáška 9
32
(T0 TA ) 4 p (TS TA ) 4
TS (T0 TA ) 4
1
p
TA
dTS d 0 ,25 TS
- emisivita p – prostupnost atmosféry OP – prostupnost optiky Z – tok ze zářiče PO – tok z pouzdra detektoru
2014
A3B38SME přednáška 9
33
OS521
2014
26 000 Kč Přesnost: ±1% ze čtení, rozsah: -18 až 540°C, optika 20:1
A3B38SME přednáška 9
OS530L 11 000 Kč přesnost: ±1% ze čtení, rozsah: -18 až 538°C , optika 10:1, bodové laserové zaměřování
34
2. Jednopásmové pyrometry
-typ polovodič. senzor + interferenční filtr -monochromatické pyrometry – existují jen teoreticky (ef, ef)
1 o
TS
c1 5 e
c2 To
o
c1 5 e
c2 TS
To c 2 c 2 To ln( )
dTS T d S TS c2
= 1 m T = 1000 K c2 = 1,44.10-2 mK 2014
A3B38SME přednáška 9
35
Jasový pyrometr (typ jednopásmového pyrometru)
1 1 ln( ) TS T0 c2
1 TS - skutečná teplota měřeného předmětu [K] T0 - teplota naměřená pyrometrem [K]
- je vlnová délka [m] c 2 - konstanta, c 2 1 ,44.10- 2 [m.K]
- emisivita - spektrální propustnost - spektrální pohltivost 2014
A3B38SME přednáška 9
36
Určení emisivity :
1. z tabulek 2. kalibrací
nekovové materiály neoxidované kovy Al, Au, Ag u kovů, Si, keramiky
2014
0,85 - 0,9 0,5 - 0,2 0,02 - 0,04
A3B38SME přednáška 9
T
37
3. Dvoupásmové pyrometry
z Planck. zákona platí pro poměr záření:
L 1 L 2
1 o
c1 c2 TP
c2 1TS
1 c 1 15 e 51 e c c1 1 2 5 1TS c2 c e 2 1 2 o 5 T 2e P
1 1 1 1 1 2 ln TS TP c 2 1 2 2
2014
A3B38SME přednáška 9
38
termovize
Technické parametry: Teplotní rozlišení: 0,1° při 30°C Rozsah zaostřování: 0,4 m až nekonečno Detektor PbSe: chlazený termometrický Frekvence snímání: 15 Hz Výstup video: RS 170 Rozměry: 98 × 220 × 8,3 mm Hmotnost: 1,5 kg Pracovní teplota: -10°C až + 50°C Rázy / Vibrace: 25×g / 2×g Rozlišení hledáčku: 400 řádků Hmotnost 0,85 kg Příkon 7 W
AGEMA 210
2014
A3B38SME přednáška 9
39
Long Range Thermal Imager
2014
A3B38SME přednáška 9
40
Vláknooptická sonda - IR
• snadné umístění na těžko dostupná místa • možnost zaostření • do nevýbušných prostředí •do teplot 300 °C (bez chlazení) 2014
A3B38SME přednáška 9
• cena (2000 $) • fixní ostření 41