7. Měření lineární a úhlové polohy. Optoelektronické a ultrazvukové senzory Prof. Pavel Ripka Katedra měření ČVUT v Praze, FEL
Evropský sociální fond Praha & EU: Investujeme do vaší budoucnosti 2014
A3B38SME přednáška 7
1
Obsah
• Přehled metod měření lineární polohy a vzdálenosti • Měření úhlové polohy • Optoelektronické senzory • Ultrazvukové senzory přednášky A3B38SME Senzory a měření zdroje převzatých obrázků: pokud není uvedeno jinak, zdrojem je monografie Haasz, Sedláček: Elektrická měření a skripta Ripka, Ďaďo, Kreidl, Novák: Senzory
2014
A3B38SME přednáška 7
2
Senzory polohy lineární / rotační • Dvoustavové • S kodovým výstupem : inkrementální / absolutní, optické /magnetické
• Lineární – odporové – indukčnostní – kapacitní – optické – ultrazvukové 2014
A3B38SME přednáška 7
3
Dvoustavové senzory polohy
(proximity switch)
dvoustavový princip: mikrospínač jazýčkový kontakt Wiegandův senzor
2014
lineární senzor polohy + komparátor: Hallův senzor magnetorezistor optická závora kapacitní ...
A3B38SME přednáška 7
4
Jazýčkové kontakty (reed contacts) magneticky měkké kontakty ovládány polem permanentního magnetu normálně rozepnutý (i normálně sepnutý a bistabilní typ) hystereze malá je žádoucí vícenásobné zony sepnutí aplikace:
2014
otáčky (bicykl), poloha (dveře)
A3B38SME přednáška 7
5
Hallovy rychlostní a polohové senzory pro řízení spalovacích motorů Active Speed and Position Sensors for Engine Management
Honeywell 2014
A3B38SME přednáška 7
6
Magnetické, kapacitní a indukčnostní senzory polohy (opakování) Magnetické • inkrementální • bezkontaktní potenciometry Kapacitní • mezerové • s překryvem elektrod • otevřeného typu Indukčnostní s vířivými proudy Indunčnostní s proměnnou magnetickou mezerou transformátorové • LVDT • Induktosyn • selsyn
2014
A3B38SME přednáška 7
7
Magnetický bezkontaktní potenciometr použitý senzor: dvojice Hallových sond nebo GMR magnetorezistorů
Sensitive bridges of the GMR Sensor - the arrows in the resistor symbols show the direction of the reference layer - from Infineon
2014
Ideal Output of the GMR Sensor – from Infineon
A3B38SME přednáška 7
8
Odporové senzory polohy (opakování)
Proudové napájení potlačuje vliv odporu přívodů, ale vliv ρ Potenciometrické uspořádání potlačuje změny ρ
Navijákový senzor polohy s viceotáčkovým potenciometrem 2014
A3B38SME přednáška 7
9
Optoelektronické senzory polohy Založené na: • změna polohy světelné stopy • zastínění (optická závora) • odraz • zrcadlový • difuzní • interference • doba šíření
2014
A3B38SME přednáška 7
10
Optické detektory : fotodioda
Ripka (ed): Modern Sensors Handbook 2014
A3B38SME přednáška 7
11
(Position-Sensitive photo Detectors Polohově citlivé detektory)
PSD I A I0
RL RX RL
I B RX x I 0 RL L
;
I B I0
RX RL
IA L x I0 L
IA IB IA IB L x x x 1 2 IA IB I0 L L L
fotodioda s rozdělenou anodou, i zde se používá záporné předpětí
2014
A3B38SME přednáška 7
12
CCD a CMOS obrazové snímače microlens red color filter
reset transistor
amplifier transistor column bus transistor silicon substrate
row select bus photodiode n+ potential well
2014
CMOS: pixel tvořen fotodiodou a MOS tranzistorem, napěťový výstup. Výběr řádku-sloupce spínacími tranzistory. Umožňuje zpracování obrazu na stejném chipu. A3B38SME přednáška 7
13
CCD = Charge Coupled Devices Optoelektronické senzory s nábojově vázanou strukturou: pixel tvořen CMOS kondenzátorem, ve kterém se vytvoří náboj úměrný expozici. Pixely se postupně vyčítají pomocí analogového nábojového posuvného registru. Na konci řádku je nábojový zesilovač.
2014
A3B38SME přednáška 7
14
Inkrementální senzor polohy
min = 7 m Interpolátory: až 50 nm
Existují i v magnetickém a kapacitním provedení 2014
A3B38SME přednáška 7
15
Inkrementální senzor polohy – magnetický princip
2014
A3B38SME přednáška 7
16
Inkrementální senzor polohy
min = 7 m Interpolátory: až 50 nm
Kvadraturní ?? výstupy
2014
A3B38SME přednáška 7
17
Kódový absolutní senzor polohy position
i magnetické provedení
Grayův kód
2014
A3B38SME přednáška 7
18
Reflexní senzor s difusním odrazem Pro malé vzdálenosti Založen na difusním odrazu Pro potlačení vlivu okolního potlačení se používá modulace světla
použití hlavně pro detektory polohy (proximity switch) možnost kompenzace odrazivosti a náklonu více senzory 2014
aperture
Rec2 A3B38SME přednáška 7
Em Rec3 Rec1 19
Retroreflektivní senzor s odražečem
2014
A3B38SME přednáška 7
20
Triangulační senzory
Difusní odraz
??
Pro střední vzdálenosti přesnost až 10 m 2014
A3B38SME přednáška 7
21
Optická závora
2014
A3B38SME přednáška 7
22
Optické vláknové senzory
Optické vlákno: princip úplného odrazu Vlákno umožňuje přívod světla do neprístupných míst, odolné vůči vys. teplotám chemikálií, rušení Reflexní i clonicí princip
2014
A3B38SME přednáška 7
23
Pro největší vzdálenosti
„Time of flight“: 1.
Přímá metoda - světlo uletí 30 cm za 1 ns = rozlišení 1 cm na 1 km
2.
Metoda frekvenční modulace
dosažitelná přesnost: mm Používá se i pro ultrazvuk a radar
2014
A3B38SME přednáška 7
24
Senzor clonicího typu (scanner)
2014
A3B38SME přednáška 7
25
čtečky čárového kódu
1. pero konst. rychlost
3. laserový snímač až do 10 m 2014
www.denso-wave.com
2. CCD snímač
4. obrazový snímač A3B38SME přednáška 7
26
Interferometrické senzory polohy
Michelsonův interfermetr
2014
A3B38SME přednáška 7
27
Magnetostrikční senzory polohy elastická vlna .... v = 3000 m/s = 3m / ns
2014
(původně zpožďovací linka)
max. délka až 4 m (útlum) Animace: hystereze 0.4 m http://www.rdpe.com/ex/hiw-magneto.htm linearita 0.02 % A3B38SME přednáška 7
28
Ultrazvukový dálkoměr
měří vzdálenost 0 (?) až 255 centimeterů s rozlišením +/‐ 3 cm. princip: „time of flight“ piezoelektrický vysílač i přijímač (oddělené) rychlost zvuku 346 m/s vyžaduje kvalitní odraz 10 až 15 pulsů/s, programovatelné (80 ms..2,5 s)
2014
A3B38SME přednáška 7
29