20 ma

Volume 10, Oktober 2008

ISSN 1411-1349

KONSTRUKSI DAN UJI FUNGSI SISTEM INSTRUMENTASI DAN KENDALI PERANGKAT VAKUM MBE 300 keV/20 mA Eko Priyono, Taxwim Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan, Badan Tenaga Nuklir Nasional

ABSTRAK KONSTRUKSI DAN UJI FUNGSI SISTEM INSTRUMENTASI DAN KENDALI PERANGKAT VAKUM MBE 300 keV/20 mA. Telah dilakukan konstruksi dan uji fungsi sistem instrumentasi dan kendali (SIK) perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA yang diaplikasikan untuk proses iradiasi pada industri lateks. Konstruksi dilakukan dengan mengacu rancangan detil SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA. Sistem ini berfungsi untuk mengoperasikan perangkat vakum sesuai dengan prosedur operasi standar dan kriteria rancangan detil. Sistem ini terdiri dari : modul logic, modul operasi, modul pengaman dan panel kendali. Sistem ini dikonstruksi menggunakan komponen-komponen utama gerbang OR, gerbang AND, lampu indikator LED 3 warna, relay TPDT (tetra-pole double trough), magnetik kontaktor, resistor, IC OpAmp, transistor dan saklar ON/OFF dengan catu tegangan DC 5V untuk IC TTL dan ± 12V untuk IC OpAmp serta dilengkapi dengan isyarat TRIP/READY vakum untuk sistem interlock. Uji fungsi terhadap sistem ini dilakukan tanpa beban (komponen vakum tidak dihubungkan). Hasil uji fungsi menunjukan bahwa sistem telah mampu mengoperasikan relay-relay yang akan dihubungkan ke komponen vakum sesuai dengan kriteria rancangan detil SIK perangkat vakum yang telah ditentukan. Kata kunci : konstruksi, SIK, vakum

ABSTRACT THE CONSTRUCTION AND FUNCTION TEST OF INSTRUMENTATION AND CONTROL SYSTEM OF 300 keV/20mA EBM VACUUM DEVICE. The instrumentation and control system of 300 keV/20 mA EBM vacuum device has been constructed and tested. The construction based on the detail design of the system as reference. This system is used as vacuum device operating system of 300 keV/20 mA EBM as according to standard operating procedure and detail design criterion. The system was constructed by using main components OR gate, AND gate, Op Amp, resistor, LED three colors, TPDT relay, transistor and ON/OFF switch with DC power supply 5V for IC TTL and ± 12V for IC Op Amp and equipped by vacuum TRIP/READY signal for safety system. The function test of the system was done without load (the system is not connected to vacuum components). The function test results show that the system can be used for operating the relays that will be connected to vacuum components as in accordance to detail design criterion required. Keyword : construction, ICS, vacuum

PENDAHULUAN

M

esin Berkas Elektron (MBE) adalah jenis teknologi baru yang telah dikembangkan sebagai sumber radiasi pada proses iradiasi suatu produk industri. Pemanfaatan MBE dalam bidang industri telah berkembang pesat di negara-negara maju, terutama dalam proses pengeringan pelapisan (curing of coatings) permukaan suatu bahan, proses pembentukan ikatan silang pada plastik, karet dan bahan isolasi kabel, proses vulkanisasi karet alam, sterilisasi peralatan medis, pengawetan bahan makanan, modifikasi tekstil dan graft polymerization.[1,2] Apabila dibandingkan dengan proses termal konvensional ataupun proses kimia, maka proses iradiasi elektron KONSTRUKSI DAN UJI FUNGSI SISTEM INSTRUMENTASI DAN KENDALI PERANGKAT VAKUM MBE 300 keV/20 mA Eko Priyono, dkk.

mempunyai beberapa keunggulan antara lain: menghasilkan kualitas produk yang lebih tinggi, tidak menimbulkan polusi pada lingkungan, hemat energi, reaksi-reaksi terjadi pada suhu kamar, proses yang terjadi mudah dikontrol, biaya operasi lebih rendah untuk produksi masal. Untuk vulkanisasi karet alam, ikatan silang merupakan reaksi yang paling dominan yang terjadi selama proses iradiasi elektron. Sifat-sifat fisika dari karet alam akan berubah dengan terbentuknya ikatan silang seperti bertambahnya ketahanan terhadap bahan pelarut (solvent), meningkatkan kekuatan regangan dan kekerasan, berkurangnya tingkat kemuluran dan tahan terhadap panas (deformasi termal)[3]. Untuk itu di Pusat Teknologi Akselerator dan Proses

63


Bahan Badan Tenaga Nuklir Nasional saat ini sedang melakukan rancang bangun sebuah mesin berkas elektron (MBE) 300 keV/20 mA yang akan digunakan untuk proses iradiasi karet alam (lateks). Salah satu komponen utama MBE adalah perangkat vakum yang berfungsi untuk mengeluarkan gas-gas yang berada di dalam sistem bejana vakum MBE agar berkas elektron tidak mengalami banyak hambatan/tumbukan dalam perjalan dari sumber elektron sampai ke sasaran/target sehingga dapat dicapai panjang jejak rata-rata (mean free path) yang besar. Agar perangkat vakum dapat dioperasikan secara benar dan aman maka diperlukan sistem yang mampu mengoperasikan dan memonitor kondisi perangkat vakum beserta parameternya secara benar, aman dan teliti. Rancangan detil SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA telah dibuat. Untuk itu perlu dikonstruksi rangkaian modul SIK perangkat vakum dengan mengacu rancangan detil dan prosedur standar operasi perangkat vakum yang dapat diharapkan sebagai salah satu sistem pendukung operasional MBE secara aman.

ISSN 1411-1349

• Roughing Valve : DN 25 ISO-KF, 220 V (electro pneumatic activated) • Isolation Valve

: CF-F SVV 040 PM (DN 160, electro pneumatic activated)

• Venting Valve

: DN 25 ISO-KF, 220 V (electro pneumatic activated)

TATA KERJA Perangkat vakum merupakan salah satu komponen penting penyusun sebuah akselerator yang berfungsi untuk mengeluarkan gas-gas yang ada dalam sistem yang akan divakumkan sehingga berkas ion/elektron yang melintasi sistem tersebut tidak banyak mengalami tumbukan dengan gas-gas yang ada sehingga dapat dicapai panjang jejak ratarata (mean free path) yang besar. MBE 300 keV/20 mA yang sedang dirancang bangun di PTAPBBATAN Yogyakarta direncanakan akan diaplikasikan untuk proses iradiasi pravulkanisasi karet alam (lateks) agar diperoleh karet alam yang bebas nitrosamine dan protein allergen. Perangkat vakum yang akan dipasang pada MBE 300 keV/20 mA terdiri dari : pompa rotary, pompa turbo molekuler, backing valve, roughing valve dan isolation valve dan venting valve. Adapun skema diagram pemasangan perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA dapat dilihat pada Gambar 1. Adapun spesifikasi elemen vakum MBE 300 keV/20 mA adalah sebagai berikut(4) :

Gambar 1. Skema Diagram Sistem Vakum MBE 300 keV/20 mA.

a. Kriteria Rancangan Detil Sistem Instrumentasi dan Kendali Perangkat Vakum Pada rancangan detil sistem instrumentasi dan kendali perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA diketahui bahwa beberapa kriteria atau persyaratan yang harus dipatuhi yang berhubungan dengan sistem operasi perangkat vakum. Adapun kriteria/persyaratan operasi perangkat vakum yang harus dipatuhi adalah sebagai berikut [4,5] :

• Pompa Rotari

: DUO 20 (laju pemompaan 50 m3/jam)

• Pompa Turbo

: TMU 521 (laju pemompaan 500 liter/detik)

• Pompa rotary dapat dioperasikan dalam kondisi backing valve, roughing valve dan isolation valve tertutup maupun terbuka tetapi venting valve dalam kondisi tertutup.

• Backing Valve

: DN 25 ISO-KF, 220 V (electro pneumatic activated)

• Isolation valve dapat dibuka bila tekanan vakum pada bejana vakum lebih kecil 2E-02

Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya Vol. 10, Oktober 2008 : 63 - 72

64


ISSN 1411-1349

torr, kondisi backing valve terbuka, roughing dan venting valve tertutup.

pompa rotary dan pompa turbomolekuler termonitor pada panel kendali.

• Pompa turbomolekuler dapat dioperasikan hanya jika kondisi backing valve terbuka, roughing valve tertutup, isolation valve terbuka, pompa rotary hidup, tekanan vakum lebih kecil 2E-02 torr dan kipas pendingin hidup.

• Sinyal trip vakum selalu aktif bila tekanan vakum lebih besar dari 5E-05 torr.

• Kondisi semua elemen vakum (backing valve, roughing valve, isolation valve, venting valve,

Sedangkan rancangan detil sistem instrumentasi dan kendali perangkat vakum MBE 300 keV/ 20 mA disajikan dalam Gambar 2.

• Bila terjadi kekegagalan penunjukan penning (malfunction penning gauge) maka sinyal trip vakum aktif.

Gambar 2. Rancangan detil SIK perangkat vakum[5).

KONSTRUKSI DAN UJI FUNGSI SISTEM INSTRUMENTASI DAN KENDALI PERANGKAT VAKUM MBE 300 keV/20 mA Eko Priyono, dkk.

65


ISSN 1411-1349

b. Konstruksi SIK Perangkat Vakum Konstruksi SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA merupakan kegiatan menyusun komponen-komponen SIK perangkat vakum menjadi sebuah sistem yang berfungsi untuk mengoperasikan perangkat vakum sesuai dengan kriteria dan rancangan detil yang telah ditetapkan. Kegiatan ini berupa kegiatan konversi gambar rangkaian detil SIK perangkat vakum menjadi serangkaian modul SIK perangkat vakum yang terdiri dari modul rangkaian elektronik, modul rangkaian relay DC, modul rangkaian relay AC dan modul panel operasi. Modul rangkaian elektronik berisi rangkaian gerbang nalar yang dibangun menggunakan IC TTL dan rangkaian komparator yang dibangun menggunakan IC Op-Amp. Modul ini berfungsi sebagai sistem interlock dalam sistem keselamatan operasional perangkat vakum. Modul rangkaian relay DC berisi susunan instalasi relay DC dimana gulungan aktuatornya dihubungkan dengan tombol-tombol operasi perangkat vakum sedangkan kontaktor keluarannya (output) dihubungkan dengan gulungan aktuator relay AC dan manetik kontaktor. Modul ini berfungsi untuk mengaktifkan relay AC dan magnetik kontaktor melalui tombol-tombol operasi perangkat vakum. Modul rangkaian relay AC berisi susunan instalasi relay AC dan magnetik kontaktor dimana kontaktor keluarannya dihubungkan dengan komponen-komponen vakum yang terdiri dari backing valve, roughing valve,

isolation valve, venting valve, rotary pump dan turbomolekuler pump. Modul panel operasi berisi susunan instalasi lampu LED indikator, tombol-tombol operasi dan meter vakum. Modul ini berfungsi untuk mengendalikan dan memonitor kondisi operasional perangkat vakum. Adapun skema diagram SIK perangkat vakum disajikan pada Gambar 3 sedangkan hasil dari kegiatan konstruksi SIK perangkat vakum disajikan pada Gambar 4a, 4b, 4c dan 4d. c. Menentukan nilai acuan (referensi) komparator Nilai acuan komparator merupakan nilai yang digunakan kompator untuk membandingkan nilai parameter terukur yang dicatukan padanya. Untuk menentukan nilai acuan komparator, maka perlu dilakukan pengukuran data hubungan antara tekanan vakum dengan isyarat tegangan keluaran meter vakum yang digunakan yaitu meter Belzer seri TPG-300. Meter TPG-300 mempunyai dua buah terminal tegangan keluaran yaitu 0 s/d 10 VDC untuk vakum rendah yang berasal dari transduser pirani dan 0 s/d 10 VDC untuk tekanan vakum tinggi yang berasal dari transduser penning. Adapun hasil pengukuran data hubungan antara tekanan vakum dan tegangan keluaran meter vakum TPG-300 dibuat dalam bentuk Tabel 1 yang terlampir pada Lampiran dan gambar grafik yang disajikan pada Gambar 5a dan 5b

ROUGHINGVALVE

POMPAROTARY

POMPATURBOMOLEKULER

M O D U L R E LA Y A C

VENTINGVALVE

M O D U L E LE K T R O NIK

ISOLATION VALVE

M O D U L R E LA Y D C

BACKINGVALVE

M O D U L P AN E L K E N D A L I

ROUGHINGVALVE

BACKINGVALVE

ISOLATION VALVE

VENTINGVALVE

POMPAROTARY

POMPATURBOMOLEKULER

Gambar 3. Skema diagram SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA.


66


ISSN 1411-1349

Gambar 4a. Kotak modul SIK perangkat vakum.

Gambar 4c. Susunan kontaktor SIK perangkat vakum.

Gambar 4b. Bentuk depan kotak modul SIK perangkat vakum.

300 keV/20 mA EBM CONTROL PANEL EBM TRIP SIGNAL

DC POWER SUPPLY 5V

OPR. KEY

COOLER

VACUUM

OPTIC

ACC. VOLTAGE

E-SOURCE

+12V

-12V

CHILLER

FAN

B-WINDOW

B-OZON

OPTIC

VACUUM

BACK. ROUG.

ROTARY

ISOL.

PENNING

VENT.

FOCUS.

SCAN.

OIL TEMP

E-SOURCE

VESS. VESS. PRESS. FAN

MIN

MAX

IRR. TANK POWER

IN-1 OUT-1 MIX-1

IN-2 OUT-2 MIX-2

PANEL IRRAD. HV VAR. VAR. DOOR DOOR POWER MIN. MAX.

TURBO

TEMP. IN

ACC. VOLTACE

OVER OVER CURRENT VOLT.

-24V

FLASH

BUZZER

COOLER

+24V

VESSEL PRESS. EMERG.

TEMP-1

HIGH VOLTAGE

HIGH VOLTAGE

BEAM CURRENT

TEMP. OUT

HV. CURRENT

HV. CURRENT

FIL. CURRENT

TEMP-2

W-FLOW

REG. VOLTAGE

REG. VOLTAGE

COLUMN CURRENT

IRAD. TIMER

VACUUM METER

ALARM RESET

EMERGENCY

TRIP RESET

FIL. CURRENT

HV

SCANNING

AUTO OFF MAN.

CHILLER HV RESET

BLOWER WINDOW

FOCUSING

UP

BLOWER OZON

FAN

TEST LAMP READY

START

ON

STOP

OFF

AUTO OFF MAN.

DOWN

OP. KEY UP

DOWN

START RELEASE

HV

RELEASE

STOP

POWER

Gambar 4d. Bentuk panel kendali MBE 300 keV/20 mA.


67


ISSN 1411-1349

Gambar 5a. Grafik hubungan antara tekanan vakum terukur dengan tegangan keluaran meter vakum TPG-300 untuk transduser pirani.

Gambar 5b. Grafik hubungan antara tekanan vakum terukur dengan tegangan keluaran meter vakum TPG-300 untuk transduser penning.

Dari data pengukuran hubungan antara tekanan vakum dengan tegangan keluaran meter vakum Belzer TPG-300, maka diambil 4 data yang digunakan sebagai data acuan 4 buah komparator yaitu : tegangan 2V yang berasal dari transduser pirani untuk tekanan vakum 2 x 10-2 torr, 7V yang berasal dari transduser penning untuk tekanan vakum 5 x 10-5 torr, 4,67V untuk 3 × 10-6 torr dan 0,2V untuk ~ orde 10-9 torr. Data acuan 2V yang berasal dari transduser pirani digunakan untuk sistem interlock operasional isolation valve dan pompa turbo-molekuler yang artinya isolation valve tak


dapat dibuka dan pompa turbo-molekuler tak dapat dioperasikan sebelum tingkat kevakuman mencapai 2 × 10-2 torr. Data acuan komparator 7V yang berasal dari transduser penning digunakan sebagai isyarat interlock batas minimal daerah kerja operasional sistem tegangan tinggi MBE yang artinya sistem tegangan tinggi MBE dapat dioperasikan jika tingkat kevakuman dalam bejanan vakum lebih kecil dari 5 x 10-5 torr. Data acuan komparator 4,67V yang berasal dari transduser penning digunakan sebagai isyarat READY perangkat vakum yang artinya bahwa perangkat vakum

68


dalam kondisi trip sebelum tingkat kevakuman mencapai 3 x 10-6 torr (indikator LED menyala merah) sehingga sistem tegangan tinggi tak dapat dioperasikan. Sedangkan data acuan komparator 0,2V digunakan sebagai isyarat interlock jika terjadi malfunction atau bad-contact transduser penning karena tingkat kevakuman yang dapat dicapai oleh perangkat vakum tidak mungkin mencapai hingga pada orde 10-9 torr. d. Uji Fungsi SIK Perangkat Vakum Uji fungsi SIK perangkat vakum merupakan kegiatan yang bertujuan untuk mengetahui unjuk kerja SIK dalam pengoperasian perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA. Uji fungsi SIK perangkat vakum dilakukan secara simulasi tanpa beban yaitu modul rangkaian relay AC tidak dihubungkan dengan komponen-komponen vakum dan tegangan keluaran meter vakum TPG-300 disimulasikan dengan sumber tegangan dari luar. Uji fungsi dilakukan dengan mengoperasikan tombol-tombol operasi komponen vakum dan mengamati posisi relay-relay AC yang akan dihubungkan dengan komponen-komponen vakum. Hasil uji fungsi SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA diperoleh data yang disajikan pada Tabel 2 pada Lampiran 2.

PEMBAHASAN Berdasarkan hasil uji fungsi SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA yang telah dilakukan dapat diketahui unjuk kerja sistem instrumentasi dan kendali perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA yang telah dikonstruksi sebagai berikut : • Pompa rotary dapat dioperasikan dalam kondisi roughing, backing dan isolation valve pada posisi buka maupun tertutup tetapi venting valve dalam posisi tertutup. Hal ini dapat dilihat dari tabel data uji fungsi nomor 2, 3, 4,8 dan 10 pada Lampiran 2. • Kondisi roughing dan backing valve saling kunci (interlock) dimana roughing valve dapat dibuka hanya jika backing valve dalam posisi tertutup dan sebaliknya backing valve dapat dibuka hanya jika roughing valve dalam posisi tertutup. Hal ini dapat dilihat dari tabel uji fungsi nomor 5, 6 dan 7 pada Lampiran 2. • Isolation valve dapat dibuka jika posisi roughing valve tertutup, backing valve terbuka, venting valve tertutup, pompa rotary dalam kondisi operasi (ON) dan tingkat kevakuman < 2 × 10-2


ISSN 1411-1349

torr. Hal ini dapat dilihat dari tabel data uji fungsi nomor 10 pada Lampiran 2. • Pompa turbo-molekuler dapat dioperasikan jika posisi roughing valve tertutup, backing valve terbuka, isolation valve terbuka, venting valve tertutup, pompa rotary dalam kondisi operasi (ON), kipas pendingin pompa terbomolekuler dalam kondisi operasi (ON) dan tingkat kevakuman < 2 × 10-2 torr. Hal ini dapat dilihat dari tabel data uji fungsi nomor 11, 12 pada Lampiran 2. • Perangkat vakum dalam kondisi ”INTERLOCK” bila tingkat kevakuman terukur belum mencapai < 5 × 10-5 torr. • Perangkat vakum dinyatakan siap (READY) yang ditandai dengan nyala LED ”READY” warna hijau bila tingkat kevakuman telah mencapai < 2 × 10-6 torr. Hal ini dapat dilihat dari tabel data uji fungsi nomor 14 pada Lampiran 2. • Perangkat vakum dinyatakan dalam kondisi TRIP yang ditandai dengan nyala LED ”READY” warna merah bila tingkat kevakuman turun hingga mencapai > 5 × 10-5 torr. Hal ini dapat dilihat dari tabel data uji fungsi nomor 13 pada Lampiran 2. • Perangkat vakum dinyatakan dalam kondisi TRIP yang ditandai dengan nyala LED ”READY” warna merah bila tingkat kevakuman terukur hingga mencapai < 5 × 10-8 torr, karena tingkat kevakuman tersebut tidak mungkin dapat dicapai oleh kemampuan pompa vakum yang dipasang sehingga jika terjadi sinyal TRIP pada tingkat kevakuman tersebut, maka kemungkinan besar disebabkan terjadinya kesalahan (malfunction) pada transduser penning. Hal ini dapat dilihat dari tabel data uji fungsi nomor 15 pada Lampiran 2. Prosedur Operasi Standar Perangkat Vakum MBE 300 keV/20 mA Sebelum SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA difungsikan sebagai sistem operasi perangkat vakum, maka perlu dibuat prosedur operasi standar. Prosedur operasi standar perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA merupakan petunjuk atau cara pengoperasian perangkat vakum secara benar dan aman. Prosedur tersebut berisi tentang urutan atau tahapan operasi yang harus dipatuhi oleh operator agar perangkat vakum dapat beroperasi dengan aman. Adapun prosedur operasi standar perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA adalah sebagai berikut :

69


• Prosedur Operasi 1. Buka roughing valve, tutup backing, isolation dan venting valve (kondisi valve dapat dimonitor oleh lampu LED nyala warna merah untuk posisi valve tertutup dan nyala warna hijau untuk posisi valve terbuka). 2. Hidupkan pompa rotary (kondisi pompa rotary dapat dimonitor oleh lampu LED nyala warna merah untuk posisi mati dan nyala warna hijau untuk posisi hidup) dan tunggu hingga tingkat kevakuman mencapai 2E-02 torr (proses pemvakuman sistem bejana vakum lewat jalur roughing valve). 3. Jika tingkat kevakuman telah mencapai 2E02 torr, tutup roughing valve dan buka backing valve untuk memvakumkan sistem bejana vakum lewat jalur backing valve dan tunggu hingga tingkat kevakuman mencapai 2E-02 torr kembali. 4. Jika tingkat kevakuman telah mencapai 2E02, buka isolation valve dan hidupkan kipas

a. Menghidupkan sistem vakum

ISSN 1411-1349

pendingin pompa turbomolekuler hingga putaran kipas maksimal. 5. Hidupkan pompa turbomolekuler (kondisi pompa turbomolekuler dapat dimonitor oleh lampu LED nyala warna merah untuk posisi mati dan nyala warna hijau untuk posisi hidup) dan tunggu hingga tingkat kevakuman mencapai 2E-06 torr yang ditandai dengan lampu LED vakum ready nyala warna hijau. • Prosedur Shut-down 1. Tutup isolation valve. 2. Matikan pompa turbo dan tunggu hingga putaran kipas pendingin pompa berhenti. 3. Jika putaran kipas pendingin pompa sudah berhenti, tutup backing valve. 4. Matikan pompa rotary. 5. Buka venting valve. Sedangkan diagram alir prosedur operasi dan shutdown perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA disajikan pada Gambar 6a dan 6a

b. Mematikan sistem vakum

Gambar 6. Diagram alir prosedur standart pengoperasian sistem vakum MBE 300 keV/20 mA.[5) Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah Teknologi Akselerator dan Aplikasinya Vol. 10, Oktober 2008 : 63 - 72

70


Prosedur operasi standar MBE 300 keV/20 mA ini dapat digunakan sebagai acuan dalam rancang bangun sistem operasi otomatis perangkat vakum berbasis micro-controller ataupun komputer.

KESIMPULAN Berdasarkan hasil kegiatan konstruksi dan uji fungsi SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA yang telah dilakukan, maka dapat diambil kesimpulan sebagai berikut : 1. Unjuk kerja SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA telah sesuai dengan kriteria atau persyaratan operasi dan keselamatan perangkat vakum yang telah ditentukan. 2. SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA siap dihubungkan dengan komponen-komponen vakum.

ISSN 1411-1349

UCAPAN TERIMA KASIH Pada kesempatan ini penulis mengucapkan banyak terima kasih kepada : 1. Sukidi, ST dan Suhartono, A.Md yang telah membantu dalam pengoperasian perangkat vakum dalam rangka pengambilan data hubungan tegangan meter vakum dengan tingkat kevakuman terukur 2. Saminto, ST yang telah membantu dalam pengambilan data 3. Heri Sudarmanto dan Sugeng Riyanto yang telah membantu dalam kegiatan konstruksi dan uji fungsi SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA

Lampiran 1 Tabel 1. Data hasil pengamatan tegangan keluaran meter vakum TPG-300. Meter Vakum

Teg. Keluaran

SARAN

No.

Perlu dilakukan pengembangan lebih lanjut dalam hal rancang bangun sistem operasi otomatis berbasis micro-controller atau komputer dengan mengacu hasil konstruksi SIK perangkat vakum dan prosedur operasi standart yang telah dibuat.

01. 02. 03.

(Torr) (Volt) TRANSDUSER PIRANI 3,2 10 × 10-2 2,2 5 × 10-2 -2 2,0 2 × 10

01. 02. 03. 04. 05. 06. 07. 08. 09. 10. 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 20. 21.

TRANSDUSER PENNING 10,00 2,0 × 10-3 9,80 1,0 × 10-3 -4 9,60 9,0 × 10 9,50 8,0 × 10-4 -4 9,00 5,0 × 10 8,40 2,0 × 10-4 -5 7,60 10,0 × 10 7,40 8,0 × 10-5 -5 7,00 5,0 × 10 6,50 3,0 × 10-5 -5 6,30 2,0 × 10 6,16 1,6 × 10-5 -5 5,93 1,0 × 10 5,80 9,0 × 10-6 -6 5,65 8,0 × 10 5,50 7,0 × 10-6 -6 5,42 6,6 × 10 5,30 6,0 × 10-6 -6 5,15 5,2 × 10 5,10 5,0 × 10-6 -6 4,67 3,0 × 10

DAFTAR PUSTAKA [1] YAMAMOTO, S., Crosslinking of Wire and Cables with Electron Beam, Proceedings of the Workshops on the Utilization of Electron Beams, JAERI-M, 90-194, 1990. [2] ZHONGHAI, C AND MAKUUCHI, K, Radiation Vulcanization of Natural Rubber Latex With 3 MeV Electron Beams, International Symposium on RVNRL, JAERIM 889-28 (1990) 358. [3] MERI SUHARINI, Vulkanisasi Lateks Karet Alam Secara Batch Dengan Iradiasi Berkas Elektron, PPI Aplikasi radiasi, P3TIR-BATAN, 2002. [4] PFEIFFER VACUUM “Vacuum Technology Componen “ 05 06 07. [5] EKO PRIYONO dkk, Rancangan Detil Sistem Instrumentasi Dan Kendali Perangkat Vakum MBE 300 keV/20 mA, Prosiding Seminar Nasional P3N, Yogyakarta 5 September 2007


71


ISSN 1411-1349

Lampiran 2. Tabel 2. Data hasil uji fungsi SIK perangkat vakum MBE 300 keV/20 mA.


72

20 ma

Recommend Documents