1 1. Obsah

ZPRAVODAJ ČVS 2004/1

1

Obsah Letní škola vakuové techniky 2004

2

Ozvěny Pragovacu 2003 : Thermo Vacuum Generators: Rychlý regulační deskový ventil pro ovládání tlaku a vakuově těsné oddělování Iva Jungwirthová CHROMSPEC s.r.o.

2

Připravované konference a další akce Czech Nano-Team Kick-off meeting

3

The 13th European Microscopy Congres EMC 2004

4

International Conference on Composites/Nano Engineering ICCE-11

4

The 2nd Biennial Symposium and Summer School on Nano and Giga Challenges in Microelectronics

6

vaQum The Second International Fair for Vacuum Technology and Applications in Magdeburg

7

International Workshop on Plasma Polymers and Related Materials

10

Nabídka specializačního pomaturitního kurzu Vakuová technika 2004

11

Redakčně připravili: RNDr. Pavel Drašar Mgr. Jiří Drbohlav RNDr. Ladislav Peksa

[email protected] [email protected] [email protected]

Zpravodaj České vakuové společnosti, čtvrtletník, který pro své členy, k dokumentačním a propagačním účelům vydává Česká vakuová společnost v Praze (Sekretariát ČVS, c/o Sdružení MFF UK - Vakuum Praha, V Holešovičkách 2. 180 00 Praha 8, telefon: 221912636, fax: 221912620. E-mail [email protected], IČO 61381811), ISSN 1213-2705, Evidován jako periodikum u MK ČR pod evidenčním číslem MK ČR E 11156.


2

Letní škola vakuové techniky 2004 V letošním roce ČVS navazuje na tradici úspěšných letních škol vakuové techniky přádaných ve spolupráci se Slovenskou vakuovou společností. LŠVT 2004 bude tématicky zaměřena na použití sorpčních procesů ve vakuové technice a proběhne v termínu 31. 5. – 3. 6. 2004. Jako místo konání byl vybrán hotel Čingov ve Slovenském ráji. Předneseny budou přednášky na témata Fyzikální principy fyzisorpce a chemisorpce, Vypařované getry, Nevypařované getry, Fyzikální procesy aktivace NEG, Kryosorpční vývěvy, Iontové a sublimační vývěvy a Využití NEG v čerpacích systémech. Přednášky budou doplněny diskusí na téma Dosahování a využití extrémně nízkých tlaků a tradiční výstavou dodavatelů vakuové techniky. K dispozici budou texty přednášek. V případě zájmu dotazy a žádosti o formuláře přihlášky adresujte organizačnímu výboru na adresu : Sekretariát ČVS paní Jitka Hankeová V Holešovičkách 2 180 00 Praha 8 Tel. + 420 221 912 565 Fax + 420 221 912 620 e-mail [email protected] Termínově na LŠVT 2004 bezprostředně navazuje Specializační pomaturitní kurz vakuové techniky pořádaný SPŠE Rožnov. Pozvánku na tento kurz přinášíme v závěru Zpravodaje.

Ozvěny PRAGOVACu 2003 Thermo Vacuum Generators: Rychlý regulační deskový ventil pro ovládání tlaku a vakuově těsné oddělování Thermo Vacuum Generators a Nor-Cal uvedli společně na trh regulační ventil SoftShut™ s řídící jednotkou Intellsys™, který je schopen rychle a přesně regulovat tlaky, přičemž slouží též jako oddělovací ventil pro široké rozmezí tlaků. Řídící jednotka od firmy Nor-Cal využívá vyspělý adaptivní algoritmus, který prakticky eliminuje překročení nebo naopak pomalé dosahování nastavených hodnot tlaku. Regulační ventil SoftShut™ od firmy Thermo Vacuum Generators využívá k přesné regulaci 6 miliónů kroků a na rozdíl od jiných regulačních ventilů


3

účinně řídí tlak i v pozici, kdy je téměř uzavřen. Řídící jednotka spolu s ventilem zajišťují oddělování a řízení tlaků přes široký rozsah vodivostí a to již od hrubého vakua (tlak 13 mbar, resp. 10 Torr). Při jejich použití tedy odpadá nutnost instalovat další regulační ventily nebo vakuová vedení, což může ušetřit jak místo, tak investice. Regulační deskový ventil SoftShut se zcela otevře nebo zcela zavře od 1 do 3 sekund v závislosti na velikosti. Kontrolní jednotka i ventily jsou kompatibilní s mnoha dalšími regulačními ventily. Kontrolní jednotka Intellsys má zdroj napětí ±15V pro dva vakuometry včetně kapacitních (až 800 mA na vakuometr) a má oddělené vstupy a výstupy 0-10V pro signály z obou vakuometrů. Externí komunikace je možná přes DeviceNet™, RS232, RS485, analogové a další rozhraní. SoftShut ventily od Thermo Vacuum Generators se používají od < 1*10-9 mbar do atmosférického tlaku a vyrábějí se s vnitřním průměrem v šesti velikostech od 2“ (63 mm) po 10“ (250 mm) se všemi běžnými přírubami. Materiálové provedení ventilů je nerez, dodávají se také s topným tělesem v přírubě a v desce, či s vakuovými průchodkami pro vakuometry nebo pro předčerpávání. Kontrolní jednotky Intellsys se dodávají jak se zobrazovacími jednotkami pro vakuometry, tak bez nich. Máte-li zájem o podrobnější informace, kontaktujte: CHROMSPEC spol. s r.o. Iva Jungwirthová, Ph.D. Lhotecká 594, 252 10 Mníšek pod Brdy tel.: 318 599 083-7, fax: 318 591 529 www.chromspec.cz

Připravované konference a další akce Czech Nano-Team Kick-off meeting Praha, 22nd –23rd April 2004 Organized by Institute of Physics, Academy of Sciences of the Czech Republic. There is no participation fee for the meeting, but prior registration is required as the number of seats is limited. For further information please contact directly the meeting secretary: Antonín Fejfar Institute of Physics AS CR, Cukrovarnická 10, 162 53 Prague 6 Phone: +420-220 318 501, Fax: +420-220 318 468 e-mail: [email protected]


4

EMC 2004 The 13th European Microscopy Congress will be held in Antwerp from 22 till 27 of August, 2004. Visit http://www.emc2004.be, the official site of the European Microscopy Congress in 2004. In continuation of the EUREM meetings, the scope of EMC 2004 is to provide a broad yet focussed platform to all European (and other) researchers involved in the development and/or application of advanced microscopy techniques of any kind. With a scientific programme divided into three main categories (Instrumentation & Methodology, Materials Sciences, Life Sciences) with over 45 different sessions, the aim is to allow for in depth discussions over current day and future hot topics as well as the important cross-talk between related and more distant subjects and themes. The incorporation of many new and exciting X-ray, optical, neutron etc. microscopies, next to the well-established but still evolving electron microscopy techniques will allow people to increase their multi-disciplinary awareness. In an era where fewer students are choosing for a scientific education, special efforts will be made to attract students and young researchers and to bring them in close contact with established scientists, job opportunities, commercial companies etc. Prof. Dr. Dominique Schryvers, Professor of Physics Electron Microscopy for Materials Research(EMAT) Department of Physics, University of Antwerp, Campus Middelheim Groenenborgerlaan 171, B-2020 Antwerp, Belgium Tel: 32-3-2653247; Fax: 32-3-2653257 E-mail: [email protected], [email protected]

ICCE-11 Conference August 8-14, 2004 Hilton-Head island In view of your research expertise in composite materials structures or nanomaterials, you are welcomed to present a paper at this Eleventh International Conference on Composites/Nano Engineering, ICCE-11, August 8-14, 2004 in Hilton-Head Island, South Carolina, USA. Detailed of this conference can be found in web, www.uno.edu/~engr/composite Interested authors should submit tentative paper title. This ICCE-11 conference is among the largest annual technical conference on composites or nanomaterials in the world in the year 2004, and will feature over 500 oral presentations.


5


6

The 2nd Biennial Symposium and Summer School on Nano and Giga Challenges in Microelectronics Research and Development Opportunities (NGCM2004) Cracow, Poland, September 13-17, 2004 http://www.AtomicScaleDesign.Net/ngcm2004 http://asdn.net/ngcm2004 As a follow-up to the success of the 2002 Moscow Nano & Giga Forum, the organisers want to invite you to the 2nd Nano & Giga event in the beautiful Polish city of Cracow. It will be held under patronage of Jagiellonian University and co-sponsored by Fujitsu Poland. SCOPE: Abstracts are invited in the following areas: - highest frequency electronics, - fabrication of nanodevices, - future bio- and molecular electronics, - magnetic materials and spintronics, - materials and processes for integrated and subwave optoelectronics, - molecular electronics, - new materials for gate and dielectrics in FETs, - atomic scale design: theory and experiment, - non-silicon materials and devices, - quantum effects in devices. MEETING FORMAT: The meeting opens with a Summer School (first 2 days), to be followed by the Symposium (last 3 days). The Summer School provides overview of the current status of the field and consists of plenary tutorial lectures and panel discussions involving participants and speakers. The Symposium includes plenary talks in the morning, followed by an afternoon of oral and poster presentations organized in sessions. Evening sessions will focus on technology trends and collaboration opportunities. INITIAL LIST OF SPEAKERS: Asen Assenov, University of Glasgow; Sorin Cristoloveanu, ENSERG; Jan Fompeyrine, IBM; David Gilmer, Motorola; Eric Garfunkel, Rutgers University; Torgny Gustafsson, Rutgers University; Tamotsu Hashizume, Hokkaido University; Henk van Houten, Philips; Kinam Kim, Samsung Electronics; Efim Portnoi, Ioffe Institute; Nicholas Rambidi, Moscow State University; Fred Roozeboom, Philips; Federico Rosei, Universite du Quebec; Paul Seidler, IBM; Toshiharu Saiki, Keio University; Alexey Toropov, Ioffe Institute; Bruce White, Motorola; Stanley Williams, Hewlett-Packard; Satoshi Yamasaki, AIST; Alexey Zhukov, Ioffe Institute. On-line registration, abstract submission, and constantly updated information are available from the meeting web site: http://www.AtomicScaleDesign.Net/ngcm2004


7

vaQum The Second International Fair for Vacuum Technology and Applications in Magdeburg From the 25th to the 27th of May, 2004 New: International Vacuum Fair in Germany For the second time since 2002, Magdeburg will be the spring rendezvous for manufacturers and users of vacuum technology from around the world. The vaQum will take place between the 25th and 27th of May on the Magdeburg fairgrounds and it’s the only independent European trade fair dedicated to presenting vacuum technology and its applications. "Our fair presents all aspects of vacuum technology and applications. You will see an exhibition of leading companies in the vacuum industry and you can take part in workshops about the newest trends in vacuum technology", exclaims Michael Freiherr von Enzberg, CEO of the MESSE MAGDEBURG fair. vaQum offers you a unique opportunity in Europe - it functions as a central meeting point for all developers, producers and users of vacuum technology. Magdeburg was the hometown and workplace of the father of the vacuum technology, Otto von Guericke. In May, 2004, his hometown will become the trend barometer for this important technological field. Scientists, users and producers discuss the latest during Workshops An array of workshops will begin on the opening day on the 25th of May and will concentrate on components, equipment and technologies for the modification of surfaces. Dr. Johannes Strümpfel and Physicist Christian Hecht from the VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GmbH in Dresden will give us their insights into Vacuum coating of glass, foil, and metallic ribbon with large area. The closing workshops will be conducted by Professor Bernd Rauschenbach, Dr. Axel Schindler and Dr. Thomas Hänsel of the Leibnizinstitut für Oberflächenmodifizerung/ IOM in Leipzig as well as Professor Reinhard Schwabe from Nanotechnologie GmbH in Leipzig, who will present "Ion Beam Assisted Ultra-Precise Surface Shaping". This ultra-precise process for surfaces is the key technology in the coming years. In the fields of semi-conductor technology, optics, space technology and telecommunications, the fundamental requirement is nanometer precise processing as well as the correction of large surfaces with the highest degree of deep exactness. Dr. Manfred Danziger from IST, the Ionen Strahl Technologie GmbH in Quedlinburg, will present Ion trace technology for the production of polymeric foils with nanostructures, for the production of micro and nanostructures and for surface treatment methods in vacuum. He brings his insight into the possible fields of application. Dr. Barbara Gebhardt and Engineer Rüdiger Wilberg from the VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH give a presentation about the "Trends of the development of components for


8

equipment of the plasma supported modification of surfaces. They will present the latest in technical and technological developments in the industrial application of hollow cathode plasma sources, ion plasma sources and middle frequency plasma equipment. Dr. Urs Wälschli and Martin Wueest from the Inficon AG in Liechtenstein will concentrate their presentation on the "industrial ionisation manometer. During another workshop Characteristics and application of materials with modified surfaces on May 26th Professor Günter Bräuer from the Fraunhofer society presents a review about the development of vacuum technology for coating. This presentation shows the latest developments in this field as well as the trends of the future using a series of case studies. Many products of everyday life such as computers, compact disks or energy-saving building glazing would not exist without plasma supported modification of surfaces. Other Themes: Vacuum gauges , mass spectrometer etc. In the second workshop, Dr. Karl Jouston from the Physikalischen Technischen Bundesanstalt will speak about the exactness of vacuum measurement at the workshop about "Measurement, regulating and controlling of gas pressures and gas flows" on May 26th. This presentation gives a review of the best exactness of measurements with vacuum equipment and tips to prevent errors. Dr. Peter Hofmann from the MKS Instruments Deutschland GmbH from Munich talks about "Mass spectrometers operated as sensors and integration methods for further sensor environment". He will introduce the audience to the e-VisionTM series of MKS Instruments Inc.. As he says this is the first Internet- and Intranet useable mass spectrometer product group in the world. These mass spectrometers are equipped with Internet interface and integrated web server, which makes them compatible with any TCP/IP network, including the internet. Professor Leonid N. Rozanov of the Technical University St. Petersburg gives a review of leak detection development in Russia. Also Diplom-Physicist Werner Große Bley deals with vacuum leakage detection from the Inficon AG in Cologne. He specialises in leak testing with helium in vacuum procedures, which has great significance for vacuum processes in the semiconductor industry. The newest features of a new family of helium leak detectors will also be introduced. Another workshop on May 27th is about "Apparatus and processes for the production of vacuum, components for vacuum devices, vacuum technologies.". Diplom-Physcist Karl-Heinz Bernhard from Pfeiffer Vacuum GmbH in Asslar reports about his experiences with pumping speed measurements. He talks about his speciality - problems of standardisation. The ISO TC 112 (Technical Committee – Vacuum Technology) has a new structure for the norms of vacuum pumps. The measuring of the compression ratio in vacuum pumps will be described. Furthermore Bernhard will describe processes of measurements of ultimate pressure and the highest possible fore vacuum pressure.


9

Afterwards Diplom-Ingenieur Klaus-Dieter Schmitt from Wittenstein cyber motor GmbH in Ingersheim/Harthausen introduces a class with three phase synchronous servo–motors with permanent magnet excitation for UHV and HV application. Representatives of ILMVAC GmbH will talk about "Vacuum Technology for the physical Laboratory - production of Vacuum in medium, high and ultra high vacuum range. The audience will find out interesting facts about vacuum manufactures, their measurements and as well about vacuum valve, components with flanges and construction of equipment of companies. European Brokerage Event For exhibitors and professional visitors there will be the opportunity to gather information about the latest in technologies and innovative developments at the European brokerage event. "Furthermore exhibitors and merchants can offer their latest innovations and look for European cooperation partners.", said von Enzberg. The New Service for Visitors: Online-Registration What’s more, the MESSE MAGDEBURG offers a new service for all professional visitors. Under www.vaqum.de visitors can register online. "Visitors can order their tickets, which will be sent to them by mail at no additional cost.", says von Enzberg. Vacuum technology is a Key Position for high technology Magdeburg mayor Otto von Guericke founded Germany‘s vacuum technology more than 400 years ago. Even today, vacuum technology and its applications hold the key position for all modern High technology branches. Everything at Your Fingertips: www.vaQum.de The fair ground is located in eastern Magdeburg. The easiest way to get there is via the motorway A2 or A14 or by train. The complete vaQum program, as well as the list of all exhibitors and further information you can find at the Internet page http://www.vaQum.de.


10

International Workshop on Plasma Polymers and Related Materials The main aim of this workshop is to evaluate and finalise the projects managed under the frame work of ESF-COST Action 527 "Plasma Polymers and Related Materials" which has been initiated in 1999 and will be finished by the end of this year. For details see http://mbox.troja.mff.cuni.cz/~cost527/ The action is formed of 4 working groups Working Group A: Basic issues of plasma polymerisation Working Group B: Characterisation of Plasma Polymers and Surface Modification Working Group C: Deposition of Plasma Polymer Films Working Group D: Hard Coatings and Composites At this workshop main topics for a new action will also be presented and discussed. Topics identified till now are: 3-D-Substrates, biological and biomedical applications, uniformity of large area processing, basic reactor concepts, high pressure sources, corrosion protection hard coating mech. application and industrial application. low friction, plasma characterisation. Contact:

Mehmet Mutlu Hacettepe University, Engineering Faculty, Food Engineering Department and Bioengineering Division, Beytepe Campus, 06532 Ankara – Turkiye Tel: 90 312 2977103, Fax: 90 312 2992123 [email protected]


11

Nabídka specializačního pomaturitního kurzu Vakuová technika 2004 Vážené dámy a pánové, v týdnu od 7. do 11.června 2004 bude Střední průmyslová škola elektrotechnická Rožnov pod Radhoštěm pořádat ”Kurz vakuové techniky”. (V tomto roce máme výročí 10 let pořádání kurzů.) Protože víme, že s vakuovou technikou pracujete, rádi bychom účast na kurzu nabídli také Vašim pracovníkům. Kurz je určen nejširšímu okruhu pracovníků z průmyslu a to jak pro pracovníky, kteří v oboru začínají, tak pro ty, kteří si potřebují své znalosti osvěžit a rozšířit. Abychom vyšli vstříc i vzdálenějším účastníkům, plánujeme uspořádat kurz v jednom týdenním bloku. Současně můžeme nabídnout ubytování na našem domově mládeže. Základní rozsah kurzu bude 29 teoretických hodin v ceně 3520 Kč. Pro Vaši orientaci uvádíme, že uvažujeme následující skladbu: Fyzikální základy vakuové techniky

5 hodin

Získávání vakua (principy, vlastnosti a použití vývěv)

7 hodin

Měření ve vakuové technice (včetně hledání netěsností)

8 hodin

Materiály pro vakuovou techniku

4 hodiny

Vakuové aparatury (konstrukce, provoz a údržba)

5 hodin

K tomu nabízíme možnost zvolit si libovolný počet z šesti námi připravených měření, které se budou měřit v malých skupinkách v naší vakuové laboratoři. Přednášky zajišťujeme zčásti vlastními silami, vždy ale spolupracujeme s externími přednášejícími z vysokých škol a z praxe. Pokud budete mít o náš kurz zájem, vyplňte, prosíme, přiložený odpovědní lístek a zašlete co nejdříve na adresu školy. V průběhu druhé poloviny dobna zašleme všem zájemcům přesné informace o kurzu, závaznou přihlášku, rozpis témat včetně jmen přednášejících, přehled úloh instalovaných ve školní laboratoři a další informace, které Vás budou zajímat, týkající se například ubytování a stravování. Informujte, prosíme, rovněž své kolegy, kteří by o náš kurz mohli mít zájem. Pro větší provozy můžeme připravit kurz takříkajíc ”na míru” s dohodnutou náplní a rozsahem. Takový kurz by mohl probíhat buďto u nás ve škole, nebo přímo u Vás, ať už v celistvém bloku, nebo rozložený, například jednou týdně.


12

Odborným garantem kurzu je Ing. Karel Bok, člen výboru České vakuové společnosti, který je naším kmenovým učitelem. Na něj se můžete obracet se svými dotazy, e-mailem [email protected], telefonicky nebo faxem. Těšíme se na Vaše vyjádření a doufáme, že Vás naše nabídka zaujme. S pozdravem Ing. Karel Bok odborný garant kurzu

Ing. František Kandrnal ředitel školy

Specializační pomaturitního kurz ”Vakuová technika 2004” odpovědní lístek Firma (název a adresa):

Kontaktní osoba (jméno, telefon, fax, E-mail):

Máme zájem o kurz vakuové techniky v roce 2004 později

 ano  ne pro _____ našich zaměstnanců  ano

 ne

Odpovědní lístek zašlete na adresu: SPŠE Rožnov, Školní 1610, 756 64 Rožnov pod Radhoštěm, nebo faxujte na č.: 571 752 315 nebo na e-mailovou adresu: [email protected] Připomínky a dotazy napište, prosím, na druhou stranu odpovědního lístku.

1 1. Obsah

Recommend Documents