I~I 8
Bllku/
Prosiding Pertemuan don Presentasi /Imiah PPNY-BATAN, Yogyakarta 25-27 April /995
PENGUKURAN INDEK BIAS LAPISAN TIPIS SiO2 DENGAN METODE PRISMA KOPLING CAHAYA Anwar Budianto, Sigit Hariyanto, Subarkah PPNY-BATAN p.o. Box 1008 Yogyakarta 55010
AB STRAK PENGUKURAN INDEK BIAS LAPISAN TIPISSiO2 DENGAN METODE PRISlvfA KOPLING CAHAYA. Lapisan tipis silikon dioksidayang didoping denganphospor (SiO]:P)di alas substrat silikon dioksida mumi (SiO]j diukur indek biasnya dengan metodeprisma kopling cahaya.Prinsip daTimetode ini adalah pemfokusan cahaya di dasar prisma kopling sehingga cahaya tersebut terkopling di dalam lapisanpandugelombang dan terbentuknya mode di bidang observasi. Lapisan tipis SiO]:P dipandang sebagai lapisan pandugelombang yang memiliki indeks bias efektifsehingga memberikan relasi antara tebal dan indeks bias lapisan. Sumber cahaya yang digunakan adalah laser He-Ne dengan panjang gelombang A.= 0,6328 J.1m.Dari hasil pengukuran
dan komputasi
dengan
indeks
bias substrat
nsb = 1,47 dan teballapisan
tipis d = 2 J.1mmaka diperoleh
indek bias lapisan tipis SiO]:P adalah ng = 1,5534 J: 0,0114. Metode ini mampu membedakan indeks bias lapisan dengan beda sekitar 6% terhadap indeks bias substrat.
ABSTRACT THEREFRACTIVE INDEXMEASUREMENT OF SILICON DIOXIDE THIN FIlM BY THE COUPLING PRISM METHOD. Refractive index of silicon dioxide thinfilm that doped with phosphor (SiO2:P) above the pure silicon dioxide substrate has been measured by light coupling prism method. The method principle is focusing the light on coupling prism base so that the light propagates into the waveguide layer while the reflected oneforms a mode in the observationplane. The Sial thinfilm as waveguide layer has a refractive index that give the thick and refractive index relation. The He-Ne laser as light source has the wavelength A.= 0.6328 J.1m.The refractive index measurement of the thinfilm with the substrate refractive index nsb = 1,47 and the thinfilm thickd = 2 J.1mgives ng = 1,5534 J: 0,01136. This method can distinguish the refractive index of thinfilm about 6% to the refractive index of substrate.
PENDAHULUAN
D
ewasa ini penelitian daD pengembangan teknologi pembuatan bahan unggul sedang giat dilaksanakan antara lain dalam bentuk lapisan tipis. Bahan unggul ini sangat berguna dalam berbagai industri seperti di bidang mikroelektronika, mikrooptika daDtelekomunikasi. Lapisan tipis mempilllyaibeberapa parameter yang perlu diteliti antara lain indek bias, ketebalan daD koefisien serapan sella konduktivitas. Masing-masing parameter menentukan sifat dari lapisan tipis tersebut. Salah satu lapisan tipis yang sedang dikembangkan yaitu lapis an tipis SiO2 (silikon dioksida). Karena indek bias merupakan parameteryang penting untuk menentukan sifat optik suatu bahan, maka perlu mengetahui indek bias iapisan tipis SiO2. Telah banyak metode yang digunakan untuk mengukur indek bias suatu bahan seperti metode refraktometri, interferometri daD ellipsometri.
Anwar Budianto,dkk
Metode yang digunakan pactapaper ini adalah metode prisma kopling cahaya[I].Prinsip dari metode iniyaitu berkas cahaya konvergen difokuskan ke dasar prisrna daD menyentuh lapisan tipis. Bila interval udara antara prisma daD lapisan tipis cukup kecil maka dimungkinkan terjadinya kopling cahaya dalam lapisan tipis oleh gelombang bocoran pacta arab tertentu dari berkas datang. Sehingga dapat diamati pactaberkas teIpantul adanya garis-garis gelap yang berhubilllgan dengan mode perambatan pactalapisan tipis. Terjadinya kopling cahaya di dalam lapisan tipis SiO2:Pakan menghasilkan indek bias efektif dari pandu gelombang. Indek bias efektif adalah variabel penting untuk mendapatkan indek bias lapisan tipis. Dengan memperhatikan relasi dispersi dari mode m yang dihasilkan pactabidang observasi dengan indek bias efektif n., panjang gelombang A.,ketebalan lapisan tipis d, daD indek bias superstrat n,p, serta indek bias substrat n,b, maka diharapkan dapat dihitung indek bias dari lapisan tipis I1gdengan tepat.
ISSN 0216-3128
Prm,'iding Pertemaall tinll Preselltasi /lmiah PPNY-BATAN, Yo{:J'akarta 25-27 April 1995
Baka!
9
TEORI
arcsin
(n e] + arCSin[l...sine n p
Prism a Kopling untuk Gelombang Terpandu
p
.] < e <arcsin l,mln P
(n e] p
+ arcsin[l... n sine. I,mak ] p
Dua tinjauan yang sangat penting untuk merancang prisma kopling cahaya gelombang terpandu adalah [2J: a. Mengkopling gelombang d
(3)
Agar mode perambatan berlaku pactapandu gelombang maka nilai Dedibatasi oleh persamaan (4) (4)
I1sb < 110 < I1g
Jika semua mode dimungkinkan dapat teIjadi padakopling, berdasarkan persamaan (3) clan(4) maka 8p dapat ditentukan oleh persamaan (5). .] < e < arCSin[~] arcsin (Sb] I,mln n + arcsin [l...sine n p n p p p + arcsin [l-sin e ) ,male] n p
(5)
balas atas
af'" m E .!! Q. :;;
~
~
nbstrat
OJ
0
Gambar 1. Prisma simetri gewmbang.
pada
pal/du
Dari gambar 1 menurut hukum Snellius diperoleh persamaan (1). 8p
.
l1e
= arCSI/1 [-I1p]
.
+ arcs1I1 [-
t1p
sm 8 )]
(1)
(2)
dengan ei,minclan 8i,mal: masing-masing menyatakan sudut datang minimum clanmaksimum. Berdasarkan persarnaan (1) clan (2) maka sudut kaki prisma 8p hams memenuhi persarnaan (3).
ISSN 0216:3128
I
indek bi'as (ngJ
indok bias
substm
prism a (np J
(nsb )
Gambar 2. Nilai stulut kaki primlU ep yang lliijillkal/ sebagai filllgsi imlek bias palldugewlllbal/g I/g.
1 .
dengan De menyatakan indek bias efektif pandu gelombang. Nilai sudut datang (8;) dapat ditentukan dengan mengatur letak prisma pacta nilai lebih kecil daTisudut maksimumnya (sudut datang maksimum = 1t/2) clan dinyatakan sebagai persarnaan (2). 1t 1t - '2 < 81,min<81 <,81,male< '2
A
AI
indok bias
Dari persamaan (5), dua sudut kritis 8c,g clan 8c,sb dinyatakan sebagai persarnaan (6). 8,.c = arcsin[ ng don npJ
8,..b = arcsin["sb] np
(6)
Persamaan (5) dapat ditulis sebagai persamaan (7). 8,..b + arcsin[2-sin81,min] np
< 8p < 8,.c + arC!'in[2-sin81,mak] np
(7)
Gambar 2 menyatakan nilai sudut kaki prisma yang diijinkan sebagaifungsi indek bias pandu gelombang. Uotuk dapat mengamati adanya kopling optik antara dasar prisma dengan pandugelombang, daerah kontak kopling ini bisa dilihat daTigalls gelap, yang
Anwar Budianto,dkk
10
Pro,viding Pertemuan drIll Presentasi [fmiall PPNY-BATAN, Yo!:.vakarta 25-27 April 1995
Buku I
berlawanan dengan pemantulan terang dari dasar prisma.
Indek Bias Efektif Mode oleh Kopling Cahaya Seberkas cahaya yang masuk ke permukaan prisma dengan sudut datang OJakan dibiaskan oleh prisma dengan sudutbias Or,Oleh dasarprisma berkas cahaya tersebut dipantulkaIl dengan sudut pantul sebesar Op - Or.
disebut substrat. Lapisan superstrat, pandu gelombang daD substrat mempunyai indek bias masing-masing n.p, IIgdaD llsb. Indek bias pandu gelombang lebih besar daTi indek bias lapisan superstrat daDsubstrat (ng > llsp,llsb),sebagai syarat supaya sebagian besar cahaya yang masuk ke pandu gelombang akan merambat di sepanjang pandu gelombang,
rz nsp
SDDft'Stnl
panda
n
blllang
\a
\
gel_blUlg
griomb3llg di D
/"
/;'JI
",
'<
"',
\"" ,
~
g
obsenul
.aka
"F! ,
E
0
D 8Iub
.ab.tnl
gelombaag di C
Gambar 4. Lintasan calzaya dalam lapisan tipis pandu gelombong dengan tebal d
sabstral
Gambar 3. K opling calzaya olelz prisma terlzadappondu gelomhong.
Perambatan mode di dalam pandugelombang, yang menghasilkan indek bias efektif (I1e)yang didefmisikan[3] sebagai persamaan (8).
Kopling cahaya pacta pandugelombang ini yang akan menghasilkan suatu parsamaan dispersi mode dalam pandugelombang bidang, karena terkoplingnya cahaya akan menimbulkan mode yang
dapatdiamatipactabidangobservasi[51,Persamaannya ditumnkan secara geometri dengan menganggap bahwa cahaya tersebut terpolarisasi secara TE
(TransverseElectrics), Vektor gelombangdi dalam ne
= np sin (8p
- OJ
(8)
lapisan pandu gelombang dapat dinyatakan sebagai persamaan (11),
Dari gambar 3, menumt hokum Snellius diperoleh persamaan (9),
27t Jkg
n. = sinOp ..Jn~- sinz 01 - cosOp sinal
(9)
dengan ralat, dn. = np cos9p d9p + sin9p
Relasi Dispersi suatu Gelombang Bidang
dnp
- cos9p
d91
Mode dalam
(10)
= Tng
(11)
Perambatan cahaya dalam lapisan pandugelombang akan teIjadi sepanjang lapisan apabila teIjadinya interferensi secara konstruktif antara 'masing-masing berkas cahaya, artinya beda rase antara dua muka gelombang FIF2 dan lintasan optik CD sebesar :
Pandu
Untuk mendapatkan relasi dispersi mode [4]di dalam pandugelombang, terlebih dahulu ditinjau tiga lapisan tipis dengan indek bias masing-masing berbeda dan disusun sedemikian rupa seperti ditunjukkan pactagambar 4, Lapisan di alas pandu gelombang disebut superstrat dan lapisan di bawah pandu gelombang
I
d<j> = 27tm
(12)
dengan m menyatakan bilangan mode = 0,1,2,3,.., Pactagambar 4, jika tebal d sangat kecil maka
-
nilai sudut a mendekati sudut (Op Or) pacta gambar 3,
Untuk cahaya dengan polarisasi TE berlaku pembahan rase setelah terpantul pacta bidang batas antara lapisan tipis g dengan lapisan i (substrat atau superstrat)
adalah [61:
ISSN 0216-3128
AnwarBiidianto,dkk
~
~-
Prosuwlg Pertenulall 0011Preselltasi Ilmiall PPNY-BATAN. YoRyakarta 25-27 April 1995
CPg,i
Bllkll!
eos2a.- (i/ ~ sin a.
= -2arctg
(13)
Dalam pennasalahan ini daTi persamaan eahaya dengan polarisasi TE, didapat relasi dispersi mode untuk pandugelombang : m1l=-211.~ tlVni- n. - arctg...jn;-n;b 2""2 - arctg...jn;-nfJ, 2""2 A ng- n. ng- n.
(14)
Untuk mendapatkan indek bias IIg pando gelombang daTi persamaan (14) dan penderetan orde 2 untuk aretg serta akar kwadrat didapat nilai IIg.
TATAKERJA Rancang Cahaya
Bangun
Metode
11
kemudian oleh eermin akan dipantulkan kembali ke pemeeah berkas. Berkas eahaya datang yang ditemskan oleh pemeeah berkas akan terfokus di dasar prisma kopling, kemudian oleh dasar prisrna dipantulkan ke bidang obseIVasi.Kenyataannya tidak semua berkas eahaya dipantulkan, melainkan acta sebagian yang diteruskan ke lapisan tipis sebagai gelombang boeoran daD terkopling di dalamnya. Dengan menggerakkan prisrna kopling pacta sudol tertentu, akan terbentuk mode di bidang obseIVasi dalam bentuk pola interferensi gelap terang. Dalam pereobaan digunakan euplikan lapisan tipis SiO2 yang didoping phospor (SiO2:P) di alas substrat silikon dioksida murni (SiO2). Warna daTi lapisan ini adalah kelabu dengan pennukaan yang mengkilat.
Prism a Kopling
Konstruksi pokok daTi metode Prisma Kopling Cahaya terdiri daTi laser He-Ne, filter spasial, sistem lensa, pemeeah berkas (beamsplitter), eerrnin, prisma kopling, lapisan tipis dan bidang obseIVasi. Masing-masing peralatan disusun sesuai pactagambar 5.
SiO2
Gambar 6. Lapisall tipis SiO2:P diatas slIbstrat
-",In Lapisan tipis SiO2:Pmempunyai ketebalan d
=2 laSerHHIe
I
aiotern lens
~ bldang
W konlrol
b"-_r
bidanQ _I
Gambar 5. Ske11l11rallcallg bllllgUlIperalatllll me/ode primlll koplillg cahaya.
Seberkas eahaya yang berasal daTilaser He-Ne melewati filter spasial kemudian oleh sistem lensa akan dikolimasikan daD difokuskan pacta dasar prisma kopling. Sebelum meneapai titik rokos, berkas eahaya tersebut dibagi dua oleh pemeeah berkas sehingga sebagian akan diteruskan daD sebagian lagi akan dibelokkan seeara tegak lorDs. Berkas eahaya yang dibelokkan ini rnenuju eerrnin,
ISSN 0216=-3128
/lm. Substrat
SiO2 mernpunyai
indek bias I1sb=
1,47, sedangkan indek bias lapisan tipis SiO2:Pakan diukur nilainya melalui pereobaan. Lapisan tipis ini ditempatkan di dasar prisma dengan posisi tegak. Permukaan lapisan tipis menyentuh permukaan prisrna dan diklem. Berkas eahaya datang diusahakan tepat di tengah-tengah lapisan tipis. Penyusunan
Peralatan
Susunan peralatan diberikan pacta gambar 5. Filter spasial diletakkan di depan laser dengan jarak 7,5 em. Celah beIjarak 1 em daTilensa filter spasial. Lensa pengkolirnasi beIjarak 8 em daTi eelah dan lens a pemfokus berjarak 21 em daTi lensa pengkolimasi. Lensa pemfokus mempunyai titik fokus 18 em, jadi pemeeah berkas diatur letaknya sejauh 7,5 em daTilensa pemfokus. Prisma kopling beIjarak 7 em daTipemeeah berkas, daDdiharapkan berkas eahaya datang benar-benar terfokus di dasar prisma yang telah diapit dengan lapisan tipis. Bidang obseIVasi beIjarak 2 m daTi dasar prisrna. Dengan jarak ini sudah memungkinkan untuk rnengamati mode yang ditimbulkan.
Anwar Budianto,dkk
Prosiding Pertemllan
11
Buk" I
Dengan cara memutar dudukan prisma kopling, maka mode dapat dibentuk di bidang observasi. Dudukkan ini mempunyai skala derajat. Bila telah timbul mode di bidang observasi dapat dihitung besar sudol putaran dudukan ini. Nilai putaran ini merupakan sudol datang 8i. Perhitungan
PPNY-BATAN,
masing
ralat adalah d8p
dallPresenta~.i
Yogyakarta
25-27 April
limiah 1995
= 0, dIlp= 0,01945 dan d8i=
1,57869. Sehingga diperoleh nilai dl1e = 0,02854, maka hasil akhir indek bias efektif I1euntuk percobaan ini adalah : n.-x. dn. , = 1,0501:t 0,02854
Indek Bias
Untuk memudahkan menghitung basil percobaan yang telah didapat, dilakukan perhitungan dengan perangkat lunak Microsoft FORTRAN 77 Versi 3.31 guna menghitung figdari persarnaan (14).
HASIL DAN PEMBAHASAN Hasil Pengukuran
Percobaan
No.
HasH percobaan berbeda. Sudut datang (qi)
untuk
Indek bias efektif
(11e)
sudut yang
(c)
(d)
,
Gam bar 7. Pow illlerferellSi yallg dia1llati pada bidallgobservasi, (a) 61 =5,9084, (b) 61 = 6,3596, (c) 6, = 7,9418, (d) 61 = 10,7749.
Indek bias lapisan tip is (ng)
1
5,9084
1,0774
1,5645
2
6,3596
1,0676
1,5622
3
7,9418
1,0467
1,5530
4
0,7749
1,0087
1,5341
I
II
Pengukuran indek bias efektifIapisan tipis SiO1:P. Dari basil percobaan (tabel 1) dapat dihitung indek bias efektif (I1e),karena ne hanya bergantung pacta indek bias prisrna (np),sudol datang (81) dan sudol kaki prisma (8p). Secara komputasi diperoleh indek bias efektif SiO2:P, l1e= 1,0501, sedangkan ralat doe dihitung dengan mengetahui nilai ralat sudol kaki prisrna (d8p) dan ralat indek bias prisma (dIlp)serta ralat sudol datang (d8;). Dari pengukuran diperoleh rnasing-
Anwar-Budi:lIlto, dkk
(b)
daD Komputasi
Pola interferensi gelap terang yang diperoleh dari percobaan diberikan pacta gambar 7. Untuk mengukur indek biasnya (ng),terlebih dahulu hams menghitung indek bias efektif (l1e)lapisan tipis SiO2:P.Dari percobaan, data yang diperlukan adalah sudol datang qi untuk mode yang timbul di bidang observasi. Prisrna kopling yang digunakan adalah prisrna siku dengan sudol kaki prisma 8i = 45° daD indek bias prisma IIp= 1,6242.Untukjurnlahsudol datang yang beragarn didapat data hasil percobaan seperti ditunjukkan pactalabel 1. Tabell.
(0)
Perhitungan indek bias lapisan tipis SiO1:P. Telah diketahui panjang gelombang somber cahaya yang digunakan adalah A. = 0,6328 J.l.mdan ketebalan lapisan d = 2 J.l.m.Substrat SiO2 mempunyai indek bias n.b = 1,47, sedangkansuperstratnya adalah udara dengan indek bias n.p= 1. Secara komputasi diperoleh indek bias lapisan tipis SiO2:P (ng)untuk sudol datang berbeda serta indek bias efektif terhitung dengan m dipilih sedernikian rupa sehingga indek bias I1glebih besar dari indek bias Dsb,rnaka diperoleh indek bias lapisan tipis fig= 1,5534. Ralat indek bias lapisan tipis SiO2:P (dng) dapat dihitung dengan mempenimbangkan ralat fungsi perubah I1e.Secara komputasi dapat dihitung dog = 0,0 1136. Hasil akhir dari pengukuran indek bias efektif lapisan tip is adalah:
ng :t dog = 1,5534 :t 0,01136
lSSN 0216':3f28
Prosiding Pertemuan dJJn Preselltasi llmiah PPNY-BATAN, Yogvakarta 25-27 April 1995
Bllkul
Pembahasan
UCAPAN TERIMAKASIH
Dari basil pengukuran daDperhitungan yang telah dilakukan terlihat bahwa indek bias efektif (IIe) lebih kecil daTi11g. lni menunjukkanbahwa indekbias efektif timbul karena adanya penjalaran cahaya di dalam pandu gelombang. Besamya nilai IIesesuai dengan defenisi yaitu I1elebih kecil daTiindek bias pandu gelombang 11g. Indek bias lapisan tipis SiO2:Ptelah didapat nilainya daTi pengukuran daD perhitungan yaitu sebesar I1g= 1,5534,yang nilainyalebihbesar dari indekbias n.b(SiO2)daDn.p(udara). lni menunjukkan bahwa metode ini mampu mengukur dua lapisan tipis dengan beda indek bias iln = I1g - n.ub = 0,0834 atau 5,6 % terhadap indek substrat. Sesuai dengan penjelasan sebelumnya bahwa salah satu syarat teIjadinya pemantulan sempuma oleh dinding lapisan pandugelombang adalah indek bias pandugelombang lebih besar daTi indek bias substrat daDsuperstrat (11g> n.b;n.p).Dari ralatyang telah didapat dl1g= 0,01136,menunjukkankesalahan pengukuran 0,7313 %. Mulai timbulnya mode di bidang observasi pacta sudut datang 8i = 5,9084°. Pacta sudut ini menunjukkan mulai terkoplingnya berkas cahaya datang di dalam lapisan tipis SiO2:P oleh cahaya bocoran. Sedangkan terkoplingnya berkas cahaya datang menunjukkan bahwa sudut pantul di dalam lapisan SiO2:P lebih besar dari sudut kritis bidang antarmuka lapisan tipis-udara daDantarmuka lapisan tipis SiO2. Terjadinya ralat dalam pengukuran dikarenakan oleh berbagai faktor diantaranya, yaitu kemungkinan lapisan tipis tidal
KESIMPULAN Dari basil pengukuran daDperhitungan dapat disimpulkan sebagai berikut : 1. Indek bias lapisan tipis SiO2:P dipero1eh dari pengukuran daD perhitungan adalah sebesar I1g=
2.
1,5534 dengan ralat dl1g= 0,01136 yang menuJ1jukkankesalahan pengukuran 0,7313 %. Metode ini marnpu membedakan indek lapisan tipis dengan
-
beda Lln = I1g n.b = 0,0834 atau 5,6
% terhadap indek bias substrat.
ISSN 0216-3128
13
Penulis mengucapkan terimakasih kepada Herman daD Slamet Riyadi yang telah membantu penelitian ini. Penelitian ini disponsori oleh Proyek PenelitianTeknologi Proses Bahan Nuklir danBahan Unggul tabun 1994/1995 di PPNY-BATAN.
DAFTAR PUSTAKA 1.
TIEN, P.K., Light Waves in Thin Films and Integrated Optics, Applied Optics, Vol. 10, No. 11,pp. 2395-2413,1971. 2. SELIGSON 1., Prism Coupler in Guided-Wave Optics, Optical Society of America, New York, 1987. 3. KAPANY, N.S. and BURKE, U., Optical Waveguides, Academic Press, New York & London, 1973. 4. SOREF, R.A. and LORENZO, J.P., Silicon Guided-Wave Optics, Solid State Technology, pp. 95-98, Nov. 1988 5. BUDIANTO, A., Etudes des Nouvelles Solutions de Connectique entre Guides de Silicium et Fibre Optique, These, Institut National Polytechnique de Grenoble, France 1993. 6. BARBIER, D., These de Docteur, Institut National Polytechnique de Grenoble, France 1976.
TANYA-JAW AB
..
Tri Mardji Atmono
-
Pengukuran yang baik pactaumumnya "ditandai" dengan ralat antara 5 - 10%. Namun disini diperoleh kesalahan basil pengukuran hanya kecil sekali 0,7% padahal tadi disebutkan paling tidak 3 kesalahan yang mungkin menimbulkan ralat hasil pengukuran. Bagaimana komentar mengenai hal ini? Anwar Budianto
-
Di bidang "optika terpadu", kita biasa bicara ra/at maksimum 1% untuk pengukuran indeks bias agar disebut "baik". Ra/at 0,7% masih dikatakan cukup besar. Ha/ ini karena ruangan eksperimen yang be/urn "bebas debu", sehingga faktor-faktor penunjang ra/at masih berperanan.
Anwar Budianto,dkk
Prosiding Pertemuun
Bllkll!
14
Sumadji
-
Mungkinkah terjadi interferensi pacta bidang observasi hanya dengan satu berkas cahaya? Anwar Budianto Syarat terjadinya interferensi adalah bahwa kedua berkas harus memiliki panjang gelombang yang sarna. Dari satu berkas sinor (A.= 0,6328 J..Url)kemudian diolah oleh lapisan tipis (pandu gelombang) menjadi banyak berkas dengan beda lase tertentu. Berkas-berkas terakhir inilah yang berinterftrensi setelah mengalami bedafase pada lapisan tipis.
PPNY-BATAN,
Anwar, kenapa pak Anwar yang sudah Doktor mau melakukan penelitian yang CUIDasetingkat penelitian S 1, apakah tidak lebih tepat melakukan penelitian setingkat S3. Penelitian ini kalau dikerjakan secara serius bisa selesai dalam berapa tahun! Bagaimana penalarannya kok lapisan tipis SiO2:P dapat dipandang sebagai pandu gelombang. Janis lapisan ini biasanya digunakan untuk apa/dimana. Anwar Budianto -
Adianto
Tjipto Suyitno Pak Anwar facti menyebutkan bahwa penelitiannya merupakan penelitian yang setingkat dengan penelitian S1. Batasan apa yang membedakan antara penelitian S1, S2 dan' S3. Dan sara mohon maaf sebelumnya pacta pak
Anwar Budianto,dkk
Penelitian ini sudah soya berikan kepada mahasiswa S1 sebagai tugas akhir agar membantu penelitian ini dengan bimbingan soya. - Penelitian S1 hanya berlangsung sekitar 6 12 bulan dengan justifikasi rumus baru pada eksperimen. - Penelitian S2 berlangsung hampir sarna waktunya, tetapi harus menguasai benar teori yang
-
Bagimana anda mengukur ketebalan lapisan tipis 0,2 flm. Dengan diperoleh = 0,01136 dengan ralat 0,7313%. Seberapa besar keyakinan anda bahwa ralat tersebut benar-benar hanya 0,7313% dalarn arti ketelitiannya bisa sampai 4 digit dibelakang kama? Anwar Budianto Metode pengukuran ini hanya mengukur salah satu dari parameter: ketebalan atoll indeks bias. Untuk itu, ketebalan harus diketahui dulu agar indek bias dapat dihitung/diukur. Dalam bidang optika terpadu kila biasa berkecimpung dengan beda indeks bias sebesar tiga digit dibelakang kama, sehingga ralat pengukuran harus lebih kecil daTi 1%.
dun Presentasi llmill/r
Yo/:.yakarta 25-27 April 199.~
-
dipakai beserta komparasi dengan teori lai~. - Penelitian S3 menyangkut originalitas don ide serlo eksperimen yang tuntas don global don berlangsung sekitar 3-5 tahun. Mengingat dona penelilian terbatas, maka penelitian ini soya sederhanakan agar dapat dilaksanakan oleh seorang mahasiswa S1. Kalau serius, selama 6 bulan sudah selesai tuntas. Terbukti mahsiswa soya hanya 6 bulan dibawah bimbingan soya sudah selesai. Lapisan tipis SiD] : P adalah lapisan optis, don sebagai lapisan yang menjalarkan laser (pandu gelombang) sehingga berlaku rumus dispersi. Rumus ini memberikan relasi an tara d (tebal lapisan) don indeks bias (ng). Lapisan ini biasa digunakan pada rangkaian optoelektronika terpadu (integrated optics) untuk telekomunikasi optik, gyrometer optik, Michelson Morley experiments, don sebagainya.
ISSN 0216-3128
