Prosiding Pertemuan llmiah llmu Pengetahuan dan Teknologi Bahan '99
-
ISSN 1411-2213
Serpong, 19 20 Oktober 1999
PEMBENTUKAN STRUKTUR MIKRO DAN KENON-LINEARAN VARISTOR ZnO- TiO2 YANG DISINTER PADA SURD 1400 °c DAN 1540 °c Oani Gustaman Syarif, Engkir Sukirman2, Saeful Hidayat1, M. Yamin1 'Puslitbang Teknik Nuklir-BA TAN, ]l.Tamansari 7 t, Bandung 40 t 32 e-mail:
[email protected] 2Puslitbang Iptek Bahan-BAT AN, Puspiptek, Serpong, Tangerang
ABSTRAK '"
PEMBENTUKAN STRUKTUR MIKRO DAN KENON-LINEARAN VARISTOR ZnO-TiOz YANG DISINTER PADA SUHU 1400.C DAN 1540 .C. Oalam rangka mencari varistor yang efektif, pembentukan struktur mikro sistem biller ZnO-TiO2pads suhu sinter di bawah dan di atas suhu eutektik dan kenon-linearan varistor tersebut telah dipelajari. Pelet ZnOTiO2yang disinter baik pads suhu di bawah maupun di atas suhu eutektik (t 537°C) memiliki ukuran butir yang makin keciljika konsentrasi TiO2bertambah, tetapi mekanisme pembentukannya berbeda. Untuk pelet yang disinter pads suhu di bawah suhu eutektik pengurangan ukuran butir terjadi karena rasa kedua Zn2TiO4 yang menyebar menghambat pertumbuhan butir. Pads penyinteran
di alas suhu eutektik terjadi penyinteran rasa cairo Oleh karCla itu pengecilan ukuran butir pads pelet yang disinter
di alas suhu eutektik terjadi kemungkinan karena konsentrasi TiO2yang dipilih telah melewati batas kejenuhan. Di datam pelet ZnO-TiO2yang disinter di alas suhu eutektik, rasa cair yang berpenetrasi ke batas butir menghasilkan butir yang cenderung bulat. Sementaraitu, kecilnya faktor kenon-linearan kemungkinan karena lapisan batas butir tidak terdistribusi dengan merata daD tebal lapisan batas butir relatifberbeda satu sarna lain.
ABSTRACT MICROSTRUCTURE DEVELOPMENT AND NON-LINEARITY OF ZoO- TiOz VARISTORS SINTERED AT 1400 °C AND 1540 °c. In order to find effective varistor, microstructure development of binary system ZnO-TiO2at sintering temperature below and above the eutectic temperature and the non-linearity of the varistor had been studied. ZnO-TiO2pellets sintered below and above the eutectic temperature had grain size which tends to decrease as TiO2concentration increases. The decreasing mechanism of the grain size of the two pellets was different each other. For the pellets sintered below the eutectic tenperature, the decreasing oCthegrain size was because distributedZn2TiO4second phase inhibited grain growth. In the sintering above the eutectic temperature, liquid phase sintering existed. Therefore, for the pellets sintered above the eutectic temperature, the decreasing of the grain size was because the added TiO2maybe exceeding the permissible amount of TiOr In the pellets sintered at temperature above the eutectic temperature, the liquid phase that penetrated grain boundaries produced rounded grains. The non-linearity of the ZnO-TiO2varistors was small. It happened maybe because the grain boundary layer was not well distributed and the thickness oCthe layer was relatively different each other. Kata Kunci: Struktur mikro, Varistor, Kenon-linearan, ZnO, TiO2
-oksida lain. Salah satu diagram
PENDAHULUAN
paduan rasa ZoO
ZoO adalah salah satu bahan venting untuk pembuatan varistor, yaitu sebuah komponen yang dapat digunakan sebagai penstabil tegangan clan pelindung rangkaian elektronik clan listrik dari tegangan berlebih (Over voltage) [1-5]. Fungsi seperti ini dimiliki varistor karena komponen ini mempunyai karakteristik E-J (Medan listrik-Rapatarus) alan V-I (Tegangan-Arus) yang sangat non-linear. Varistor yang ads di pasaran saRI ini umumnya terbuat dari ZoO dengan oksida tambahan relatifbanyak [1-6]. Saat ini ads kecenderungan untuk meningkatkan efisiensi pembuatan varistor dari bahan ZoO dengan mengurangi jumlah oksida tambahan. Secara teoritis langkah efisiensi ini dapat diwujudkan dengan berbagai cars clan salah satunya adalah dengan mengevaluasi
yang ~apat dievaluasi adalah paduan biller ZnO-TiOl. Jika dari paduan dUBoksida ditemukan bahan varistor, maka varistor ini jauh lebih efisien dari pads varistor pasaran yang terdiri dari 4(empat) oksida atau lebih [1-6]. Sesuai diagram rasa ZnO-TiOl [7] terdapat rasa eair pads suhu di alas 1537 °C(suhu eutektik) clantidak terdapat rasa eair tetapi terdapat rasa padat Zn2TiO4pads suhu di bawah suhu eutektik [7]. Dikaitkan dengan pembentukan varistor, dUBkeadaan yang berbeda ini sangat menarik clan venting untuk dipertimbangkan dalam meraneang varistor. Seeara teoritis adanya rasa cair di batHs butir ZoO dapat meningkatkan kenonlinearan karakteristik E-J (Medan listrik-Rapat arus) varistor karena pads kondisi ini terdapat perbedaan konduktifitas yang besar antara butir clan batas butir.
rasa
Pembentukan Struktur Mikro dan Kenon.Linearan Varistor ZnO-TiO1yang Disinter pada Suhu 1400.C dan 1540.C ( Dani Gustaman Syarij)
Selain itu kehadiran rasa cair di batas butir diduga berpengaruh terhadap ukuran butir varistor. Seperti diketahui bahwa karakteristik varistor dipengaruhi pula oleh ukuran butir [6]. Oi sisi lain pada kondisi tidak terdapat rasa cair tetapi terdapat rasa padat ZnzTiO4pun penting untuk dievaluasi sebagai pembanding daD sebagai altematif, sekaligus untuk mengetahui pecan ZnzTiO4terhadap kenon-linearan varistor dengan bahan dasarZoO. Makalah inimembahaspembentukanstruktur mikro varistor dari paduan ZnO-TiOzyang disinter pada suhu 1400 °C daD 1540 °C daD hubungannya dengan kenon-linearankarakteristik E-J.
PERCOBAAN Serbuk ZoO dicampur dengan serbuk TiOz dengan komposisi sesuai Tabel 1. Campuran Tabel 1 diaduk di dalam media aseton selama 1jam. Untuk mengeringkan, serbuk campuran kemudian dipanaskan pada suhu 60 °C selama 24 jam. Serbuk campuran yang telah kering kemudian digerus daD diaduk di dalam mortar untuk menjamin homogenitas. Serbuk ini dipres dengan tekanan 3,9 ton/cmz untuk mendapatkan pelet mentah. Pelet mentah yang dihasilkan disinter pada suhu 1400 °C daD 1540 °C selama 1jam di dalam atmosfir udara. Pelet basil sinter dianalisis secara metalografi menggunakan mikroskop optik daD dianalisis menggunakan difraksi sinar-x menggunakan diftaktometer sinar-x buatan Philips milik Balai Besar Barang Keramik Bandung. Beberapa sampel disinter 1100 °C/l jam untuk melengkapi analisis difraksi sinar-x. Penyiapan sampel untuk metalografi dilakukan dengan mengampelas pelet sinter secara berjenjang dengan ampelas no.400 hingga no. 1500, selanjutnya dilakukan pemolesan dengan bantuan pasta intan daD pengetsaan menggunakan tarutao campuran CHJCOOH daDHP dengan perbandingan 1 : 500. Harga V(tegangan) pada berbagai I (arus) untuk semua sampel daTiberbagai komposisi diukur, kecuali beberapa sampel yang tidak mungkin ditentukan harga V daD I nya. Karakteristik V-I diubah menjadi karakteristik E-J dengan mengubah V menjadi E dengan membagi V dengan tebal' pelet dan mengubah I menjadi J dengan membagi 1dengan luas penampang pelet. Sementara itu, harga faktor kenonlinearan (a) ditentukan menggunakan persamaan (1) daTi karaketristikE-JpadahargaJ= 1mA/cmz [1,8]. dJ IJ
Ct=
dElE
d log J
= dlogE
log J2 ~
-
ZoO (% mol)
100 99,5 99 98,5 98 94 90
HASIL DAN PEMBAHASAN Identifikasi rasa Untuk mengetahui rasa-rasa yang terdapat di dalam sampel ZnO-TiOzbasil penyinteran pada subu di bawah suhu eutektik (1537 °C) [7], telah dilakukan pengambilanpola difraksibeberapa sampel yang disinter pada suhu 1100 °C/l jam daD 1400 °C/ljam Hasilnya diperlihatkanpada Gambar 1,2 daD3. Gambar 1sampai dengan 3 ini memperlihatkan adanya puncak difraksi 25'" "
1j
ZOZ..
zr-I. e" molT1O2]
'5" ..z.
,
j
'II) . z1 .
11
Kd.:
,'ZnO.zI'Zn2T1O4
"'1
=1
z.~~
1.1
..i
.1.11 rl~,~..J .Ioli 0 i : . UrlDUt~~VillW, "" -, . . , , , I 1
i r.i
0
.
..
..
..
...
..1 '"'" HI
Gambar 1. Pola difraksi sampel ZnO + 6 % TiOz disinter pada suhu 1100 .C/ljam.
"'.,:::~j ""1 "..
SI>L:zT2 II
....
~l]h~:~ 1.10' n
..,---,
.... .1
II
,
.~-.r.-;:111
..1
Gambar 1. Pola difraksi sampel ZnO + 10 % TiO. disinter pada suhu 1I00 "C/ljam. 1
1
8113ZT14 10" mol1 I«IOaCI1J
"'"
log Jl
logE2-logEI
(I)
Tabe/I. Komposisi campuran ZoO dan TiO2 dalam % mol dan % berat
No. 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7.
deugau, a = Faktor kenon-linearan , E 1 daD E2 = Medan listrik pada rapat arus J1 daD J2.
.... II
,'Z)o().II'Zn21io4.
.... II
TIO.(% mol)
0 0,5 I 1,5 2 6 10
Gambar 3. Pola difraksi sampel ZoO + 106 % TiO. disinter pada suhu 1400 "C/ljam.
HU
Pembentukan Struktur Mikro dun Kenon-Linearan Varistor ZnO-TiO2yang Disinter pada Suhu 1400"C dun 1540"C ( Dani Gustaman Syarij)
A
Gambar 6, Struktur mikro pelet ZoO den ZoO-rial mol TiOl, B. ZoO + 10 % mol TiOl.
suhu eutektik, pacta sampel terdapat rasa cair selama penyinteran. Pacta penelitian ini diketahui bahwa perubahan ukuran butir terhadap perubahan konsentrasi TiO2berbanding terbalik sepertijuga terdapatpactapelet yang disinter pactasuhu di bawah suhu eutektik.Artinya, butir pelet sinter ZoO- TiO2 cenderung lebih kecil dibandingkan dengan butir sampel ZoO mumi seperti tampak pacta Gambar 8 daD 9. Meskipun begitu, jika dibandingkan dengan sampel yang disinter di bawah suhu eutektik, butir sampel yang disinter pactasuhu di atas suhu eutektik jauh lebih besar. Mekanisme perubahan ukuran butir adalah sebagai berikut. Pactapenyinteran di atas suhu eutekrik di dalam sampelterjadipenyinteranfasacair. Fasacairyang bemda di batas butir «wama putih) pacta Gambar 9) telah mengaktifkan pertumbuhan butir. Mekanisme pertumbuhan butir pactakondisi terdapat rasa cair secara skematis diperlihatkan pactaGambar 7. Partikel-partikel yang lebih kecillarut kedalam rasa cair, lalu mengendap pactapartikel-partikel yang lebih besar. Akhimya, butir mengalami pembesaran (coarsening). Pacta kondisi tertentu dari rasa cair, pertumbuhan butir terhenti pacta ukuran butir tertentu. Sifat-sifat rasa cair di batas butir
A
B
411lm
disinter pads suhu 1400"C/ljam. A. ZoO + 6 %
ini ditentukan oleh faktor-faktor berikut yaitu kecepatan reaksi,jumlah rasa cairyang terbentuk, solubilitas relatif aditif,material utama (principalconstituent) daDperilaku pembasahan (wetting behavior). Butir dad pelet ZnO-TiO2semuanya relatiflebih kecil dari pacta butir pelet ZoO murni padahal pada penelitian terdahulu, penyinteran ZoO dengan rasa cair menghasilkan pelet dengan butir yang lebih besar dari pactaZoO mumi [9]. Hal ini terjadi kemungkinan karena pactapenelitian ini konsentrasi TiO2yang ditambahkan
126 J1m
PORI
-+
Gambar 7. Mekanisme pertumbuhan butir (coarsening) pada penyinteran rasa cairo
B
Gambar 8. Struktur mikro pelet ZoO mumi dan ZnO.TiOI disinter pada suhu 1540"C/ljam. A, ZoO mum! den B. ZoO + 0,5 % mol TiOl,
Pembentukan Struktur Mikro don Kenon-Linearan VarlstorZnO- TiOzyang Disinter pada Suhu 1-100.C don 15-10.C ( Dani Gustaman Syarlf)
yaitu lebih besar sarna dengan 20, kemungkinan disebabkan oleh tidak diperolehnyakombinasiyang tepat dari faktor-faktor di atas. Pada pelet yang disinter pada suhu 1540 °C, penyebab rendahnya harga a, kemungkinan adalah karena tidak terdistribusi dengan meratanya lapisanbatas butir clantidak seragamnyatebal lapisanbatas butir. Selainitukemungkinankonduktivitas pennukaan butir clanbutir relatif sarna.Artinyakehadiran rasa cair atau fasakedua tidak mengubah kondisi ini. Sementara itu pengaruh ukuran butir terhadap harga a juga tidak ter]ihat Hal inijelas terlihatketikaharga-harga a Tabe] 2 dibandingkan dengan struktur mikro sampel pada Gambar 5 sampai dengan 6 clan Gambar 8 sampai dengan 9. Harga a pelet yang disinter pada suhu 1400 °Cyang sedikit lebih besar dari pada harga a pelet yang disinter pada suhu 1540 °C, kemungkinan karena rasa kedua Zn2TiO4yang terdistribusimemilikiperbedaan konduktifitas dengan matriks ZoO.
KESIMPULAN Pe]et ZnO- TiO2 yang disinter baik pada suhu di bawah suhu eutektik (] 537 °C) memiliki ukuran butir yang makin kecil jika konsentrasi TiO2bertambah. Hal ini terjadi karena rasa kedua Zn2TiO4 (fasa padat) yang terbentuk clan menyebar di dalam pelet telah menghalangi pertumbuhan butir. Pada suhu sinter di atas suhu eutektik pembentukan struktur mikro terjadi o]eh terbentuknya rasa cair di batas butir. Makin kecilnya butir seiring dengan pertambahan TiO2 diduga kuat karena konsentrasi TiO2 yang dipilih pada penelitian ini telah melewati batas kejenuhan. Fasa cair yang berpenetrasi te]ah menyebabkan butir pelet yang disinter di atas suhu eutektik cenderung bulat Sementara itu tidak terdistribusi dengan meratanya ]apisan batas butir clan tidak meratanya teballapisan ini kemungkinan menjadi sebab rendahnya faktor kenon-linearan. Untuk mengkonfinnasi ini, penelitian yang sarna akan dilakukan tetapi sintesisnya dilakukan dengan cara kimia.
UCAPAN TERIMA KASIH Penelitian inidibiayai oleh Dewan Riset Nasional melaui LlPI di bawah kontrak peIjanjianno. 13/SP/RUTI 1999. DAFT AR ACUAN [I]. MATSUOKAM., Jap.J. Appl.Phys., 10(197])736. [2]. WONGJ., J.App1.Phys., 46(1975)1653. [3]. LEVINSONLM., PHILIPP HR, J.App!.Phys.46 (1975)1332. [4]. LEVINSONLM.,PHILIPPH.R, Appl. Phys.Lett., 24(1974). [5]. PHILIPPH.R.,LEVINSONLM., J. App!.Phys.,46 (1975). [6]. ANONYMOUS, Transient Voltage Suppression Manua],GeneralElectric 1974. [7]. F.H.DULIN,D.E.RASE,J. Am.Ceram. Soc.,43 [3] (1960)130. [8]. DANI GUSTAMAN Dkk., "Pengaruh Parameter Penyinteran Terhadap Karakteristik E-J ZoO clan VaristorZnO-Bip),", ProsidingPISM III, Serpong, (1998). [9]. DANI GUSTAMAN S., dkk., "Studi Pengaruh Parameter Penyinteran Terhadap Struktur Mikro Varistor ZnO-Bi2O) Menggunakan SEM", Prosiding Seminar Nasional Mikroskopi clan Mikroanalisis-II,Serpong,(1998). [10]. W.D.KINGERYeta!., Introductionto Ceramics,2nd edition, John Wiley and Sons, NY, ]976. [11]. T.ASOKAN,eta!., J. Mater.Sci.,22(1987)1019.
.nil!
Prosiding Pertemuan /lmiah /lmu Pengetahuan don Teknologi Bahan '99 SerpQng, /9- 20 Oktober /999
,
tambilhan(zt) selain yang berasal dari ZoO (z), Dengan menggunakan data hanawalt sebagai pembanding, ternyatadiketahui bahwa puneak tambahan berasal daTi senyawa Zn2Ti04' Gambar I sampai 3 memperlihatkan bahwa pacta sampel ZnO- Ti02 yang disinter pacta suhu 1100 °C clan 1400 °C terdapat rasa Zn2Ti04, Data ini bersesuaian dengan data diagram rasa ZnO- TiOpJ yang menunjukkan bahwa pacta suhu di bawah 1537 °C (suhu eutektik) terdapat rasa Zn2Ti04 hinggakonsentrasi Ti02 sebesar 34 % mol. , Untuk sampel ZoO + 6 % mol Ti02 yang mewakili sampel ZnO- Ti02 lainnya yang disinter pacta suhu di ,atas suhu eutektik yaitu pacta suhu 1540 °C, pola difraksinya dapat dilihat pacta Gambar 4, Seperti Gambar I sampai dengan 3, pacta pol a difraksi Gambar 4 ini terdapat pula puneak-puneak tambahan y~g berasal daTi Zn2TiO 4' Hal ini teIjadi karena rasa eair (non-kristalin) "11,
lce..t.'
j
25.. i ;;
.... i
,
ZT21540-082" I!54GoC11J
I
.1 I
I
i;
I 1
i
I
1S1I1
j ..lIi
III..
.
.0 ZnO." 0Zn2,'"
..
I
I
.
t lb...
. , i""'~ l'
...~ \"I~ ,,! .. 2t=-f~,..J oil ..~""'"~
':
""-;:;'! ',r~ "Z'~-~:'
Gambar 4. Pola difraksi sampel 2nO + 6 % Ti02 disinter pada suhu 1540 "C/ljam.
A
41~m
c
41~m
Gambar 5. Struktur mumi, B. ZnO+0,5%
yang terdapat pactasampel ZnO- Ti02 selama penyinteran, berkristalisasi menjadi Zn2Ti04 pacta saat pendinginan.
.
Struktur Mikro Pada Suhu Sinter' Di Bawah Suhu Eutektik
.
Gambar 5 clan6 memperlihatkan struktur mikro pelet sinter ZnO-Ti02 dengan berbagai konsentrasi Ti02 yang disinterpactasuhu 1400°C. Dari Gambar5 clan6 ini diketahui bahwa ukuran butir menjadi semakin keeil dengan 'pertambahan konsentrasi Ti°,2' Pacta suhu di bawah suhu eutektik, tidak terdapat rasa eair clanhanya terdapat rasa padat Zn2Ti04 sehingga penyebab semakin keeilnya ukuran butir adalah kehadiran fasa padat ini. Mekanisme pengeeilan butir akibat kehadiran Zn2Ti04adalahsebagaiberikut.Selamapenyinteran,Ti02 yang ditarnbahkan membentuk rasa padat Zn2TiO4 di dalam pelet. Fasa padat Zn2TiO4yang tersebar di daIam pelet sinter ZoO initersegregasi di batas butir. Fasa padat . yang tersegregasi kemudian menghaIangi pertumbOOan butir karena pergerakan batas butir terhalang oleh rasa padat .ni (mobilitas batas butir turun). SemakiIibanyak Zn2Ti04 semakin sukar pula pertumbuhan butir. , Akibatnya butir yang terbentuk semakin ke<;:il sebagairnanaterlihat pactaGambar 5 clan6.
,
P"
/SSN U/I-22/3
Struktur
Mikro Pada Suhu Di Atas Suhu Eutektik
Pembentukan struktur mikro unttuk sampel ZnOTi02 yang disinter pacta sOOudi atas suhu eutektik yaitu pacta sOOu1540 °C berbeda dengan struktur mikro sampel yang sarna yang disinter pacta suhu di bawah suhu eutektik. Perbedaan ini terjadi karena pacta suhu di atas
D
mikro pelet ZnO clan ZnO-Ti02 disinter pada suhu 1400"C/ljam. mol Ti02, C. ZnO+ I % mol Ti02, D. ZnO+ 2 % mol Ti02.
A., ZnO
Prosiding Pertemuan llmiah llmu Pengetahuan dan Teknologi Bahan '99
-
Serpong, 19 20 Oktober
ISSN 141/-2213
1999
B
A
126 J1m
c
126 IJ.m
D
Gambar 9. Struktur mikro pelet ZnO-TiO, disinter pacta suhu 1540 "Clljam, memperlihatkan kehadiran rasa kedua di batas butir (warna putih) dan blltir-butir yang cenderung bulat (rounded). A. ZnO + 1% mol TiO" B. ZnO + 2 % mol TiO, C. ZnO + 6 % mol TiO,. D. ZnO + 10 % mol TiO,.
telah melewati batas optimumnya (batas jenuhnya) sehingga pactakonsentrasi di alas konsentrasijenuh butir cenderung mengeciJ. Pacta kondisi ini keseimbangan telah tercapai antara butir clanrasa cair yang mengelilingi butir sebelum butir menjadi besar. Semakin banyak rasa cair yang acta di batas butir, semakin kecil butir yang terbentuk Adanya rasa cair menyebabkan butir r:enderung bulat (rounded) sepertijelas terlihat pactaGambar 9 Hal ini terjadi karena sudut interfasiaJ [10] semakin keciJ. Pengecilan sudut interfasial terjadi karena energi butirbutir (energi batas butir) lebih besar dari pacta energi racial-cairoPactakondisi ini rasa cairberpenetrasike batas butir. Akibatnya butir-butir menjadi bulat (bundar jika dua dimensi) seperti tampakjelas pactaGambar 7 clan8. Kenon-linearan pelet sinter ZnO-TiOz Untuk menggambarkan kenon-linearan sampel ZnO-TiOzbaik yang disinter pactasuhu 1400°Cmaupun pactasuhu 1540 °C, maka karakteristik E-J sampel basil sinter pacta kedua suhu tersebut ditentukan clan dari karakteristikE-J tersebutfaktorkenon-linearanditentukan menggunakan persamaan (I). Beberapa sampel tidak dapat ditentukana nya karena pecah. Sampelyang pecah ini hanya dapat dilihat struktur mikronya. Harga faktor kenon-linearan daTi sampel yang disinter pada suhu 1400°Cclan1540°Cdapat dilihatpactaTabel2.
Tubel2. Barga a pelet ZnO-TiO, disinter pada suhu !400 "C dan 1540 "~CO no,ol1sentrasi (% mol),
a. I
(Suhu sinter 1400°C)
U2. 3. 4. 5. 6.
0.5 I 1,5 2 6
2,7 3,8 3,3 3,7 2,1
1,4 2,1 1,6 1,7
Dariharga-harga faktor kenon-linearan (a) Tabel 2 yang lebih besar dari pacta I(satu) diketahui bahwa karakteristikE-J sampelZoO clanZnO-TiOz adalah nonlinear. Kenon-linearan yang timbul dalan varistor umumnya diterima sebagai akibat dari adanya penghalang schottky (schottky barriers) clan proses Fowla-Nordheim Tunneling pacta sambungan antara rasa-rasa yang berbeda yang terbentuk selama penyinteran[lI]. Dihubungkan dengan struktur mikro, kenon-linearandipengaruhidiantaranyaoleh faktor-fator berikut yaitu homogenitas lapisan batas butir clan homogenitas ketebalan lapisan batas butir. Sementara itusecarafisis kenon-linearandipengaruhi oleh distribusi konduktifitas pactabutir(ZnO) clandensitas "deep trap" pactalapisan batas butir. Harga-harga a yang reaItif rendah jika dibandingkan dengan harga a varistor yang dibutuhkan
Ke Daftar Isi
