NÁVOD K POUŽITÍ ŘADA PŘÍSTROJŮ BROOKS MF:

NÁVOD K POUŽITÍ

X-TMF-MF-cz Srpen 2004

ŘADA PŘÍSTROJŮ BROOKS MF: INTELIGENTNÍ PRŮTOKOMĚRY MODELY MF60S, MF61S, MF63S, MF64S & INTELIGENTNÍ REGULÁTORY PRŮTOKU MODELY MF50S, MF51S, MF53S.

Poznámka: Tuto publikaci musíte celou přečíst, dříve než začnete provádět jakékoliv operace. Špatné pochopení pokynů může mít za následek vážná poranění a/nebo poškození zařízení. Bude-li toto zařízení vyžadovat opravu, údržbu či seřízení, kontaktujte nejbližší servisní nebo prodejní oddělení společnosti Brooks. Je důležité, aby opravy a údržbu prováděla pouze zkušená a kvalifikovaná osoba. Nesprávné provedení opravy či údržby může vést k vážným poraněním a/ nebo poškození zařízení. Vážený zákazníku, Inteligentní hmotnostní průtokoměr/regulátor průtoku řady Brooks MF, který jste právě obdrželi, je zařízení nejvyšší možné kvality nabízející uživateli nadprůměrný výkon. Kromě nejrozsáhlejší palety provozních parametrů poskytuje tento přístroj neobyčejně vysokou míru přesnosti a reprodukovatelnosti. Tyto vlastnosti umožňují měření a regulaci míry průtoku plynu s výjimečnou přesností. Se zřetelem na širokou škálu použití těchto hmotnostních průtokoměrů a regulátorů průtoku jsme do jediného přístroje navrženého pro prostředí neustále se měnících provozních podmínek zabudovali konkrétní uživatelem volitelné funkce. Navíc, materiál zvolený pro zhotovení a ochranu nejmodernější konstrukce těchto zařízení umožňuje jejich použití v různých korozivních a nepříznivých prostředích. Doporučujeme vám, abyste si přečetli celý tento návod. Umožní vám to plně využít všech možností přístroje a usnadní provádění údržby. Budete-li potřebovat jakékoliv další informace týkající se inteligentního hmotnostního průtokoměru nebo regulátoru průtoku, prosím nebojte se kontaktovat vaše místní prodejní nebo servisní oddělení společnosti Brooks. Vážíme si této možnosti poskytnout vám servis týkající se vašeho měřícího a regulačního zařízení a věříme, že vám budeme moci v budoucnosti poskytnout další podporu. Se srdečným pozdravem, Brooks Instrument B.V.

Poznámka: Tento přístroj obsahuje elektronické součásti, které mohou být snadno poškozeny statickou elektřinou. Při (de)montáži a dalším zacházení s deskami s elektronikou a dalšími zařízeními uvnitř přístroje musí být dodržován vhodný způsob manipulace. Postup při manipulaci (elektronické součásti): 1. Musí být odpojena jednotka napájení. 2. Pracovník musí být uzemněn (pomocí řemínku na zápěstí nebo jiným vhodným bezpečným prostředkem) dříve, než začne (de)montovat nebo seřizovat jakoukoliv desku s elektronikou či další vnitřní zařízení. 3. Desky s elektronikou musí být přepravovány ve vodivém sáčku nebo v jiném vodivém obalu. Desky nesmí být vyjímány ze svého ochranného pouzdra dříve, než nastane vhodný okamžik montáže. Všechny desky vyjmuté ze zařízení, musí být okamžitě umístěny do ochranného obalu pro přepravu, skladování nebo odeslání do továrny. Poznámka: Jako mnoho jiných vyspělých zařízení obsahuje tento přístroj součásti, které jsou citlivé na ESD (elektrostatické vybíjení). Mnohá moderní elektronická zařízení používají mikroprocesorovou technologii, včetně SMD (povrchově montovaná zařízení). Praxe ukazuje, že dokonce i malé množství statické elektřiny stačí k tomu, aby tyto součásti poškodila nebo zničila. Ačkoliv se může nějaký čas zdát, že součásti, které byly takto poškozeny, fungují správně, nakonec se u nich objeví předčasná porucha.

2

OBSAH ZÁKLADNÍ POKYNY

4

1.

ÚVOD

6

1.1

Jak používat tuto příručku

6

1.2

Popis

7

2.

MONTÁŽ

9

2.1

Příjem zařízení

9

2.2

Doporučený způsob skladování

9

2.3

Plynové přípojky

9

2.4

Montáž mechaniky

10

2.5

Přímý filtr

10

2.6

Elektrické rozhraní (ne pro Profibus)

11

2.7

Elektrické rozhraní Profibus MF

13

2.7.1 Hlavní konektor (řada MF)

13

2.7.2 Konektor Profibus (řada MF)

14

2.8

Digitální komunikace

14

2.9

Propojení pomocí periferního příslušenství

17

2.10

Propojení

17

3.

PROVOZ PŘÍSTROJE

18

3.1

Pracovní postup

18

3.2

Seřízení nuly

18

3.3

Postup při kalibraci

18

4.

ÚDRŽBA

19

4.1

Všeobecně

19

4.2

Řešení problémů

19

4.3

Postupy čištění

22

4.4

Postup kalibrace

22

4.5

Postup (de)montáže ventilu

22

4.6

Postup (de)montáže skříně

22

5.

SPECIFIKACE

23

6.

SEZNAM MODELŮ

26

DODATEK A: PŘEVODNÍ TABULKY PLYNŮ

30

DODATEK B: ROZMĚROVÉ VÝKRESY

34

DODATEK C: POKYNY K ELEKTRICKÝM INSTALACÍM A OZNAČENÍ CE

36

DODATEK D: DŮLEŽITÉ BEZPEČNOSTNÍ POKYNY

37

3

ZÁKLADNÍ POKYNY Přečtěte si tyto stránky dříve, než budete pokračovat! Společnost Brooks Instrument navrhuje, vyrábí a testuje své výrobky tak, aby vyhovovaly mnoha národním a mezinárodním standardům. Protože tyty výrobky jsou technicky velmi složitá zařízení, musíte jejich montáž, používání i údržbu provádět správným způsobem tak, abyste zajistili, že budou pracovat v mezích svých normálních specifikací. Následující pokyny musí být dodržovány a začleněny do vašich bezpečnostních směrnic týkajících se montáže, používání a údržbě výrobků Brooks. •

Před montáží, provozem a opravou výrobku si přečtěte všechny pokyny. Pokud tato příručka není správný návod k použití, zavolejte na číslo +31-(0) 318 549 549 a požadovaný návod vám bude poskytnut. Uschovejte tento návod k použití pro pozdější nahlédnutí.

•

Pokud pokynům nebudete rozumět, kontaktujte pro objasnění zástupce společnosti Brooks Instrument.

•

Dodržujte všechny výstrahy, upozornění a pokyny označené na výrobku a dodané s výrobkem.

•

Proškolte své zaměstnance a sdělte jim, jak správně namontovat, obsluhovat a provádět údržbu výrobku.

•

Namontujte zařízení tak, jak je předepsáno v pokynech k montáži příslušného návodu k použití, a podle platných místních a národních předpisů. Všechny výrobky připojte k vhodným elektrickým a tlakovým zdrojům.

•

Jsou-li vyžadovány náhradní díly, ujistěte se, že s nimi manipulují kvalifikované osoby a že používají náhradní díly specifikované společností Brooks Instrument. Nedovolené součásti a postupy mohou mít vliv na výkonnost výrobku a ohrozit váš jinak bezpečný provoz. Záměna i velmi podobných součástí může mít za následek požár, nebezpečí úrazu elektrickým proudem nebo nesprávné fungování přístroje.

•

Zajistěte, aby všechna dvířka zařízení byla zavřená a ochranné kryty byly na svém místě kromě případu, kdy kvalifikovaná osoba provádí údržbu. Zabráníte tak úrazu elektrickým proudem a zranění osob.

Směrnice pro tlaková zařízení (PED) Pro všechna tlaková zařízení s vnitřním tlakem větším než 0,5 bar (g) a velikostí větší než 25 mm nebo 1“ (palec) platí směrnice Pressure Equipment Directive (PED). Směrnice platí v **Zóně volného obchodu Evropské Unie (EU plus Norsko, Island a Lichtenštejnsko). Tlakové zařízení může být v tomto prostoru volně prodáváno, pokud vyhoví této směrnici. •

Dodatek 1 tohoto návodu obsahuje důležité provozní a bezpečnostní pokyny vztažené ke směrnici PED.

•

Měřiče popsané v tomto návodu jsou ve shodě s EN directive 97/23/EC module H Conformity Assessment.

•

Všechny průtokoměry společnosti Brooks Instrument spadají pod Fluid-group I

•

Měřiče větší než 25 mm nebo 1“ (palec) jsou ve shodě s group I, II nebo III směrnice PED.

•

Měřiče velikosti 25 mm nebo 1“ (palec) nebo menší spadají pod Sound Engineering Practice (SEP).

4

UPOZORNĚNÍ Tento přístroj obsahuje elektronické součásti, které mohou být snadno poškozeny statickou elektřinou. Vhodný způsob manipulace: Při (de)montáži a dalším zacházení s deskami s elektronikou a zařízením musí být dodržovány předepsané postupy. Postup při manipulaci: 1. Musí být odpojena jednotka napájení. 2. Pracovník musí být uzemněn pomocí řemínku na zápěstí nebo jiným vhodným a bezpečným prostředkem dříve, než začne (de)montovat nebo seřizovat jakoukoliv desku s elektronikou či další vnitřní zařízení. 3. Desky s elektronikou musí být přepravovány ve vodivém sáčku nebo v jiném vodivém obalu. Desky nesmí být vyjímány ze svého ochranného pouzdra do doby bezprostředně před montáží. Vyjmuté desky musí být okamžitě umístěny do ochranného obalu pro přepravu, skladování nebo odeslání do továrny. Vysvětlivky: Tím, že obsahuje součásti, které jsou citlivé na ESD (elektrostatické vybíjení), není tento přístroj ojedinělý. Mnohá moderní elektronická zařízení používají součásti, které používají metal oxidovou technologii (NMOS, CMOS, atd.). Praxe ukazuje, že dokonce i malé množství statické elektřiny stačí k tomu, aby tyto součásti poškodila nebo zničila. U poškozených součástí, i když se zdá, že fungují normálně, se brzy projeví porucha.

5

1. ÚVOD 1.1

JAK POUŽÍVAT TUTO PŘÍRUČKU

Doporučujeme vám, abyste si před montáží, provozem či opravou přečetli tento návod k použití. Tato příručka je uspořádána do devíti částí: Část 1.

Úvod

Část 2.

Montáž

Část 3.

Provoz přístroje

Část 4.

Údržba

Část 5.

Specifikace

Část 6.

Seznam modelů

Část A-D Dodatky Smyslem tohoto návodu k použití je poskytnout uživateli všechny informace potřebné k montáži, provozu a údržbě inteligentních průtokoměrů a regulátorů průtoku řady Brooks MF. Tato řada provozních přístrojů s mikroprocesory je navržena tak, aby splňovala přísné požadavky pro různé druhy aplikací v různých odvětvích průmyslu. Použití digitální technologie zaručuje, že tato řada inteligentních přístrojů Brooks poskytuje maximální přesnost a integritu signálu. Navíc to umožňuje snadné připojení k jakémukoliv perifernímu zařízení prostřednictvím analogové nebo digitální komunikace. Tato příručka je určena pro tyto modely inteligentních průtokoměrů: MF60S, MF61S, MF63S a MF64S a tyto modely inteligentních regulátorů průtoku: MF50S, MF51S a MF53S.

Digitální komunikace Bude-li na levé straně textu **ikona počítače (tak jako zde), znamená to, že doprovodný text se týká digitální komunikace. Smart Control Digitální komunikace (prostřednictvím RS-232 nebo RS-485) umožňuje připojení našeho ovládacího systému Brooks model 0160 Smart Control. Pomocí tohoto propojovacího programu můžete ovládat a (pře)konfigurovat inteligentní výrobky pro měření a regulaci průtoku (parametry kalibrace nejsou přístupné). Smart DDE Požadujete-li mezi vaší aplikací ve Windows a inteligentními výrobky Brooks obousměrné spojení, nabídne vám všechny funkce, které budete potřebovat, náš model 0162 Smart DDE (mocný uživatelsky přívětivý softwarový nástroj pro dynamickou výměnu dat). Smart Service Máte-li vybavení s kalibračním volumetrem primárního standardu nebo (sekundární standard) inteligentní průtokoměr Brooks, můžete k (pře)konfiguraci, diagnostice, kalibraci a/nebo přezkoušení použít program model 0163 Brooks Smart Service. Seznam příkazů pro komunikaci pomocí protokolu HART najdete v samostatném dokumentu, číslo součásti Brooks: 541-C-053-AAA. Příručka ke komunikaci systémem Profibus-DP Podívejte se prosím do návodu k použití systému Profibus, číslo součásti 541-C-068-AAG.

6

1.2

POPIS

Modely MF60S, MF61S, MF63S a MF64S inteligentních průtokoměrů řady Brooks MF jsou používány zejména k přesnému měření průtoku plynu. Srdcem těchto systémů je teplotní čidlo, které na výstupu vytváří elektrický signál jako funkci průtoku. Vedle toho, modely MF50S, MF51S a MF53S inteligentních regulátorů průtoku řady Brooks MF umožňují množství průtoku regulovat. Rozsahy průtoků jednotlivých modelů najdete v tabulce 1-1. Tabulka 1-1: Rozsahy průtoku jednotlivých modelů. Hmotnostní průtok Model MF50S MF51S MF53S

Hmotnostní průtok Model MF60S MF61S MF63S MF64S

Regulátor min. f.s. 0,00 20 100 18

Rozsahy průtoku Průtokoměr max. f.s. 30 100 2500 2160

Jednotka * ln/min. ln/min. ln/min. m2/h

* vztahuje se k normálním podmínkám, tj. 0°C, 1013,25 mbar. Inteligentní průtokoměr řady Brooks MF je samostatný přístroj se zabudovanou mikroprocesorovou elektronikou. Inteligentní regulátor průtoku řady Brooks MF má v sobě zabudován modul s regulačním ventilem, s jehož pomocí lze dosáhnout ustáleného průtoku plynu.

HMOTNOSTNÍ PRŮTOKOMĚRY •

Dodávaný přítokový adaptér má zabudovanou vložku přívodního filtru pro vyrovnávání průtoku. Vedle snížení účinku změn v přívodním potrubí chrání také měřící prvek před občasnými nečistotami. Díky tomu již není třeba dodatečný (a drahý) filtr.

•

Signál průtoku regulovatelný pomocí software: (ne pro Profibus) 0-5 Vdc nebo 1-5 Vdc nebo 0-20 mA nebo 4-20 mA

•

Tlumení výstupu zajišťuje nepřetržité odečítání údajů za podmínek kolísající míry průtoku. Standardní nastavení z výroby: 0,5 sekundy (ne pro Profibus).

•

Omezení výstupu zamezuje potenciálnímu poškození choulostivých zařízení pro zpracování signálu. Výstupní napětí je omezeno na rozsah 0-5,25 Vdc a výstupní proud je omezen na rozsah 0-21 mA (ne pro Profibus).

•

Uživatel má k dispozici výstražný výstupní signál (**kolektor TTL). V případě, že budou překročeny specifikace přístroje, buď provozními podmínkami nebo samotným přístrojem, může být vyslán výstražný signál.

Poznámka: Digitální výstup (komunikaci) je možné používat současně s analogovým výstupem. (ne pro Profibus).

7

REGULÁTOR PRŮTOKU Základní rysy: •

Dodávaný přítokový adaptér má zabudovanou vložku přívodního filtru pro vyrovnávání průtoku. Vedle snížení účinku změn v přívodním potrubí chrání také měřící prvek před občasnými nečistotami. Díky tomu již není třeba dodatečný (a drahý) filtr.

•

Všechny regulátory průtoku řady MF jsou vybaveny adaptivním algoritmem regulačního ventilu pro udržování stálého průtoku, a to i za měnících se provozních podmínek (tlak/teplota).

•

Volitelný zdroj **Set point: Setpoint signal source regulátoru průtoku můžete vybrat z: (ne pro Profibus) - komunikační port (RS232/RS485) nebo - 0-5 Vdc nebo - 1-5 Vdc nebo - 0-20 mA nebo - 4-20 mA. Rychlé zpracování odezvy umožňuje dosáhnout krátkého času regulace plynu s minimálními výchylkami při regulaci. Standardní nastavení z výroby: 1 sekunda u MF50/51 a u modelů průtokoměrů, 3 sekundy u MF53.

•

•

**Override ventilu (VOR, k dispizici na svorce 12) umožňuje uživateli úplně otevřít či zavřít regulační ventil nezávisle na **setpointu.

•

Limit nízkého průtoku zabraňuje tomu, aby se ventil otevřel, je-li **Set point menší než 1% plného rozsahu.

VŠECHNY MODELY Vlastnosti digitální komunikace

Digitální komunikace, prostřednictvím RS485 či RS232, umožňuje přístup ke všem inteligentním funkcím Smart TMF, to znamená: • • • •

Přesné měření hmotnostního průtoku a regulaci **Set pointu (pouze regulátor), jako procento plného rozsahu ve zvolených technických jednotkách Totalizátor průtoku Okolní teplota Provozní nastavení ⇒ ⇒

⇒

•

Výstrahy ⇒

⇒

⇒

•

Kalibrace (paměť až na 10 kalibračních křivek) Nastavení regulátoru (pouze regulátor) Nastavení PID Volitelný soft start Adaptivní ovládání ventilu Adaptivní filtrování pro součásti signalizace průtoku

Samodiagnostický systém Chyba EEPROM Chyba databáze Chyba analogového výstupu Indikace „mimo rozsah“ Analogový **set point vyšší než 100% (pouze regulátor) Průtok Ventil (pouze regulátor) Analogový výstup Chyby prostředí Není rozpoznán průtok plynu Napájení je mimo specifikovaný rozsah Okolní teplota je mimo specifikovaný rozsah.

Digitální komunikace prostřednictvím Profibus-DP, viz dokument 541-C-068-AAG.

8

2. MONTÁŽ Poznámka: Pracovní postup: neprovozujte tento přístroj mimo specifikovaný rozsah, který je uvedený v části 5. Předtím, než uvedete jednotku do provozu, ujistěte se, že všechna spojení plynového vedení byla řádně dotažena a že byla provedena všechna elektrická zapojení.

2.1

PŘÍJEM ZAŘÍZENÍ

Po obdržení zařízení zkontrolujte, zda nedošlo během přepravy k poškození balíku. Je-li balení poškozeno, měli byste to ihned oznámit přepravci s ohledem na odpovědnost. Měla by být vystavena zpráva pro servisní oddělení Brooks Instrument B.V. Vyjměte obálku s dodacím listem, návodem k použití a listem s kalibračními daty. Opatrně vybalte zařízení. Dejte pozor, abyste s balicím materiálem neodložili žádné náhradní součástky. Zkontrolujte, zda některé části nechybí nebo nejsou poškozeny.

2.2

DOPORUČENÝ ZPŮSOB SKLADOVÁNÍ

Má-li být zařízení od Brooks Instrument B.V. delší dobu skladováno, doporučujeme vám, abyste jej: a. skladovali v původním přepravním obalu. b. skladovali na krytém místě za následujících podmínek: 1) optimální okolní teplota 21°C (maximálně 32°C/minimálně 7°C). 2) optimální relativní vlhkost 45% (maximálně 60%/minimálně 25%). c.

2.3

po skončení skladování vizuálně překontrolovali a přesvědčili se, že stav zařízení je takový jako při jeho přijetí. Pokud bylo zařízení skladováno déle než deset měsíců nebo pokud nebylo skladováno za doporučených podmínek, měla by být vyměněna všechna těsnění, která jsou pod tlakem. Navíc by zařízení mělo být podrobeno tlakové zkoušce vzduchem podle platných předpisů.

PLYNOVÉ PŘÍPOJKY

Všechny modely jsou standardně připojovány těmito přívodními a vývodními přípojkami: NPT(F), **tube compresion fittings, VCR, VCO, příruby DIN a ANSI. Předtím, než začnete s montáží, ujistěte se, že jsou všechny trubky čisté a nejsou ucpané. Potrubí namontujte takovým způsobem, aby byl umožněn snadný přístup k přístroji v případě, že bude třeba jej odmontovat z důvodu čištění nebo testování při odstraňování problémů.

9

2.4

MONTÁŽ MECHANIKY

(Rozměrové výkresy najdete v Dodatku B: Rozměrové výkresy) Poznámka: Při montáži průtokového zařízení je třeba dávat pozor, aby se do vstupu či výstupu přístroje nedostaly cizí látky. Neodstraňujte ochranné uzávěry, dokud nenastane vhodný okamžik pro montáž. Pokud používáte reaktivní plyny (z nichž některé mohou být toxické), může v případě netěsnosti vedení nebo při nesprávném čištění dojít k zamoření či ke korozi. Vedení by mělo být před a po použití reaktivních plynů čištěno (dostatečně dlouho) dusíkem. Obrázek 2-1: mechanická montáž

Doporučený pracovní postup: a. Všechny modely by měly být instalovány na místech, které jsou relativně bez otřesů a vibrací. b. Ponechte vhodný prostor pro přístup k elektrickým součástem. c.

Nainstalujte přístroj takovým způsobem, aby jej bylo možné snadno odmontovat z důvodu čištění.

d. Inteligentní průtokoměr či regulátor průtoku může být nainstalován v horizontální i vertikální poloze v případě, že provozní tlak bude nižší než 10 bar. e. Při vyšších provozních tlacích by měla být upřednostněna horizontální poloha, protože tyto tlaky mohou způsobit efekt „tepelného podtlaku“ výstupního signálu za podmínek nulového průtoku a zkreslit specifikace. Poznámka: Regulační ventil inteligentního regulátoru průtoku řady MF zajišťuje přesnou a jemnou regulaci a není navržen pro úplné uzavření. Je-li potřeba úplné uzavření plynového potrubí, doporučujeme vám, abyste vedle inteligentního regulátoru průtoku řady MF směrem po proudu nainstalovali samostatný uzavírací ventil. Poznámka: V případě, že dojde k přerušení napájení inteligentního regulátoru průtoku řady MF, bude NORMÁLNĚ ZAVŘENÝ ventil úplně uzavřen, zatímco NORMÁLNĚ OTEVŘENÝ ventil bude úplně otevřen. NORMÁLNĚ OTEVŘENÝ regulační ventil odpovídá specifickým požadavkům použití, umožňuje provést čištění plynem dusíku, je-li přerušeno napájení.

2.5

PŘÍMÝ FILTR

Přímý filtr je namontován jako standard na vstupu přístroje, aby chránil čidlo průtoku a regulační ventil před cizími látkami. Filtrovací prvek by měl být pravidelně měněn nebo čištěn ultrazvukem. Průtokoměry/regulátory průtoku používejte pouze s čistými plyny.

10

2.6

ELEKTRICKÉ ROZHRANÍ (NE PRO PROFIBUS)

Montáž Smart TMF vyžaduje zapojení svorkovnice. Podrobnosti týkající se správné instalace vidíte na obrázku 2-2 a v tabulkách 2-2, 2-3 a 2-4.Tabulka 2-1: Zapojení jednotlivých svorek Č. svorky

Obrázek 2-2: Část přístroje s elektrikou

Tabulka 2-2: Zapojení 9ti místné svorkovnice Svorka 1 2 3 4 5 6 7 8 9

Funkce

1

VSUP+

2

SUPCOM

3

NC

4

SIGCOM

5

VSIG

6

ISIG

1

TxD/A+

2

RxD/A-

3

TTLALM

4

VRFF

5

VOR

6

NC

7

CMDCOM

8

VCMD

9

ICMD

*

Funkce

Regulátor

TxD/A+ RxD/ATTLALM VREF VOR NC CMDCOM VCMD ICMD

RS-232/RS-485 TxD/A+ RS-232/RS-485 RxD/A(TTL) kolektor s výstražným výstupem referenční výstup +5 Vdc **Vstup override ventilu nepřipojeno Návrat signálu **Setpoint (-) 0 (1)-5 Vdc **Setpoint vstup (+) 0 (4)-20 mA **Setpoint vstup (+)

• • • • • • • • •

Průtokoměr • • • • n.a. • n.a. n.a. n.a.

* Zkratku popisu funkce najdete pod vrchním krytem Digitální komunikace (svorky 1 a 2) Svorky 1 a 2 jsou určeny pro připojení signálů TxD/A a RxD/A komunikačních portů RS-232/RS485. Poznámka: Port RS-232 nebo RS-485 byste měli vybrat při objednávání zařízení. Podrobnosti týkající se nastavení p.c. desky najdete v části 2.7. Výstraha (svorka 3) K dispozici máte kolektor (TTL) s výstupním výstražným signálem. Typ použitého tranzistoru je NPN.

11

Obrázek 2-3: Kolektor.

Signál výstražného výstupu Referenční napětí 5 Vdc (svorka 4) Na svorce 4 je k dispozici referenční napětí +5 Vdc. To může být použito k nastavení **Set point s pomocí externího potenciometru (doporučeno 10 vinutí 2 kOhm). **Override ventilu (svorka 5, pouze modely regulátorů) K otvírání či zavírání regulačního ventilu nezávisle na signálu **Set point (např. z bezpečnostních důvodů) je k dispozici svorka 5 pro přenos **override signálu ventilu. Ponecháním okruhu (tj. nezapojeno) umožníte normální řízení regulace. ≥ 5 Vdc ≤ 0 Vdc

Ventil je otevřený Ventil je zavřený

Poznámka: Ovládání **override ventilu na svorce 5 má přednost před ovládáním **override ventilu prostřednictvím komunikace. Analogový vstup **Setpoint (svorky 7, 8 nebo 9, pouze modely regulátorů) U inteligentního regulátoru průtoku řady MF můžete použít buď **Set point proudu nebo napětí. Chcete-li použít Set point proudu, připojte signál Set point na svorku 9 a návratový signál **Set point na svorku 7 na svorkovnici (propojka (jumper) J1 musí být umístěna tak, jak je vidět na obrázku 2-4). Chcete-li použít Set point napětí, připojte signál Set point na svorku 8 a návratový signál na svorku 7.

Tabulka 2-3: Zapojení 6ti místné svorkovnice Svorka 1 2 3 4 5 6

*

Funkce

VSUP+ SUPCOM NC SIGCOM VSIG ISIG

Napájení +15 Vdc až +28 Vdc Připojení signálu COM rezervováno ýstupní signál průtoku COM 0 (1)-5 Vdc výstupní signál průtoku (+) 0 (4)-20 mA výstupní signál průtoku (+)

Regulátor

Průtokoměr

• • n.a. • • •

• • n.a. • • •

* Zkratku popisu funkce najdete pod vrchním krytem. Napájení (svorky 1 a 2) Zdroj napájení je připojen pomocí svorky 1 (+15 až +28 Vdc) a svorky 2 (signál COM).

12

Výstupní signál (svorky 4, 5 a 6) Svorky 4 a 5 udávají míru průtoku pomocí signálu 0-5 Vdc nebo 1-5 Vdc, který je úměrný průtoku. Svorky 4 a 6 udávají míru průtoku pomocí signálu 0-20 mA nebo 4-20 mA, kde proud je úměrný průtoku. Oba signály, proud i napětí, se vracejí svorkou 4. Poznámka: Konfigurace I/O má být určena při objednávání. Rekonfigurace u zákazníka může být provedena s použitím digitální komunikace. Poznámka: **Co se týká připojení napájení, připojený kabel musí být co možná nejkratší, aby se zajistilo, že na hmotnostním průtokovém zařízení bude k dispozici minimum požadovaného napětí a proudu.

Odrušení kabelů uzemněním Požadavky na kabeláž Splnění požadavků směrnice EMC 89/336/EEC požaduje, aby bylo zařízení opatřeno plně chráněnými kabely pro přenos signálu s nejméně 80% stíněním. Stínění kabelu by mělo být připojeno na kovovou kostru PG konektoru a na obou koncích by měla mít 360° stínění. Stínění by mělo být připojeno na svorku zemnění. Podrobnosti k těmto pokynům najdete v dodatku D: Pokyny týkající se elektrických instalací v souladu s CE.

2.7

ELEKTRICKÉ ROZHRANÍ PROFIBUS MF

2.7.1 Hlavní konektor (řada MF) Průtoková zařízení řady MF mají na přítokové straně konektor PG11 pro napájení a analogový I/O. V případě systému profibus není analogový I/O možný, s výjimkou vstupního signálu **override ventilu (VOR). V tom případě se konektor PG11 použije pouze pro napájení a vstupní signál VOR. Obrázek 2-4 ukazuje umístění svorek pro napájení a připojení proudu V.O.R. (stejně tak jako svorky pro připojení rozhraní profibus) pod vrchním krytem přístroje. Minimální požadavky pro provoz zařízení v síti Profibus jsou připojení kabelů napájení opatřených +24V a GND (zem). Obrázek 2-4: Připojení hlavního napájení MF Profibus Připojení hlavního napájení (K3) +24 Vdc +24V VOR (**override ventilu) VOR Zem GND Signál **override ventilu, prostřední svorka označená VOR, může být vždy použita souběžně se sítí. Příkaz (OPEN-otevřít nebo CLOSE-zavřít) poslaný přes tuto svorku má vždy přednost před příkazem **override ventilu ze sítě. Ponecháte-li okruh (svorka zůstane nezapojená), budou prováděny příkazy override ventilu posílané po síti. Poznámka: **Co se týká připojení napájení, připojený kabel musí být co možná nejkratší, aby se zajistilo, že na hmotnostním průtokovém zařízení bude k dispozici minimum požadovaného napětí a proudu.

13

Odrušení kabelů uzemněním Požadavky na kabeláž Splnění požadavků směrnice EMC 89/336/EEC požaduje, aby bylo zařízení opatřeno plně chráněnými kabely pro přenos signálu s nejméně 80% stíněním. Stínění kabelu by mělo být připojeno na kovovou kostru PG konektoru a na obou koncích by měla mít 360° stínění. Stínění by mělo být připojeno na svorku zemnění. Podrobnosti k těmto pokynům najdete v dodatku D návodu k použití pro modely řady MF, číslo součásti 541-C-061-AAG: Pokyny k instalaci.

2.7.2 Konektor Profibus (řada MF) Elektronika Profibus-DP se připojuje přes samostatný konektor M12 na vrchní straně přístroje. Tento konektor má stupeň ochrany IP65 a je popsán v příručce ke komunikaci systémem Profibus 2.142: Specifikace technologie propojení. Konektor počítá s použitím dostupných standardů, schválených konektorů sítě Profibus, a umožňuje rychlé a snadné připojení do sítě Profibus. Obrázek 3-4 níže ukazuje číslování svorek (pinů). Konektor dodává čtyři předepsané signály, tak jak je definováno v EN 50170, tedy RxD/TxD-P, RxD/TxD-N, VP a DGND. Signály Profibus jsou galvanicky izolovány od hlavní elektroniky. Pátá svorka konektoru je stínění. Obrázek 2-5: Číslování svorek (pinů) Svorka

Piny konektoru Profibus

1 2 3 4 5

1 2 3 4 5

2.8

Funkce

P5V A-linka Gnd B-linka Stínění

Barva

Hnědá Zelená Modrá Červená Šedá

DIGITÁLNÍ KOMUNIKACE

Poznámka: Desky s tištěnými spoji musí být překonfigurovány pouze v tom případě, že se nastavení hardwaru liší od nastavení udaného při objednávání přístroje. Inteligentní průtokoměry a regulátory průtoku řady MF obsahují dvě desky s tištěnými spoji: jednu základní desku s procesorem a zásuvnou desku. Zásuvná deska umožňuje zařízení komunikovat s PC prostřednictvím portů RS-232 nebo RS-485. Zásuvná deska je nainstalována prostřednictvím konektorů K5, K6 a K7 na základní desce (viz obrázek 2-6).

14

Obrázek 2-6: Desky p.c. s umístěním propojek (jumperů) nezapojeno - jumper není nainstalován zapojeno - jumper je nainstalován

Základní nastavení asymetrického napájení (tj. +15Vdc až +24Vdc)

J1 vstupní napětí Vstupní proud

U řady MF se nepoužívá.

Viz tabulka 2-4

Viz tabulka 2-4

J2 normální provoz Reset, vymazání nastavitelných parametrů

Deska p.c. pro komunikaci číslo #: 097-B-335-ZZZ pro RS-485 číslo #: 097-B-337-ZZZ pro RS-232

Základní p.c. deska číslo #: 097-B-265-ZZZ

Deska p.c. pro komunikaci číslo #: 097-B-296-ZZZ

Propojka číslo 1 je ta nejspodnější ze čtyř propojek. Zásuvná deska s podporou digitální komunikace slouží pro všechna nastavení hardwaru týkající se komunikace. Z tohoto důvodu je deska vybavena blokem přepínačů (SW1) se 4 propojkami, deskou s RS-232 (097-B337-ZZZ) nebo deskou s RS-485 (097-B335-ZZZ) a volbou rychlosti přenosu. Tabulka 2-4 shrnuje možná nastavení. Postup (de)montáže vrchního krytu a/nebo skříně najdete v části 4.6. Tabulka 2-4: Nastavení přepínačů (ne pro Profibus) Výběr fyzické vrstvy RS-232 RS-485

Výběr rychlosti přenosu

Přepínač #1 Off On

Blok přepínačů SW1 Přepínač Přepínač #2 #3

1200 2400 * 3600 4800 * 7200 9600 19200 * 38400

Off On Off On Off On Off On

Off Off On On Off Off On On

Přepínač #4

Off Off Off Off On On On On

* není podporováno operačním systémem Windows Vzhledem k tomu, že inteligentní průtoková zařízení řady Brooks MF jsou schopna komunikovat ihned po spuštění, měli byste nastavit správnou rychlost přenosu ještě před zapnutím přístroje. Jakékoliv změny nastavení přenosové rychlosti nebo výběru fyzické vrstvy provedené během provozu se projeví okamžitě. Ovladače komunikačních I/O portů jsou propojeny přímo na svorkovnici v horní části zařízení.

15

RS-232 je v podstatě dvoubodové spojení, tj. jeden hostitelský počítač a jedno inteligentní průtokové zařízení. Většina PC kompatibilních s IBM je standardně vybavena jedním nebo více porty RS232 (sériový port COM). Definice a používání portů RS-232 je velice různorodé. U inteligentního průtokového zařízení řady MF je TXD výstupní signál zařízení a RxD vstupní signál. Komunikační svorky mohou být propojeny přímo do sériového portu nějakého PC. Druhá část svorkovnice může být připojena ke čtecí a řídící elektronice s mikroprocesorem model 0152/0154 Brooks, nebo pouze k napájení. Tento model dodává napájení do inteligentních průtokových zařízení a zprostředkovává čtení a zobrazování výstupních analogových signálů. Obrázek 2-7 ukazuje diagram propojení konfigurace s RS-232, přiřazení pinů u PC kompatibilního s IBM. Toto je standard portu RS-232. Obrázek 2-7: Propojení TMF a PC pomocí RS-232 (ne pro Profibus) Konektor „D“ do PC s 25ti piny (9 svorek)

Obrázek 2-8: Vícenásobné propojení přístrojů TMF a PC pomocí RS485

Konektor „D“ do PC s 25ti piny (9 svorek)

či

Redukce z RS-485 na RS-232

RS-485 je v podstatě vícenásobné propojení. Umožňuje k počítačovému systému připojit maximálně 32 zařízení. PC kompatibilní s IBM nejsou portem RS-485 standardně vybaveny. Proto je k připojení k běžnému PC potřeba redukce z RS-232 na RS-485 nebo karta s rozhraním RS-485. Obrázek 2-8 ukazuje diagram připojení dvou zařízení MF k IBM-kompatibilnímu PC přes port RS-485 a redukci z RS-485 na RS-232. Sběrnice RS-485 vyžaduje dva odpory 120 Ohm, jeden na začátku a druhý na konci sběrnice, ve vzdálenosti závislé na typu redukce, odpor může být zabudován také přímo v redukci. Sběrnice RS485 vyžaduje také „daisy-chain“ síť, To znamená zapojení kabelů tak, jak je to vidět na obrázku 2-8.

16

2.9

PROPOJENÍ POMOCÍ PERIFERNÍHO PŘÍSLUŠENSTVÍ

Další podrobnosti týkající se komunikačních kabelů a konekrorů tak, jak jsou specifikovány v příručce systému Profibus „Popis propojení pomocí systému Profibus“, dokument 2.142, najdete v návodu k použití systému Profibus.

2.10 PROPOJENÍ K propojení zařízení s periferním příslušenstvím musí být použit stíněný kabel. Všechna případná připojení mohou být provedena přes svorkovnici. Stínění kabelu musí být uzemněno přes **cable gland konektoru PG: podrobnější pokyny najdete v dodatku D.

17

3. PROVOZ PŘÍSTROJE 3.1

PRACOVNÍ POSTUP

1. Půsťte do hmotnostního průtokového zařízení proud a vyčkejte přibližně 45 minut, než přístroj dosáhne stálé teploty. 2. Před puštěním tlakového zdroje plynu zkontrolujte snímání průtoku. Je-li hodnota průtoku >0,2%, měli byste u přístroje přenastavit nulu (viz část 3.2). 3. Pusťte tlakový zdroj plynu. 4. Nastavte průtok na 0% a sledujte výstupní signál přístroje. Pokud není výstup <0,2%, prověřte, zda někde nedochází k úniku. 5. Můžete zahájit běžný provoz.

3.2

SEŘÍZENÍ NULY

Všechna inteligentní průtoková zařízení jsou z výroby seřízena tak, aby při nulovém průtoku dávala signál 0 ± 10 mVdc. Seřízení se provádí v naší kalibrační laboratoři, kde je udržována okolní teplota 20°C. Po počáteční montáži a zahřátí v systému s plynem se indikace nulového průtoku může od nastavení z výroby lišit. To je způsobeno zejména rozdílem mezi teplotou v naší kalibrační laboratoři a v místě konečného umístění přístroje. Indikaci nulového průtoku kontrolujte vždy na přístroji namontovaném na svém definitivním místě a před kontrolou vyčkejte minimálně 45 minut, než přístroj dosáhne stálé teploty. Je-li potřeba provést seřízení nuly, můžete tak učinit pomocí Smart Control, model 0160.

3.3

POSTUP PŘI KALIBRACI

Kalibrace inteligentního zařízení řady MF není v tomto návodu popsána. Kalibrace může být provedena pouze pomocí přesného přístroje volumetr Brooks a Smart Service software model; 0163 (viz odstavec 4.4).

18

4. ÚDRŽBA 4.1

VŠEOBECNĚ

Kromě občasného čištění nevyžadují inteligentní průtokoměry a regulátory řady MF žádnou pravidelnou údržbu. Přívodní filtr by měl být pravidelně měněn nebo čištěn ultrazvukem. Poznámka: Potřebujete-li přístroj překalibrovat, ale nemáte k dispozici potřebné příslušenství či odborné znalosti, měli byste přístroj odeslat zpět do továrny.

4.2

ŘEŠENÍ PROBLÉMŮ

Kontrola systému Inteligentní průtokoměry a regulátory průtoku řady MF se používají zpravidla jako dílčí součást obslužného systému plynu, který může být velmi složitý. Proto může být velmi obtížné izolovat v systému závadu. Špatně diagnostikovaná porucha může znamenat zbytečný mnohahodinový prostoj. Je-li to možné, předtím než odmontujete podezřelý průtokoměr nebo regulátor průtoku pro důkladnější prověření nebo kvůli odeslání zpět do továrny (obzvlášť, je-li systém nový), proveďte následující kontrolu systému: 1. Prověřte odpor propojení a také zda jsou na konektoru Smart TMF řady MF připojeny správný zdroj napětí a signály. 2. Prověřte, zda byla správně provedena procesní připojení plynu a zda byla otestována těsnost spojů. 3. Pokud se zdá, že regulátor průtoku funguje, ale nemůže dosáhnout **Set point, ověřte, zda je dostatečný přívodní tlak a pokles tlaku v regulátoru k tomu, aby mohlo být dosaženo požadovaného průtoku. 4. Ověřte, zda jsou vhodně nastaveny všechny propojky a přepínače. Viz obrázek 2-6 a tabulka 2-4. Poznámka: Potřebujete-li odmontovat přístroj poté, co byl vystaven toxickému, samozápalnému, hořlavému nebo žíravému plynu, vyčistěte jej před odpojením plynového vedení důkladně suchým inertním plynem, jako je dusík. Špatné pročištění přístroje může vést k požáru, výbuchu či usmrcení. Po vystavení ovzduší může dojít také ke korozi průtokového zařízení či zamoření.

Řešení problémů 1. Inteligentní průtokoměr či regulátor průtoku propojte vhodným způsobem se zdrojem napájení +15 až +28 Vdc a připojte zařízení pro čtení výstupního signálu (doporučujeme 41/2 číslicový voltmetr) ke svorkám 5 a 4 6ti místné svorkovnice. Zapněte napájení a nechte přístroj 45 minut zahřát. V případě regulátoru nastavte **Set point na nulu. Nepřipojujte zařízení ještě ke zdroji plynu. Pozorujte výstupní signál, bude-li to třeba, proveďte seřízení nuly (viz postup v části 3.2). Pokud nelze výstupní signál správně vynulovat, kontaktujte prosím společnost Brooks Instrument.

19

2. Připojte přístroj ke zdroji stejného plynu, jaký byl použit při původní kalibraci. Nařiďte **Set point na 100%ní průtok a přizpůsobte vstupní a výstupní tlak kalibračním podmínkám. Ověřte, zda výstupní signál dosáhl 5,00 voltů a ustálil se na této hodnotě. Měňte ovládací napětí v rozmezí 1 až 100% rozsahu a přesvědčte se, že výstupní signál mění podle **Set pointu. Je-li to možné, připojte nějaké zařízení pro měření průtoku, abyste mohli sledovat aktuální chování průtoku a ověřte přesnost vašeho průtokového přístroje. Pokud průtokový přístroj pracuje tak, jak je popsáno výše, pak funguje správně a problém zřejmě spočívá v něčem jiném. Tabulka 4-1 obsahuje seznam možných závad, na které můžete narazit během řešení potíží. Pouze pro modely regulátorů: Přiložte +5 až +15 Vdc ke svorce **override ventilu (svorka 5 na 9ti místné svorkovnici) a ověřte, zda signál poklesl pod 2%.

20

Problém

Možná příčina

Kontrola/nápravné opatření

Výstup zůstává na nule (bez ohledu na **Set point), ale průtok průtokoměrem/ regulátorem není nulový.

Zanesené čidlo

Nelze dosáhnout průtoku bez ohledu na **Set point. (použitelné u MFC)

Zanesený regulační ventil

Vyčistěte regulační ventil (část 4.3) nebo odešlete zařízení zpět do továrny.

Je uzemněn vstup **override ventilu. Vadná elektronická deska

Zkontrolujte vstup **override ventilu.

Ventil netěsní nebo **is stuck open (použitelné u MFC)

Vyčistěte nebo seřiďte regulační ventil (část 4.3).

Na vstupu **override ventilu je připojeno +15V (použitelné u MFC).

Zkontrolujte svorku **override ventilu (svorka 5 na 9ti místné svorkovnici)

Vadná elektronická deska

Kontaktujte společnost Brooks Instrument.

Výstupní signál sleduje **Set point při vyšších hodnotách, ale nespadne pod 2%.

Ventil netěsní nebo **is stuck open.

Vyčistěte regulační ventil nebo odešlete zařízení zpět do továrny (část 4.3).

Výstupní signál sleduje **Set point při nižších hodnotách, ale nedosáhne plného rozsahu.

Nedostatečný vstupní tlak nebo pokles tlaku

Přizpůsobte tlaky, proveďte kontrolu přívodního filtru a podle potřeby vyčistěte/vyměňte (část 4.2).

Částečně zanesené čidlo

Vyčistěte čidlo, viz postupy čištění v části 4.3.

Částečně zanesený ventil (použitelné u MFC)

Vyčistěte regulační ventil (část 4.3) nebo odešlete zařízení zpět do továrny, viz postupy čištění.

Neseřízený ventil (použitelné u MFC)

Seřiďte ventil, viz postup kalibrace (část 4.4).

Závada vodící pružiny ventilu (použitelné u MFC)

Regulátor vibruje (viz níže).

Přístroj je naprosto mimo kalibraci. Průtok je větší, než je žádoucí.

Částečně zanesené čidlo

Vyčistěte čidlo, viz postupy čištění v části 4.3.

Přístroj je naprosto mimo kalibraci. Průtok je menší, než je žádoucí.

Částečně zanesený omezovač.

Vyměňte nebo vyčistěte omezovač.

Regulátor vibruje (použitelné u MFC).

Pokles tlaku nebo přívodní tlak se odchyluje od kalibrovaných hodnot.

Upravte tlaky.

Nadměrná velikost přívodního otvoru

Zkontrolujte velikost přívodního otvoru.

Neseřízený ventil

Seřiďte ventil, viz postup kalibrace v části 4.4.

Nestálý přívodní tlak

Zkontrolujte externí regulátor tlaku.

Vadná p.c. deska


Výstupní signál zůstává na přibližně 5,25 Vdc nebo 21 mA (bez ohledu na **Set point) a v průtokoměru/regulátoru je přitom průtok.

Vyčistěte čidlo. Postup čištění najdete v části 4.3.

Vadná elektronická deska

21


4.3

POSTUPY ČIŠTĚNÍ

Je-li potřeba z důvodu nánosů inteligentní průtokoměr nebo regulátor řady MF vyčistit, použijte následující postup: 1. Odmontujte jednotku ze systému. 2. Čistěte ji suchým inertním plynem dusíku, který ze zařízení odstraní všechny potencionální částečky hmoty. Pokud nebude znečištění odstraněno, podrobte všechny máčené součásti čištění ultrazvukem. Následně zařízení znovu důkladně vyčistěte suchým dusíkem. 3. Je-li znečištěné čidlo, vyjměte jej a pomocí hemostatu nebo pinzety prostrčte trubicí průtokového čidla strunový drát o průměru 0,007“ (palce) a odstraňte znečištění (konec u regulačního ventilu). Trubici čidla poté můžete propláchnout rozpouštědlem, které nezanechává usazeniny. To může být pohodlně provedeno pomocí injekční stříkačky naplněné rozpouštědlem. Poznámka: Nemáčejte jednotku čidla v čistícím roztoku. Kdyby se roztok dostal do jednotky čidla, pravděpodobně by došlo k poškození čidla nebo by přinejmenším zásadně pozměnil jeho provozní vlastnosti.

4.4

POSTUP KALIBRACE

Kalibrace inteligentních průtokových zařízení řady MF není v tomto návodu popsána. Daná kalibrace vyžaduje použití přesných a sledovatelných kalibračních přístrojů jako je volumetr Brooks, a dále je potřeba Smart Service software model 0163. Pokud máte výše uvedené vybavení k dispozici, pak vám společnost Brooks Instrument na požádání dodá dokument s postupem kalibrace (č.: 834-P088-AAG).

4.5

POSTUP (DE)MONTÁŽE VENTILU

Poznámka: Potřebujete-li (de)montovat zařízení, ale nemáte dostatečné odborné znalosti nebo vybavení, měli byste přístroj odeslat do továrny. Viz dodatek C. I pokud máte dostatečné vybavení a zručnost, společnost Brooks Instrument vám na požádání dodá dokument s postupem (de)montáže ventilu (č.: 834-L-030-AAG). Jednotka regulačního ventilu modelu MF53S sestává z axiálně připevněného hlavního ventilu poháněného řídícími ventily umístěnými nahoře. Hlavní ventil byste neměli rozebírat. V případě potřeby zašlete regulátor průtoku do továrny. Viz dodatek C.

4.6

POSTUP (DE)MONTÁŽE SKŘÍNĚ

V případě, že bude třeba upravit hardwarová nastavení základní nebo desky pro digitální komunikaci (tj. nastavení propojek nebo přepínačů), budete potřebovat následující nářadí: 1) 1⁄4“ šestiboký klíč pro demontáž krytu 2) 3mm šestihranný šroubovák (130 mm dlouhý) pro demontáž krytu Máčené součásti zahrnují tělo, prvek laminárního proudění a všechny součásti ventilu včetně **hrdla, procesních adaptérů a přívodního filtru. 1

22

5. SPECIFIKACE SPECIFIKACE VÝKONU Přesnost průtoku

±0,7% průtoku a ±0,2% **f.s. při kalibračních podmínkách nebo na přání ±0,5% průtoku a ±0,1% **f.s. při kalibračních podmínkách ±0,25% průtoku

Opakovatelnost Rozsahovost Ovladatelnost Stabilita Teplota Účinnost (po přenastavení nuly)

50:1 (při specifikované přesnosti) 100:1 (tj. celkový provozní rozsah) Méně než ±0,5% **míry průtoku za rok Posun o méně než 0,015%/°C skutečného průtoku kalibrace v rozsahu 0-70°C. U průtoků větších než 100 l/min musí být okolní teplota a teplota plynu stejná.

FYZIKÁLNÍ SPECIFIKACE Vyrobeno z materiálu Mechanická propojení Elektrická připojení

Máčené části z nerezové oceli s Viton, Buna-N, PTFE/ Kalrez nebo EPDM seals. NPT(F), **tube compression, varianty VCR a VCO: k dispozici typy přírub DIN nebo ANSI. Svorkovnice, přístupná přes konektor PG11, nebo vestavěný kabel s přímým vedením.

SPECIFIKACE Certifikace

* Osvědčení CE * Směrnice EMC (89/336/EEC) EN 613126-2: 1997 + A1: 1998 * Směrnice ATEX (94/9/EC) KEMA 98ATEX4887 – Typ n osvědčení prEN 50021: 1998 EN 50281-1-1: 1998 * Směrnice pro tlaková zařízení PED (97/23/EC)

Stupeň ochrany

IP65 a NEMÁ 4X

Tabulka 5-1: Rozsahy průtoků a tlaková zatížitelnost Hmotnostní reg. průtoku Model MF50S MF51S MF53S 1 2

Inteligentní hmotnostní průtokové výrobky Brooks Hmotnostní Rozsahy průtoku Tlakové průtokoměr zatížení Ekvivalent N2 Model MF60S2 MF61S MF63S MF64S

Min. f.s. 0,003 20 100 18

Max. f.s. 30 100 2500 2160

Jednotka1 ln/min. ln/min. ln/min. m3n/h

Bar 100 bar 100 bar 70 bar

S.E.P. S.E.P. 1

za normálních podmínek, tj. 0°C a 1013,25 mbar MF60 můžete použít do 300 bar

Vstup **Setpoint * (ne pro Profibus)

Napětí

:

0-5 Vdc nebo 1-5 Vdc vstupní impedance > 2000 Ohm

nebo Proud

:

0-20 mA nebo 4-20 mA impedance 250 Ohm.

23

Analogové výstupy * (ne pro Profibus)

Napětí a Proud

: :

0-5 Vdc nebo 1-5 Vdc > 2000 Ohm 0-20 mA nebo 4-20 mA Max.odpor obvodu 375 Ohm.

Digitální komunikace*

RS-232 nebo RS-485* Přenosové rychlosti 1200, 2400, 3600, 4800, 7200, 9600, 19k2, 38k4* (Nastaveno: RS-232, rychlost 9600) Profibus DP*

Výstraha

Zjistí-li samodiagnostický systém závadu, aktivuje se analogový výstražný režim. Výstup (TTL) kolektor, signál uzemněn, je-li aktivován. Max. 30 Vdc, 25 mA (ne pro Profibus). Nebo přes komunikační port, pokud se používá digitální komunikace.

Referenční 5 Vdc (ne pro Profibus)

Referenční napětí 5 Vdc odporového zatížení > 2000 Ohm

Požadavky na napájení

+15Vdc až +28Vdc (u ventilů NO a modelů MF51 použijte pouze 24Vdc) +24Vdc pouze pro všechny jednotky Profibus

Spotřeba proudu u průtokoměrů

Modely MF60S, MF61S, MF63S a MF64S +24 Vdc (± 10%) při 80 mA +15 Vdc (± 5%) při 90 mA Použitelné také pro systém Profibus

Spotřeba proudu u regulátorů průtoku

Modely MF50S, MF51S a MF53S +24 Vdc (± 10%) při 140 mA +15 Vdc (± 10%) při 185 mA Použitelné také u systému Profibus Poznámka: Celková spotřeba proudu při aktivované funkci **override ventilu: +15 Vdc při 285 mA nebo +24 Vdc při 370 mA Použitelné také u systému Profibus

Teplota

Procesní teplota plynu a okolní teplota: 0-70 °C.

**Leak integrity

**Outboard: 1x 10-9 mbar l/sek. Helium

Zabezpečení

Z důvodu ochrany před neoprávněnou změnou nastavení nebo změnou rozsahu či nuly jsou tyto funkce přístupné pouze přes Brooks Smart Control model 0160 nebo prostřednictvím Smart DDE model 0162.

Doba zahřátí

< 10 minut; 1% přesnost f.s. Výkon dle specifikací: 45 minut.

Tlumení (ne pro Profibus)

K dispozici je útlum výstupního signálu průtoku od 1 do 10 sekund (Nastaveno je 0,5 sek.).

Odezva (průtokoměry)

Standardní odezva výstupního signálu průtoku je 1 sekunda. Odezva lepší než 0,2 sekundy na přání.

Doba usazení (regulátory)

Standardní doba usazení je 1 sekunda. Usazovací čas lepší než 0,2 sekundy je možný (až do 2% konečné hodnoty) pro jakýkoliv příkazový krok (**Set point); ve skutečnosti bez mrtvého času, výchylek. Model MF53S 3 sekundy (1 sekunda na přání).

* Je třeba zadat při objednávání.

24

Tabulka 5-2: Tlakové specifikace Velikost Příruba 11/2“

2“

3“

4“

6“

8“

Použitelné typy těsnění

<šroubovaná> N/A

150#

Do šroubového vinutí

300# PN40

Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí

<šroubovaná>

150# 300# PN40 150# 300# 600# PN40 PN64 PN100 150# 300# 600# PN16 PN40 PN64 150# 300# 600# PN16 PN40 PN64 150# 300# PN10 PN16 PN25 PN64

Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Elastomerové Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Do šroubového vinutí Elastomerové Elastomerové Elastomerové Do šroubového vinutí

MAWP @ 20C [bar] MAWP @ 70C [bar] Kategorie H modulu P.E.D. 80 75 2 **Acc. Std flange **Acc. Std flange 2 ratings ratings 2 2 65 60 2 2 2 2 2 2 84 77 2 2 2 2 2 2 78 71 2 2 2 2 2 3 60 55 3 2 3 60 55 3 3 3 2 2 3 48 45 3

25

6. SEZNAM MODELŮ ŘADA BROOKS MF HMOTNOSTNÍ PRŮTOKOMĚRY / REGULÁTORY PRŮTOKU ZÁKLADNÍ Č. MODELU

POPIS

MF60S/AA

Hmotnostní průtokoměr; f.s. rozsahy průtoku: 0,003 - 0,008 ln/min.

MF60S/AC

Hmotnostní průtokoměr; f.s. rozsahy průtoku: 0,008 - 30 ln/min.

MF61S/AD

Hmotnostní průtokoměr; f.s. rozsahy průtoku: 20 - 100 ln/min.

MF63S/AE


MF63S/AF


MF63S/AG


MF63S/AH


MF63S/AJ


MF63S/AK


MF63S/AL


MF63S/AM


MF63S/AN


MF63S/A1


MF63S/A2


MF63S/A3


MF63S/A4


MF63S/A5


MF63S/A6


MF64S/AO

Hmotnostní průtokoměr; f.s. rozsahy průtoku: 18 - 80 m3n/h. (1,5”)

MF64S/AP

Hmotnostní průtokoměr; f.s. rozsahy průtoku: 60 - 140 m3n/h. (2”)

MF64S/AR


MF64S/AS


MF64S/AT

Hmotnostní průtokoměr; f.s. rozsahy průtoku: 540 - 1250 m3n/h. (6”) [2D]

MF64S/AU

Hmotnostní průtokoměr; f.s. rozsahy průtoku: 970 - 2160 m3n/h. (8”) [2D]

MF50S/AA

Hmotnostní regulátor průtoku; f.s. rozsahy průtoku: 0,003 - 0,008 ln/min.

MF50S/AC

Hmotnostní regulátor průtoku; f.s. rozsahy průtoku: 0,008 - 30 ln/min.

MF51S/AD

Hmotnostní regulátor průtoku; f.s. rozsahy průtoku: 20 - 100 ln/min.

MF53S/AE


MF53S/AF


MF53S/AG


MF53S/AH


MF53S/AJ


MF53S/AK


MF53S/AL


MF53S/AM


MF53S/AN


MF53S/A1


MF53S/A2


MF53S/A3


MF53S/A4


MF53S/A5


MF53S/A6


26

PŘÍPOJKY POTRUBÍ 1A

Bez adaptéru (9/16”-18” UNF)

(Pouze MF50/60/51/61/53/63)

1B

1/4“

tlakové potrubní připojení

(Pouze MF50/60/51/61)

1C

1/8“


(Pouze MF50/60/51/61)

1D

3/8“


(Pouze MF50/60/51/61)

1E

1/4“

VCR

(Pouze MF50/60/51/61)

1F

1/4“

VCO

(Pouze MF50/60/51/61)

1G

1/4“

NPT

(Pouze MF50/60/51/61)

1H

6mm


(Pouze MF50/60/51/61)

1J

10mm tlakové potrubní připojení

(Pouze MF50/60/51/61)

1K

1/4“

BSP (F)

(Pouze MF50/60/51/61)

1Y

1/2“

BSP (F)

(Pouze MF53/63)

1Z

1“

BSP (F)

(Pouze MF53/63)

2A

1 1/16“ 12SAE/MS

(Pouze MF53/63)

2B

1/2“


(Pouze MF50/60/51/61/53/63)

2C

3/4“


(Pouze MF53/63)

2D

1“


(Pouze MF53/63)

2E

1/2“

NPT(F)

(Pouze MF53/63)

2F

1“

NPT(F)

(Pouze MF53/63)

2G

1 /2“

NPT(F) (viz volba „B“)

(Pouze MF53/63/64)

2H

1/2“

VCO (max. 200 ln/min)

(Pouze MF50/60/51/61/53/63)

2J

3/4“

VCO

(Pouze MF53/63)

2K

1/2“

VCO (max. 200 ln/min)

(Pouze MF50/60/51/61/53/63)

2L

DIN DN15PN40

(Pouze MF53/63)

2M

DIN DN25PN40

(Pouze MF53/63)

1

2N

DIN DN40PN40 (viz volba „B“ u MF64)

(Pouze MF53/63/64)

2O

DIN DN50PN40 (viz volba „B“ u MF64)

(Pouze MF53/63/64)

2P

ANSI /2“

150 LBS

(Pouze MF53/63)

2R

ANSI /2“

300 LBS

(Pouze MF53/63)

2S

ANSI 1“

150 LBS

(Pouze MF53/63)

2T

ANSI 1“

300 LBS

(Pouze MF53/63)

2U

ANSI 1 /2“

150 LBS (viz volba „B“ u MF64)

(Pouze MF53/63/64)

2V

ANSI 11/2“

300 LBS

(Pouze MF53/63)

2W

ANSI 2“

150 LBS (viz volba „B“ u MF64)

(Pouze MF53/63/64)

2X

ANSI 2“

300 LBS

(Pouze MF53/63)

2Y

1“

VCO

(Pouze MF53/63)

2Z

3/4“

VCR

(Pouze MF53/63)

NPT (viz volba „B“)

1 1

1

3A

2“

3B

ANSI 3“

150 LBS

(Pouze MF64) (Pouze MF64)

3C

ANSI 3“

300 LBS

(Pouze MF64)

3D

ANSI 3“

600 LBS [2D]

(Pouze MF64)

3E

DIN DN80 - PN40 [2D]

(Pouze MF64)

3F

DIN DN80 - PN64 [2D]

(Pouze MF64)

3G

DIN DN80 - PN100 [2D]

(Pouze MF64)

4A

ANSI 4“ - 150 LBS

(Pouze MF64)

4B

ANSI 4“ - 300 LBS

(Pouze MF64)

4C

ANSI 4“ - 600 LBS [2D]

(Pouze MF64)

27

4D

DIN DN100 - PN16 [2D]

(Pouze MF64)

4E

DIN DN100 - PN40 [2D]

(Pouze MF64)

4F

DIN DN100 - PN64 [2D]

(Pouze MF64)

5A

6“ ANSI - 150 LBS [2D]

(Pouze MF64)

5B

6“ ANSI - 300 LBS [2D]

(Pouze MF64)

5C

6“ ANSI - 600 LBS [2D]

(Pouze MF64)

5D

DIN DN150 - PN16 [2D]

(Pouze MF64)

5E

DIN DN150 - PN40 [2D]

(Pouze MF64)

5F

DIN DN150 - PN64 [2D]

(Pouze MF64)

6A

ANSI 8“ - 150 LBS [2D]

(Pouze MF64)

6B

ANSI 8“ - 300 LBS [2D]

(Pouze MF64)

6C

DIN DN200 - PN10 [2D]

(Pouze MF64)

6D

DIN DN200 - PN16 [2D]

(Pouze MF64)

6E

DIN DN200 - PN25 [2D]

(Pouze MF64)

6F

DIN DN200 - PN64 [2D]

(Pouze MF64)

9Z

Vlastní specifikace

MATERIÁL TĚSNÍCÍCH KROUŽKŮ / SEDLA VENTILŮ A

Viton

B

Buna

(ne pro MF53)

C

PTFE/Kalrez

(Kalrez pro těsnící kroužek čidla a sedlo ventilu) [2D]

D

Kalrez

(ne pro MF53) [2D]

E

PTFE/EPDM

(EPDM pouze pro sedlo ventilu) [2D]

F

PTFE

[2D]

Z


TYP VENTILU 0

Pouze průtokoměr

(bez ventilu)

1

Normálně zavřený

(řady MF50/51)

2


(rozdíl tlaku > 2bar řada MF53)

3


(rozdíl tlaku > 2bar řada MF53)

4

Normálně otevřený

(pouze MF50)

9


ELEKTRICKÝ VSTUP / VÝSTUP VSTUP VÝSTUP A

0-5 Vdc

0-5 Vdc & 0-20 mA

(port RS 232, rychl. 9600)

B

4-20 mA

4-20 mA & 1-5 Vdc


C

0-20 mA

0-20 mA & 0-5 Vdc


D

1-5 Vdc

1-5 Vdc & 4-20 mA


E

Digit. komunikace

Digit. komunikace + 0 - 5 Vdc

F

Digit. komunikace

Digit. komunikace + 4 - 20 mA

G

Digit. komunikace

Digit. komunikace + 0 - 20 mA

H

Digit. komunikace

Digit. komunikace + 1 - 5 Vdc

I

Digit. komunikace

Pouze digitální komunikace

Z


KOMUNIKAČNÍ PORT / RYCHLOST PŘENOSU A0

Žádný (komunikace je možná přes RS-232 rychlostí modulace 9600)

B*

RS-232

C*

RS-485

28

D0

Profibus-DP (certifikováno PNO, 831-A023 a 541-C-068-AAG)

*1

38400 rychlost modulace

*2

19200

*3

9600

*4

7200

*5

4800

*6

3600

*7

2400

*8

1200

* obojí by mělo být specifikováno

ELEKTRICKÁ PROPOJENÍ K

Konektor PG11

L

1/2“ NPT Adaptér potrubí

Z


ROZŠÍŘENÍ A

Standardní odezva: < 1 sek. (MF50/51) < 3 sek. (MF53) [1]

B

Rychlá odezva (specifikujte hodnoty .... sek.) [1]

C

Lineární růst (specifikujte hodnoty .... %/sek.) [1]

D

Tlumení výstupu (specifikujte hodnoty .... sek.) [1]

ROZŠÍŘENÍ 0

Nekalibrováno (odečítá se)

1

Včetmě standardní kalibrace (viz volba C)

2

Paměť s několika kalibračními křivkami; přidejte ke kalibračnímu plynu

9


PŘÍVOD NAPÁJENÍ B

+ 24 Vdc = (Standardní volba)

Z


KLASIFIKACE ZÓNY POUŽITÍ 1

Bezpečný prostor

2

Certifikováno pro použití v zóně 2 [2D]

3

**UL listed (vstup NPT)

4

**Rozpoznán UL (vstup PG11) (pouze MF64)

5

Svařované čidlo, bez certifikace, (vstup NPT)

(pouze MF64) [2D]

6

Svařované čidlo, bez certifikace, (vstup PG11)

(pouze MF64) [2D]

9


(pouze MF64)

MF50S / A C 1 H C 1 B A 0 K C 1 B 2 =

TYPICKÉ ČÍSLO MODELU

Poznámky: 1.

ROZŠÍŘENÍ

Vyplňte prosím požadované specifikace u části rozšíření. Standardní čas odezvy výstupního signálu průtoku: model MF50/51 a MF 60/60, standardně 1 sek. nebo na přání lepší než 0,2 sek.; model MF53/ 63, standardně 3 sek. nebo na požádání lepší než 1 sek.; model MF64, 3 sek. Standardní doba usazení regulátorů: model MF50/51, standardně 1 sek. nebo na přání lepší než 0,2 sek.; model MF53, standardně 3 sek. nebo na přání lepší než 1 sek. (Do 2% plného rozsahu konečné hodnoty)

2. A) B) C) D)

VOLBY Pro plyny, které snadno zanáší a kontaminují MFC, musíte objednat jednotku laminárního proudění proti zanášení. DIN/ANSI (tlakové zatížení PN40/150 LBS) přírubový spoj pro 1,5“ a 2“ MF64S Lepší specifikace přesnosti: 0,5% míry průtoku plus 0,1% f.s. (rozsah průtoku 50 až 100 mln/min) Není pro modely s roznáním nebo **listed UL.

29

DODATEK A: PŘEVODNÍ TABULKY PLYNŮ POUŽÍVÁNÍ PŘEVODNÍCH TABULEK Pokud hmotnostní průtokoměr nebo regulátor pracuje s jiným plynem, než se kterým byl zkalibrován, nastane mezi výstupním signálem a skutečným hmotnostním průtokem posun. Příčinou je rozdíl mezi tepelnou kapacitou obou plynů. Posun může být přepočítán pomocí poměru molárního měrného tepla obou plynů nebo pomocí převodního součinitele čidla. Převodní tabulka plynů je k dispozici v dokumentu společnosti Brooks Instrument č.: J-836-D508.

Použití MFC/M pro jiný plyn, než pro který je kalibrován: Chcete-li použít jiný typ plynu, vynásobte výstupní hodnotu poměrem součinitele požadovaného plynu a součinitele kalibračního plynu. Skutečná míra průtoku plynu

Výstupní hodnota

=

x

Součinitel nového plynu ________________________ Součinitel kalibračního plynu

Příklad: Regulátor je kalibrován pro dusík: 1000 mln/min skutečný průtok. Požadovaný plyn je oxid uhličitý. Vynásobením výstupní hodnoty číslem 0,740 vypočítáte míru průtoku oxidu uhličitého. Je-li výstupní hodnota 750 mln/min, míra průtoku oxidu uhličitého bude 750 x 0,740 = 555 mln/min.

Výpočet součinitele plynu pro směsi plynů: Potřebujete-li vypočítat převodní součinitel pro směs plynů, použijte následující vzorec: Převodní součinitel čidla pro danou směs Kde

P1 P2 P3

= = =

=

100 _________________________________________ P1 P2 Pn _____ _____ _____ + + Převodní Převodní Převodní součinitel součinitel součinitel čidla 1 čidla 2 čidla 3

(

) (

podíl plynu 1 v procentech podíl plynu 2 v procentech podíl plynu 3 v procentech

) (

)

(objemu) (objemu) (objemu)

Příklad: Požadovaný plyn je 20% hélia (He) a 80% Chlóru (Cl2) objemu. Naměřená míra průtoku požadované směsi je 20 ln/min. Převodní součinitel čidla pro danou směs je: 100 ___________________________ = Součinitel směsi 20 80 _____ _____ + 0,876 1,386

( ) ( )

Průtok odpovídající N2 = 20/0,946 = 21,14 ln/min.

Poznámka: Je všeobecně přijato, že přesnost hmotnostní míry průtoku odvozené z této rovnice je ± 5%. Tabulka dále obsahuje seznam převodních koeficientů různých plynů vztažených k dusíku. Převodní tabulka slouží k určení míry průtoku plynů jiných, než které byly zvoleny při nákupu přístroje. Průtokoměr je z továrny přednastaven na vybraný plyn, tlak a rozsah průtoku.

30

Tabulka: Seznam plynů s převodními koeficienty Zdroj: J-836-D-508 Rev. 14 Název plynu

Vzorec

Součinitel plynu

Součinitel **clony

**Hustota (kg/m3)

Acetylén (**Ethyne)

C2H2

0,615

0,970

1,173

Vzduch

Mixture

0,998

1,018

1,293

Allen

C3H4

0,478

1,199

1,787

Amoniak

NH3

0,786

0,781

0,771

Argon

Ar

1,395

1,195

1,784

Arsin

AsH3

0,754

1,661

3,478

Chlorid boritý

BCL3

0,443

2,044

5,227

**Boron Trifluoride

BF3

0,579

1,569

3,025

**Bromine Pentafluoride

BrF5

0,287

2,502

7,806

**Bromine Trifluoride

BrF3

0,439

2,214

6,108

**Bromotrifluoroethylene

C2BrF3

0,326

2,397

7,165

**Bromotrifluoromethane (f-13B1)

CBrF3

0,412

2,303

6,615

1,3-Butadien

C4H6

0,354

1,413

2,491

Butan

C4H10

0,257

1,467

2,593

**1-Buten/butylen

C4H8

0,294

1,435

2,503

**CIS-2-Buten/butylen

C4H8

0,320

1,435

2,503

**Trans-2-Buten/butylen

C4H8

0,291

1,435

2,503

Oxid uhličitý

CO2

0,740

1,255

1,977

**Carbon Disulfide

CS2

0,638

1,650

3,393

Oxid uhelnatý

CO

0,995

1,000

1,250

**Carbon Tetrachloride

CCL4

0,344

2,345

6,860

**Carbon Tetrafluoride (f-14)

CF4

0,440

1,770

3,926

**Carbonyl Fluoride

COF2

0,567

1,555

2,045

**Carbonyl Sulfide

COS

0,680

1,463

2,680

Chlór

CL2

0,876

1,598

3,214

Oxid chloričitý

CLO2

0,693

1,554

3,011

**Chlorine Trifluoride

CLF3

0,433

1,812

4,125

**Chlorodifluoromethane (f-22)

CHCLF2

0,505

1,770

3,906

Chloroform (**Trichloromethane)

CHCL3

0,442

2,066

5,340

**Chloropentafluoroethane (f-115)

C2CLF5

0,243

2,397

7,165

**Chlorotrifluoroethylene

C2CLF3

0,337

2,044

5,208

**Chlorotrifluoromethane (f-13)

CCLF3

0,430

1,985

4,912

**2-Chlorobutane

C4H9CL

0,234

1,818

4,134

Kyan

(CN)2

0,498

1,366

2,322

**Cyanogen Chloride

CLCN

0,618

1,480

2,730

**Cyclobutane

C4H8

0,387

1,413

2,491

**Cyclopropane

C3H6

0,505

1,224

1,877

Deuterium

D2

0,995

0,379

0,177

**Diborane

B2H6

0,448

1,000

1,235

**Diboromodifluoromethane (f-12B2)

CBr2F2

0,363

2,652

8,768

**1,2-Dibromotetrafluoroethane (f-114B2)

C2Br2F4

0,215

2,905

10,530

**Dichlorodifluoromethane (f-12)

CCL2F2

0,390

2,099

5,492

**Dichlorofluoromethane (f-21)

CHCL2F

0,456

1,985

4,912

**Dichlorosilane

SiH2CL2

0,442

1,897

4,506

**Diedthylsilane

C4H12Si

0,183

1,775

3,940

**2,2 Dichloro- 1,1,1- Trifloroethane

C2HCL2F3

0,259

2,336

6,829

**1,2-Dichloroethane (Ethylene dichloride)

C2H4CL2

0,382

1,879

4,419

31

**1,2-Dichlorotetrafluoroethane (f-114)

C2CL2F4

0,231

2,449

**1,1-Difluoro-1-Chloroethane

C2H3CLF2

**1,1-Difluoroethane

CH3CHF2

0,415

1,536

2,940

**1,1-Difluoroethylene

CH2:CF2

0,458

1,512

2,860

**Difluoromethane (f-32)

CF2H2

0,627

1,360

2,411

**Dimethylamine

(CH3)2NH

0,370

1,269

2,013

**Dimethylether

(CH3)2O

0,392

1,281

2,055

**2,2-Dimethylpropane

C(CH3)4

0,247

1,613

3,244

Disilan

Si2H6

0,332

1,493

2,779

Etan

C2H6

0,490

1,038

1,357

Etanol

C2H6O

0,394

1,282

2,057

**Ethylacetylene

C4H6

0,365

1,384

2,388

**Ethyl Chloride

C2H5CL

0,408

1,516

2,879

Etylen

C2H4

0,619

1,000

1,261

**Ethylene Oxide

C2H4O

0,589

1,254

1,965

Fluor

F2

0,924

1,163

1,695

**Fluoroform (f-23)

CHF3

0,529

1,584

3,127

German

GeH4

0,649

1,653

3,418

**Germanium Tetrachloride

GeCL4

0,268

2,766

9,574

**Halothane

C2HBrCLF3

0,257

2,654

8,814

Hélium

He

1,386

0,378

0,178

**Hexafluoroacetone

C3F6O

0,219

2,434

7,414

**Hexafluorobenzine

C6F6

0,632

2,577

8,309

**Hexafluoroethane (f-116)

C2F6

0,255

2,219

6,139

**Hexafluoropropylene (HFP)

C3F6

0,249

2,312

6,663

**Hexamethyldisilane (HMDS)

(CH2)6Si2

0,139

2,404

7,208

Hexan

C6H14

0,204

1,757

3,847

Hydrogen

H2

1,008

0,269

0,090

Hydrogen Bromide

HBr

0,987

1,695

3,645

Hydrogen Chloride

HCL

0,983

1,141

1,639

Hydrogen Cyanide

HCN

0,744

0,973

1,179

Hydrogen Fluoride

HF

0,998

0,845

0,893

Hydrogen Iodide

HI

0,953

2,144

5,789

Hydrogen Selenide

H2Se

0,837

1,695

3,613

Hydrogen Sulfide

H2S

0,850

1,108

1,539

Iodine Pentafluoride

IF5

0,283

2,819

9,907

Isobutane

C4H10

0,260

1,440

2,596

Isobutene

C4H8

0,289

1,435

2,503

Isopentane

C5H12

0,211

1,605

3,222

Krypton

Kr

1,382

1,729

3,708

Methane

CH4

0,763

0,763

0,717

Methylacetylene

C3H4

0,473

1,196

1,782

Methyl Bromide

CH3Br

0,646

1,834

4,236

3-Methyl-1-butene

C5H10

0,252

1,584

3,127

Methyl Chloride

CH3CL

0,687

1,347

2,308

Methyl Fluoride

CH3F

0,761

1,102

1,518

Methyl Mercaptan

CH4S

0,588

1,313

2,146

Methyl Silane

CH6Si

0,393

1,283

2,061

Methyl Trichlorosilane

CH3CL3Si

0,267

2,310

6,675

Methyl Vinyl Ether

C3H6O

0,377

1,435

2,567

Monoethyanolamine

C2H7NO

0,305

1,477

2,728

0,341

32

7,479

1,957

4,776

Monoethylamine (CH3CH2NH2)

C2H7

0,359

1,269

2,013

Monomethylamine

CH3NH2

0,565

1,067

1,420

Neon

Ne

1,398

0,847

0,902

Nickel Carbonyl

Ni(CO)4

0,212

2,371

7,008

Nitric Oxide

NO

0,995

1,030

1,339

Nitrogen

N2

1,000

1,000

1,251

Nitrogen Dioxide

NO2

0,758

1,713

2,052

Nitrogen Trifluoride

NF3

0,501

1,598

3,168

Nitrogen Trioxide

N2O3

0,443

1,649

3,389

Nitrosyl Chloride

NOCL

0,644

1,529

2,913

Nitrous Oxide

N2O

0,752

1,259

1,964

Octofluorocyclobutane

C4F8

0,169

2,672

8,933

Oxygen

O2

0,988

1,067

1,429

Oxygen Difluoride

OF2

0,672

1,388

2,402

Ozone

O3

0,738

1,310

2,138

Perchloryl Fluoride

CLO3F

0,448

1,905

4,571

Perfluorobutane

C4F10

0,738

2,918

10,610

Perfluoro-2-Butene

C4F8

0,268

2,672

8,933

Perfluoromethyl-vinylether (PMVE)

PMVE

0,296

2,029

5,131

Perfluoropropane

C3F8

0,179

2,591

8,396

Pentane (n-Pentane)

C5H12

0,212

1,605

3,222

Pentafluoroethane

C2HF5

0,287

2,070

5,360

Phosgene

COCL2

0,504

1,881

4,418

Phosphine

PH3

0,783

1,100

1,517

Phosphorous Pentafluoride

PF5

0,346

2,109

5,620

Phosphorous Trifluoridide

PF3

0,495

1,770

3,906

Propane (same as CH3CH2CH3)

C3H8

0,343

1,274

2,008

Propylene (Propene)*

C3H6

0,401

1,234

1,875

Rhenium Hexafluoride

ReF6

0,230

3,279

13,410

Silane

SiH4

0,625

1,070

1,440

Silicon Tetrachloride

SiCL4

0,310

2,462

7,579

Silicon Tetrafluoride

SiF4

0,395

1,931

4,648

Sulfur Dioxide

SO2

0,728

1,529

2,858

Sulfur Hexafluoride

SF6

0,270

2,348

6,516

Sulfur Tetrafluoride

SF4

0,353

1,957

4,776

Sulfur Trioxide

SO3

0,535

1,691

3,575

Sulfuryl Fluoride

SO2F2

0,423

1,931

4,648

Tetrachloromethane

CCL4

0,344

2,345

6,858

Tetrafluoroethylene (TFE)

C2F4

0,361

1,905

4,526

Tetrafluorohydrazine

N2F4

0,367

1,926

4,624

Trichlorofluoromethane (f-11)

CCL3F

0,374

2,244

6,281

Trichlorosilane

SiHCL3

0,329

2,201

6,038

Trimethyloxyborane (TMB)

B(OCH3)3

0,300

1,929

4,638

1,1,2-Trichloro-1,1,2-Triflouroet (f-113)

C2CL3F3

0,231

2,520

7,920

Trimethylamine

(CH3)3N

0,316

1,467

2,639

Tungsten Hexafluoride

WF6

0,227

3,264

13,280

Uranium Hexafluoride

UF6

0,220

3,548

15,700

Vinyl Bromide

C2H3Br

0,524

1,985

4,772

Vinyl Chloride

C2H3CL

0,542

1,492

2,788

Vinyl Fluoride

C2H3F

0,576

1,281

2,046

Water Vapor

H2O

0,861

0,802

0,804

Xenon

Xe

1,383

2,180

5,851

33

DODATEK B: ROZMĚROVÉ VÝKRESY

PŘIPOJENÍ

Rozměr „A“ v palcích mm

PŘIPOJENÍ

Upevňovací otvory M 6x6 (2x)



REGULÁTOR MF50

PRŮTOKOMĚR MF60

PŘIPOJENÍ

Bez filtru Rozměr „A“ v palcích mm

S filtrem Rozměr „A“ v palcích mm

PŘIPOJENÍ

Bez filtru Rozměr „A“ v palcích mm

S filtrem Rozměr „A“ v palcích mm



REGULÁTOR MF51

PRŮTOKOMĚR MF61

PŘIPOJENÍ


REGULÁTOR MF53

PŘIPOJENÍ

PRŮTOKOMĚR MF63

34


TYP PŘÍRUBY

TYP PŘÍRUBY

REGULÁTOR MF53

PRŮTOKOMĚR MF63

ROZMĚR PŘIPOJENÍ


STANDARDNÍ PROVEDENÍ

Rozměr „B“ v palcích mm

Rozměr „B“ v palcích mm

KONEKTOR PRO PROFIBUS (DOPORUČENÝ) T-konektor Profibus č. součásti: RKSWS4,5[5]-2RSSWS

Připojení elektriky konektorem PG11 nebo 1/2“NPT-F


Připojení elektriky konektorem PG11 nebo 1/2“NPT-F

35

DODATEK C: POKYNY K ELEKTRICKÝM INSTALACÍM A OZNAČENÍ CE Všechna (elektrická/elektronická) zařízení Brooks, která jsou označena známkou CE, byla úspěšně testována v souladu s předpisy pro elektromagnetickou kompatibilitu (směrnice EMC 89/336/EEC). Nicméně je třeba věnovat zvláštní pozornost výběru kabelů pro vedení signálu, které budou použity se zařízením označeným značkou CE. Kvalita kabelů pro vedení signálu, **cable glands a konektorů: Společnost Brooks dodává kabely vysoké kvality, které splňují specifikace certifikace CE. Nicméně, pokud chcete použít vaši vlastní kabeláž, měli byste zvolit takovou, která je plně chráněna s minimálně 80% stíněním. Jakékoliv použité “D” nebo “kruhové” konektory by měli být stíněny kovovou ochranou. Je-li to možné, musí být ke **tlumení stínění kabelu použity kovové **gland kabelu. Stínění kabelu by mělo být připojeno ke kovovou kostru nebo **gland a měla by chránit na obou koncích 360°. Stínění by mělo být připojeno k zemnící svorce. **Card edge konektory jsou standardně nekovové. Aby vyhovovaly certifikaci CE, musí být použity kabely chráněné 80% stíněním. Stínění by mělo být připojeno k zemnící svorce.

36

DODATEK D: DŮLEŽITÉ BEZPEČNOSTNÍ POKYNY Tento dodatek obsahuje důležité pokyny týkající se bezpečnosti a pokyny k provozu tepelněhmotnostních průtokoměrů / regulátorů průtoku. Přístroj je v souladu s (PED) PRESSURE EQUIPMENT CE DIRECTIVE 97/23/EC (Předpis pro tlaková zařízení). Zkonzultujte s příslušnými úřady bezpečnostními předpisy a jakékoliv další požadavky na instalaci.

BEZPEČNOSTNÍ POKYNY 1. Přečtěte si prosím všechny pokyny a varovná značení na (1) průtokoměru a (2) ve všech příslušných částech návodu k použití předtím, než tento výrobek začnete používat. 2. VAROVÁNÍ: Nepoužívejte tento přístroj mimo specifikace udané v návodu k použití. Nerespektování tohoto varování může mít za následek vážná zranění osob a/nebo poškození zařízení. 3. Přesvědčte se prosím, že je přístroj správným způsobem připojen k elektrickým a tlakovým zdrojům. 4. PROVOZ: (a) Průtok systémem spouštějte pomalu. Procesní ventily otevírejte pomalu, aby nedošlo k prudkým změnám proudění. (b) Zkontrolujte, zda nejsou v okolí přívodního a vývodního připojení průtokoměru nějaké netěsnosti. Pokud nejsou žádné netěsnosti, můžete systém zatížit provozním tlakem. 5. VAROVÁNÍ: Nebude-li toto zařízení správným způsobem obsluhováno nebo opravováno, hrozí vážná zranění osob a/nebo poškození zařízení potenciálně vysokým provozním tlakem. Před začátkem opravy se prosím ujistěte, že v potrubí není provozní tlak. 6. Vyžaduje-li zařízení opravu, ubezpečte se, že budou použity originální díly od společnosti Brooks. I velmi podobné součásti a postupy mohou ovlivnit výkon přístroje a ohrozit jinak bezpečné provozní operace. Kromě toho mohou způsobit požár, úraz elektrickým proudem nebo nesprávnou funkci přístroje.

37

38

NÁVOD K POUŽITÍ ŘADA PŘÍSTROJŮ BROOKS MF:

Recommend Documents