Letní škola vakuové techniky 2005

ZPRAVODAJ ČVS 2005/1

2

Letní škola vakuové techniky 2005 Česká Vakuová Společnost Vás srdečně zve na LETNÍ ŠKOLU VAKUOVÉ TECHNIKY 2005, 30. května- 2. června 2005, Horský hotel Neptun, Malá Morávka, Jeseníky. Tématem letošní školy jsou „Plazmatické procesy ve vakuu“. Toto téma je do programu LŠVT zařazeno poprvé a jeho návrh se setkal s příznivým ohlasem účastníků minulých letních škol. LŠVT 05 je koncipována tak, aby podala ucelenou informaci i těm pracovníkům, kteří v oboru začínají. Ubytování a stravování účastníků je zajištěno od večeře 30.5. do oběda 2.6. Registrační poplatek zahrnuje vložné, stravné a ubytování. Vložné LŠ činí 550 Kč pro individuální členy ČVS či SVS a pro zaměstnance kolektivních členů ČVS či SVS, 650 Kč pro ostatní účastníky. Vložné zahrnuje i poplatek za sborník. Pro každého účastníka bude zajištěno stravování (snídaně 50 Kč, oběd 50 Kč, večeře 50 Kč) a ubytování (350 Kč/noc) v rozsahu dle vyplněné přihlášky. Přihlásit se můžete rovněž na webové stránce ČVS – www.vakspol.cz . Potvrzení o zaplacení je však nutno zaslat poštou, faxem nebo e-mailem. Vaše případné dotazy zodpovíme na: tel.: 22191 2565 (J. Hankeová), 22191 2753 (K. Mašek) fax: 22191 2567, E-mail: [email protected]

Uzávěrka přihlášek je 11. 5. 2005 Organizační výbor: Jaroslav Pavlík, Tomáš Šikola, Jitka Hankeová, Karel Mašek, Pavel Hedbávný, Hynek Biederman Firmy, které přislíbily podpořit LŠ svou účastí: ChromSpec Labimex Labtech Pfeiffer Vacuum Austria GmbH Tescan Tevak Vakuum Praha


3

Příspěvky vystavovatelů Pragovac 2004 ILMVAC – Precisely the vacuum you need The name ILMVAC stands for more than 55 years of development and production of vacuum technology for R&D laboratories and industry. ILMVAC GmbH is situated in the technology region in the town of Ilmenau. Ilmenau is in Thuringia, the “Green Heart” of Germany which has a long history in scientific research and apparatus manufacture. ILMVAC is a well-known manufacturer of high quality vacuum pumps and vacuum systems. We also manufacture vacuum measuring equipment as well as accessories and components to meet all of your vacuum requirements. Precisely the vacuum you need – this is the basic premise of our company. ILMVAC’s success is defined by the quality and reliability of its products and the simplicity of the vacuum solution for your application. We measure this by customer satisfaction and our stringent quality certifications from international independent certifying organizations. We are proud to be recognized as an ISO 9001 (2000 version) certified company. ILMVAC develops and manufactures vacuum pumps, systems and accessories for applications throughout the full vacuum spectrum. Our vacuum products span a wide range of uses • • • • • • • •

Rotary Evaporation Molecular Distillation Freeze Drying Vacuum Concentration Vacuum Drying Ovens Vacuum Filtration Gel Drying Extraction and Aspiration

Our product range continues to broaden with the introduction of new technologies for the production and application of vacuum. How many ways are there to produce a vacuum? You can see from our extensive range: •

Rotary Vane Pumps


• • • • • • • • • • •

4

Diaphragm Pumps including chemically resistant models Laboratory Vacuum Systems with control modes Standard, Economic and Ecoflex Roots Pumps and Systems Turbomoleculare Pumps and Systems Oil Diffusion Pumps and Systems Combination Pump Systems Quality Control leak detection systems Measuring Instruments KF, ISO and CF-Flanged Components Valves Accessories

Innovations and continuous development guarantee constant improvement of these product lines. However, we would particularly like to draw your attention to our new products: • •

Scroll pump Dry Run I & II ILMDEST+ Vacuum Distillation System

The range of service maintenance and training provided by ILMVAC is extensive and, with subsidiary companies in UK and US, agents and service partners in more than 40 countries, our reach is worldwide. ILMVAC UK was established as our first subsidiary in 1999. Today ILMVAC UK is a major force in the supply of vacuum equipment. In 2004, ILMVAC Management, Inc. was established as the second subsidiary to provide a dedicated organization to support the Sales and Service of ILMVAC’s products in the world’s single largest laboratory marketplace. With Sales offices in the Middle Atlantic Virginia area and centralized Repair Facility in Saint Louis, MO, ILMVAC Management, Inc. offers ILMVAC’s innovative, high quality vacuum equipment through National Laboratory Supply Dealers and a dedicated Independent Manufacturer’s Representative network. You can view all our products and services on our home page www.ilmvac.com.


5

Nové řešení osvědčeného šroubového principu z dílny BOC Edwards: vývěvy IDX1000 a CDX1000 Iva Jungwirthová, CHROMSPEC s.r.o. BOC Edwards představil v letošním roce další suchou vývěvu pro průmyslové aplikace. Jedná se o vývěvy řady IDX/CDX, které využívají šroubového principu. Řešení zvolené BOC Edwards úspěšně překonává některá omezení, vyplývající z tradičního uspořádaní těchto vývěv.

Obrázek 1 – Princip čerpání šroubovou vývěvou se stejnoměrným stoupáním závitu Standardní šroubové vývěvy využívají k přenosu a následné kompresi čerpaných plynů šrouby s rovnoměrným stoupáním závitu (viz obr. 1). Čerpaný plyn je zachycen mezi šrouby a transportován směrem k výstupu. Komprese plynů probíhá až v posledním závitu. Toto uspořádání je poměrně často používáno, ale má několik principielních omezení: •

Komprese plynů má za následek zvýšení teploty. V posledním závitu vývěvy může teplota vzrůst až na >300°C. Z toho plyne nebezpečí zadření nebo tepelně indukované depozice (např. nauhličování, polymerizace). Dále se při zvýšené teplotě rychleji opotřebovávají ložiska a těsnění ložisek. Pro použití v chemickém a farmaceutickém průmyslu se může teplota zvýšit nad mez samozápalu některých substancí, což opět omezuje použití vývěv.

•

Několik prvních závitů vývěvy se používá k minimalizaci zpětného proudu plynů. Tyto vnitřní části vývěvy zůstávají při čerpání chladnější (nedochází zde ke kompresi). V případě čerpání agresivních substancí může u vstupu do vývěvy docházet ke kondenzaci a tím k nežádoucí korozi.


6

•

K dosažení mezního tlaku pod 0,1 mbar je nutné vývěvy provozovat při vysokých otáčkách (běžně 8000 ot/min), což jednak vyžaduje použití specielních motorů, jednak zkracuje životnost ložisek a ložiskových těsnění.

•

Plyn přenášený vývěvou axiálně jedním směrem a komprese plynů proti koncové desce způsobují jednostranné namáhání ložisek. To je dalším faktorem, který zkracuje životnost ložisek a tudíž i servisní intervaly vývěv.

BOC Edwards představil v letošním roce novou generaci šroubových vývěv. Jedná se o vývěvu IDX1000 pro obecné průmyslové použití a CDX1000 pro chemický a farmaceutický průmysl s certifikací podle evropské direktivy ATEX pro zónu 0, kategorie zařízení 1. Šroubový mechanismus vývěv IDX a CDX má dvě zásadní vylepšení: •

šrouby mají proměnné stoupáním závitu („variable pitch“)

•

vývěva má dvojí výstup („double ended“), čerpaný plyn ze středu vývěvy odváděn axiálně do dvou protilehlých konců.

Obrázek 2 – Řez vývěvou CDX/IDX Tyto změny v designu vývěv přinášejí řadu výhod. Především zmenšující se stoupání závitů (ve směru čerpání) zaručuje postupnou kompresi podél celé délky šroubů. Postupná komprese umožňuje snáze ovládat rovnoměrné rozložení teploty v celém objemu vývěvy v požadovaném teplotním intervalu (viz obr. 3). Tento aspekt je důležitý při čerpání látek, které mohou při příliš nízké teplotě uvnitř vývěvy kondenzovat a způsobit tím korozi nebo naopak mohou být vlivem příliš vysoké teploty deponovány na vnitřní stěny vývěvy.


7

Obrázek 3 – Nastavení teplotního intervalu Další výhodou proměnného stoupání závitu je možnost vývěv čerpat i kapaliny. Komprese probíhající proti koncové desce u standardního uspořádání šroubových vývěv může mít při vniknutí kapaliny do vývěvy zhoubné důsledeky. Vývěvy CDX1000 nemají plochou koncovou desku, a proto zvládají odčerpat nárazové zaplavení 5 litry kapaliny, kanálek u výstupu tuto kapalinu odvádí. Tuto schopnost vývěvy lze na jedné straně chápat jako bezpečnostní pojistku proti procesním chybám. Na druhé straně lze z vývěvy odstraňovat případné usazenity proplachováním ředidly (a to i bez nutnosti odstávky procesu čerpání). Díky patentovanému designu statoru nepotřebují vývěvy IDX a CDX běžet při vysokých otáčkách. Rychlost rotace je 4000 ot./min. Při konstrukci se používají standardní motory, životnost ložisek a ložiskových těsnění se tím výrazně prodlužuje. Dalším faktorem, který příznivě ovlivňuje životnost ložisek, je odstranění jednostranné zátěže, kterou u standardních šroubových vývěv způsobuje přenos plynů pouze jedním směrem. U vývěv IDX a CDX je plyn ze středu odváděn do dvou protilehlých výstupů, čímž se axiální namáhání ložisek vzájemně vyruší. Vzhledem k výše popsaným výhodám jsou vývěvy IDX a CDX ideální pro nasazení v náročných průmyslových podmínkách, včetně jejich využití v chemickém průmyslu. Jsou navrženy tak, aby bez problémů odolávaly procesním chybám a jiným nepříznivým vlivům (výpadky chladicí vody, průplachového plynu…). V neposlední řadě byl při jejich vývoji brán zřetel na spolehlivost a snadnou údržbu. Šroubové vývěvy IDX a CDX doplňují již značně širokou nabídku vakuových technologií, ať už olejových nebo suchých, firmy BOC Edwards. V oblasti suchého čerpání se jedná zejména o využití šnekového (viz Zpravodaj ČVS 3-4/2003), Rootsova a patentované třístupňového reverzního „claw“ principu (viz Zpravodaj ČVS 1/2003). Přidáním šroubových vývěv do svého portfolia potvrdil BOC Edwards své přední postavení v množství nabízených technologií. To nám umožňuje vybrat a nabídnout optimální řešení pro nejširší spektrum aplikací.


8

Ultravakuum, extrémně vysoké vakuum a VAKUUM PRAHA Pavel Hedbávný V Holešovičkách 2, 180 00 Praha 8 VAKUUM PRAHA od svého vzniku v roce 1993 se zabývá návrhy, konstrukcí a výrobou vakuových systémů a jejich komponent ve velmi širokém oboru tlaků. V tomto příspěvku se zaměříme na oblast nejnižších tlaků. O oboru tlaků 10-5 až 10-8 Pa hovoříme jako o ultravakuu (UHV). Tlaky pod dolní hranicí UHV (menší než 10-8 Pa) označujeme jako extrémně vysoké vakuum (XHV). Všimněme si několika veličin charakterizujících stav zředěného plynu a zamysleme se nad velikostí jejich hodnot při výše zmíněných tlacích 10-5 a 10-8 Pa. Základní charakteristickou veličinou vakuového systému je tlak p, pro jehož závislost na koncentraci částic n v systému platí v aproximaci pro ideální plyn jednoduchý vztah p = nkT, kde k je Boltzmannova konstanta a T absolutní teplota. Pro popis situace ve vakuovém systému použijme mimo tlaku p [Pa] a koncentrace částic n ještě tyto známé veličiny: -

střední volná dráha molekuly  (průměrná délka trajektorie, kterou uletí molekula ve vakuovém systému mezi dvěma srážkami s jinými molekulami plynu),

-

počet mezimolekulárních srážek z za 1 sekundu vybrané molekuly ve vakuovém systému,

-

počet srážek molekul plynu u s plochou 1 cm2 za 1 s.

n [cm-3] λ [m] z [s-1] u [cm-2 s -1]

p = 10-5 Pa 2,5 x 109 7 x 102 7 x 10-1 3 x 1013

p = 10-8 Pa 2,5 x 106 7 x 105 7 x 10-4 3 x 1010

Tabulka 1 ukazuje závislost těchto veličin na tlaku při pokojové teplotě a pro vzduch (M = 29).


9

Obr. 1 Linka pro chemické čištění

Obr. 2 Sváření metodou TIG

Obr.3. Elektronová svářečka

Obr. 4 Balotinovací zařízení za mokra


10

Tabulka 1 názorně demonstruje známý fakt, že v ultravakuových systémech hrají objemové procesy ve srovnání s povrchovými procesy zanedbatelnou roli. Vezměme v úvahu standardní ultravakuový systém s tlakem 10-6 Pa. Střední volná dráha při tlaku 10-6 Pa je 7000 m, přičemž zvolená molekula se srazí s jinou molekulou plynu přibližně jedenkrát za 15 s, samozřejmě pokud vnitřní rozměry vakuového systému to dovolí (v tomto případě by musel být umožněn volný průlet molekuly na dráze 7 km). Z tohoto příkladu je vidět, že většina molekul dopadne na vnitřní stěnu systému, aniž by se srazila s jinou molekulou v objemu. Na 1 cm2 vnitřního povrchu vakuového systému dopadne při výše uvedeném tlaku 10-6 Pa za uvažovaných 15 sekund zhruba 5 x 1013 molekul. Proto v každém konkrétním UHV/XHV systému po jeho montáži a odstranění možných netěsností je nutné věnovat veškerou pozornost procesům na jeho vnitřním povrchu. Pro minimalizaci proudu plynu uvolňovaného ze stěn, resp. procházejícího stěnou, je nutné: 1.

zvolit vhodný materiál pro konstrukci UHV/XHV systému,

2.

odpovídajícím způsobem materiál zpracovat a vnitřní povrchy očistit.

Obecně platí že materiál vhodný pro stavbu UHV/XHV systému musí mít minimální možnost pronikání (permeace) plynů, velmi nízkou tenzi par (tlak nasycených par) a malou desorpční rychlost částic adsorbovaných na povrchu. Dále by materiál měl být dobře obrobitelný a v některých případech i dobře svařitelný a také by měl mít dostatečnou chemickou a tepelnou odolnost. V neposlední řadě musí jít o materiály cenově přístupné. Mezi materiály, které těmto podmínkám pro stavbu ultravakuových systémů vyhovují, patří především nerezové oceli a některé slitiny hliníku. Naprostá většina ultravakuových systémů je dnes vyráběna z nerezové oceli, především z důvodu podstatně lepší svařitelnosti. Z tohoto důvodu je též ve VAKUU PRAHA pro výrobu UHV/XHV systémů používána nerezová ocel. Výběr vhodného typu nerezové oceli odpovídající konkrétním požadavkům uživatele je dán celou řadou kriterií a tato problematika by si zasloužila samostatný článek. Pro konstrukci vnitřních systémů a v některých speciálních případech i pro konstrukci vnějších systémů nebo jejich částí se používá celá řada dalších UHV/XHV kompatibilních materiálů jako titan, tantal, OFHC měď, molybden a některé druhy keramiky a skla. Potom, co jsme zvolili vhodný materiál, je třeba provést celou řadu technologických kroků vedoucích k dalšímu snižování množství plynu uvnitř materiálu a nečistot na povrchu. Při vlastní výrobě vakuového systému (obrábění, svařování aj.) jakož i při skladování a transportu je též nutné minimalizovat znečištění materiálu. Po mechanickém obrobení díly chemicky očistíme (obr. 1), a pokud mají být svařovány, provedeme sváry pod ochrannou atmosférou (obr. 2) anebo v některých speciálních případech elektronovým svazkem (obr. 3). Po svaření polotovary a nakonec celé komory nebo jejich součásti mechanicky očistíme balotinováním za mokra (obr. 4). Po závěrečném chemickém čištění a řádném opláchnutí demineralizovanou vodou, kterou pro tento účel vyrábíme na principu reverzní osmózy, výrobky vysušíme v sušičce při 120oC a zavaříme do fólie, abychom po dobu skladování a transportu zabránili přístupu vlhkosti. Následuje vakuově tepelné zpracování (odplyňování), které obvykle probíhá v několika krocích. První zpracování může


11

nastat již u samotného materiálu – vacuum firing. Vakuově tepelné zpracování můžeme pak provést u jednotlivých dílů a na závěr u celých vakuových komor. Ve VAKUU PRAHA slouží k tomuto účelu několik vakuových pecí s možností ohřevu až do 1000oC. Pokud se celá komora do vakuové pece nevejde, provedeme ohřev ve vnější peci nebo pomocí topných pásů při současném čerpání vnitřního objemu komory. V některých případech je odplyňovací systém součástí námi konstruované aparatury jako v případě experimentálního systému SSE (Solid State Electrotransport System) s integrovanou vakuovou pecí a chladicím systémem (obr. 5). V tomto XHV zařízení se čtyřstupňovým bezolejovým čerpacím systémem bylo dosaženo tlaku v řádu 10-10 Pa.

Obr. 5 Systém SSE

Výroba vakuových systémů, a zvláště pak výroba UHV/XHV systémů vyžaduje důslednou kontrolu vakuové těsnosti, kterou je třeba opakovaně provádět u svařených subsystémů, dokončených systémů a následně pak u systémů po jejich tepelném zpracování. V této oblasti tlaků se zkoušení těsnosti provádí výhradně héliovými hledači netěsností.


12

Obr. 7 Část výstupního kanálu pro Cyklotronové centrum SR

Obr. 6 Experimentální systém pro studium interakce iontů (generovaných ECR zdrojem) s pevnou látkou

Obr. 8 Dynamická expanze pro vakuovou metrologii ČR Obr. 9 Analytická komora pro studium povrchů pevných látek pomocí záření metodou XPS na urychlovači v Terstu


13

Využití UHV/XHV systémů VAKUUM PRAHA Vakuové systémy vyráběné ve VAKUU PRAHA na základě výše uvedených postupů jsou využívány především v těchto oblastech: -

urychlovače a jejich součásti

-

ultravakuové analyzátory materiálů a jejich povrchů

-

experimentální systémy pro fyzikální výzkum v oboru nejnižších tlaků

-

ultravakuové systémy pro metrologii

-

výrobní a technologické ultravakuové systémy jako např. MBE

Příklady některých zařízení vyrobených ve VAKUU PRAHA pro výše uvedené aplikace jsou uvedeny na obr. 6 až 10.

Obr. 10 Ultravakuový plazmochemický reaktor s dutou katodou pro FzÚ AVČR

Čerpací jednotky pro UHV/XHV systémy Čerpací jednotka pro dosažení nejnižších tlaků je vždy vícestupňová a obvykle je tvořena minimálně třemi vývěvami. Vzhledem k tomu, že je bezpodmínečně nutné minimalizovat možnost znečištění vnitřních povrchů ultravakuového systému, používáme takové vývěvy (včetně předvakuových vývěv), které nejsou zdrojem žádných znečišťujících látek (především uhlovodíků), které by se mohly zpětným prouděním dostat až na tyto povrchy. Jako první dva čerpací stupně volíme kombinaci dvou transportních vývěv, a to obvykle suché předvakuové


14

vývěvy a turbomolekulární vývěvy. Pro náročnější aplikace užíváme turbomolekulární vývěvy s magnetickým závěsem. Třetí, popř. čtvrtý stupeň UHV/XHV čerpacího systému tvoří akumulační vývěvy, které na rozdíl od transportních vývěv tvoří s vakuovým systémem uzavřený celek. V akumulační vývěvě jsou odčerpané molekuly vázány (akumulovány), takže zůstávají v uzavřeném systému vakuová komora – vývěva. Mezi tyto vývěvy patří iontově sorpční, sublimační, kryogenní a getrové vývěvy. VAKUUM PRAHA je výrobcem iontově sorpčních vývěv triodového typu. Jejich parametry jsou v tab. 2 a závislost čerpací rychlosti pro dusík pro vývěvu IPT 50 je uvedena na obr. 11. Přehled iontově sorpčních vývěv vyráběných ve VAKUU PRAHA je na obr. 12. pracovní obor tlaků 10-1 - 10-9 Pa napětí - 6 kV magnetická indukce 0,12 T čerpací rychlost min. 20, 25, 50, 100, (pro N2 při 10-4 Pa 200 l/s v saturovaném stavu) Tab. 2 Přehled základních parametrů triodových iontově sorpčních vývěv

Čerpací rychlost S (l/s)

Čerpací rychlosti vývěvy VAKUUM PRAHA IPT50 pro dusík 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0

1,E-07

1,E-06

Nesaturovaný stav

1,E-05

1,E-04

Saturovaný stav

Obr. 11

1,E-03

1,E-02

Tlak p (Pa)


Obr. 12: Schéma triodové iontové vývěvy a výrobní řada triodových sorpčních vývěv: IPT25, IPT50, IPT100, IPT200

15


16

Velmi nadějným čerpacím elementem pro oblast UHV/XHV je neodpařovaný getr, jehož studiu se intenzivně věnuje laboratoř prof. Matolína na MFF UK. Ve spolupráci s tímto pracovištěm se zabývá VAKUUM PRAHA problematikou aplikací tenkovrstevných getrů TiZrV pro vývěvy v oblasti XHV. Na našem pracovišti byly studovány čerpací charakteristiky těchto getrů a byly změřeny tlaky nižší než 10-10 Pa v uzavřeném systému čerpaném TiZrV getrem. Nanesení tenké vrstvy getru na vnitřní povrchy XHV aparatury znamená, že celý tento povrch se stane aktivním čerpacím elementem, takže namísto toho, aby vnitřní stěny vakuového systému byly zdrojem plynu, jsou molekuly plynu na těchto stěnách vázány a tak odčerpávány. Velmi slibně se též jeví kombinace tenkovrstevných getrů s iontově sorpčními vývěvami. Poděkování VAKUUM PRAHA při rozvoji oboru extrémně nízkých tlaků využívá mimo vlastních prostředků pro výzkum též podpory grantů MPO a MŠMT, za což vyjadřuje poděkování. VAKUUM PRAHA též děkuje Matematicko fyzikální fakultě Karlovy univerzity za skvělou součinnost s řadou jejích pracovišť, s nimiž dlouhodobě spolupracuje v rámci uzavřené smlouvy o Sdružení mezi MFF UK a VAKUUM PRAHA.

Odborná setkání a konference Mezinárodní letní škola o nanotechnologiích Ve dnech 6. – 10. června 2005 se uskuteční na Třech Studních mezinárodní letní škola „Science and Technology at Nanoscale”. Tato škola je součástí tradiční série letních škol věnovaných problematice tenkých vrstev, povrchů a nanotechnologií, které každý třetí rok pořádá skupina pracovišť českých vysokých škol a akademie věd. Tématem letní školy bude zobrazování a manipulace nanoobjektů (včetně atomů a molekul), tvorba nanostruktur mechanismy samouspořádávání, molekulární nanoelektronika, spintronika, nanofotonika, plasmonika a nanoptika aj. Letní škola je podporována IUVSTA, Českou vakuovou společností, JČMF a Nanotýmem a zúčastní se jí řada špičkových, převážně zahraničních přednášejících. Více informací lze získat na webovské stránce letní školy http://www.fzu.cz/~iss nebo prostřednictvím emailů na adresách [email protected], resp. [email protected].


17

Vakuová technika 2005 Nabídka specializačního pomaturitního kurzu Vážené dámy, vážení pánové, v týdnu od 6. do 10.června 2005 bude Střední průmyslová škola elektrotechnická Rožnov pod Radhoštěm opět pořádat ”Kurz vakuové techniky”. Protože víme, že s vakuovou technikou pracujete, rádi bychom účast na kurzu nabídli také Vašim pracovníkům. Kurz je určen nejširšímu okruhu pracovníků z průmyslu a to jak pro pracovníky, kteří v oboru začínají, tak pro ty, kteří si potřebují své znalosti osvěžit a rozšířit. Abychom vyšli vstříc i vzdálenějším účastníkům, plánujeme uspořádat kurz v jednom týdenním bloku se základním rozsahem 27 teoretických hodin s následující skladbou: Fyzikální základy vakuové techniky Získávání vakua (principy, vlastnosti a použití vývěv) Měření ve vakuové technice (včetně hledání netěsností) Materiály pro vakuovou techniku Vakuové aparatury (konstrukce, provoz a údržba)

3 hodiny 7 hodin 7 hodin 4 hodiny 6 hodin

Tento základní rozsah si účastníci mohou doplnit o dva volitelné semináře a pět měření praktických úloh. Přednášky zajišťujeme zčásti vlastními silami, vždy ale spolupracujeme s externími přednášejícími z vysokých škol a z praxe. Odborným garantem kurzu je Ing. Karel Bok, člen výboru České vakuové společnosti. Pokud budete mít o náš kurz zájem, vyplňte, prosíme, přiložený odpovědní lístek a zašlete co nejdříve, nejpozději ale do 10.května 2005, na adresu školy. Všem zájemcům pošleme přesné informace o kurzu, závaznou přihlášku, rozpis témat včetně jmen přednášejících, přehled úloh instalovaných ve školní laboratoři a další informace, které Vás budou zajímat, týkající se například ubytování a stravování. Informujte, prosíme, rovněž své kolegy, kteří by o náš kurz mohli mít zájem. Většinu důležitých informací najdete na internetových stránkách školy www.spseroznov.cz, s dotazy se můžete obracet na organizátory kurzu, jejichž kontakty uvádíme: Ing. Bohumil Federmann

tel.: 571 752 320, e-mail: [email protected]

Ing. Karel Bok, odborný garant kursu, tel.: 571 752 183, e-mail: [email protected] Těšíme se na Vaše vyjádření a doufáme, že Vás naše nabídka zaujme.

Letní škola vakuové techniky 2005

Recommend Documents