FEI Quanta 3D SEM/FIB
Havancsák Károly 2010. december
1
FEI Quanta 3D SEM/FIB Időrend A helyiség kialakítás tervezése 2010. május Mágneses tér, vibráció mérése 2010. május A helyiség kialakítása 2010. augusztus 4 – 22. A berendezés szállítása 2010. augusztus 23. Összeszerelés 2010. augusztus 24 - 27. Üzembe helyezés 2010. augusztus 30 - 31. Batanulás I. (Magyarországon) 2010. szeptember 13 - 17. Gyakorlás 2010. szeptember 20 - 30. Betanulás II. (Hollandiában) 2010. november 15 – 19. Új alkalmazások (Varga Gábor fizikus, Ratter Kitti MSc hallgató) 2010. október 1Új alkalmazottak betanítása 2010. október 1 - 30. Honlap készítés 2010. szeptember 15 – október 10. Felasználói szeminárium 2010. november 23. Próbaüzem 2010. november 1 – 2011. január 31. Tervezett projektkonferencia 2011. január 19-20-21 Visegrád Teljes üzem 2011. február 1 –
2
3
FEI Quanta 3D SEM/FIB ion oszlop
elektron oszlop
omniprobe nanomanipulátor
gáz injektorok
EDX detektor
cont. dynode electr. multiplier = CDEM detektor (SE, SI)
mintakamra ajtó mintatartó mechanikus mozgatógombokkal
EBSD detektor
GSED erősítő
FEI Quanta 3D SEM/FIB
ICD (in column detektor) detektor
plazmás felülettisztító
kifagyasztó (LN)
4
FEI Quanta 3D SEM/FIB
EDX (energy dispersive X-ray detector)
STEM detektor (visszahúzható)
low kV vCD (visszahúzható)
5
6
FEI Quanta 3D SEM/FIB
mintatartó mikroszkóp nyitott ajtóval
FEI Quanta 3D SEM/FIB cont. dynode electr. multiplier = CDEM detektor (SE, SI)
ion oszlop vége
7
elektron oszlop vége
gáz injektor Everhard-ThornlySED/BSED low kV vCD (visszahúzható) pásztázó transzmissziós detektor (STEM)
EBSD detektor
infravörös CCD kamera
alacsony nyomású szekunder elektron detektot (LVSED)
FEI Quanta 3D SEM/FIB
8
1. Termikus plazmaszintézissel előállított nanokristályos kerámiaporok szerkezetének vizsgálata az előállítási paraméterek függvényében. 2. Nagymértékű képlékeny deformációval előállított ultrafinom-szemcsés fémek (Al, Ni, Cu, Au, Ag, Fe, Ti, Mg stb.) mikroszerkezete és mechanikai tulajdonságai közötti kapcsolat kutatása (könyöksajtolás, nagynyomású csavarás stb.). 3. Mg és Al alapú túltelített szilárd oldatokból kiindulva, a magas hőmérsékletű könyöksajtolás hatása a mátrix mikroszerkezetére, illetve a nanoszemcsés kiválások kialakulására. 4. Tömbi amorf fémötvözetek hőkezelésével előállított amorf-nanokristályos kompozit mikroszerkezete és mechanikai viselkedése (magas és alacsony hőmérsékleten) közötti korreláció vizsgálata. 5. Különböző szemcseméretű fémporok (pl. Al, Ni) keverékéből porkohászati módszerekkel (HIP, SPS) előállított nanokristályos kompozitok heterogén mikroszerkezetének vizsgálata. 6. Multifunkcionális polimer gélek és kompozitok kifejlesztése. 7. Nanoporok szintézise (kobalt-ferrit), aerogélek (alumínium-oxid, alumínium-szilikát) porózus szerkezetének vizsgálata. 8. Biokerámiák (kalcium-szilikát) felületvizsgálata. 10. Sol-gél technikával előállított kalcium-szilikát-foszfát és alumínium-oxid bioanyagok nanostruktúrájának vizsgálata. 11. Polimer bevonatok szerkezetének vizsgálata funkcionális textilszálak kifejlesztéséhez. 12. Kolloidális gyógyszerhordozók előállítása. 13. Sejtmembrán modellek és biológiai aktivtással rendelkező anyagok kölcsönhatásának tanulmányozása. 15. Közepes energiájú nehézionokkal besugárzott réteges szerkezetű anyagok és kerámiák felületén kialakuló nanostruktúrák vizsgálata. 16. Amorf mikro- és nanokristályos anyagok termikus és mechanikai stabilitása. 17. Mikro- és nanopillárok mechanikai tulajdonságainak vizsgálata.
FEI Quanta 3D SEM/FIB Gubicza Jenő egy. doc., Hegedűs Zoltán doktorandusz A deformáció hatása alacsony rétegződési hibaenergiájú anyagok (itt Ag) mikroszerkezetére és mechanikai tulajdonságaira. 99,99% Ag, hőkezelt 741 K 1h, (0,6 Tm) szemcseszerkezetének vizsgálata.
Szemcseméret, ikerhatárok
Szubszemcse szerkezet
9
FEI Quanta 3D SEM/FIB
10
Gubicza Jenő egy. doc., Hegedűs Zoltán doktorandusz A deformáció hatása alacsony rétegződési hibaenergiájú anyagok (itt Ag) mikroszerkezetére és mechanikai tulajdonságaira. Szemcseszerkezet 1 ECAP (= Equal Channel Angular Pressing) után
FEI Quanta 3D SEM/FIB N. G. Chinh egy. doc. Al-Zn szilárdoldat vizsgálata nagy nyomású-torziós deformációt követően
Kis deformációs tartomány
Nagy deformációs tartomány határ
11
FEI Quanta 3D SEM/FIB N. G. Chinh egy. doc. Al-Zn szilárdoldat vizsgálata nagy nyomású-torziós deformációt követően
Ugyanannak a tartománynak a mérése ETD és vCD detektorral. A vCD kép Z kontrasztos.
12
FEI Quanta 3D SEM/FIB N. G. Chinh egy. doc. Al-Zn szilárdoldat vizsgálata nagy nyomású-torziós deformációt követően
Kiválások a szemcsehatárokon
13
FEI Quanta 3D SEM/FIB Groma István egy. tan., Hegyi Ádám BSc. diplomandusz: Mikro- és nanopillárok mechanikai tulajdonságainak vizsgálata
Mikropillár a FIB megmunkálást követően
Mikropillár deformációs sávjai
14
FEI Quanta 3D SEM/FIB Kovács Zsolt egy. adj. Aluminium alapú fémüvegek szerkezeti változásai és kristályosodása intenzív képlékeny alakítás során
15
FEI Quanta 3D SEM/FIB Kovács Zsolt egy. adj. Aluminium alapú fémüvegek szerkezeti változásai és kristályosodása intenzív képlékeny alakítás során
Összetétel vizsgálat energia-diszperzív röntgen analízissel
16
FEI Quanta 3D SEM/FIB Kiss Éva egy. doc. Polimer nanogömbök készítése, szerkezetének vizsgálata és felhasználása gyógyszertranszport céljaira
17
FEI Quanta 3D SEM/FIB Révész Ádám egy. adj. Extrudált Al-Mg-Zn porminta porozitásának vizsgálata
18
FEI Quanta 3D SEM/FIB Bérczi Szaniszló egy. doc. Meteoritok szerkezetének és összetételének vizsgálata
19
FEI Quanta 3D SEM/FIB üzemmódok Faigel Gyula MTA SZFKI (külső érdeklődés) Szén nanostruktúrák vizsgálata
Szén nano (mikro-) kónusz
20
