Výrobní měřicí technika z pohledu mezinárodní normalizace Prof. Dr. Numan M. Durakbasa, M.N.
1 ÚVOD V současné době může být z mezinárodního hlediska vývoj a význam měřicí techniky a obzvláště výrobní měřicí techniky hodnocen jako trvale stoupající. Měřicí technika dodává základnu pro to, aby byly zhotovovány produkty, odpovídající mezinárodním požadavkům kvality – normám ISO 9000:2000 [1, 2], neboť při použití automatizační techniky může být proces optimalizován, obsluha přístrojů a zařízení může být bez závad, takže za současných běžných změn na trhu jsou dodrženy: - zvyšování kvality na míru šité zákazníkům - zvyšování produktivity - zvýšení spolehlivosti - šetrnější spotřeba surovin a energie a tudíž - ochrana a udržení životního prostředí jako podstatné předpoklady a nutné okrajové podmínky. Dále je nutné pod tlakem mezinárodní konkurence zvyšovat rozmanitost produktů ke splnění požadavků trhu, přičemž se zároveň rýsuje redukce délky životnosti produktu. Všeobecně je platnost technicky přírodovědných právních norem měření přijata jen tehdy, když výsledky měření z pokusů neodporují výhodám. Vylepšené a jemnější technické měřicí metody vedou hojně k pokrokům vědy a jsou tím v mnoha případech spouštěči dále vedoucích nebo i nových teorií. Teprve na základě technicko měřicích výsledků je možný další vědecký výzkum a měřicí technika tím vytváří základnu technických objevů [3, 4]. Stejným způsobem vytváří podstatné podklady technického dění v moderním průmyslu. Obraty ve výši až stovek miliard Euro závisí přímo na měřicí technice a měřicích přístrojích. Odpovídající výzkum v této oblasti tvoří podstatnou část základu moderního světového hospodářství a lidské společnosti všeobecně. Mobilní telefony, airbagy, faxy, videa – tyto výrobky vysoké technologie vyžadují, abychom uvedli jen některé příklady, měření délek s rozlišitelností v řádu nanometrů, ale také vysoce přesné měření jiných fyzikálních veličin. S probíhajícím výzkumem běží souběžně další vývoj, jak by mohlo být všech těchto veličin přesněji dosaženo, proces, který je nerozlučně spojen s úkoly každé průmyslové země, aby byla zachována právně platná mezinárodní soustava měření. 2 NEJISTOTA MĚŘENÍ A MANAGEMENT KVALITY Dnes je mnoho výrobků sestavováno na jednom montážním místě dle globálního zhotovování prvků v pracovním procesu. To je možné jen tehdy, když celosvětově měření a kalibrace včetně nejistot měření, které jsou významné při výrobě, jsou vykonávány, takže následuje stanovení výrobních tolerancí a srovnání příslušných měřicích přístrojů dle stejných směrnic. S aspektem nejistoty měření se velmi široce zabývá mezinárodně uznávaný dokument GUM [5], ve kterém jsou stanovena všeobecná pravidla pro zjišťování a udávání nejistoty měření, jež jsou použitelná na široké spektrum měření: toto vodítko vzniklo jako výsledek společné práce mezi experty mezinárodních organizací BIPM, IEC, ISO a OIML. Určitě se nedají rozpoznat všechny systematické vlivy, které ovlivňují měření, a také není možné určit skutečné hodnoty. Výsledek měření je jen nejpravděpodobnější hodnota, který se měřené veličině připisuje. Dále je nejistota měření míra rozptylu hodnot, které se přiřadí k výsledku. Tato nejistota měření může být určena dvěma způsoby: - metodou A (typ A) výpočty se zakládají na rozdělení četnosti. Pro vstupní veličiny v níže formulovaném smyslu budou zjištěny ve stejných podmínkách z počtu n > 10 měření - metodou B (typ B) výpočty apriori spočívají v přijatých rozděleních. Takto vyhodnocené příspěvky plynou z dřívějších měření, zkušeností nebo všeobecných znalostí, jakož i údajů výrobců. Obě metody jsou stejně hodnotné a obě složky mohou při vyhodnocení měření mít stejný vliv. Jsou také početně vyhodnoceny současně (součet kvadrátů). Aby se formuloval všeobecný model pro měření, není ve většině případů veličina Y přímo měřena, nýbrž je vypočítána z N různých vstupních veličin X1, X2, ….., Xn pomocí funkce f: Y = f(X1, X2, ..., XN)
(1)
Následuje několik kroků stanovení nejistoty měření: 1. Je nutné zavést úplný popis závislosti (1) 2. Je třeba stanovit a použít všechny určující korekce (pro teplotu, tlak vzduchu, napětí …..)
3. Při analýze nejistoty se musí všechny příčiny nejistoty měření zapsat……. 4. Odhadnutá hodnota y veličiny Y a její kombinovaná nejistota ve smyslu kvadratického šíření uc(y), jakož i jejich jednotky, jsou uvedeny. 5. Udaný stupeň k spolehlivosti, kterému je přiřazen rozsah y ± k. uc(y) , je popsán rovněž jako metoda jeho určení. Na tomto základě je s jednotným určením nejistoty měření dnes zaručeno dohodnuté mezinárodní a celosvětové srovnávání výsledků měření. 3 MĚŘICÍ TECHNIKA MANAGEMENTU KVALITY VE VÝROBNÍCH SUBJEKTECH Jistota kvality je a závislá na kvalitě zkušebních a měřicích přístrojů, které jsou použity v oblasti: - designu a vývoji výrobků, - procesním plánování a vývoji, - produkci, - verifikaci případně zkoušení, - montáží a uvedení do provozu, jakož i - technické podpoře a servisu. Tento výčet obsahuje některé podstatné fáze v životním cyklu každého výrobku. Management kvality je sice určitě víc než zkušební a měřící technika, ale bez měřící techniky je jistota kvality hmotných výrobků nejen nemožná, ale měřicí technika je podstatná opora a jedna z hlavních částí systému managementu kvality v souvislosti s výrobou rozdílných výrobků. Přesnost a spolehlivost použitých zkušebních a měřicích prostředků se opírá o dobře fungující systém dohledu nad zkušebními prostředky, který obsáhne všechna zkušební a měřící zařízení, použitá v jenom podniku. Použitím modernějších technologií mohou být výrobní procesy dalekosáhle hlídány, kontrolovány a řízeny. Dosažené naměřené hodnoty jsou informací o výrobních procesech a výrobních vlastnostech, které jsou vyšetřovány dle požadavků namátkově nebo stoprocentní zkouškou. Z těchto informací jsou odvozena pravidla veličin pro zásahy do procesu a změny nastavení parametrů výrobního zařízení, aby mohlo dojít k optimalizaci výrobních procesů a zlepšení výrobních vlastností. Podstatným znakem měřicí techniky pro moderní výrobu je možnost do procesu zpětně zavést získané výsledky zkoušek pomocí měření na strojích a součástech a měřicí technicko-senzorické informace jako korekční data; vzniklé regulační diagramy vykazují rozdílné funkce: Kontrola a přizpůsobené kontrolní zařízení uzavírají regulační kruh, jenž může být příslušně modifikován v závislosti na funkčních požadavcích určitého použití. Malý regulační kruh uzavírá řetěz působení mezi zpracovávajícím strojem a měřicím zařízením tak, aby bylo zajištěno průběžné dodržení konstrukcí stanovených povinných hodnot v mezích dané tolerance. Velké regulační kruhy dávají kvalitativní informace, co se týká kvality výrobků a schopností kvality procesů do plánované oblasti. Přitom slouží vyhodnocení informací krátkodobě vyšetření nových výrobních záměrů se zřetelem na změněný pořádek strojů, nástrojů a výrobků. 4 MĚŘICÍ TECHNIKA PRO MODERNÍ VÝROBU Zvládnutí procesní a výrobní kvality je podstatný požadavek na systém managementu kvality. Přitom je vysoce vyvinuta měřicí technika určitě důležitý předpoklad pro hospodářské zhotovování průmyslových výrobků, tak jako dohled nad růstem kvality výrobků. 4.1 Vývoj přesné měřicí techniky Asi od roku 1970 je měřicí technika určována neustále rostoucími požadavky a jejich stále rychleji rostoucími obraty při nově se vyvíjejících přístrojích. Především je: - množství informací ke zpracování výsledků měření a vyhodnocení stouplo 10 000x, - produktivita, přesnost měření a rychlost měření se zvýšila o faktor 100, zatímco - zkoumané měřicí oblasti stouply více než desetinásobně, - také spolehlivost měřicích přístrojů, zvláště stoupajícím použitím mikroelektroniky, se mohla zvýšit až na desetinásobek. Zcela všeobecně se projevuje stále užší propojení celého výrobního procesu. Tomuto stavu se musí postupně přizpůsobovat i moderní výrobky. Stále kupředu jdoucí automatizace vyžaduje vývoj přístrojů a systémů, které mohou být nasazeny případně integrovány s maximální produktivitou a kvalitou výkonu při použití v technologickém procesu. Od vývoje až po zhotovení a odbytu je měřicí a výrobní technika stále silněji propojena. Vždyť jak aktuálnost, tak i spolehlivost a síla výpovědi výsledků měření ovlivňují řízením výrobních zařízení efektivitu výroby, čímž všeobecně může být dosaženo podstatného vzestupu účinnosti a efektivity celého podniku. Z moderního výrobního procesu plynou následující požadavky na zkušební a měřicí prostředky: - dlouhodobá stabilita a reprodukovatelnost měřidel, - automatizace měřicích postupů, - použitelnost a vysoká spolehlivost v provozu,
- a také při přetížení a poruchách, - malé náklady na údržbu, servis a justáž, - použitelnost i v nejobtížnějších podmínkách prostředí. Stoupající požadavky na výrobu vyžadují stále vyšší tolerance a tím i přesnější měření. Záruka a závazné podmínky jsou nutné pro protokolování kvality. Stoupající typová mnohotvárnost a právě tak jako přání stoprocentní kontroly, vyžadují krátké zkušební časy a tím racionálnější zacházení. Stoupajícím tlakem konkurence jsou výrobci nuceni nabízet za přiměřené ceny kvalitativně vysoce hodnotné výrobky. Rozlišovat dnes mezi elektrickými a neelektrickými měřicími přístroji není v mnoha případech možné a často vůbec nesmysluplné. Přístroje jsou koncipovány jako složení rozdílných systémů, přičemž elektronické zpracování měřicích hodnot se ukazuje jako nezbytná součást, jehož přednosti proti přímému způsobu a přístrojům s neelektrickou pomocnou energií jsou tak viditelné, že lze sotva najít alternativy. 4.2 Rozdělení zkušebních prostředků pro měřicí techniku ve výrobě Ve výrobní měřicí technice mají geometrické veličiny, jako rozměr, úhel, drsnost, vlnitost, tvar a poloha velký význam. Dále se měří často speciální hlediska při určování stoupání závitů a ozubení zvláštního významu. Rozhodnutí, který způsob zkušební techniky bude použit, je určeno především geometrií a rozměrem zkoušeného dílu. Dále je nutné brát v úvahu především následující ovlivňující veličiny pro výběr, použití zkoušecí techniky, tj. toleranci nářadí, počet kusů, stupeň automatizace a hospodářské hledisko. Vývoj výroby měřicí techniky je určen požadavky na rychlejší, přesnější a flexibilnější měření součástek a dokumentací. Zásadně jsou rozlišovány 3 způsoby měřicích přístrojů pro výrobní měřicí techniku: - konvenční měřicí technika, - digitální měřicí technika, - komplexní měřicí systémy. V konvenční měřicí technice se člověk obslouží nejčastěji mechanickými zkoušecími prostředky. Přesnost a ruční zacházení jsou závislé na vzdělání měřicího personálu. Dosažené měřicí výsledky lehce mohou být pod vlivem subjektivního dojmu chybné. Přístroje digitální měřicí techniky umožňují podstatně rychlejší a objektivnější měření. Jejich použitím je dán první krok k automatizaci a k početnímu zpracování měřicích výsledků. Aby se mohly pružně a blízko zhotovení řešit také komplexní měřicí problémy, jsou nutné přístroje skupiny komplexních měřicích systémů, tím se rozumí: - vícemístná měřicí technika, - početně podporovaná souřadnicová měřicí technika, - optoelektronická měřicí technika. 5) KOMPLEXNÍ MĚŘICÍ SYSTÉMY 5.1. Vícemístná měřicí technika Vícemístná měřicí technika je v mnoha případech blízko výroby a řetězově nasazena s tokem výroby. Měření spočívá na srovnání zkoušeného výrobku s jedním, jako měřidlo určeným, referenčním nástrojem. Při měření je současně dotýkáno na různých měřených bodech a výsledky jsou srovnávány se vzorovým kusem, přičemž automaticky následuje záznam a vyhodnocení měřených dat. Jednou pevně založený zkušební koncept je zde realizován mechanicky pevným uspořádáním bodů dotyku a přizpůsoben změněným měřicím úkolům může být jen s většími náklady. Vícemístné měřicí přístroje jsou používány v sériové výrobě ke komplexnímu měření a polohové kontrole všech částí. 5.2 Početně podporovaná souřadnicová měřicí technika Pro přesnou a zároveň pružnou kontrolu kompletně sestavených obrobků, které mohou být vyráběny moderními CNC zpracovatelskými centry, má souřadnicová měřicí technika velký význam. Je vlastně univerzální způsob, kterým lze řešit také velmi komplikované prostorové úlohy. Cenově výhodné sériové přístroje umožňují dnes měření v krátkém měřicím čase s rozlišitelností od 1 do 0,1 µm s velmi malou nejistotou měření (která může být u vysoce přesných malých přístrojů pod 1 µm ) pro maximální měřicí rozsahy až do 25m [6]. Od počátku vývoje NC a později CNC strojů kolem roku 1950 se automatizovaná výroba významně dále rozvinula. Především bylo dosaženo možnosti hospodárně a s velkou přesností vyrábět i komplikované kusy. To platí zvláště pro volně tvarované plochy, které mohou být popsány a metrologicky zachyceny jen za pomoci výpočetní techniky. Souřadnicová měřicí technika se dá definovat následovně: geometrické prvky tvaru měřených součástí jsou ohmatávány pomocí souřadnicového měřicího stroje v jednotlivých měřicích bodech:
ze souřadnic měřicích bodů je pomocí vyhodnocovacího software souřadnicového měřicího stroje zjištěna matematická „náhradní geometrie“ [7] výrobků. Zatímco v konvenční měřicí technice v závislosti na druhu měřicí úlohy musí být zvolen speciální typ měřicího přístroje, který může být často použit jen v omezené oblasti měření, se souřadnicovými měřicími stroji je možno provádět s velkou přesností v jedné měřicí úloze právě jak měření délek, tak měření úhlů, tvaru a polohy [8]. Obrázek 1 staví proti sobě konvenční měřicí techniku obrobků a souřadnicovou měřicí techniku. Vedle přesnosti měření je také důležitý počet měřených obrobků. Obzvláště když ale tolerance obrobků je přesnější než toleranční stupeň IT 5 (například 11 µm na 50 mm) je dnes nasazení souřadnicových měřicích přístrojů nutné také z technických a hospodářských důvodů při velkých sériích. Zkoušení a kalibrace souřadnicových měřicích strojů probíhá na bázi národního nebo mezinárodního etalonu [9, 20], přičemž se použije kulové zkušební těleso současně s laserovým interferometrem [10] a [11]. Zatímco souřadnicové měřicí stroje byly původně používány pouze v klimatizovaných prostorách, vzdálených od výroby, jsou dnes stále těsněji zapojovány do výroby [12].
Bild 1: Konvenční (komunální) měřidla a souřadnicová měřicí techniky s podporou výpočetní techniky 5.3. Optoelektronická měřicí technika Optoelektronický měřicí způsob tvoří důležitý základ k řešení speciálních problémů měřicí techniky a ke stoprocentní kontrole zhotovovaných dílů. Zájem o zvyšování použití těchto přístrojů vzrůstá, protože ty mohou být nasazeny jak k urychlení a pružnosti měření, tak i k automatickému a do procesu integrovanému dohledu nad výrobky. Dále umožňují hospodárné zkoušky u obrobků, jenž nemohou být na základě svých materiálových vlastností snímány dotykovým měřicím systémem [13]. Existuje řada rozdílných optoelektronických metod pro rozměrová a geometrická měření (viz obr. 2). Přitom jsou světelné závory a reflexní senzory již asi od roku 1960 používány a průběžně dále vyvíjeny jako jednoduché, robustní, cenově výhodné a rychlé systémy. Při vzrůstající komplexnosti zadávání úkolů stoupají ceny přístrojů všeobecně rychleji. Přitom třírozměrné optické měřicí systémy jsou současě průmyslově používány ještě jen zřídka, zatímco laserinterferometr, laserscaner, triangulační a autofokusační senzory jsou více či méně standardními přístroji v moderní výrobní měřicí technice jako typické jednodimenzionální systémy. Jestliže se současně pokusíme o všeobecné srovnání souřadnicových měřicích strojů a optoelektronických měřicích systémů, v tom případě musíme u posledně jmenovaných přístrojů počítat s vyššími pořizovacími cenami. Jejich rozlišitelnost a nejistota měření je asi 10 až 100x horší, naproti tomu je nutná doba měření 100x nebo vícekrát menší, přičemž prostoje jsou většinou zanedbatelné. Pro efektivní použití optoelektronického způsobu je jako základní předpoklad nutná znalost okolních podmínek prostředí. Rozdíly v barvě nebo třída jakostni povrchů vyšetřovaného zkoušeného objektu mohou výrazně ovlivnit nejistotu měření. Pro kalibraci a srovnávací měření je potřebný dotykový měřicí způsob.
V posledních letech praktické použití optoelektronické měřicí techniky značně vzrostlo. Právě kvůli velmi krátkým časům měření a v očekávání zvýšení přesnosti měření se dá pro nejbližší budoucnost očekávat další rozvoj.
Obr.2: Optoelektronické měřicí postupy – přehled 6 MĚŘICÍ TECHNIKY V OBORU MIKRO- A NANOTECHNOLOGIE . 6.1 Dosavadní vývoj Světově rostoucí požadavky zákazníků a konzumentů co se týká kvality a spolehlivosti lze ruku v ruce se stoupající přesností technických výrobků – myšleno obrobky, komponenty, přístroje, agregáty, výrobky – kvantitativně splnit. Tento trend byl již v roce 1960 [14] Kienslem nastíněn a on od té doby plynule pokračoval [15,16,17]. V dalším pokračování tohoto vývoje nastává v současnosti v mnoha odvětvích techniky přechod od mikrotechnologie k nanotechnologii. Pojem nanotechnologie byl zaveden v roce 1974 Taniguchim [15], za účelem popisu výrobních technologií a přístrojové techniky, čímž se dá dosáhnout výrobní přesnosti v nanometrové oblasti. Ve Velké Británii bylo toto označení později použito pro ty výrobní procesy jako k tomuto účelu nutná měřicí technika, aby mohly být vyráběny obrobky s rozměrem a tolerancí v oblasti od 0,1 µm do 100 mm. Taniguchi správně poznal, že v 90tých letech bude možné dosáhnout přesnosti mezi 0,1 µm až 1 nm tak, aby byly uspokojeny rostoucí průmyslové nároky. Tento cíl je teď, pomocí vývoje a zavedení vysoce přesných výrobních metod – to znamená zavedením vysoce přesné měřicí techniky stranou konvenčních způsobů, realizovatelný. Obrázek 3 ukazuje vývoj a tendence výrobní přesnosti používaných měřicích přístrojů. Extrémně vysoké požadavky na přesnost se v současnosti u přístrojů každodenní spotřeby s vysokým stupněm vývoje snižují (videorekordérů nebo CD přehrávačů) to znamená v senzorové technice výroby nákladních automobilů a dokonce i v přístrojové technice v domácnosti i v tzv. přístrojů na jedno použití Časový trend dosažené výrobní přesnosti a použité výrobní procesy a měřicí nástroje ukazují, že asi kolem 1980 mohlo být dosaženo konvenčními způsoby (např. soustružení, broušení) přesnosti 5 µm, naproti tomu lze v současnosti dosáhnout s vysoce přesnými výrobními prostředky, to znamená speciálními způsoby – jako je zpracování iontovými paprsky – méně než 1 µm. Tento vývoj průběžně pokračuje.
Obrázek 3: Vývoj dosažitelné výrobní přesnosti 6.2 Nové technologické postupy a materiály Význam nanotechnologie se ukazuje nejdříve s výrobou a měřicí technikou, nachází ale uplatnění dalekosáhle v nejrůznějších vědách a disciplínách, jako třeba v biologii, fyzice, medicíně a elektronice. Právě v elektronice stojí nanotechnologie v těsné závislosti s mikrominiaturizací, tedy vývojový směr s cílem hospodářsky vyrábět velké množství kusů elektronických přístrojů s co možná nejvyšší spolehlivostí a životností, které přesto obsahují množství stavebních součástí a spínacích částí. Přitom v popředí stojí co nejvíce automatizované způsoby. Toto je způsobeno rostoucí poptávkou po elektronických zařízeních, obzvláště v letectví a kosmonautice. Význam nanotechnologie ve strojírenství se ukazuje především v potřebě podstatně stupňovat přesnost ve výrobních procesech. Především v oblasti produkce výše zmíněného spotřebního zboží denní potřeby jsou vyvíjeny také nové výrobní metody při použití nových výrobních látek. S tím byl spojen i požadavek po menších senzorech a podnětech za účelem umožnit řízení a dohled s co možná nejmenšími náklady. Tyto nové techniky jsou například nastřelování iontových paprsků nebo techniky tenkých vrstev. Inovační materiály jsou křemík a sklokeramiky. 6.3 Vyšetřovací metody nanometrologie Všeobecně se rozměrová měřicí technika rozchází tím, na vyšetřovaných horních plochách rozeznává odpovídající detaily a ty pak na horní ploše zobrazuje silně zvětšené tak, aby bylo možno rozlišení jednotlivých elementů. V nanotechnologii platí ale velmi často zvláštní zájmy krystalových struktur a molekulární uspořádání. Stále více nabývá na významu asi od roku 1980 speciální měřicí technický vývoj, který zlepšuje rozlišitelnost měřicích přístrojů až na atomovou úroveň. Obzvláště jsou přitom nejdříve vyzdviženy rastrové tunelové mikroskopy (RTM), případně skenovací tunelové mikroskopy STM [18]. Tyto metody umožňují zkoumat atomové struktury, ovšem jen elektricky vodivými nebo odpovídajícím způsobem vrstvenými vzorky ve vakuu. V dalším pokračování této techniky přinesla (AKM), (AFM) nebo (SPM) technicky bezvadná a zároveň jednoduchá řešení [19], kterým s pomocí extrémně ostrého měřicího hrotu je umožněno sejmutí libovolných povrchových struktur v atomové oblasti, přičemž zde není nutné žádné vakuum. Obzvláště nejjemněji zpracované povrchy a nejmenší struktury se dají tímto způsobem zkoumat. V podstatě je potřeba vedle velmi názorných obrázků ale také četných měřicích výsledků, aby bylo možné povrchy kvantifikovat a dát výsledek její drsnosti. Právě problém kvantitativního číselného vyhodnocení není, právě tak jako nejistota měření v nanometrické oblasti, zcela ke spokojenosti vyřešen.
7 ZÁVĚREČNÉ POZNÁMKY Měřicí technice musí být v moderní výrobně přiřazena centrální role. Podstatné přínosy k dalšímu vzestupu kvality výrobků a ke zvýšení schopnosti výkonu zařízení lze dosáhnout cíleným nasazením měřicích technických metod. Stále stoupající význam měřicí techniky v nejrůznějších pracovních odvětvích nachází svůj úder ve stále se zvětšující náplni nových úkolových pozic, pro něž jsou průběžně vypracovávány nové návrhy a cesty řešení.
8. LITERATURA [1] EN/ISO 9000: Quality Management Systems - Fundamentals and Vocabulary (ISO 9000:2000). [2] EN/ISO 9001: Quality Management Systems - Requirements (ISO 9001:2000). [3] Finkelstein, L.: A Review of Measurement Theory. State and Advances of Measurement and Instrumentation Science, IMEKO TC1/TC7-Colloquium, London, Sep. 1993, ISBN 0-9522111-0-6, S.1/18. [4] Osanna, P.H.: Production Metrology as Basis of Quality Management in Modern Industry. Konferencja: Postep w rozwoju lozysk tocznych ISKRA - 100, Editor: S. Adamczak, Politechnika Swietokrzyska, Kielce, PL, 1996, ISSN 0239-4979, S.13/24. [5] ENV 13005: Leitfaden zur Angabe der Unsicherheit beim Messen. Vornorm. 1999 (ENV 13005:1999: Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement - GUM). [6] Osanna, P.H., Yücer, Y.H., Durakbasa, N.M.: Koordinatenmeßtechnik für das Qualitätsmanagement im Produktionsbetrieb. 1995, Wien: Facultas Universitätsverlag, ISBN 3-85076388-9. [7] ISO/TR 10360-1: Co-ordinate Metrology – Part 1: Definitions and Applications of Fundamental Geometrical Principles. 1993. [8] Weckenmann, A., Eitzert, M.: Koordinatenmesstechnik und Formprüfung wachsen zusammen. e & i 112 (1995), N. 4, S.153/159. [9] EN/ISO 10360-2: Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für Koordinatenmessgeräte (KMG) - Teil 2: KMG angewendet für Längenmessungen. (ISO 10360-2: 2001). 2002. [10] Trapet, E.: Report of CIRP/WECC Ball Plate Intercomparision.1994. [11] Osanna, P.H., Durakbasa, N.M. e.a.: CMM Testing and Calibrating Using a Universal Test Artefact. In: Blackshaw, D.M.S., Hope, A.D., Smith, G.T. (Editors): Laser Metrology and Machine Performance. Computational Mechanics Publications, Southampton, 1993, ISBN 1-85312-241-6, S.287/291. [12] DMIS 3.0: Dimensional Measuring Interface Specification. 1995. [13] Pfeifer, T. (Editor): Optoelektronische Verfahren zur Messung geometrischer Größen. Mess- und Prüftechnik, Band 40, Ehningen: Expert-Verlag, 1993. [14] Kienzle, O.: Genauigkeitsansprüche des Konstrukteurs und ihre Verwirklichung durch die Fertigung. Industrieanzeiger 82 (1960), 62, S.26/42. [15] Taniguchi, N.: On the Basic Concept of Nanotechnology. Proceedings of International Conference on Production Engineering, Part 2. Tokyo: JSPE, 1974, S.18/23. [16] Osanna, P.H.: Dreidimensionales Messen. Future 80, Frankfurt: Ingenieur-Digest-Verlag, Kapitel: Meß- und Prüftechnik, 1981, S.216/218. [17] Whitehouse, D.J.: Nanotechnology Instrumentation. Measurement + Control 24 (1991), 2, S.37/46. [18] Binnig, H., Rohrer, H.: Scanning Tunnelling Microscopy. Helv. Phys. Acta 55 (1982), S.726 ff. [19] Meyer, E., Howald, L., Overney, R., Brodbeck, D., Lüthi, R., Haefke, H., Frommer, J.: Structure and Dynamics of Solid Surfaces Observed by Atomic Force Microscopy. STM'91 - Int. Conf. on Scanning Tunneling Microscopy, Interlaken, 1991. [20] EN ISO 10360-1: 2003, Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für Koordinatenmessgeräte (KMG) - Teil 1: Begriffe (ISO 10360-1:2000 + Corr 1:2002) Prof. Dr. Numan M. Durakbasa Abteilung Austauschbau und Messtechnik, Technische Universität Wien - TU-Wien, Österreich
