Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
PENGEMBANGAN LAPISAN TIPIS TEMBAGA OKSIDA SEBAGAI BEAM DIVIDER PADA PERANGKAT PRAKTIKUM FISIKA (OPTIKA) DI MADRASAH/SEKOLAH
Bebeh Wahid Nuryadin Jurusan Fisika, Fakultas Sains dan Teknologi, UIN Sunan Gunung Djati Bandung JL. A.H. Nasution 105, Bandung – Indonesia 40614 Email:
[email protected]
Abstrak Beam divider (alat optik) adalah salah satu perangkat yang umum digunakan dalam pecobaan optika, misalkan interferometer Michelson-Morley. Beam divider berfungsi dalam membagi satu sinar laser menjadi dua sinar koheren, masing-masing sebesar 50% untuk refleksi dan transmisinya. Secara umum beam divider terbuat dari lapisan tipis logam pada permukaan kaca sehingga memiliki nilai reflektansi dan transmitansi yang baik dan dapat diatur. Penelitian ini ditujukan untuk mensintesis dan mengembangkan beam divider berbasis lapisan tipis tembaga oksida. Lapisan tipis tembaga disintesis menggunakan metoda spray pyrolysis pada beberapa variasi parameter seperti suhu, jarak spray terhadap substrat, konsentrasi larutan tembaga dan waktu sintesis. Parameter tersebut berpengaruh terhadap ketebalan lapisan dan nilai rasio transmisi dan refleksinya. Keberhasilan pembuatan lapisan tipis oksida tembaga ditandai dengan terbentuknya lapisan tipis berwarna kecoklatan yang tembus cahaya pada substrat kaca. Lapisan tipis tembaga oksida akan digunakan sebagai beam divider pada percobaan fisika (optika) di madrasah/sekolah, seperti percobaan interferometer Michelson-Morley. Kata kunci: Beam divider, lapisan tipis tembaga oksida, alat percobaan fisika (optika).
1. Pendahuluan
sebagai setengah cermin karena ada
Beam divider merupakan komponen
intensitas cahaya yang ditransmisikan dan
optik yang digunakan untuk membagi
direfleksikan. Komponen optik ini pada
sinar menjadi dua sinar koheren terdiri
prinsipnya merupakan lapisan tipis suatu
sinar refleksi dan transmisi (Macleod
material pada gelas datar. Lapisan ini
2010). Beam divider sering juga disebut
memiliki reflektansi dan transmitansi pada 1
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2 daerah
panjang
(Herlambang biasanya
gelombang
2012).
dan
tertentu
Pendeposisian suatu lapisan logam pada
divider
suatu plat gelas merupakan tipe paling
ideal
sederhana dari beam divider (Huntz,
yang
2008).
Beam
ditentukan
transmitansi
ISSN 1979-8911
dari
nilai
reflektansi
Material logam yang digunakan
dinyatakan sebagai persentase dan ditulis
sebagai bahan pelapis bermacam-macam
T/R (Macleod 2010). Beam divider dengan
seperti aluminium (Al), perak (Ag), nikel
nilai
banyak
(Ni), emas (Au), tembaga (Cu) dan krom
yang
(Cr). Diantara material-material tersebut
seperti
yang paling banyak digunakan adalah
(interferometer,
tembaga (Cu), material ini memiliki sifat
50/50
digunakan
biasanya untuk
yang
peralatan
menggunakan
sistem
instrumentasi
analisis
optik
spectrophotometer, photometer analyzer,
refleksi
dsb), instrumentasi medis (Ophthalmic,
(panjang gelombang lebih besar). Ditinjau
Glucose Monitors & Sensors, dsb), filter
dari sisi ekonomi, material ini relatif
Infrared
yang
murah dan banyak terdapat dipasaran
menggunakan prinsip optik ( (Ewing
sehingga mudah diperoleh (Herlambang
1985);
2012). Terdapat beberapa metoda yang
dan
peralatan
(Hariharan
2003);
lain
(Takenaka,
pada
daerah
digunakan
cahaya
Ichimaru dan Gullikson 2005); (Wang, Shi
umum
dan Ruan 2007)). Rasio refleksi per
lapisan tipis diantaranya sol-gel technique
transmisi tersebut menyatakan sebanyak
(Tola 2013), DC magnetron sputtering
50% intensitas cahaya yang datang akan
(Yunitama 2014), pulsed laser deposition
ditransmisikan sedangkan sisanya akan
(PLD) (Adnyana 2007), chemical vapor
direfleksikan pada sudut sinar datang
deposition (CVD) (Greve 1994), metal
tertentu khususnya sudut 45° (Herlambang
organic
2012).
(MOCVD) (Saragih 2010), dan spray
chemical
dalam
merah
vapor
pembuatan
deposition
pyrolysis (Nuryadin 2008). Metode lain
2
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2 seperti
chemical
ISSN 1979-8911 deposition
penelitian ini bertujuan untuk membuat
membutuhkan biaya fabrikasi dan investasi
lapisan oksida tembaga menggunakan
peralatan yang mahal, proses fabrikasi
metode spray pyrolysis dan aplikasinya
yang rumit karena membutukan temperatur
sebagai beam divider pada percobaan
dan
fisika (optika) di madrasah/sekolah, seperti
tekanan
memperoleh
vapor
yang
tinggi
kondisi
untuk
vakum
dan
memerlukan waktu proses produksi yang lama karena banyaknya langkah kerja yang harus
dilakukan.
Metode
percobaan
interferometer
Michelson-
Morley. 2. Studi Literatur
sol–gel Beam divider adalah salah satu alat
membutuhkan proses
pengubahan
sol yang
menjadi
gel
dan
proses
digunakan
dalam
pecobaan
annealing Michelson-Morley, dimana beam divider
membutuhkan waktu yang lama. Metode berfungsi untuk memecahkan sinar laser DC magnetron sputtering membutuhkan menjadi dua sinar koheren, yaitu 50% biaya untuk inventarisasi dan bahan kimia refleksi dan 50% transmisi (Herlambang yang
digunakan
sangat
mahal
dan 2012). Jika beam divider tidak memiliki
peralatan teknologi vakum mahal karena fungsi memecah sinar laser menjadi sinar reaktor-nya harus kuat untuk menahan refleksi dan transmisi, maka tidak ada tekanan
yang rendah.
Metoda spray pertemuan
dua
sinar
sehingga
tidak
pyrolysis merupakan metoda yang paling terbentuk pola interferensi. Bila cahaya banyak
digunakan
dalam
pembuatan mengenai suatu permukaan transparan,
lapisan tipis karena kemudahan prosedur maka sebagian cahaya dipantulkan (R) dari peralatan relatif sederhana, biaya sintesis permukaan atas dan sebagian cahaya dan
bahan
dasarnya
lebih
murah ditransmisikan (T) menembus permukaan
dibandingkan dengan metoda yang lain dasar ( (Macleod 2010); (Holland 1970)). (Syuhada
2008).
Oleh
karena
itu, Bagian sisanya hilang melalui proses 3
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
absorpsi (A) oleh elektron material. Hal-
suatu material yang ada kaitannya dengan
hal tersebut diatas dapat mengalami sifat
interaksi
optik lapisan tipis logam beam divider.
gelombang
Tiga fenomena fisis optik yang terjadi
cahaya,
yaitu refleksi, transmisi, dan absorbansi
Spektrum transmisi menunjukkan fungsi
dapat dilihat pada skema yang ditunjukkan
transmisi terhadap panjang gelombang.
pada Gambar 4.
Spektrum absorbs menunjukkan fungsi
Transmitansi,
absorbansi,
dan
reflektansi merupakan sifat optik dari
antara
material
dengan
elektromagnetik
seperti
khususnya
cahaya
tampak.
koefisien absorbsi terhadap energi foton cahaya.
Gambar 4. Model fisis peristiwa transmitansi, reflektansi, dan absorbansi pada beam divider. 2.1. Transmitansi
=
(1)
Didefinisikan sebagai rasio antara Hubungan intensitas cahaya
transmitansi
dengan
yang ditransmisikan ketebalan
dapat
diperoleh persamaan
dengan intensitas cahaya yang menuju sebagai berikut : sampel (Hummel 2001). =
(2) 4
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
sehingga nilai ketebalan yang semakin besar
menyebabkan
nilai transmitansi
semakin kecil.
berhubungan
dengan
transmitansi dan koefisien absorpsi dengan hubungan sebagai berikut (Petkov, et al.
= ln (3)
−
=− dengan
Reflektansi
ln
2003) :
=
(4)
merupakan koefisien absorpsi
optik. Berdasarkan data energi cahaya dan
1
ln
(1 − )
(6)
atau bisa dituliskan kembali sebagai berikut:
besarnya koefisien absorpsi optik, dapat
= √ exp
2
(7)
dibuat grafik hubungan antara energi cahaya terhadap kuadrat dari koefisien absorpsi (
2.3. Absorbansi Absorbansi
), yang selanjutnya disebut
sebagai grafik absorpsi,
dengan kurva
didefinisikan
sebagai
(Nadeem dan Ahmed 2000):
grafik absorpsi ini dapat ditentukan nilai
= log
band gap (Mitayani, M. 2013). Pada lapisan tipis berlaku:
2.2. Reflektansi
=
Didefinisikan sebagai rasio antara intensitas cahaya yang dipantulkan, IR, dengan intensitas cahaya awal,
maka:
(Hecht = 2,303
2002). =
(5)
dengan dan
dengan:
dan
adalah koefisien absorpsi
ketebalan
lapisannya.
= intensitas cahaya yang
dipantulkan.
5
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
Proses Sintesis Lapisan Tipis
Persiapan Prekursor Cu(NO3)2·3H2O
H2O
Reaktor Spray Pyrolysis (Tekanan 1 kg/cm2 selama 5 – 50 detik)
Larutan Tembaga Nitrat (0.005 – 0.1 M)
Lapisan Tipis Tembaga Oksida
Karakterisasi Optik dan Material Uji Karakteristik Optika (Interferometer Michelson-Morley, 50/50) Karakterisasi Material (Spektroskopi UV-Vis dan Scanning Electron Microscope (SEM))
Gambar 1. Skema pembuatan beam divider berbasis lapisan tipis tembaga oksida menggunakan metoda spray pyrolysis.
Gambar 2. Reaktor spray pyrolysis terdiri dari sprayer/atomizer, pemanas (hot plate) dan pengatur suhu. Tabel 1. Paramater deposisi lapisan tipis oksida tembaga Parameter Deposisi Tekanan deposisi
Besaran Satuan 1 kg/cm3
6
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
Waktu deposisi
(5-50) Detik
Konsentrasi
0.005 M-0.1 M
Jarak spray ke substrat
24 cm
Temperatur deposisi
300°C
3. Metode Eksperimen
(Gambar 2.). Larutan tembaga nitrat
3.1. Sintesis Lapisan Tipis Tembaga
disemprotkan
pada
substrat
kaca
menggunakan sprayer/ atomizer jenis Air
Oksida (Beam Divider) Beam divider berbasis lapisan tipis
Brush komersial dengan ukuran droplet
tembaga oksida disintesis mengunakan
sebesar 0,3 mm pada tekanan 1 kg/cm3
metode spray pyrolysis. Secara umum
selama 5 – 50 detik. Substrat kaca
sintesis lapisan tipis tembaga oksida terdiri
dipanaskan di atas permukaan pemanas
dari tiga tahapan utama, yaitu persiapan
pada suhu konstan sekitar 300 °C.
larutan, proses sintesis dan karakterisasi
3.2. Karakterisasi
optik
dan
morfologi
permukaannya
(Gambar 1.). Larutan tembaga nitrat
Lapisan
Tipis
Tembaga Oksida (Beam Divider) Karakteristik
optik
dan
morfologi
tembaga
oksida
dengan konsentrasi sebesar 0.005 – 0.1 M
lapisan
disiapkan dengan melarutkan tembaga
dikarakterisasi menggunakan pengukuran
nitrat hidrat (Cu(NO3)2·3H2O, MR = )
rasio refleksi dan transmisi, spektrometer
pada pelarut air murni. Reaktor spray
UV-Visible,
pyrolysis terdiri dari tiga bagian penting
Morley, dan scanning electron microscope
yaitu:
(SEM). Tujuan dari pengukuran ini adalah
sprayer/atomizer
untuk
tipis
interferometer
Michelson-
menghasilkan droplet larutan, pemanas
mengetahui
(hot plate) dan pengatur suhu pemanas
parameter sintesisi, seperti konsentrasi
hubungan/pengaruh
dari
7
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
larutan dan waktu deposisi, terhadap nilai
Morley
rasio refleksi dan transmisinya, spektrum
pembanding/validasi
absorpsi
antara
dan
transmitansinya,
dan
dicoba
beam
sebagai
pola
divider
interferensi
referensi
(LD-
morfologi
permukaannya.
Sedangkan,
Didactic, Jerman) dan beam divider yang
praktikum
interferometer
Michelson-
telah dibuat.
Gambar 3. Skema pengukuran (a) rasio transmisi dan refleksi sinar laser (630 nm), dan (b) perangkat percobaan interferometer Michelson – Morley.
Gambar 5. Sampel beam divider (lapisan tipis oksida tembaga) yang disintesis pada suhu 300 °C dan konsentrasi tembaga sebesar (a) 0,005 M, (b) 0,01 M, (c) 0,05 M dan (d) 0,1 M. 4. Analisis dan Interpretasi Data
4.1. Karakteristik Optik Lapisan Tipis Tembaga Oksida 8
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
Lapisan tipis oksida tembaga telah berhasil disintesis menggunakan metoda spray pyrolysis
pada suhu ~300 °C.
tembaga
oksida
dan
substrat
kaca
transparan, yang unik dan menarik. Karakteristik
optik
lapisan
tipis
Terbentuknya lapisan tipis tembaga oksida
tembaga
oksida
ditandai dengan perubahan warna substrat
metoda
pemantulan
kaca menjadi coklat-kemerahan seperti
transmisi sinar laser (630 nm) pada sudut
pada Gambar 5. Perubahan warna substrat
sinar datang sebesar 45°. Hasil pengukuran
tersebut
nilai rasio refleksi per transmisi (R/T) pada
menunjukan
pendeposisian permukaan
tembaga kaca.
terjadinya oksida
Hasil
diukur
menggunakan (refleksi)
dan
pada
beberapa variasi konsentrasi dan waktu
pengamatan
deposisi ditujukan oleh Gambar 6. Hasil
menunjukan bahwa konsentrasi dan waktu
pengukuran
pendeposisian
oksida
refleksi dan transmisi sinar laser bervariasi
berpengaruh terhadap perubahan warna
seiring dengan konsentrasi dan waktu
substrat,
kuantitas
deposisi. Pada sampel yang disintesis pada
oksida tembaga yang terdeposisi. Sehingga
konsentrasi larutan tembaga sebesar 0,005
dapat
ketebalan
M dan 0,01 M, yang memiliki nilai rasio
lapisan tipis oksida tembaga kemungkinan
refleksi dan transmisi sinar laser sebesar
dipengaruhi oleh konsentrasi dan lama
50%, dihasilkan pada waktu sintesis
waktu pendeposisian. Permukaan logam
masing-masing sebesar
padatan
(reflektor)
Sedangkan pada sampel yang disintesis
gelombang elektromagnetik yang sangat
pada konsentrasi larutan tembaga sebesar
baik. Oleh karena itu, lapisan tipis oksida
0,05 M dan 0, 1 M, tidak dihasilkan
tembaga pada permukaan substrat kaca
lapisan tipis dengan rasio refleksi dan
diharapkan
transmisi pada kisaran 50%. Karakteristik
tembaga
sebanding
dengan
disimpulkan
adalah
karakteristik
bahwa
pemantul
mampu optik
menghasilkan
gabungan,
lapisan
menunjukan
bahwa
rasio
40s dan 20s.
rasio refleksi dan transmisi sinar laser 9
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
tersebut kemungkinan dipengaruhi oleh
waktu deposisi lebih lama, menyebabkan
ketebalan lapisan tembaga oksida yang
terbentuknya lapisan oksida tembaga yang
terbentuk. Pada lapisan tembaga oksida
sangat tebal. Lapisan tembaga oksida yang
yang disintesis pada konsentrasi rendah
sangat
atau waktu sintesis pendek akan dihasilkan
pemantulan yang lebih tinggi (Gambar 6c
lapisan tembaga oksida yang sangat tipis.
dan 6d). Dengan demikian lapisan tipis
Lapisan tembaga oksida yang sangat tipis
tembaga oksida memiliki karakteristik
tersebut
optik yang unik, menarik dan sangat
menyebabkan
pemantulan
tebal
menyebabkan
gelombang elektromagnetik (laser) rendah,
potensial
dengan kata lain nilai transmisinya akan
satunya
lebih
(R/T~50%/50%).
tinggi
(Gambar
6a
dan65b).
untuk
terjadinya
dikembangkan,
sebagai
beam
salah divider
Sedangkan pada konsentrasi tinggi atau
Gambar 6. Nilai rasio refleksi dan transmisi sinar laser (630 nm) oleh lapisan tipis tembaga oksida (beam divider) pada beberapa variasi konsentrasi larutan dan waktu deposisi.
10
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2 Pengukuran
ISSN 1979-8911
spektrometer
UV-Vis
menyebabkan
terjadinya
penurunan
ditujukan untuk mendapatkan spektrum
intensitas transmitansi pada daerah cahaya
transmitansi lapisan tipis logam oksida
tampak (400 – 700 nm). Selain itu,
pada rentang panjang gelombang berkisar
intensitas transmitansi pada daerah cahaya
340
tampak
nm
-
1024
nm.
Gambar
7.
mengalami penurunan
seiring
menunjukan spektrum transmitansi lapisan
dengan peningkatan waktu deposisi lapisan
tipis tembaga oksida (beam divider) pada
tipis tembaga oksida. Intensitas transmisi
variasi waktu deposisi dan konsentrasi
pada daerah spektrum merah (630 nm)
larutan. Hasil pengukuran seluruh sampel
sebesar
menujukan terjadinya penurunan intensitas
konsentrasi 0,005 M dan 0,01 M pada
transmitansi yang tajam pada daerah 340
waktu sintesis masing-masing sebesar 40s
nm – 500 nm. Sedangkan pada daerah 500
dan 20s. Pengamatan ini konsisten dengan
nm hingga 100 nm, intensitas transmitansi
pengukuran rasio refleksi dan transmisi
mengalami
sinar laser merah (630 nm) pada sudut
peningkatan
yang
landai.
Gambar 7a dan 7d berhasil menunjukan bahwa
peningkatan
50%
berhasil
diamati
pada
sinar datang sebesar 45°.
konsentrasi
11
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2 (a)
ISSN 1979-8911 (b)
110 105 100 95
Transmitansi (%)
85
5 Detik 10 Detik 15 Detik 20 Detik 25 Detik 30 Detik 35 Detik 40 Detik 45 Detik 50 Detik
80 75 70 65 60 55 50 45
M = 0.005 M
40
Transmitansi (%)
90
35 30 300
400
500
600
700
800
900
1000
105 100 95 90 85 80 75 70 65 60 55 50 45 40 35 30 25 20
1100
M = 0.01 M
300
400
Panjang Gelombang (nm)
(d)
Transmitansi (%)
110
600
700
800
900
1000
1100
110
100
100
90
90
80
80
70 60
5 Detik 10 Detik 15 Detik 20 Detik 25 Detik 30 Detik
50 40 30
500
Panjang Gelombang (nm)
M = 0.05 M
20
Transmitansi (%)
(c)
5 Detik 10 Detik 20 Detik 30 Detik 40 Detik 50 Detik
70 60 50
5 Detik 10 Detik 15 Detik
40
M = 0.1 M
30 20
10 300
400
500
600
700
800
900
1000
1100
300
400
500
600
700
800
900
1000
1100
Panjang Gelombang (nm)
Panjang Gelombang (nm)
Gambar 7. Spektrum transmitansi lapisan tipis tembaga oksida (beam divider) pada variasi waktu deposisi dan konsentrasi larutan (a) 0,005 M, (b) 0,01 M, (c) 0,05 M dan (d) 0,1 M. 4.2. Karakteristik Morpologi
Lapisan
waktu deposisi masing-masing sebesar
Tipis Tembaga Oksida Pengamatan morfologi
struktur
permukaan
suhu substrat dan konsentrasi, dan variasi
mikro
atau
300°C dan 0,01 M, dan 10s – 40s
lapisan
tipis
(Gambar
8).
lapisan
untuk
alamiah
sebesar 10s menunjukan permukaan yang
pembentukan lapisan tipis terhadap waktu.
berpori dengan ukuran tidak homogen, dan
Sehingga dapat
sebagian
sifat
memberikan gambaran
dengan
permukaan
tembaga oksida (beam divider) bertujuan mengetahui
tipis
Morfologi
waktu
deposisi
permukaan
tidak
terlapisi
Struktur
mikro
tersebut
umum berkaitan pengaruh pembentukan
sempurna.
lapisan tipis terhadap karakteristik optik
kemungkinan besar yang menyebabkan
yang dimilikinya. Pengamatan dilakukan
intensitas transmitansi lapisannya lebih
pada sampel lapisan yang disintesis pada
besar. Kemudian, morfologi permukaan 12
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
lapisan tipis dengan waktu deposisi selama
bergelombang
20s memiliki kontur lapisan yang lebih
partikel. Dengan demikian dapat diartikan
rata dan hampur tertutupi sempurna (tidak
bahwa intensitas transmitansi lapisan tipis
berpori). Namun, morfologi permukaan
tersebut dapat diatur dengan pengaturan
lapisan
tipis
dengan
ketebalannya.
sebesar
20s
memiliki
waktu
deposisi
kontur
akibat
penumpukan
yang
Gambar 8. Citra SEM permukaan lapisan tipis oksida tembaga pada variasi waktu deposisi (a) 10 detik, (b) 20 detik dan (c) 40 detik, dengan konsentrasi dan perbesaran masing-masing sebesar 0.01 M dan 5000 kali.
13
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
Gambar 9. Pola interferensi sinar laser percobaan interferometer Michelson-Morley untuk (a) referensi LD-Didactic-Jerman, beam divider (b) (0,01 M, 20s), dan (c) (0,005 M, 50s).
Gambar 10. Pola interferensi pada percobaan interferometer Michelson-Morley untuk beam divider yang disintesis dengan kosentrasi 0,01 M dan waktu deposisi (a) 5s (87/13), (b) 10s (75/25), (c) 20s (50/50), (d) 30s (50/50), (e) 40s (33/67) dan (f) 50s (31/69). 4.3. Aplikasi
Optika
(Interferometer
menunjukan bahwa lapisan tipis tembaga
Michelson-Morley)
oksida berfungsi dengan baik dan potensial
Gambar 9 adalah citra digital pola
sebagai beam divider pada percobaan
interferensi sinar laser pada percobaan
optik,
interferometer Michelson-Morley untuk
Michelson-Morley. Nilai rasio transmisi
beam divider referensi dan lapisan tipis
per refleksi (T/R) sangat berpengaruh
tembaga oksida. Citra digital tersebut
terhadap
menunjukan
percobaan
terdapat
kesamaan
pola
interferensi pada penggunaan beam divider referensi dan lapisan tipis. Hal tersebut
khususnya
kualitas
interferometer
pengamatan
interferometer
atau
Michelson-
Morley (Gambar 10). Pada beam divider dengan
nilai
T/R
tinggi
(>1)
menghasilkan pola frinji yang banyak, 14
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
sehingga pola gelap terang sulit dibedakan.
sebesar
Pada beam divider dengan nilai R/T sama
parameter konsentrasi dan waktu deposisi
dengan satu menghasilkan jumlah frinji
masing-masing sebesar 0,01 M dan 20s.
sebanyak tiga buah dengan pola gelap
Pengukuran tersebut dapat dikonfirmasi
terang yang terlihat jelas. Sedangkan pada
dan
beam divider dengan nilai T/R yang kecil
spektometer UV-Vis, dimana intensitas
(<1) tidak dihasilkan pola gelap terang
transmisi lapisan tipis pada daerah cahaya
yang
demikian
tampak berubah seiring dengan pengaturan
dengan
konsentrasi dan waktu deposisi. Selain itu,
karakteristik rasio transmisi per refleksi
sifat alamiah penumbuah lapisan tipis
yang tepat sangat penting dilakukan untuk
tembaga oksida terhadap waktu telah
percobaan optik dengan kualitas yang baik.
dikonfirmasi menggunakan SEM. Hasil
nyata.
pengembangan
Dengan beam
divider
50%/50%
sesuai
dihasilkan
dengan
pada
pengamatan
pengamatan menunjukan bahwa waktu
5. Kesimpulan dan Saran
deposisi
sangat
berpengaruh
terhadap
Lapisan tipis tembaga oksida sebagai struktur mikro lapisan tipis tembaga beam divider pada percobaan optik telah oksida, yaitu porositas dan ketebalannya. berhasil
dikembangkan
menggunakan Kemudian,
percobaan
interferometer
metode spray pyrolysis. Lapisan tipis Michelson-Morley
telah
berhasil
tembaga oksida terbentuk pada permukaan menunjukan kesesuaian pola interferensi kaca memiliki sifat yang unik. Sifat sinar laser yang dihasilkan oleh beam lapisan tipis tembaga oksida sebagai divider referensi dan beam divider berbasis reflektor
dan
kaca
sebagai
substrat lapisan tipis tembaga oksida. Dengan
menhasilkan sifat refleksi dan transmisi demikian lapisan tipis tembaga oksida yang dapat diatur berdasarkan ketebalan berpotensi untuk dikembangkan
lebih
lapisannya. Lapisan tipis tembaga oksida dengan nilai rasio transmisi per refleksi 15
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
lanjut, terutama pada aplikasi percobaan
Hecht, Eugene. Optics, Fourth Edition.
fisika optika disekolah.
San Francisco, Amerika Serikat:
Daftar Pustaka
Addison Wesley, 2002.
Adnyana, I G. A. P., dkk. “Pengaruh
Herlambang, B. Pembuatan Beam Splitter
Ketebalan Lapisan Penyangga GaN
dari
Terhadap Struktur Kristal Dan
dengan Metoda Evaporasi Vakum
Sifat
untuk Alat Bidik Senjata. Depok:
Optik
Film
Ditumbuhkan
Tipis
Dengan
GaN
Metode
Lapisan
Tipis
Aluminium
Universitas Indonesia., 2012.
Pulsed Laser Deposition. .” FMIPA
Holland, L. Vacuum Deposition of Thin
Universitas Udayana. Denpasar,
Films. London: Chapman and Hall
2007.
Ltd., 1970.
Ewing, G.W. Instrumental Methods of Chemical Singapore:
Analysis.
5th
McGraw-Hill
Ed. Book
Company, 1985.
Hummel, Rolf E. Electronic Properties of Materials, Third Edition. Springer Science+Bussines
Inc:
Amerika
Serikat, 2001.
Greve, D.W. Thermal Chemical Vapor
Macleod, H.A. Thin Film Optical Filters.
Deposition of Semiconductors for
4th. Disunting oleh Boca Raton.
Thin Film Transistor Application .
CRC Press, 2010.
USA: Department of Electrical and Nadeem,
M.Y.,
dan
Waqas
Ahmed.
Computer Engineering, Carnegie “Optikal Properties of ZnS Thin Mellon University, 1994. Films.” Turki Journal of Physics, Hariharan, P. Optical Interferometry. 2nd
2000: 651-659.
Ed. San Diego: Academic Press, Nuryadin,
B.W.,
dkk.
“Pengembagan
2003. Reaktor Spray Pyrolysis dan Spray 16
Edisi Juli 2015 Volume IX No. 2
ISSN 1979-8911
Drying Untuk Sintesis Partikel Oksida
dan
Partikel
komposit
Tola, P. S., dkk. “Pengaruh Perlakuan Refluks dalam Pembuatan Sol-Gel
Berbentuk Bulat dan Berukuran
Nanokristal
Mikrometer.
Peningkatan
Nanosains
ITB.”
Jurnal
& Nanoteknologi 2
Surya
Saragih, H., dkk. Sifat Optik Lapisan Tipis
Terhadap
Karakteristik
Hibrid-nya.”
Nasional
(2008): --.
ZnO
Inovasi
Sel
Simposium
Pembelajaran
dan Sains. bandung, 2013.
In2O3 yang Ditumbuhkan dengan
Wang, Z.P., J.H. Shi, dan S.L. Ruan.
Metode MOCVD. Bandung: Institut
“Design of infrared non-polarizing
Teknologi Bandung, 2010.
beam splitters.” Optics & Laser
Syuhada, dkk. “Pembuatan Konduktor Transparan Dengan
Thin
Film
SnO2
Technology 39, no. 2 (2007): 394399.
Menggunakan
Teknik
Yunitama, A., dkk. “Pengaruh Temperatur
Pyrolysis.”
Jurnal
Penumbuhan Pada Struktur Dan
Himpunan Fisika Indonesia 8, no.
Sifat Listrik Film Tipis CdS:ZnS
1 (2008).
(5%) Yang Ditumbuhkan Dengan
Spray
Takenaka, H., S. Ichimaru, dan E.M. Gullikson. “EUV beam splitter for
Metode Dc Magnetron Sputtering.” Semarang, 2014.
use in the wavelength region around 6 nm.” Journal of Electron Spectroscopy
and
Related
Phenomena 144-147 (2005): 10431045.
17
