-
82
ISSN 0216 3128
Yunanto,
d!1!.
PENINGKATAN KETAHANAN KOROSI LAPISAN TIPIS Al PADA Fe HASIL DEPOSISI MENGGUNAKAN TEKNIK SPUTTERING DALAM MEDIA AIR DAN SUHU TINGGI Yunanto, Lely Susita, Suprapto PuslitbangTeknologiMajuBatan Yogyakarta ABSTRAK PENlNGKATAN KETAHANAN KOROSI LAPISAN TIPIS Al PADA Fe HASIL DEPOSISI MENGGUNAKAN TEKNIK SPUTTERING DALAM MEDIA AIR DAN SUHU TINGGI. Telah dilakukan peningkatan ketahanan korosi Fe bentuk as terhadap air don udara suhu tinggi dengan deposisi lapisan tipis At. Deposisi dilakukan dengan teknik sputtering sehingga terbentuk lapisan tipis Al yang melindungi Fe terhadap korosi. Dalam deposisi asas beifungsi sebagai anoda don target Al sebagai katoda. Supaya terjadi proses sputter target dilumbuki dengan ion Ar hasil ionisasi gas Ar dalam tablIngsputtering oleh tegangan tinggi Dc. Akibatnya atom Al ter/epas dan terhambur ke segala arah diantaranya ke substrat asas don dapat melindungi korosi. Dari hasil pengukuran yang dilakukan menggunakan potensiostat pada suhu kamar diperoleh penurunan laju korosi dari 0,156 mpy menjadi 0,035,mpy. Peningkatan berat sampel pada suhu 500 °c tanpa lapisan tipis Al adalah 0,00635 gr don dengan lapisan tipis Al 0,00185 gr. Peningkatan berat disebabkan karena terbentuk oksida besi tanpa lapisan tipis don terbentuk lapisan alumina oksida. Kondisi yang menghasilkan palingbaikyailu teganganelektrodai.OOOvolt,waktudeposisi30 menildon tekanan]0-1torr. ABSTRACT IMPROVEMENT OF CORROCION RESISTANCE Al THiN FILM ON Fe DEPpSITION RESULT WITH SPUTTERiNG TECHNiQUE ON WATER AND HIGH TEMPERATUREMEDiA. Improvement of corrosion resistance of Fe to air and water of high temperature has been carried out using an Al thin film deposition, its deposition by sputtering technique so that form Al thinfilm to protect corrosion of Fe. In the deposition thefunction of shaft is anoda and Al target as cathode, an ion Ar is produced by ionization Ar gas using DC high voltage. From its sputtering AI atom spultered to all direction toform thinfilm on the surface of shaft. The result of a corrosion measurement by potensiostat, the rate of corrosion decrease from 0,156 mpy to 0,039 mpy at room temperature water. The increasing of weight of 500 °c are 0,00635 gr without Al thin film and 0,00 J85 gr with AI thin film. The increasing of sample weight cuesed by formation of iron oxide and aluminium oxide. The optimal codition to form thin film at anoda cathoda voltage /.000 volt. 30 minutes duration deposition and pressure is J0-1torr
PENDAHULUAN
B
ahan dasar pembuatan untuk dimensi yang besar misalnya turbin gas pada reaktor nuklir, sudu turbin gas pada kapal lalit, PLTU clan pabrik petro kimia atau untuk dimensi yang kecil misal mang pembakaran pada mesin bakar diperlukan bahan yang tahan korosi terhadap air clan suhu tinggi. Untuk mengatasi serangan korosi pada lingkungan air digunakan bahan AI, sedangkan pada suhu tinggi sudah lama dikembangkan bahan paduan super. Bahan dasar daTi paduan ini kebanyakan daTi bahan nikel, tetapi ada juga yang menggunakan bahan dasar besi atau kobalt. Pengembangan bahan yang tahan terhadap korosi pada air serta suhu tinggi sudah lama dikembangkan oleh negara maju.. Pengembangan bahan ini disebabkan karena penggunaan bahan untuk keperluan tersebut di alas memerlukan kekuatan suhu yang lebih tinggi. Bahan ini hams mampu bertahan sampai suhl! 8000 C atau bahkan sampai suhu 1.000° C. Selain hams menanggung Prosiding
Pertemuan
suhu tinggi juga tegangan yang tinggi karena putaran yang sangat tinggi- Bahan logam pada udara terbuka hila suhunya mencapai 300 0 C akan timbul oksida dengan laju yang tinggi, oksida ini mudah menjadi gas clan menguap yang pada akhimya akan dapat menghabiskan logam tersebut secara pelan-pelan(')' Selain menggunakan paduan daTi bahan dasar nikel, besi clan kobalt dikembangkan juga pembuatan bahan tahan korosi suhu tinggi yaitu dengan memadukan besi dengan bahan reaktif misalnya ytrium, zirkonium, titanium, cerium. Dalam pembuatan bahan tahan korosi suhu tinggi ini dengan cara mencampur unsur Fe dengan salah satu unsur reaktif dengan prosentase sekitar 1 %. Metode ini mempunyai kekukurangan yaitu memerlukan unsur reaktif dengan jumlah yang, cukup banyak. Sedangkan harga daTi bahan unsur reaktiftersebut mahal harganya. Metode lain adalah dengan memadukan unsur reaktif hanya pada permukaan saja dcngan menembakkan unsur rcaktif dengan medan listrik dalam mang hampa.
dan Presentasi IImiah Penelitian Dasar IImu Pengetahuan P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
dan Teknologi Nuklir
Yunanto, dkk
-
ISSN 0216 3128
Penembakan dapat dilak-ukan dengan mesin implantasi ion atau dengan teknik sputtering(2). Ada metode lain yang lebih sederhana untuk meningkatkan ketah:man korosi pada suhu rendah yang dibuat dari unsur dasar Fe (untuk mendapatkan kekuatan mekanik yang eukup besar) tetapi tetap tahan korosi terbadap cairan dengan memberi lapisan tipis AI. Bahan Al mempakan bahan yang aktif hila berhubungan dengan udara maka akan terbentuk lapisan tipis pelindung terbadap korosi. Lapisan tipis ini akan memisahkan permukaan Al dengan media cairan, sehingga diantara media cairan dengan permukaan AI tidak ada aliran elektron atau paling tidak mengurangi aliran elektron yang pada akhirnya akan menurunkan laju korosi. Sedangkan untuk lingkungan suhu tinggi lapisan tipis Al juga meneegah timbulnya kerak oksida yang. dapat mengerogoti permukaan Fe seeara pelan-pelan(3). Paduan FeAI dapat digunakan untuk ketahanan korosi suhu tinggi, karena paduan ini hila bersinggungan dengan udara pada suhu tinggi akan membentuk lapisan oksida alumina oksidapada permukaannya. Lapisan alumina oksida tersebut mempunyai kestabilan termodinamik sangat baik. Selain itu adanya lapisan alumina oksida dapat menghambat tembusan tritium yang dapat membahayakan lingkungan pada sistem reaktor suhu tinggi. Jari-jari Allebih besar 12 % darijari-jari Fe, tetapi karene atom Al dipereepat dengan medan listrik di dalam mang vakum lagi pula Fe menjadi panas karena mendapat tumbukan dari atom Al maka atom Al akan mampu berdifusi ke susunan atom Fe membentuk senyawa FeAl. Terbentuknya senyawa ini juga dapat digunakan untuk pelindung korosi terhadap air clan korosi suhu tinggi. Paduan ini hanya digunakan untuk keperluan yang sederhana yaitu pembuatan knalpot kendaraan bermotor clan turbin gas keeil. Paduan ini dapat dibuat dengan memadukan kedua bahan Fe clanAI. Keuntungannya paduan ini dapat dibuat dengan mudah clanbiaya relatif lebih murah. Untuk membuat paduan FeAI ada metode sederhana yaitu dengan memanaskan Fe pada suhu leleh Al clan dieampur dengan serbuk AI, maka Fe akan terlapisi bahan Al eukup tipis dapat melindungi bahan Fe yang mudah diserang korosi. Sifat bahan ini mempunyai sifat mekanik yang kuat tetapi lebih tahan korosi. Penempelan bahan Al pada permukaan Fe tidak begitu kuat, hila dibandingkan dengan metode sputtering(I,6). Untuk mendeposisikan bahan Al pada substrat Fe bentuk as menggunakan teknik sputtering bentuk silinder yaitu bahan target Al
83
ditumbuki dengan ion AT dalam mang vakum dari anoda yang berfungsi juga sebagai tempat substrat . Sebagian atom pada target akan terpental keluar melalui transfer momentum. Atom yang terbambur ini akan bergerak ke segala arab dengan tenaga yang eukup besar untuk dapat menyisipkan sebagian dari atom AI. Atom terhambur tersebut sebagian bergerak menuju menuju anoda. (substrat) dan membentuk lapisan tipis AI merekat dengan kuat pada substrat
Fe(4.S).
Pereikan atom target pada substrat sebanding dengan tegangan elektroda dan waktu deposisi serta berbanding terbalik dengan jarak elektroda dan tekanan gas. Dengan melakukan variasi parameter tegangan elektroda, waktu deposisi dan tekanan diharapkan akan didapat lapisan tipis Al yang tahan terbadap terbadap air dan korosi suhu tinggi.
TAT A KERJA DAN PERCOBAAN Penyiapan cuplikan Suatu komponen mesin atau konstruksi biasanya berbentuk as, untuk itu pada penelitian ini digunakan elektroda bentuk silinder. Target dibuat daTi bahan Al berbentuk silinder diameter 16 em tebal 1 mm panjang 20 em. Substrat terbuat dari bahan Fe dipotong dengan diameter 14 mm dan tebal 1 mm. Peralatan sistem sputtering bentuk silinder yang digunakan terdiri dari : tabung sputtering dindingnya dari kaea pyrex dengan target Al bentuk silinder clan substrat Fe, pompa vakum rotari, vakum meter, surnber tegangan tinggi DC yang dapat diatur tegangannya, pengatur tekanan gas clansumber gas Ar. Pendeposisian
lapisan tipis
Deposisi lapisan tipis Al pada substrat Fe target Al diletakkan pada bagian silinder luar yang berfungsi juga sebagai katoda. Substrat Fe diletakkan pada tempat substrat yang juga berbentuk silinder dengan diameter jauh lebih keeil berfungsi juga sebagai anoda yang terletak di dalam silinder luar. Tabung sputtering divakumkan sampai 4.10-2 torr dengan pompa vakum rotari, kemudian gas AT dialirkan ke dalam tabung sputtering melalui pengatur tekanan gas rnaka tekanan gas naik menjadi 7.10-2torr. Gas AT diionisasikan dengan sumber tegangan tinggi DC, ion argon dipereepat menuju target AI. Atom Al akan terlepas menuju substrat dengan tenaga yang eukup besar pula, sehingga sebagian atom Al membentuk lapisan tip is Al pada permukaan substrat Fe.. Untuk mendapatkan lapisan tip is Al yang paling baik, maka dilakukan
Prosiding Pertemuan dan Presentasilimiah Penelitian Oasar IImu Pengetahuan dan Teknologi Nuklir P3TM-BATAN Yogyakarta. 8 Juli 2003
-
84
ISSN 0216 3128
variasi tegangan elektroda, waktu deposisi dan tekanan gas argon. Pengukuran
laju korosi menggunakan
potensiostat
,
laju korosi suhu tinggi
Untuk mengukur laju korosi suhu tinggi dapat dilakukan dengan TGA. Alat ini prinsipnya sampel yang diukur dipanasi dengan suhu tinggi tertentu dalam kurun waktu yang panjang. Sampel tersebut selain dipanasi juga ditimbang. Dengan demikian akan diperoleh data hubungan antara waktu pemanasan dengan perubahan berat. Data daTi TGA ini dimasukkan komputer atau rekorder untuk dapat dibuat graftk. Selain menggunakan TGA dapat dilakukan dengan eara sederhana yaitu dengan memanaskan pada suhu clan waktu tertentu kemudian ditimbang perubahan berat dengan timbangan analitik yang dapat megukur perubahan dalam aIde 10-5g. Pada penelitian yang dilakukan menggunakan cara yang sederhana ini
HASIL DAN PEMBAHASAN Sebelum penelitian ini pemah dilakukan juga penelitian peningkatan ketahanan korosi tetapi dengan metode plasma nitridasi dengan substratnya Al dalam media air bebas mineral.. Terjadi penurunan laju korosi sebesar 500 %. Sedangkan yang menggunakan sputtering dengan substrat Fe adalah Fe dideposisi dengan lapisan tipis Zn dengan media air bebas mineral clan Fe dideposisi dengan lapisan tipis AlZn tetapi dengan media air yang mengandung garam. Penurunan laju korosinya masing-masing 165 % clan 400 %. Jadi penelitian ini menghasilkan basil lebih baik clan hanya dapat dibandingkan dengan penelitian Fe yang dideposisi dengan lapisan tipis Zn Gambar I sampai dengan 5 menyajikan grafik hubungan antara tegangan elektroda, waktu deposisi, tekanan gas argon clan sudut substrat
Prosiding
terhadap laju korosi daD laju korosi pada suhll tinggi.
0.17
Substrat Fe sebelum daD sesudah dideposisi dengan lapisan tipis Al diukur laju korosinya menggunakan potensiostat galvanostat merk Taeussel tipe PGS 201 T. Untuk mendapatkan kurva yang menunjukkan laju korosi suatu bahan dilakukan beberapa langkah : media pengkorosi dari air bebas mineral sebanyak 200 ml dimasukkan dalam gel korosi, substrat diletakkan pada pemegang substrat dimasukkan dalam gel korosi, setiap proses tegangan dinwlai pada Eawal-1.000 mV lawan Ekorosiserta berakhir pada Ealchir1.600 mV lawan Eref dengan kecepatan pelarikan 20 mV/detik. Pengkuran
Yunanto, dkk
Pertemuan
1,,-11
0.15
is:
0.13
.§. 0.11
]~
0.1»
:J
OD7
S
CI.C5
om 0
SIll
7SO
1DI
tegangan
(Volt)
12SO
8JO
Gambar 1. Graftk hubungan antara tegangan elektroda dengan laju korosi FeAI Gambar 1 menyajikan graftk hubungan antara tegangan elektroda dengan laju korosi substrat Fe. Substrat sebelum dideposisi dengan Al laju korosinya adalah 0,159 ropy clan setelah dideposisi dengan Allaju korosinya turun. Semakin tinggi tegangan elektroda ada keeenderungan laju korosi menurun eukup banyak, menjadi minimumnya sebesar 0,035 ropy, hal ini karena semakin tinggi tegangan elektroda maka tenaga ion argon yang menumbuk target Al semakin kuat, sehingga pereikan atom Al yang dihasilkan eukup banyak yang akhimya membentuk lapisan tipis Al yang eukup tebal tebal. Demikian juga lapisan tipis aluminium oksidanya juga semakin kuat. Dengan demikian interaksi antara cairan dengan permukaan Fe semakin kecil (arus korsinya turun). Pada tegangan 1.250 volt tenaga ion argon semakin besar, sehingga pereikan yang dihasilkan yang menumbuk substrat juga semakin besar. Dengan demikian sebagian atom Al sebagian terpental lagi clan tidak membentuk lapisan tipis Al pada permukaan Fe, sehingga lapisan terbentuk semakin tipis yang mengakibatkan interaksi permukaan clan eairan semakin besar lagi. Hal ini menyebabkan laju korosinya naik lagi. Pada Gambar 2 disajikan grafik hubungan antara waktu deposisi dengan laju korosi. Laju korosi eenderung menurun dengan bertambahnya waktu, hal ini disebabkan karena dengan bertambahnya waktu deposisi, dengan parameter tegangan elektroda, tekanan gas, jarak elektroda yang sarna maka lapisan tipis yang terbentuk semakin tebal. Dengan bertambahnya tebal lapisan tipis AI, maka interaksi eairan yang langsung bersinggungan dengan substrat Fe yang dideposisi lapisan tipis Al (ada lapisan tipis pelindung oksida) semakin kecil. Selain itu waktu untuk meggerogoti lapisan tipis Al bertambah lebih lama. Dengan demikian aIDSkorosinya turun menjadi 0,043 ropy
daD Presentasilimiah Penelitlan Casal IImu Pengetahuan P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
daD Teknologi Nuklir
-
ISSN 0216 3128
Yunanto, dkk
walaupunnaik lagi setelah waktu deposisi 60 menit. Hal ini disebabkan semakin teballapisan tipis yang terbentuk maka kerapatan atonmya meningkat dan akan timbul pori-pori yang dapat dengan mudah dialiri arus ~lektron dari cairan menuju substrat. Hal ini menimbulkan juga korosi sumuran kedlkecil di seluruh permukaan substrat Fe.
85
pada tekanan ini ion argon yang terionisasi cukup banyak dan tidak saling bertumbukan dengan partikel lain, sehingga teBaga ionnya cukup besar dengan jumlah yang cukup besar pula. Hasil percikannya juga semakin banyak yang akhirnya menghasilkan lapisan tipis Al yang cukup tebal dan kuat merekat pada substrat Fe.
"'-11
0.17
0.119-".._1
~
0.'6
.5.
0.11
.5.
ore
"8
0.1t
~ 0 .><
0075
~::J ~
>:
c.
009
::J
~
007 005
om
0JJ6S
007 0065 D.O6
0
30
.cs
60
7S
so
115
0
waktu (manit)
0."
1,,-
.~
11
0.14 0.12
0.1
1? ore ::J
~
006 004 D.O2 0
0.05
D.O6
007
tekanan
210
-
is: .5.
111
Gambar 4 .Grafik hubungan antara posisi pada sudut 00 2700dengan laju korosi
Gambar 2. Grafik hubungan antara waktu deposisi dengan laju korosi Fe
~
so
sudut posisi (derajat)
ore
009
0.\
(Torr)
Gambar 3. Grafik hubungan antara tekanan gas argon dengan laju korosi Fe Tekanan gas pada proses sputtering memegang peranan yang renting, karena gas argon yang sudah terionisasi menentukan banyaknya ion argon yang menumbuki target. Sernakin tinggi tekanan gas argon rnaka sernakin banyak ion argon yang dihasilkan, sehingga akan menghasilkan percikan atom target yang sernakin banyak. Tetapi dengan naiknya tekanan gas rnaka jalan bebas ratarata ion argon menuju target akan semakin besar. Hal ini menyebabkan ion Ar akan bertumbukan dengan ion Ar sendiri rnaupun oleh partikel lain yang ikut terionisasi. Pada Gambar 3 dapat dilihat laju korosi langsung turun secara nyata pada saat tekanan gas 5.10-2torr yaitu 0,07 ropy. Setelah tekanan tersebut laju korosinya naik lagi karena tenaga ion argon semakin lemah, sehingga akan menghasilkan lapisan tipis AI yang semakin tipis. Pada tekanan 10-1torr laju korosinya justru turun lagi mencapai minimum yaitu 0,027 ropy. Hal ini kemungkinan
Komponen industri seperti pipa atau penyangga mesin berbentuk as. Dengan demikian penelitian ini adalah untuk memberi lapisan tipis Al pada susbtrat Fe bentuk as, sehingga dalam pembuatan lapisan tipis Al disini menggunakan elektroda berbentuk silinder dimana katodanya dari bahan AI. Dengan demikian percikan atom Al basil tumbukan dengan ion argon yang terdeposisi pada substrat Fe tidak dapat persis sarna antara satu titik dengan titik yang lain. Ketidak homogenan ini kemungkinan disebabkan dari jarak elektroda (antara target clan substrat) tidak persis semua, sehingga basil percikannya juga tidak sarna. Selain itu teIjadinya senyawa antara ion Al sebelum sampai substrat juga tidak persis sarna. Oleh karena itu laju korosi antara ke empat substrat tidak sarna. Perbedaan terbesar antara sudut 900 dengan sudut 1800 adalah 0,3 ropy, sehingga homogenitas basil deposisi lapisan tipis Al adalah 0,66. Grafik hubungan antara posisi sudut substrat disajikan pada Gambar 4. Pada bahan yang tidak dideposisi dengan lapisan tipis anti korosi suhu tinggi maka pada permukaan bahan tersebut akan timbul kerak akibat oksida FeO3. Kerak ini ketebalannya akan semakin meningkat selaras pertambahan waktu. Peningkatana ketebalan kerak ini mengakibatkan peningkatan berat bahan yang terkorosi. Tetapi kerak tersebut pada suatu saat akan lepas dari permukaan bahan yang tidak diberi perlindungan, sehingga beratnya akan berkurang. Pada Gambar 5 disajikan hubungan antara waktu pemanasan dengan berat bahan Fe tanpa deposisi Al clan dengan deposisi AI. Untuk bahan
Prosiding Pertemuan dan Presentasi IImiah Penelitlan Dasar lImn Pengetahuan dan Teknologl Nuklir P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
-
ISSN 0216 3128
86
Yunanto, dkk !!:!,."
Fe tanpa deposisi Al beratnya cenderung naile menjadi 0.00635 g dengan meningkatnya waktu pemanasan, walaupun setelah itu peningkatan beratnya hanya sedikit. Sedangkan untuk bahan Fe yang diberi lapisan tipis Al dengan ketebalan yang berbeda menghasilkan stabilitas berat yang berbeda pula. Perubahan berat ini terutarna disebabkan pada bagian substrat yang tidak terkena deposisi (bagian sebalik). Bahan Al akan membentuk A12O3bila bersinggungan dengan udara pada suhu tinggi Dengan demikian lapisan tipis tersebut akan tahan terhadap oksidasi. Lapisan alumina oksida berkembang sangat lambat daD mempunyai kestabilan termodinamik yang baile.
penurunan laju korosi pada pada substrat bentuk aSi' Kondisi parameter variasi waktu deposisi 30 menitj\ tekanan 10-1torr, tegangan anoda 1.000 volt dari 0,156 mpy menjadi 0,027 mpy. Pengaruh tegangan anoda clanwaktu juga memberikan kontribusi pacta penurunan Iaju korosi, terjadi penurunan laju korosi dari 0,156 mpy menjadi 0,035 mpy daD dari 0,156 mpy menjadi 0,0.043 mpy. Penurunan laju korosi ini lebih baile dibandingkan dengan substrat Fe yang dideposisi dengan lapisan tipis Zn. Selain lebih tahan terhadap cairan lapisan tipis Al pada Fe juga lebih taban terhadap suhu tinggi 500 °c dengan penambahan berat yang lebih kedl dari pactasubstrat standar yaitu sebesar 0,00185 g.
UCAP AN TERIMA KASIH Pacta kesempatan ini Penulis menyampailean ucapan terirna kasih kepada Sdr.Edi yang telah membantu membuat lapisan tipis AI. Sdri. Ratmi Herlani Amd yang telah mengukur laju korosi dengan Potensiostat.
I+FeAJ1 ~FeA12 -Fe!
0006
0.006
:§ 0.004 'ti3
B
0.002
0
5
1)
waktu pemanasan
15
20
Oam)
Gambar 5. Grafik hubungan antara waktu pernanasan dengan perubahan berat Pacta substrat pertarna yang diberi lapisan tipis menghasilkan penurunan berat, barn setelah itu naik lagi karena pacta bagian yang tanpa deposisi timbul kerak oksida. Penurunan berat ini karena pacta suhu 5000 C kemungkinan acta sebagian kecil unsur Al yang menguap atau kerak oksidasinya juga menguap.. Sedangkan pacta substrat yang kedua tidak terjadi penurunan berat karena unsur Alnya hanya sedikit clan merekat dengan kuat clan sebagian menyisip pacta permukaan Fe..
KESIMPULAN Dari basil percobaan clan pengamatan yang telah dilakukan dapat diambil beberapa kesimpulan bahwa dengan menggunakan target Al bentuk silinder , rnaka dapat dilakukan pelapisan Al pacta substrat Fe dengan bentuk as yang cukup homogen. Deposisi lapisan tipis Al pacta Fe untuk ketahanan korosi bahan seeing digunakan pacta saluran pendingin peralatan laboratorium, knalpot kendaraan bermotor, sudu turbin gas kecil.. Dalam hal ini parameter yang renting pacta proses pelapisan tersebut adalah waktu deposisi, tegangan anoda clan tekanan gas. Dengan menggunakan .sistem sputtering bentuk silinder diperoleh
DAFT AR PUST AKA 1. CHAMBERLAIN J, TRETHEWEY KR., "Korosi", PT Gramedia Pustaka Utama, Jakarta, 1991 2. BENNET NJ, MOON DP, LANGE,"The role reactive element in the oxidation behaviour of high temperature metal and alloys", Elsevier Science, London, 1989 3. SW GREEN, FH STOTT,"The efectiveness of aluminuzing in protecting iron base alloys in sulphidizing gases at high temperature, Oxidation of of metals, 36 239-252 (1991). 4. J MORT, F JONSON,"Plasrna Deposited Thin Film", CRC Press Inc. Florida, 1985. 5. M. SUNTHANKAR, SD JOSHI,"Zero Waste Dry Plating", Society of Vacuum Coaters, 1997. 6. KIYOTAKA W, SHIGER H, Handbook Sputter Deposition Tecnology, Noyes Publication, New Yersey, 1991. 7. LAWRENCE, VAN VLACK, "Ilmu clan Teknologi Bahan", Penerbit Erlangga, Jakarta, 1991
Prosiding Pertemuan dan Presentasilimiah Penelitian Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nuklir P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
Yunanto, dkk
-
87
ISSN 0216 3128
Yunanto
.
TANYAJAWAB DR. Tri Mardji A. ~ Mengapa digunakan metode DC Sputtering, tidak RF, apa keuntungannya. ~
.
Berapa ketebalan lapisan AI, apakah tebal ini memberikan perlindungan terhadap korosi seeara optimal ?
Yunanto
.
.
Digunakan DC Sputtering karena targetnya bahan konduktor, sedangkan keuntungannya pembuatan eatu daya DC lebih mudah daDmurah. Ketebalan lapisan tipis Al pada.penelitian ini tidak diukur ketebalan lapisan tipis yang menghasilkan perlindungan yang optimal pada parameter tegangari elektroda 1000 volt waktu deposisi 30 menU,tekanan 10-1torr.
M. Husna Al Hasa ~
SejaOOmana ketahanan korosi hila terjadi pada media udara sOOutinggilbukan air.
~
Bagaimana pengaruh sOOu yang mengakibatkan lapisan. semakin tebal daD berakibat semakin rapuh/peeah.
Lapisan tipis Al selain tahan korosi terhadap airjuga tahan tahan udara suhu tinggi, sedangkan ketahanan korosi terhadap air yang mengandung asam atau garam ketahanan korosinya menurun. Pengaruh ketahanan lapisan tipis Al terhadap ketahanan korosi adalah semakin tebaljustru akan limbul pori-pori atau kemungkinan rapuh yang menyebabkan ketahanan korosinya turun lagi.
Sigit H. ~ Bahan selain Al untuk ketahanan korosi ? ~
Untuk bahan Al tahan sampai berapa lama ?
~
Berapa target yang diinginkan untuk ketahanan korosi ini ?
Yunanto
. . .
Selain bahan Al ada lagi bahan yang tahan korosi misalnya Ti, Cr, Ce, Y tetapi harganya mahal. Lamanya ketahanan korosi bahan Al tidak dapat diperkirakan karena ketebalan lapisan tipis tidak diukur. Target ketahanan korosi untuk suhu tinggi dapat mencapai ketahanan suhu tinggi 800 °c.
Prosiding Pertemuan dan Presentasillmiah Penelitlan Dasar IImu Pengetahuan dan Teknologl Nuklir P3TM-BATAN Yogyakarta, 8 Juli 2003
