PENGARUH IMPLANTASI ION-ION BORON DAN KARBON PAD A SIF AT MEKANIK PERMUKAAN BESI Sudjatmoko, Tjipto Sujitno, Sri Sulamdari, Lely SusitaRM., Elin Nuraini P3TM-BATAN.Kotak Pas1008. Yogyakarta55010
ABSTRAK PENGARUH IMPLANTASIION-ION BORON DAN KARBON PADA SIFAT MEKANIK PERMUKAAN BRS'I. Da/am pene/itian ini te/ah di/akukan imp/antasi ion-ion boron don karbon pada permukaan besi. lmp/antasi di/akukan untuk berbagai variasi dosis don energi ion dengan tujuan dapat dihasi/kan sifat-sifat mekanik yang /ebih baik. yaitu /ebih keras don atau tahan terhadap keausan. Variasi dosis ion di/akukan dengan ni/ai 10/6 hingga orde 10/7 ionlcm2 don energi divariasi dari 10 keV hingga 100 keV Uji kekerasan mikro di/akukan dengan a/at uji kekerasan mikro "Digita/ Type Microhardness Tester MX 170". Hasi/ penelitian menunjukkan bahwa kekerasan optimum permukaan besi (Fe) yang diimplantasi ion boron dicapai pada dosis ion 8,4 x 10/6 ionlcm2 don energi 60 kef/; sedongkan kekerasan optimum permukaan besi sete/ah diimplantasi dengan ion karbon dipero/eh pada dosis ion 1,8 x 10/6 ionlcm2 don energi ion 70 keV Dengan demikian dapat disimpulkan bahwa implantasi ion boron maupun karbon dapat mengubah don memperbaiki sifat mekanik bahan metal.
ABSTRACT EFFECT OF BORON AND CARBON IONS IMPLANTATION ON THE MECHANICAL PROPERTIES OF IRON. In this research the boron and carbon ions implantation on the surface of iron has been done The ion implantation was done by varying of the ion dose and energy with the aim that a better mechanical properties, i.e the increase in its hardness and/or wear resistance could be obtained The ion dose variation was done fromIOl6 to 1017 ionlcm2 and the ion energy was varied from 10 keV to 100 kell: The microhardness testing was done by "Digital Type Microhardness Tester MXT70". It was obtained that the optimum hardness of iron (Fe) implanted with boron ions was achieved at ion dose 8,4 x 1016 ion/cm2 and energy 60 ke V, while the optimum hardness of iron implanted with carbon ions is achieved at ion dose 1,8 x 1016ionlcm2 energy 70 ke II: It could be concluded that the boron and carbon ions implantation could modify and improve the mechanical properties of metal.
PENDAHULUAN T eknik implantasiion pada saatini telah berhasil dimanfaatkan secara luas dalam fabrikasi piranti-piranti semikonduktor. Akan tetapi pada tahun-tahunterakhir ini teknik implantasi ion telah mendapatkanperhatian yang cukup besar sebagai cara untuk memperbaiki sifat-sifat mekanik permukaan suatu bahan. Teknik ini apabila digunakanpada metal dan paduanmetal, terutama bahan besi, memperlihatkansuatuyang unik pada sifat mekaniknya, yaitu dapat memperbaiki sifat kekerasan, ketahanan aus dan gesekan, korosi, oksidasi,kelelahan,dsb. [1,2,3]. Beberapapenelitian yang telah dilakukan oleh para peneliti terdahulu terutama mempelajariefek implantasi ion nitrogen pada sifat-sifatgesekan,keausan,dan kelelahandari besi.[1,4,5,6].Ada beberapateori yang menerangkan mengapa nitrogen yang terimplantasi dapat memberikansumbanganterhadappeningkatansifatsifat mekanikdari besidan paduannya.Berdasarkan pada efek-efek yang teramati, pembentukanrase kedua dan interaksi interstisi-dislokasi dapat memberikan sumbangan pada perbaikan sifat mekanik metal. Akan tetapi secara keseluruhan kurang sesuai dengan tinjauan fisika metalurgi,
sehingga memungkinkan memberikan penjelasan lebih umumtentangfenomenatersebut. Olehkarena itu, hingga saat ini masih banyak dilakukan penelitian tentang perubahansifat mekanik bahan metalakibatimplantasiion nitrogen. Akhir-akhir ini, modifikasi sifat permukaan bahan juga dapat diperoleh dengan pembentukan strukturpermukaanbahanmetalpadakeadaanamorf menggunakanteknik implantasi ion. Suatu metal dalam keadaan amorf secara umum adalah pada suatuenergi termodinamiktertinggi daripadadalam kondisi kristal normal, oleh karena itu diharapkan menjadireaktif pada suatulingkungankorosif. Jenis ion boronyang diimplantasikanpadabesikemurnian tinggi dan stainless-steel akanmenghasilkanstruktur amorf dalam daerahpermukaan,dan meningkatkan ketahananterhadap korosi [7]. Selain itu ada kemungkinanuntuk memperbaikisifat kekerasandan ketahanan aus suatu permukaan metal. Dalam makalah ini dilaporkan basil penelitian tentang pengaruhimplantasiion boron dan karbonpada sifat mekanik permukaanbesi, terutama sifat kekerasan dan ketahananausnya. Perubahansifat mekanik tersebut tergantung pada beberapa parameter implantasi,antara lain adalahdosis dan energi ion, jenis ion dopan dan jenis bahan target. Tujuan
penelitian adalah mendapatkan perubahan daD perbaikan sifat mekanik besi, khususnya sifat kekerasan daD ketahanan aus, setelah dilakukan implantasi ion boron daD karbon pada permukaan besi. Dengan melakukan variasi dosis ion, energi ion untuk dua jenis dopan boron daD karbon. Dengan variasi dosis daD energi ion, diharapkan akan diperoleh dosis maupun energi ion yang tepat sehingga akan diperoleh sifat sesuai dengan yang diiginkan dengan demikian diharapkan akan diperoleh sifat kekerasan daD ketahanan aus yang optimum.
TATA KERJA DAN PERCOBAAN Tata kerja dan percobaan dari penelitian ini dapat dikelompokkan dalam tiga kegiatan utama sebagai berikut. I. 2. 3.
Persiapan bahandan cuplikan Proses implantasi ion Pengujian atau karakterisasi cuplikan
Persia pan Bahan dan Cuplikan Bahan-bahan yang digunakan dalam penelitian ini terdiri dari bahan sebagai target dan bahan dopan yang diimplantasikan. Bahan target yang digunakan adalah besi (90,1% Fe) dan bahan dopan adalah boron dan karbon (da/am ben/uk gas). Bahan target berbentuk keping silinder diameter 15 mm dan tebal sekitar 2 mm dihaluskan pada salah satu permukaannya menggunakan kertas abrasif berukuran 600 sampai 1.800, sehingga dihasilkan suatu permukaan yang sangat halus. Kemudian dilakukan pemolesan dengan pasta intan dan penggosokan menggunakan kain beludru, sehingga dihasilkan suatu permukaan bahan yang sangathalus dan mengkilap. Pencucian cuplikan dilakukan menggunakan air mumi dan alkohol untuk menghilangkan kemungkinan adanya kontaminasi minyak atau lemak dan kotoran debu, selanjutnya dilakukan pengeringan pada suhu sekitar 100 °C. Proses Implantasi Ion Akselerator implantasi ion yang digunakan dalam penelitian ini adalah akselerator ion energi rendah hasil rancang-bangun PPNY Batan. Akselerator ini terdiri dari beberapa komponen utama, yaitu sumber ion jenis Penning, generator tegangan tinggi Cockcroft-Walton, tabung akselerator, lensa kuadrupol, sistem vakum, sistem pemisah massa, sistem pemayar berkas ion dan tempat cuplikan. Cuplikan besi yang telah disiapkan masing-masing diimplantasi dengan ion boron dan karbon. Perubahan sifat mekanik bahan metal terjadi pada dosis ion di alas 1016 ion/cm2, dan energi ion beberapa puluh keY. Oleh karena itu dalam proses implantasi dilakukan variasi dosis dan energi ion dopan; dosis ion bervariasi dari 1016hingga 1017 ion/cm2, dan energi ion bervariasi antara 10 hingga
Sudiatmoko.dkk
100 keY. Pemi1ihandosis ion dalam orde 1016 ion/cm2, hingga orde 1017 ion/cm2 tersebut dimaksudkan agar diperoleh konsentrasi ion boronlkarbonyang mampu membentukrasa keras. Sedangkanvariasi energidalamorde 10keY hingga 100 keY denganmaksud agar diperoleh distribusi ion-ion boronlkarbon tersebut dalam daerah rasa keras. Karakterisasi Cuplikan Karakterisasicuplikan basil implantasi ion terdiri daTipengujiankekerasandan ketahananaus. Alat yang digunakan untuk uji kekerasanmikro adalah Digital Type MicrohardnessTesterMXT70, Mitsuzawa. Dalam pengujiankekerasanpermukaan cuplikan digunakanbeban indentor minimal 10 gf, hal ini dilakukankarenateballapisanbasil implantasi hanya berorde mikron. Dengan beban indentor minimal tersebutakan diperoleh basil yang lebih akurat. Sedangkanuji ketahananaus dilakukan denganmenggunakanalat uji keausan. Pengujian dilakukan untuk beban pengausantetap,dan waktu pengausanbervariasi, selanjutnya tingkat keausan ditentukanberdasarkan penguranganberatcuplikan.
HASIL DAN PEMBAHASAN Berdasarkanbasil studipustakayang ada, ion dopanjenis boron daD karbon dapatmeningkatkan kekerasan,ketahananaus daD korosi permukaan suatujenis bahantertentu. DenganperubahandaD perbaikan sifat tersebut memungkinkan untuk memperpanjangumur pemakaian suatu peralatan, misalkan alat pemotong,mata pahat, mata bOT,dll. Dalam penelitianini telah dilakukan implantasiionion boron daD karbon pada permukaanbesi untuk berbagai nilai dosis daD energi ion. Gambar 1 menyajikan basil karakterisasinilai kekerasanbesi terhadap perubahan dosis ion boron yang dimplantasikan untuk energi ion boron 60 keY. Berdasarkanbasilyang ditampilkandalamGambar1 terlihat bahwakekerasanoptimum terjadi padadosis ion boron 8,4 x 1016ion/cm2dengannilai kekerasan optimum sekitar 196 KHN. SedangkanGambar 2 menyajikan basil karakterisasinilai kekerasanbesi terhadapperubahanenergi ion boron padadosis ion 8,4 x 1016 ion/cm2, dari basil karakterisasi ini diperoleh nilai angka kekerasan optimum besi sebesar196KHN padaenergiion 60 keY. Jika nilai kekerasanbasil implantasi ion boron dibandingkan dengancuplikan sebelumprosesimplantasidiperoleh kenaikan sekitar 128 %. Dari basil-basil tersebut dapat diketahui bahwa perbaikan sifat kekerasan permukaanbahansangatditentukan oleh parameter dosisdaDenergiion dopan. Salahsatujenis ion dopanlainnyayang dapat meningkatkan kekerasanpermukaan suatu bahan metal adalah jenis ion karbon. Maka dalam penelitian ini juga telah dilakukan implantasi ion ISSN0216-3128.
Prosiding Pertemuan dan Presentasi /lmiah P3TM-BATAN, Yogyakllrta 14 -15 Juli 1999
Buku
karbon pactapennukaan besi. Karakterisasisifat mekaniknya, terutama angka kekerasandilakukan sekaligus dengan menenfukan profil kekerasan terhadap kedalaman penetrasi ion dopan. Hasil karakterisasitersebutditampilkan dalam Gambar 3, yaifu profil kekerasanbesi yangdiimplantasidengan ion karbon pacta dosis ion optimum 1,8 x 1016 ionlcm2daDenergiion 70 keV. Hasil yang disajikan dalam Gambar 3 menunjukkan bahwa kekerasan optimum sebesar 350 KHN diperoleh pacta kedalaman sekitar 0,1 ~m. Jika nilai ini dibandingkandengankekerasanbesi sebelumproses implantasiion terjadi peningkatansebesar120%. Keausanmerupakanperistiwapergeserandan pelepasanpartikel-partikellogamdaTipennukaannya yang disebabkanoleh logam lain, bahannon logam, cairan atau gas yang bergerak. Setiap benfuk keausan dipengaruhi oleh berbagai kondisi antara lain adalah berat behan, kecepatanbagian yang bergesekan, kekerasan,suhupelumasdaDjenis bahan yang saling bergesekan. Ketahananaus daTisuafu bahan ~dalah volume bahan yang terauskan sebanding dengan (beban x jarak gesekan)/ kekerasan. Dalam penelitian yang dilakukan, uji ketahananausdilakukanpactaberatbehan,kecepatan gesekan,daDsuhuyang sama"sertawaktu pengausan yang bervariasi. PactaGambar 4 dan 5 ditampilkan basil uji keausandaTi besi setelah masing-masing dilakukan implantasi ion boron dan karbon. Dari Gambar4 dapatdiketahuibahwaketahananaus daTi pennukaan besi meningkat hingga sekitar 89 % setelahproses implantasi dengan dosis 8,4 x 1016 ionlcm2 daD energi 60 keV. SedangkanGambar5 menunjukkan bahwa ketahanan aus daTi besi meningkat sebesar 149 % setelah dilakukan implantasi ion karbon dengan dosis 1,8 x 1016 ion/cm2daDenergiion 70keY. Hasil-hasil penelitian tersebut di atas telah menunjukkanbahwa implantasi ion-ion boron atau karbonpactapennukaanbesidenganberbagaivariasi dosis dan energi ion mengakibatkanperubahansifat mekanik bahan,yaifu meningkatkannilai kekerasan daD ketahananterhadapkeausan. Perubahansifat mekanikpennukaanbahantersebutdapatdijelaskan sebagaiberikut.. Energi ion dopanyang dipindahkan kepada atom-atom bahan dapat mengakibatkan pergeseranatom-atombahan daTiletak kisi semula. Atom-atom bahan dapat tergeser daTi letak kisikisinya, bergantungpactaenergidan massaion yang diimplantasikanmaupunmassabahan. Atom-atom yang tergeser juga dapat menggeser atom-atom lainnya, sehingga mengakibatkan fumbukail beruntun. Proses ini mengakibatkan terjadinya akumulasi atom-atomvakansi dan interstisi (cacat Frenkel), maupun cacat kisi yang lebih kompleks sepanjanglintasanion (clusters). Ion-ion yang lebih berat dapat memindahkan energinya lebih besar kepada atom-atomkisi daripada ion-ion yang lebih
ringan. Luas kerusakan akibat radiasi ion mulai tumpang-tindih dengan bertambahnya dosis ion, dan akhirnya membentuk lapisan amorf yang meluas pactasuatu kedalaman tertentu [8]. Dalam proses implantasi ion untuk variasi dosis ion pacta energi tertentu, seperti disajikan dalam Gambar I, kekerasan optimum terjadi pacta dosis ion boron 8,4 x 1016ion/cm2. Pacta saat dosis ion < 8,4 x 1016ion/cm2 akumulasi cacat atol;n-atom vakansi dan interstisi masih relatif kecil, sehingga belum sepenuhnya dapat menghambat terjadinya laju dislokasi. Hal ini mengakibatkan kekerasan bahan belum mencapai nilai optimum. Dengan bertambahnya nilai dosis ion yang diimplantasikan akan mengakibatkan bertambahnya akumulasi atomatom vakansi dan interstisi, dan mencapai nilai optimum pacta dosis ion 8,4 x 1016ion/cm2. Pacta kondisi optimum ini cacat yang terbentuk mempunyai kerapatan optimum; maka laju dislokasi akan terhambat, atau dengan perkataan lain bahan menjadi lebih keras. Pactadosis ion yang semakin besar akan terjadi kerusakan radiasi yang mulai tumpang-tindih, dan akhirnya membentuk lapisan amorf. Selain itu acta kemungkinan terjadinya penumpukan atom-atom dopan pacta permukaan bahan sebagai akibat konsentrasi atom dopan yang terimplantasi mengalami kejenuhan. Peristiwa ini akan mengakibatkan nilai kekerasanmulai menurun; 3D
9J
~ ..81
i ~
!
~
t7O
~ 9J
51
0
-+..,
.m
.~
"31
~
Mm
Oasis Ion x 1016cm-2
Gambar 1. GrafIk basil uji kekerasanmikro dari permukaan besi basil implantasi ion boron untuk berbagaidosis ion pacta energi60keY. Dari variasienergiion terlihatbahwasemakin besar energi ion yang diimplantasikan, angka kekerasannya juga meningkat. Besamyakerusakan radiasidan distribusinyabergantungpactaenergiion, jenis ion, suhu dan dosis ion, dan untuk jenis dan dosis ion serre suhu tertentu maka besarnya kerusakanradiasi ditentukan oleh energi ion yang diimplantasikan. Oleh karena itu untuk energi ion yang semakinbesarakanmenyebabkan jumlah cacat yang terbentuksemakinbanyak dan mencapainilai optimum pacta energi tertentu. Dalam Gambar 2 terlihat bahwa kekerasan optimum dicapai pacta energiboron 60 keV. Pactaenergi yang lebih besar
., ~
ProsidingPertemuandan PresentasiIlmiah P3TM-BATAN,Yogyakarta14 -15 Juli 1999
Buku I
12
lagi maka kedalamanpenetrasiion semakin besar, dan konsentrasi maksimum dari ion yang terimplantasiberkurangkarenabertambahnyarange straggling,dan terjadipelebarandistribusikerusakan radiasi. Hal ini mungkin menyebabkanterjadinya penurunannilai kekerasanbahanbasil implantasiion. ~
8)
/
/
/
DO
interstisi optimumjuga terjadi di sekitarjangkau ion terproyeksi, clan kejadian ini mengakibatkan kekerasanoptimumterjadipadadaerahdekatdengan permukaanbahan. PadaGambar4 clan5 ditampilkan nilai ketahananaus, masing-masingbasil implanwi ion boron clan karbon. Ketahanan aus optimum masing-masing dicapai pada nilai kekerasan optimum, hal ini sesuaidengan kenyataanbahwa ketahananaus suatu permukaanbahan berbanding terbalikdengannilai kekerasannya.
"'"
-r
I'
{'\
~j
.""'~"IO"" Gambar
2.
-"'-
Graflk hasil uji kekerasanmikro dari permukaan besi hasil implantasi ion boron untuk berbagaivariasi energi ion padadosis8,4 x 1016ion/cm2.
\
, i -
/"
M
O.-oo',,"V)
Gambar
5.
Graftk hubungan,antara peningkatan ketahananaus pennukaan besi hasil implantasiion karbon untuk berbagai variasienergiion padadosis 1,8 x 1016 ion/cm2.
KESIMPULAN Berdasarkan basil-basil penelitian daD pembahasan seperti yang telah diuraikan di atas dapat diambil kesimpulan sebagaiberikut.
Gambar3. Profil kekerasanbesibasil implantasiion karbonpadadosis 1,8 x 1016ion/cm2dan energiion 70keY.
Perubahan sifat mekanik permukaan bahan besi, yaitu nilai kekerasan daD ketahanan ausnya sangat ditentukan oleb jenis ion, dosis dan energi ion yang diimplantasikan. Kekerasan optimum permukaan besi setelah proses implantasi ion boron terjadi pada dosis ion 8,4 x 1016 ion/cm2 daD energi 60 keY, sedangkan kekerasan optimum permukaan besi setelah diimplantasi dengan ion karbon diperoleb pada dosis ion 1,8 x 1016ion/cm2 daD energi ion 70 keY. Kekerasan optimum terjadi tidak pada permukaan bahan, akan tetapi pada kedalaman tertentu dekat permukaan bahan 'atauterjadi di sekitar jangkauion terproyeksi. Sedangkan panjang jangkau ion terproyeksi ditentukan oleb besarnya energi ion.
Gambar 4.
Graflk hubungan antara peningkatan ketahananaus .permukaanbesi basil implantasi ion boron untuk berbagai variasienergiion padadosis 8,4 x 1016 ion/cm2
PadaGambar3 ditampilkan profil kekerasan besi terhadapkedalamanpenetrasiion daD terlihat bahwa kekerasanoptimum terjadi pada kedalaman sekitar0,1 ~m. Hal inisesuaidenganteori LSS yang menyatakan bahwa konsentrasi ion yang terimplantasi mencapai nilai optimum di sekitar jangkau ion terproyeksi,sehinggacacatvakansidaD Sudjatmoko,dkk
DAFTAR PUSTAKA 1
HERMAN, H., Modification of the Surface Mechanical Properties of Ferrous Alloys by Nitrogen Ion Implantation,Proceedingsof the 3rdInternationalConferenceon Modification of Surface Properties of Metals by Io~ Implantation, Perganlon Press Ltd., Oxfor~ (1982) 102-110 .:
2
XIE ZHONG-YIN, et al., Ion Implantation for Improving Wear Resistance of Metals, ISSN0216-3128.
Proceedingsof the 3rdInternationalConference on Modification of SurfacePropertiesof Metals by Ion Implantation, Pergamon Press Ltd., Oxford, (1982)117-125 3
LU, Y.C. and IVES, M.B., The Improvementof the Localized CorrosionResistanceof Stainless Steel by Cerium, Corrosion Science,Vol. 34, No. 11,(1993)1773-1785
4
ZHOU, P., et al., The Effect of W Ion Beam Bombardmenton Aqueous Corrosion of Iron, Nuclear Instrumentsand Methods in Physics Research B7/8 (1985) 195-199
5
ROBERTS,S.G. and PAGE, T.F., The Effects of N2+ Ion Implantation on the Hardnessand Wear Behaviour of Brittle Materials, Proceedingsof the 3rdInternationalConference on Modification of SurfacePropertiesof Metals by Ion Implantation, Pergamon Press Ltd., Oxford, (1982) 135-146
6
DODD, C.G., et al., Surface Micro-analytical Studies of Nitrogen Ion-Implanted Steel, Nuclear instrumentsand Methods in Physics Research B7/8 (1985)219-227
7
KIM, H.J., et al., Corrosion Behaviour of SurfaceFilms on Boron-implantedHigh Purity Iron and StainlessSteels,MaterialsScienceand Engineering,69 (1985)297-301
8
RYSSEL,H. AND RUGE, I., Ion Implantation, JohnWiley & Sons,New York (1986).
Sudjatmoko .Sifat kekerasanpermukaan besi hasi/ imp/antasi ion dapat berubah o/eh kenaikan suhu, ha/ ini disebabkan karena distribusi konsentrasi ion yang terimp/antasi berubah semakin me/ebar dengan terjadinya kenaikan suhu. Suhu yang diijinkan kami be/urn tahu, karena be/urn di/akukan eksperimen
.Perubahansuhu BudiWardoyo .Bagaimana cara/metodeyang digunakanuntuk pengujianaus dan pengukurankekerasanpada kedalaman yangberbeda. .Apa dan bagaimanayang dimaksud dengan perlakuanpanassetelahprosesimplantasi Sudjatmoko .Pengukuran kekerasan di/akukan pada cup/ikan yang dipotong me/intang, dimu/ai dari permukaan bahan dan se/anjutnya pada bagian da/am menggunakan indentor teringan .Pengukuran atau uji aus pada suatu keda/aman tertentu be/urn kami /akukan, karena metodenya be/urn kami ketahui .Per/akuan panas sete/ah proses imp/antasi dimaksudkan agar terjadi rekrista/isasi, sehingga diharapkan akan dipero/eh sifat bahan yang /ebih optima/.
Tri Mardji Atmono
TANYAJAWAB Widdi Usada *
Apakah perananimplantasi ion-ion boron daD carbon dapat diganti denganatom lain untuk memperolehperbaikansifat bahan
.Pada gambar 5 ter/ihat semacam osi/asi hubungan antara energi ion denganpeningkatan ketahanan aus. Mohon penje/asan , apakah bentuk kurva untuk tenaga di bawah 30 keJl: .Untuk menentukan keda/aman penetrasi apakah tidak bisa digunakan AES? (gambar 3)
Sudjatmoko * Pada dasarnyaperanan atom asingyang masuk ke dalam permukaan bahan dapat mengubah sifat-sifatmekanik,listrik ataupunyang lainnya. Sehingga peranan boron dan karbon dapat digantikandenganatom lainnya,sebagaicontoh adalahatomnitrogen.
Sudjatmoko
Heru Susetyadi
Silakhuddin
*
Apakah sifat kekerasanpermukaanbesi yang diimplantasitidak dapatberubaholeh kenaikan suhuyang dikenakanpadabesitersebut? Suhu yang diijinkan ?
.Uji
*
Apa sajakah yang dapat merusak kekerasan permukaan besi tersebut misal panas, kelembaban?
ISSN0216-3128
.Kami be/urn bisa memberikan a/asan secara teoritis tentang hasi/ yang dipero/eh. Dari beberapa acuan yang ada be/urn kami jumpai ha/ yang serupa dengan hasi/ kami .Eisa
menggunakan metodeAES
keausandapat diuji dengan teknik nuklir TLA yang saat ini sedangdikembangkandi fasilitassiklotronBA TAN Serpong
Sudjatmoko Terimakasihalas masukannya
Sudjatmoko, dkk.
