Informace o ČVS najdete na adrese CompactTurbo

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

1

Obsah

Některé příspěvky firem zúčastněných na semináři PRAGOVAC 2002

2

BOC Edwards: Vybrané novinky pro rok 2002 (Iva Jungwirthová, Vladimír Palme)

2

The integrated Solution (Pfeiffer Vacuum GmbH - Sabine Trylat - Public Relations)

4

Kryogenní vývěvy v sortimentu firmy LEYBOLD

5

CIP 2003

8

Informace o ČVS najdete na adrese http://mbox.troja.mff.cuni.cz/~CVS

Oprava chyby. V minulém čísle byl otištěn tento příspěvek bez pbrázku, činíme takto nápravu.

CompactTurbo Turbomolekulární vývěvy pozoruhodně malých rozměrů jsou jednou z význačných domén společnosti Pfeiffer Vacuum. Jednou takovou vývěvou je typ CompactTurbo TPD 011, který byl vyvinut pro přenosné analytické aplikace. Její čerpací rychlost (N2) je 10 l/s, požadované předvakuum 25 mbar a limitní vakuum je lepší než 5x10-5 mbar. Čerpadlo váží pouhé 2 kilogramy. Příkon 100 W jej předurčuje ke skutečně přenosným zařízením.

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

2

Některé příspěvky firem zúčastněných na semináři PRAGOVAC 2002 Díky tomu, že se vzdor popovodňovým obtížím i v r. 2002 konal tradiční seminář a setkání výrobců a uživatelů vakuové techniky a některé ze zúčastněných firem splnily svůj slib poskytnout své příspěvky k otištění v našem Zpravodaji, můžeme Vám je dnes přinést.

BOC Edwards: Vybrané novinky pro rok 2002 Iva Jungwirthová, Vladimír Palme ChromSpec spol. s r.o. Rádi bychom vás seznámili s několika novými výrobky firmy BOC Edwards pro rok 2002. Jedná se o dvě vývěvy a jednu kontrolní jednotku pro komplexní ovládání vakuových systémů. První vývěva byla vyvinuta pro průmyslové aplikace, kde čerpané procesní látky kladou vysoké nároky na odolnost čerpacích systémů. Jedná se o vývěvu GV Drystar – M. Vývěvy GV pracují na principu reverzního třístupňového „claw“ mechanismu. Řada GV-M má navíc na vstupu Rootsův stupeň, integrovaný na společných hřídelích s „claw“ stupni. Rootsův stupeň zvyšuje čerpací rychlosti vývěv, výrazně v rozmezí tlaků 10 až 0,5 mbar, a zároveň snižuje mezní tlak na 0,06 mbar. Vývěvy GV-M se vyrábějí ve třech provedeních: • • •

GV260M s čerpací rychlostí 240 m3/h GV410M s čerpací rychlostí 380 m3/h GV600M s čerpací rychlostí 560 m3/h

Vývěvy GV a GV-M jsou tzv. suché, tj. čerpaný plyn nepřichází do styku s žádnou kapalinou (olej, voda) ani s žádným mazivem. Pro uživatele to znamená výrazné snížení nákladů na provoz, zejména eliminací výdajů na nákup a likvidaci použitého oleje. Navíc pro modifikaci GV-M byla díky konstrukčním vylepšením prodloužena doba mezi revizemi na 6 let. Druhou novinkou je vývěva XDS-C, která vychází z osvědčené konstrukce vývěvy XDS. Jde též o suchou vývěvu, která pracuje na šnekovém principu a vzhledem ke své

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

3

velikosti je vhodná pro laboratorní praxi. Díky odolným materiálům, kterými je pokryt stator i rotor, lze vývěvou čerpat agresivní atmosféry, jako například rozpouštědla, kyseliny, či zásady. Vývěva XDS-C se vyrábí ve dvou variantách XDS5-C a XDS10-C s čerpacími rychlostmi 4,8 resp. 9,3 m3/h a mezním tlakem 0,9 mbar. Věříme, že vývěva XDS-C nalezne uplatnění v chemickém výzkumu, kde dnes běžně používané membránové vývěvy nemají potřebný čerpací výkon a mezní tlak. Jejími dalšími přednostmi jsou malé rozměry a tichý chod. Poslední novinkou, kterou bychom chtěli představit, je kombinovaná řídicí jednotka pro turbomolekulární vývěvy a vakuoměry TIC (Turbo Instrument Controller). Tato jednotka ovládá prakticky všechny turbomolekulární a hybridní molekulární vývěvy z nabídky BOC Edwards. Zároveň je schopná snímat údaje až ze tří aktivních vakuoměrů. Pro uživatele to znamená úsporu v podobě jedné kontrolní jednotky místo několika. Navíc je možné si pomocí této jednotky nastavit parametry procesů, např. sepnutí turbo-molekulární vývěvy, pokud tlak klesne pod určitou mez. Dalším rozšířením možností řízení vakua je přidání spínací jednotky. Jednotka má následující programovatelné výstupy: 1. primární vývěva 2. oddělovací ventil primární vývěvy 3. vypékací přezka 4. 3 x relé 3 A, 230 V ≈ A dále logické rozhraní, umožňující uživateli propojení s další jednotkou nebo jiné využití. Jednotka TIC má intuitivní ovládání s využitím vestavěného LCD displeje a membránové klávesnice. Dodává se také s ovládacím programem běžícím pod Windows♠, který umožňuje nastavení a řízení jedné, či více jednotek TIC. Propojení je zajištěno pomocí standardního rozhraní RS232 nebo RS485. Výše uvedené není kompletním výčtem novinek firmy BOC Edwards. Budetete-li mít zájem o další informace o nabídce BOC Edwards, kontaktujte naší firmu, která je výhradním zástupcem BOC Edwards pro Českou republiku a pro Slovensko (www.chromspec.cz).

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

4

Press release Semicon Europe

The integrated solution Vacuum Technology is widely utilized in Semiconductor Processing. Tool suppliers use a wide variety of vacuum components such as turbopumps, dry pumps, gauges and valves. A potential for cost cutting and simplifying logistics is to reduce the number of vendors. Currently, equipment suppliers are faced with the following situation: Each analog gauge has to be connected to the PLC by its own separate cable. Multiple conversions from an analog to a digital signalreduces the accuracy of the signal. Additionally, only total pressure readings are transmitted, while gauge status information is not available. The same situation applies to the pumps. Each pump needs to be interfaced via a separate cable. Important status information such as pump rotation speed, current draw, power consumption and operating hours are not communicated. The challenges for the component suppliers are: reduce the number of cables, increase information density, simplify controls, reduce the number of control units and their required rack space. Pfeiffer Vacuum offers “The integrated Solution”, providing a cost effective, fail safe and simple solution, the Pfeiffer Vacuum components including turbopumps, OnTool DryPump™ and DigiLine gauges are equipped with an RS 485 serial interface. Using the standardized Pfeiffer protocol, tool manufacturers can easily daisy-chain all components. This reduces cabling, suppliers specific protocols, software adaptation and control hardware. “The integrated Solution” also reduces costs, complexity and down time of the system while increasing uptime and yield. With the DigiLine series of digital gauges, up to 15 gauge heads can be daisy-chained using a single connection cable to the PLC. Real-Time failure correction (E-Diagnostics), process adaptation and remote controlling of system runs, require a common bus system or RS 485 for all system integrated components. “The integrated Solution” with standardized RS 485 protocol offers the basis for the online controls and diagnostics without having service personnel on site, which on one hand lowers downtime and cost and on the other hand significantly increases OEE (overall equipment efficiency) of the tool. The need of the reduction of the capital and operating costs for the more complex 300 mm tools to stay competitive requires drastic improvements of the tool and Fab overall efficiency. Pfeiffer Vacuum also offers a range of bus system adapters for DeviceNet™ and Profibus. Pfeiffer Vacuum GmbH Sabine Trylat Public Relations D-35614 Asslar Tel. +49 (0) 64 41 / 8 02 – 1 69 Fax +49 (0) 64 41 / 8 02 – 8 83

[email protected]

PŘIHLÁŠKA ZA ČLENA ČESKÉ VAKUOVÉ SPOLEČNOSTI PŘÍJMENÍ JMÉNO

TITULY

RODNÉ ČÍSLO ADRESA BYDLIŠTĚ (vč. PSČ)

TELEFON

FAX

E-MAIL

ZAMĚSTNAVATEL ADRESA ZAMĚSTNAVATELE

FUNKCE TELEFON

FAX

E-MAIL

Poštu prosím zasílat na adresu domů / do zaměstnání (nehodící se škrtněte). Přihlašuji se za člena České vakuové společnosti. Souhlasím s tím, aby v databázi ČVS byly vedeny mé osoby se týkající údaje potřebné pro aktivity ČVS.

Datum: ……………………… podpis

Důležité: Při každém platebním styku uvádějte na platební příkaz nebo poštovní poukázku jako variabilní symbol své rodné číslo, bez lomítka. Připomínky a náměty napište na rub přihlášky. Přihlášku zašlete na adresu: Sekretariát ČVS, Sdružení MFF UK – Vakuum Praha, V Holešovičkách 2, 180 00 Praha 8

Poznámky a náměty

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

5

Kryogenní vývěvy v sortimentu firmy LEYBOLD

Firma LEYBOLD je tradičním dodavatelem širokého spektra vakuových výrobků. Její sortiment pokývá vývěvy primární jako klasické jedno- a dvojstupňové rotační olejové vývěvy a vývěvy s kolujícím rotorem a čtyřhrannou trubicí (Sperrschieberpumpen), suché od membránových přes pístové po šroubové, Rootsovy vývěvy pro různé čerpací rychlosti, ze sekundárních vývěvy turbomolekulární, difuzní a kryogenní. V současné nabídce jsou rovněž vysokovakuové ventily, vysokovakuové a ultravakuové stavební prvky měření totálních tlaků od atmosféry po UHV a hledače netěsností. Firma LEYBOLD je jedním z mála evropských výrobců vakuových produktů, v jejímž katalogu lze nalézt i kryogenní vývěvy, chladicí hlavy a kryostaty. Někdy je našimi uživateli tento způsob čerpání neprávem opomíjen pro vžité představy, že jde o řešení technicky náročné, nákladné, s nedostatečnou čerpací kapacitou. Nákladným a technicky náročným zařízením pro uživatele se specifickými požadavky jsou samozřejmě lázňové kryogenní vývěvy, vyžadující související heliové hospodářství. Refrigerátorové kryogenní vývěvy, které firma LEYBOLD dodává, jsou naopak dostupnou alternativou, která může představovat elegantní řešení některých problémů. Tyto vývěvy sestávají z kompresorové jednotky ženoucí helium tlakovými hadicemi pod tlakem do jedno- nebo dvoustupňové chladicí hlavy ve vlastní vývěvě. V hlavě prochází plyn Giffordovým – McMahonovým termodynamickým cyklem a ochlazuje se, nezkapalní však, protože dvoufázové proudění v okruhu by oběh helia komplikovalo, takže u dvoustupňového zařízení se nejnižší dosažená teplota pohybuje pod 20 K, typicky kolem 6 – 10 K (u jednostupňového asi 80 K). Při těchto teplotách kondenzují téměř beze zbytku všechny plyny s výjimkou samotného helia a stop vodíku a neonu. Ty jsou zpravidla dočerpávány kryosorbentem – většinou aktivním uhlím - přilepeném uvnitř vývěvy. Jde tedy o suchou, velmi čistou cestu čerpání umožňující dosáhnout značných čerpacích rychlostí. Porovnáme-li náklady na čerpací systémy s kryovývěvou a turbomolekulární vývěvou, vidíme, že poměrně vysoká cena za kompresor a těleso kryogenní vývěvy se zvětšováním čerpací rychlosti roste velmi pomalu, protože zvětšování nepředstavuje technický problém. Naopak turbomolekulární vývěva pro malé čerpací rychlosti vychází relativně mnohem levněji, ale cena vývěv pro větší čerpací rychlosti strmě roste, takže přibližně v oblasti kolem 1000 ℓ/s se relace obrátí ve prospěch kryogenních vývěv. Nutnost periodické regenerace nasycené vývěvy může být někdy na závadu, v mnoha případech se však dá velmi přirozeně zakomponovat do celého pracovního cyklu. Naopak velkou předností kryogenních vývěv, v jejichž vlastním interiéru nejsou rychle se pohybující součásti, oproti turbomolekulárním je, že eventuální drobné částečky uvolňované v procesu pro ně nejsou nijak fatální. Firma LEYBOLD nabízí dvě řady kryovývěv s plně automatickým řízením: COOLVAC Classic Line (COOLVAC CL) pro čerpací rychlosti 1500, 2000, 3000, 5000,

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

6

10000, 18000 a 30000 ℓ/s pro dusík a COOLVAC Semi Line (COOLVAC SL) o čerpací rychlosti 1500 ℓ/s. Na vývěvách je vestavěno rozhraní COOLVAC PM (Pump Module) pro spojení s řídící jednotkou. Samo rozhraní obsahuje rezistentní paměťový modul pro relevantní čerpací data až k 10 regeneračním cyklům. Řídící jednotka COOLVAC SC (System Controller) má v paměti uložen aktuální čerpací proces. Napájecí jednotku a především vhodně volenou kompresorovou jednotku řady COOLPAK lze využít pro dvě popř. tři kryogenní vývěvy zároveň, což může v některých provozech přinést nezanedbatelné úspory. Informace o nabízených kryogenních vývěvách i celém sortimentu firem LEYBOLD VACUUM GmbH a LEYBOLD OPTICS GmbH Vám podá firma TEVAK s.r.o. 250 91 Zeleneč, U Vodojemu 501 Tel. / fax 281 924 716 Mobil 732 249 021 e-mail [email protected] , [email protected]

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

7

ZPRAVODAJ ČVS 2002/2

8

SFV pořádá

CIP 2003 14. mezinárodní kolokvium o plazmatických procesech. The 14th International Colloquium on Plasma Processes (CIP’2003) will be held at Antibes – Juan-les-Pins (French Riviera) from June 29th to July 3th, 2003. It is organised by the French Vacuum Society (Division “PLASMA” Société Francaise du Vide) 19 rue du Renard – 75004 Paris (F) – Fax: +33 (0)1 42 78 63 20, e-mail: [email protected], http://www.vide.org/cip2003.html

Omluva Vážení čtenáři, technickým nedopatřením se přihodilo, že do minulého čísle nebyla v tiskárně vložena příloha Zpravodaje. Tímto se Vám za vzniklou chybu omlouváme a píšeme tyto řádky v nejlepší naději, že tentokrát se podaří vložit přílohu nejen za toto, ale dodatečně i za minulé číslo. Redakce

Redakčně připravili: RNDr. Pavel Drašar <[email protected]> RNDr. Ladislav Peksa