Materiály pro mikro a nanosystémy, jejich tribologické vlastnosti a dostupnost P. Chlachula Fakulta strojního inženýrství, Vysoké učení technické v Brně, Technická 2896/2, 616 69 Brno, Česká republika ANOTACE Článek ukazuje ucelený přehled používaných materiálů pro použití v oblasti mikrosystémů a nanosystémů. Obecně výraz mikrosystém zahrnuje integrované obvody, MEMS (Micro-Elektro-Mechanical Systems), MOEMS (Micro-Opto- and Electro-Mechanical Systems), mikrosenzory, inteligentní mikrosystémy, mikrooptiku, mikrotechnologie a mikrofluidické systémy. Výraz nanosystém je spojen s molekulární technologií a nanotechnologií, s prvky NEMS (Nano-Elektro-Mechanical Systems) a aplikací nanotrubiček. Technologie pro výrobu těchto systémů uskutečňuje používat velké množství materiálů a výrobních technologií. Volba je závislá na druhu zařízení a sektoru trhu, ve kterém se dá tato práce zpracovávat. Typickou součástí mikrotechnologií a nanotechnologií jsou aplikace nových fyzikálních principů, inteligentní materiály a moderní výrobní procesy. Nanosystémy a mikrosystémy jsou charakterizovány komplexním řešením vytvořeným na čipu. K významu tribologických vlastností materiálů se zaměřujeme především k provozním podmínkám, ve kterých celá strojní soustava pracuje. elektronice v moderním světě. Výhody velkovýroby, připravená dostupnost vysoce přesného zpracování a 1. ÚVOD schopnost včlenit elektronickou funkčnost dělají Z teoretických i praktických poznatků vyplývá křemík přitažlivý mezi nejvíce používané materiály [1], že porozumět a vyhodnotit tribologické v MEMS a NEMS aplikacích [2]. Křemík má velké vlastnosti je velmi obtížný proces, při kterém je výhody ve svých vlastnostech. Ve formě krystalu je třeba vzít v úvahu velké množství faktorů. Funkce téměř dokonalý Hookeovský materiál, což znamená, mazaných kontaktů mezi zatíženými prvky strojních že při své deformaci se chová jako hysterezní a soustav je významně ovlivňována provozními neztrácí přitom energii. Toto také dělá křemík velmi podmínkami, mezi něž patří zatížení a rychlosti spolehlivým a odolává velkému namáhání, kdy třecích ploch, teplota mazacího filmu a topografie dokáže vydržet velké množství cyklů bez porušení třecích povrchů. Dalšími faktory jsou také vlastnosti materiálu [3]. tribologických materiálů, kde lze rozumět především Dosahuje vynikajících fyzikálních vlastností, chemické složení a druh materiálu, k němuž patří jako je tvrdost a pevnost v tahu. Není transparentní, tvrdost, pružnost, tvárnost, houževnatost, tepelná má nízkou chemickou odolnost a hlavní výhodou je vodivost, únavové vlastnosti, adhezní vlastnosti a elektrická vodivost [4]. jiné. Nedůležitou součástí je také mikrostruktura Nicméně, křemík sám o sobě nemá dobré materiálů, jejímiž atributy jsou velikost zrn, hustota tribologické vlastnosti a z tohoto důvodu pro a pórovitost. zlepšení jeho tribologického výkonu je potřeba jeho povrchových úprav, jako je chemicky nebo 2. DRUHY MATERIÁLŮ POUŽÍVANÉ PRO topograficky. Modifikace povrchů chemicky MIKRO A NANOSYSTÉMY zahrnuje nanesení vrstvy uhlíku jako diamant (DLC) a topograficky modifikované povrchy jsou 2.1. Křemík upravované pomocí nano-vzorkovaného plastu Křemík je materiál, který vytvořil téměř všechny (polymer - methyl metakrylát) technikou litografie. integrované obvody používané ve spotřební Zlepšení třecího chování upravených povrchů je
1
v některých případech nízká chemická odolnost a jsou většinou levné. Těmito plasty mohou být PVC, PE, PP, PS a další [4].
přisuzované jejich nižší skutečné soudržnosti a skutečné stykové plochy [5]. Koeficienty tření pro jednotlivé modifikace jsou znázorněny na obr. 1,2.
2.3. Keramika Mezi hlavní představitele patří korund, který není transparentní, chemicky odolává, má mechanickou stabilitu, nízkou tepelnou vodivost a nízkou tepelnou roztažnost. Jedinou nevýhodou je problematická výroba mikrostruktur. Další keramikou může být oxid berylia BeO, který má vysokou tepelnou vodivost, ale prach je toxický [4]. Keramika na bázi karbidu křemíku zahrnuje zejména nízký koeficient tření při současné vysoké otěruvzdornosti, jako i odolnost proti vysokým teplotám. Na rozdíl od kovů jde o křehký materiál. Tato keramika se nejlépe uplatňuje zejména v tribologických aplikacích, kde jsou již klasické kovové materiály na hranicích svých možností [6]. Výzvou keramických materiálů je schopnost reprodukce, dlouhá životnost a samomaznost a proto jsou používané v mechanických systémech, které zahrnují vysoké náklady, třecí rychlost a vyšší teploty. Tento předpoklad splňuje kysličník hlinitý, který vykazuje vyšší tvrdost, vysokou odolnost proti opotřebení, nízký součinitel tepelné roztažnosti a koeficient tření. Nicméně zpracování a výroba čistého kysličníku hlinitého je drahý a obtížný úkol. Výsledky ukazují [7], že se zvyšujícím zatížením stoupá opotřebení a se zvyšující rychlostí třecích povrchů klesá koeficient tření (tab. 1). Je to způsobené tím, že se zvýšením zatížení roste kontaktní plocha, oproti tomu u vyšší rychlosti se sníží zatížení, ale dochází ke zvýšení vnitřní teploty, což způsobuje nižší tření.
Obr. 1 Koeficient tření u modifikace povrchu chemicky s porovnáním s čistým křemíkem [5].
Obr. 2 Koeficient tření u modifikace povrchu topograficky s porovnáním s čistým křemíkem [5].
Základní technikou pro produkci křemíku do MEMS systémů jsou nánosy vrstev na materiál, které se pomocí litografie odleptávají z povrchu a tím vznikají požadované tvary [3].
Tab. 1 [7].
2.2. Polymery Ačkoli elektronický průmysl poskytuje výhodu velkovýroby pro průmysl křemíku, krystalický křemík je ještě komplexní a relativně drahý materiál k produkci. Polymery na druhé straně mohou mít velkou paletu charakteristik materiálu. MEMS zařízení mohou být vyrobená z polymerů procesy jako výlisek, reliéfní tisk nebo litografií [3]. Mezi polymery patří také různé druhy plastů. Které mají rozdílnou kvalitu. Základními vlastnostmi je nízká tvrdost a teplotní stabilita,
2
2.6. Sklo Jedná se o amorfní materiál na bázi oxidu křemičitého, používaný zejména pro chemické, biochemické a biologické aplikace mikrotechnologií. Vlastností skla je transparentnost, pevnost a elektricky nevodivé. Mezi nevýhody patří křehkost, obtížné spojení s jinými materiály, nesnadno opracovatelné [4]. 2.7. Uhlík Uhlík je materiál, který obohacuje rozsah širokého množství materiálů. Uhlík se používá v tenké vrstvě pro mazané aplikace, aby dokázal využívat své tribologické vlastnosti v různých strojních systémech. Samostatný uhlík v různých modifikacích (diamant v monokrystalu, amorfní uhlík, tuha) vykazuje výborný koeficient tření (menší než 0,05) a rychlost opotřebení odpovídá pouhým zlomkům atomické vrstvy bez přítomnosti maziva. Úspěšné tribologické vlastnosti uhlíkových filmů zahrnují použití v optice, biologických aplikacích a v poslední době pro mikroelektromechanické systémy (MEMS). Nicméně rozšířené použití uhlíkových filmů bylo překaženo spornými otázkami včetně nárůst tlaku, soudržnost či stejnorodost. Problém nastává v tom, že je také výrazně citlivý na prostředí. Např. ve vakuu se koeficient tření pohybuje až kolem 1. Proto se ještě musí vyřešit problém s těmito otázkami a provést se postupný vývoj, aby se poté uhlíkové filmy mohli příznivě používat pro tribologické aplikace [10]. Uhlík jako diamant (DLC) je adekvátní nátěr pro různé druhy materiálů používané pro tribologické aplikace, které pracují bez přítomnosti maziva. Jedná se také o protikorozní ochranu a v kombinaci s nitridem křemíku také splňuje soudržnost, což vede k možnosti většího zatížení. Nitrid křemíku pokrytý DLC vykazuje ustálený stav tření s koeficientem tření 0,2-0,3 (obr. 4b) a DLC v kombinaci s nitridem křemíku 0,13-0,14 (obr. 4a).
Obr. 3 Závislost rychlosti třecích povrchů, zatížení a koeficientu tření [7].
2.4. Kovy Kovy také mohou vytvořit MEMS elementy. Zatímco kovy nemají některé výhody křemíku v podmínkách mechanických vlastností, zaručuje se u nich vysoká míra spolehlivosti. Mezi běžně používané kovy patří např. zlato, nikl, hliník, wolfram, platina, stříbro [3]. Nevýhodou je obtížné vytváření 3D mikrostruktur, oproti tomu vytváří aktivní vrstvy, mikrokomponenty či elektrody [4]. V elektrických MEMS aplikacích jsou elektricky vodivé materiály jako je zlato a měď uznávanou skupinou kovů, které vykazují stálý koeficient tření (zlato 0,2 a měď 0,1) [8]. 2.5. Slitiny kovů Kobaltové nebo niklové slitiny s přísadami kovů molybdenu a křemíku vykazují dobrou odolnost proti opotřebení u strojních součástí, jako jsou bronzová valivá ložiska mazána velmi tenkým mazacím filmem nebo s nemazanými kontakty. Molybden a křemík zvyšují odolnost proti opotřebení, a když se k nim přidá ještě chrom, dosáhne se i dobrých korozivzdorných vlastností. Výhodou těchto slitin oproti jiným kovům je, že jsou podstatně měkčí (tvrdost až poloviční). Tato vlastnost je získána tím, že se ve slitinách udržuje malé procento uhlíku a proto protilehlé povrchy se nechovají jako řezný nástroj. Oproti tomu ale tyto slitiny mají nízkou pevnost a lomovou houževnatost [9].
3
Obr. 5 Nanotrubice [13].
Uhlíkové nanotrubice se studovali pro použití v elektrotechnice jako ochrana a mazání elektrického obvodu, který se používá při extrémních podmínkách jako je vakuum, vysoká teplota nebo pro mikrosystémy [14]. Uhlíkové nanotrubice dokážou zajistit elektrickou vodivost, jenže jakých dosahují tribologických vlastností v oblasti elektrických vedení? Výsledky testů použití nanotrubic u různých materiálů používaných u elektrických obvodů (průměr 2-3 nm a délka 1 μm) jsou ukázány na obr. 6, kde je ukázána závislost počtu cyklů na koeficientu tření. Je vidět, že při použití nanotrubic vykazuje koeficient tření vyšších hodnot a tak mají negativní vliv na zlepšení tribologických vlastností.
Obr. 4 Koeficient tření u nitridu křemíku pokrytý DLC (b) a při jejich kombinaci (a) [11].
Skutečností je, že DLC nátěr je vysoce tvrdý, má nízkou strukturu povrchu, nízký koeficient tření a nízkou rychlost opotřebení. Vyšší drsnost povrchu vede k růstu tření, které způsobuje nedostatek soudržnosti při rozběhu součástí. To má za následek ztráty stejnorodého chování způsobené místním oddělením povrchů od sebe a ztráty odolnosti proti opotřebení [11]. Uhlík vykazuje dobré mechanické, ale i elektrické vlastnosti. Takhle uhlíkové struktury jsou nanotrubice, z kterých se vyvíjejí displeje a nové kompozity, které jsou natolik pevné, že umožňují realizovat myšlenky jako je vesmírný výtah [12]. Na uhlíkové nanotrubice byla vyvíjená velká aktivita ve většině oblastí vědy a inženýrství kvůli jejím pozoruhodným vlastnostem, které se hodily pro několik strojních aplikací. Používají se pro kompozitní materiály, za účelem zlepšit mechanické a tribologické vlastnosti [13].
Obr. 6 Závislost koeficientu tření na počtu cyklů při použití materiálů u el. obvodů s a bez nanotrubic [14].
4
2.8. Chrom/Karbid chromu Chrom/Karbid chromu se používá jako vícevrstvý nátěr pro keramické a kovové materiály pro zlepšení mechanických a tribologických vlastností. Výhodou je, že vícevrstvé nátěry mají vyšší soudržnost a vykazují lepší tribologické vlastnosti pro nízký počet cyklů než jednotlivá vrstva nátěru. Tyto vícevrstvé nátěry vystavené suchému mazání vykazují vysokou odolnost proti opotřebení a koeficient tření se pohybuje kolem 0,5 a 0,65. U jednoduché vrstvy je koeficient tření 0,3 (obr. 7). Oproti tomu vícevrstvý nátěr vykazuje lepší koeficient tření při rozběhu, jak je vidět na obr. 8. To znamená, že nižší tření odpovídá času opotřebení nejkrajnější vrstvy chromu ve všech vícevrstvých nátěrech. Další vrstvy jsou opotřebovány s vyšším koeficientem tření. Karbid chromu je odolný proti korozi a vysokým teplotám a využívá se jako odolný nátěr. Tribologické vlastnosti závisí na charakteru mazání a materiálových vlastnostech nátěrové vrstvy. Ukázalo se, že tyto tribologické vlastnosti nevykazují závislost na tloušťce mazacího filmu, a proto jsou vhodné hlavně při suchém mazání jako ochranné nátěry [15].
Obr. 8 Koeficient tření v závislosti na počtu cyklů při rozběhu [15].
2.9. Nanokompozity Jedná se o třídu materiálů, které automaticky přizpůsobí povrchové složení a strukturu pro minimalizaci tření vlivem změny okolního prostředí. Změnou okolí může být např. teplota, vlhkost nebo zatížení. Jako matrice se používá nanokrystaly yttria stabilizované oxidem zirkoničitým (YSZ). Tato matrice se přizpůsobuje různým povrchovým nátěrem pro různou teplotu maziva. Pro mazání s nízkou a mírnou teplotou se používají vzácné kovy (Ag, Au), pro vyšší teploty tranzitní kovy (Sn). Nátěry jsou omezené počtem cyklů, kde jedinou omezující podmínkou je při zahřátí stejnorodý rozptyl Ag či Au po celém povrchovém nátěru (obr. 9a,b) a tím dochází ke zmenšování povrchové vrstvy. Proto pro ještě lepší tribologické vlastnosti se na vrstvu Ag, Au nanáší děrovaná vrstva Sn, kde jednotlivými dírami po zahřátí vystupují částice vzácných kovů (obr. 9c,d). Tím se prodlouží celková životnost nátěru. Hlavní výhodou je několikanásobné zmenšení tření [16].
Obr. 7 Koeficient tření u jednoduché vrstvy a u vícevrstvého nátěru [15].
5
výkonem. Nicméně titan má problém vůči nízkému deformačnímu zpevnění, což znamená, že není vhodné ho použít tam, kde se vyskytují vysoké tlaky mezi kontakty. Povrchové kalení titanu je výhodné, protože proces je jednoduchý a levný a není potřeba komplikovaného vybavení. Pomocí práškové směsi rozptýlené na povrchu titanu za zvýšené teploty vznikne dvojitá vrstva TiB a TiB2 (obr. 10). Tato dvojitá vrstva zaručuje vysokou odolnost proti opotřebení, nízký koeficient tření a vysokou tvrdost povrchů.
Obr. 9 Nanokompozitní nátěry [16].
Keramické nanokompozity jsou složené materiály s nejméně jednou fází o velikosti do 100nm. Jiné součásti mohou mít fázi o větší velikosti (100-500nm) a aby splňovala požadovanou funkčnost, přidávají se k ní nanočástice prášku (do 100nm). Většina kysličníků (kysličník hlinitý, oxid zirkoničitý, kysličník titaničitý) jsou dostupné v dostačujícím množství a rozumných cenách, zato u nekysličníků je to problematické, jak na kvalitě tak vyšší ceně, ale dostupnost prášků je dostačující k tomu, aby splňovali požadavky keramického průmyslu [17]. Kompozity (kysličník hlinitý, yttrium) legované oxidem zirkoničitým se používají i pro bio-lékařské aplikace (náhrada kloubů). Tyto kompozity jeví lepší mechanické vlastnosti než další bio-materiál kysličník hlinitý. Důležitější částí však je, jak se tyto bio-materiály chovají v tribologickém hledisku. Bylo zjištěno, že větší opotřebení vzniká u kysličníku hlinitého. Proto při legování kompozitu oxidem zirkoničitým dostáváme vyšší životnost bioaplikací [18].
Obr. 10 Dvojitá povrchová vrstva titanu [19].
Koeficient tření u slitiny titanu (Ti-6Al-4V) se pohybuje kolem 0,3-0,4, u boridu titanu 0,11-0,12 (obr. 11)
2.10. Titan Jedná se především o slitiny titanu (Ti-6Al-4V), diborid titanu (TiB2) a borid titanu (TiB) [19]. Titan, díky vyšší pevnosti, vysoké odolnosti proti korozi a opotřebení, se uplatňuje v mechanismech s vyšším
Obr. 11 Koeficient tření u titanu [19].
6
bloky o velikosti 200 nm, které se dále budou spojovat do větší celků, až vznikne diamantový krystal o potřebné velikosti [12]. Materiály se budou dále vyvíjet, protože rozvoj společnosti je závislý na rozvoji techniky. Vezmeme si například oceli, jak dlouho nás obklopují, jaké máme s nimi zkušenosti a kolik času jsme strávili na výzkumu. Stále ale nejsou uzavřenou kapitolou, protože stále klademe nové požadavky. Motivace na vznik nových materiálů jsou velmi silné, protože klasické materiály nemohou svými vlastnostmi nově vznikající požadavky splnit. Můžeme říci, že materiály na bázi plastů jdou rychle kupředu, jsou lehké a vykazují řadu výhodných vlastností, jako jsou elektroizolační schopnosti, odolnost proti korozi a zajímavé tribologické vlastnosti. Problém je s teplotní odolností, stárnutím a mechanickými vlastnostmi. Současná éra nanotechnologií výrazně zasáhla do vývoje v oblasti plastů. Ukazuje se, že anorganické nanočástice již ve velmi malém množství zlepšují mechanické vlastnosti, tvarovou stálost za tepla, zpracovatelnost, rozměrovou stabilitu, snižují teplotní roztažnost a hořlavost [21].
3. AKTUÁLNÍ PŘEDPOKLADY MATERIÁLŮ PRO NANOSYSTÉMY Priority jsou spojené nejen s velikostí pod cca 100 nm, ale i touto velikostí vyvolané unikátní vlastnosti. Nanočástice kovů a kovových oxidů. Technologická příprava nanočástic kovů (Au, Ag,…) a jejich oxidů, nitridů a dalších sloučenin (MgO, TiO2, …), technologie jejich kompaktování, stabilitu, užitné vlastnosti, výzkum jejich aplikace a výzkum jejich vlivu na životní prostředí a člověka. Nanočástice a nanovrstvy na bázi keramických materiálů. Příprava a charakterizace nanozrn, ultratenkých vrstev a supermřížek na bázi nanokrystalických keramik. Výzkum nových nanokompozitů, feroelektrických a feromagnetických materiálů. Tyto nanomateriály se používají v oblasti strojírenství, elektrotechniky a elektroniky. Nanovlákna na bázi uhlíku, speciálních anorganických materiálů a polymerů. Výzkum je specializován na materiály s cílenými mechanickými, elektrickými, magnetickými a optickými vlastnostmi. Tyto nanomateriály se použijí na produkty s vyššími užitky a budou využívány v nových technologiích. Nanopovlaky, nanostruktury a nanokompozitní materiály. Výzkum nanopovlaků a funkčních nanostruktur v tenkých vrstvách bude orientován na zlepšení užitných vlastností. Nanokompozity budou směřovat k nalezení vhodné vazby mezi kovovou, keramickou či polymerní matricí a zlepšující vlastností pro mechanické a chemické namáhání [20].
5. ZÁVĚR Mikro/nano elektromechanické sytémy (MEMS/NEMS) potřebují být navrženy k tomu, aby vykonávali očekávané funkce v rozsahu milisekund či pikosekund. Očekávaná životnost těchto zařízení pro velké rychlosti kontaktů se může lišit od několika sta tisíc až k miliardě cyklů. Pro takové množství cyklů se udávají vážné požadavky na použitý materiál. Existuje mnoho různých druhů materiálů, které se liší svými vlastnostmi a tyto vlastnosti jsou samozřejmě základním vlivem pro chování zatížených strojních soustav. MEMS a NEMS systémy uvažují vlastnosti jako je soudržnost povrchů, tření, opotřebení, únosnost, rychlost povrchů, teplota, druh prostředí, aj. A z materiálového hlediska se uvažuje chemické složení, mechanické vlastnosti či struktura. MEMS a NEMS materiály potřebují vykazovat dobré mechanické a tribologické vlastnosti. Hlavními negativními vlivy ovlivňující výkon a spolehlivost zařízení jsou velké brzdící síly jako soudržnost a tření. Proto je potřeba studovat a porozumět těmto tribologickým poznatkům a vyvinout potřebné
4. BUDOUCNOST PRO MATERIÁLY Jedna z prvních nanotechnologických aplikací bude výroba diamantů. Civilizace vstoupí z věku křemíkového do diamantového. Levná atomárně přesná výroba umožní konstrukci materiálů dle přání. Neboť diamant má velice zajímavé vlastnosti a je tak velice přitažlivým materiálem pro mnoho oborů. Navíc jeho projekce je jednoduchá. Diamant není nic jiného než krystalová struktura pravidelně uspořádaných atomů uhlíku. Výroba by byla velice jednoduchá a spočívá ve stlačování dvou stěn nezakončeného diamantového krystalu, kde stačí tlak pouhých 8 GPa na vytvoření kovalentních vazeb. Prostřednictvím nano-manipulátorů se vyrobí
7
[10] Grierson, D. S., Carpick, R. W. Nanotribology of carbon-based materials. Nanotoday, October 2007, Volume 2, Number 5. ISSN:1748 0132 © Elsevier Ltd 2007. [11] Gomes, J.R., Camargo Jr., S.S., Simão, R.A., Carrapichano, J.M., Achete, C.A., Silvad, R.F. Tribological properties of silicon nitride ceramics coated with DLC and DLC-Si against 316L stainless steel. Vacuum 81 (2007) 1448–1452. [12] Michal Václavík, Nanotechnologie [citováno 27. prosince 2003]. URL:
[13] Kanagaraj, S., Varanda, F. R., Zhil’tsova, T. V., Oliveira, M. S.A., Simões, J. A.O. Mechanical properties of high density polyethylene/carbon nanotube composites. Composites Science and Technology 67 (2007) 3071–3077. [14] Benedetto, A., Viel, P., Noël, S., Izard, N., Chenevier, P., Palacin, S. Carbon nanotubes/fluorinated polymers nanocomposite thin films for electrical contacts lubrication. Surface Science 601 (2007) 3687–3692. [15] Gómez, M.A., Romero, J., Lousa, A., Esteve, J. Tribological performance of chromium/chromium carbide multilayers deposited by r.f. magnetron sputtering. Surface & Coatings Technology 200 (2005) 1819 – 1824. [16] Muratore, C., Hu, J.J., Voevodin, A.A. Adaptive nanocomposite coatings with a titanium nitride diffusion barrier mask for high-temperature tribological applications. Thin Solid Films 515 (2007) 3638–3643. [17] R. Gadow, et al., Mater. Sci. Eng. B (2007), doi:10.1016/j.mseb.2007.09.066. [18] S. Nath et al., Microstructure, mechanical and tribological properties of microwave sintered calciadoped zirconia for biomedical applications, Ceram. Int. (2007), doi:10.1016/j.ceramint.2007.04.021. [19] C. Lee, et al., Tribology of titanium boridecoated titanium balls against alumina ceramic:Wear, friction, and micromechanisms. Wear (2008), doi:10.1016/j.wear.2007.11.011 [20] Akademie věd České republiky, Návrh programu “Nanotechnologie pro společnost“ (20062012). URL:
mazací filmy, které budou prospěšné pro tribologické vlastnosti MEMS a NEMS systémů. Jedním velkým předpokladem je, že se bude dále investovat do vývoje nanotechnologií. A tím je spojené, že vývoj nových materiálů je zcela nezbytný, je iniciován stále se rozvíjejícími potřebami lidstva a touhou po lepší kvalitě a komfortu. Materiály do značné míry spoluvytvářejí úroveň životního prostoru a životních podmínek. REFERENCE [1] Bhushan, B. Nanotribology and nanomechanics of MEMS/NEMS and BioMEMS/BioNEMS materials and device. Microelectronic Engineering 84 (2007) 387–412. [2] Nikhil, S.T., Bhushan, B., Scale dependence of micro/nano-friction and adhesion of MEMS/NEMS materials, coatings and lubricants, Nanotechnology 15 (2004) 1561–1570. [3] Otevřená encyklopedie Navajo [databáze online]. URL: [4] Senzory a biosenzory pro biotechnologie, podpora rozvoje biotechnologií a inovačního podnikání, seminář – Technické postupy pro výrobu mikrostruktur [citováno 12. července 2006]. URL: [5] Arvind Singh, R., Yoon, Eui-Sung. Friction of chemically and topographically modified Si (1 0 0) surfaces. Wear 263 (2007) 912–919. [6] Strojírenský měsíčník MM Průmyslové spektrum, Kód článku: 020941, Vyšlo v MM 2002/9 v rubrice Trendy / MSV 2002, strana 96. URL: [7] Liu, Ch., Zhang, J., Sun, J., Zhang, X. Tribological properties of pressureless sintered alumina matrix ceramic materials improved by diopside. Journal of the European Ceramic Society 28 (2008) 199–204. [8] Barriga, J., Fernández-Diaz, B., Juarros, A., Ahmed, S.I.-U., Arana, J.L. Microtribological analysis of gold and copper contacts. Tribology International 40 (2007) 1526–1530. [9] A. Tavakoli, et al., Mater. Sci. Eng. A (2008), doi:10.1016/j.msea.2007.12.030.
8
URL:
[21] Strojírenský měsíčník MM Průmyslové spektrum, Kód článku: 070155, Vyšlo v MM 2007/1, 14. listopadu 2007 v rubrice Servis / Rozhovor, strana 12.
9
