BAB I PENDAHULUAN. Gambar 1.1. Salah satu contoh MEMS: accelerometer silikon untuk aplikasi sensor pada otomotif [2]

1 BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang MEMS (Micro Electro Mechanical System) merupakan gabungan dari komponen-komponen elektrik dan mekanik yang memb...

135 downloads 118 Views 111KB Size

Recommend Documents