Příloha č. 1 - Technické podmínky - část 1 Řádkovací elektronový mikroskop SEM s EDS, EBSD detektorem a zkušebním zařízením pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků 1. Kupující v zadávacím řízení poptal dodávku zařízení vyhovujícího následujícím technickým požadavkům: Popis zařízení " Řádkovací elektronový mikroskop (FEGSEM)" : Rastrovací elektronový mikroskop s autoemisní FEG katodou - Shottkyho emitor, pracující v módu vysokého vakua, vhodný pro výzkum kovových materiálů a umožňující zkoumání a zobrazování i nevodivých materiálů, keramických a kompozitních materiálů. Součástí mikroskopu musí být zařízení pro čištění povrchu vzorků pomocí plazmového výboje přímo v komoře mikroskopu a kvalitní analyzátor pro stanovení chemického složení mikroobjemů materiálů pomocí energiově-dispersní mikroanalýzy rtg-záření (EDS) typu SDD. Součástí mikroskopu je EBSD detektor a instalované zkušební zařízení pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků umožňující "in-situ" EBSD analýzu při zatěžování vzorku, maximální možná zatěžovací síla je alespoň 2000 N, snadno odnímatelný stolek je opatřen vysokoteplotní komorou pro ohřev vzorků na maximální teplotu alespoň 600°C. Dodaný SW musí být schopen pokročilého kvantitativního vyhodnocování pomocí EDS a EBSD, musí být zajištěna plná softwarová integrace EDS a EBSD. Nesplní-li prodávající dílčí hodnotící kritérium (DHK) č. 2 v Příloze č.2 Zadávací dokumentace - dodávku WDS detektoru + WDS softwaru, komora mikroskopu musí být přizpůsobena pro budoucí instalaci WDS detektoru. Součástí kontraktu je jedna dodávka a výměna elektronového zdroje zdarma. Dodávka musí obsahovat všechny komponenty, práce a potřebné doplňky zajišťující propojení a funkci dále uvedených zkušebních zařízení s rozsahem funkcí uvedených v těchto minimálních podmínkách a to i k tomuto účelu nezbytné komponenty nebo práce, které nejsou v poptávce přímo uvedeny. Instalace musí zajistit úplné propojení dodaných komponent s cílem zajistit zadanou funkčnost celé dodávky. Součástí nabídky musí být Datové listy výrobce sloužící k ověření specifikovaných Technických parametrů Kupujícím.
Číslo
Technické a funkční vlastnosti
Požadovaná hodnota
► Technické požadavky na řádkovací elektronový mikroskop (FEGSEM) vybavený EDS a EBSD detektory (+ WDS detektorem při splnění DHK č. 2) a instalovaných zkušebním zařízením pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků ►Položky požadovaného systému 1 Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu ano Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 2 ano Pracovní komora elektronového mikroskopu 3 ano Stolek mikroskopu 4 ano Detektor EDS 5 ano EDS software 6 ano Detektor WDS 7 Hodnotící parametr WDS software 8 Hodnotící parametr EBSD detektor 9 ano EBSD software 10 ano Zkušební zařízení pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků 11 ano Software pro nastavení parametrů mechanického a tepelného zatěžování vzorků 12 ano Software mikroskopu 13 ano Řídící počítač pro mikroskop 14 ano Řídící počítač pro EDS, EBSD, (WDS po dovybavení v budoucnu) 15 ano Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu + další požadavky v ceně dodávky 16 ano ► Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu 17 Jako zdroj elektronů je požadován Shottkyho emitor s vysokým jasem. ano 18 Dopadová energie emitovaných elektronů, měnitelná kontinuálně, v rozsahu alespoň 0,2 - 30 keV 19 Dosažitelná hodnota proudu svazku měřeného na Faradayově cele ≥ 100 nA do max. +/- 0,5 % za hodinu a +/- 1% za 20 Garantovaná stabilita proudu elektronového svazku (měřená na Faradayově cele po instalaci) s možnou odchylkou 12 hodin 21 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 30 kV; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). ≤ 1,2 nm 22 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 15 kV; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). ≤ 1,5 nm 23 Objektivová čočka umožňuje práci v módu bez magnetického pole na vzorku. ano 24 Diferenční čerpání prostoru elektronového zdroje a optiky dostatečně účinnou vývěvou. ano 25 Automatické a manuální seřízení elektronového děla a optického systému. ano 26 Spojité nastavení proudu svazku v plném rozsahu urychlovacího napětí mikroskopu ano 27 Elektronový mikroskop vybaven systémem snížení rychlosti a energie dopadajících elektronů. ano ► Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 28 Detektor sekundárních elektronů (SE) uvnitř analytické komory. ano 29 Detektor sekundárních elektronů (SE) integrovaný do elektronového tubusu. ano 30 Detektor sekundárních elektronů (SE) určený pro práci v modu nízkého vakua. ano 31
Detektor zpětně odražených elektronů (BSE) instalovaný v rámci pólového nástavce nebo motorizovaný, výsuvný detektor zpětně odražených elektronů s minimálním rozlišením (detektor plně ovladatelný z prostředí operačního softwaru)
32 Simultánní akvizice signálu z alespoň dvou libovolných detektorů. 33 Minimální velikost zorného pole bez deformace obrazu při použití nejmenšího možného zvětšení 34 Integrovaná detekce a měření proudu absorbovaných elektronů. 35 Detekce a možnost zobrazení proudu elektronů absorbovaných vzorkem (EBIC). 36 Součástí dodávky je i standard částic zlata na uhlíku pro ověření rozlišení mikroskopu. ► Pracovní komora elektronového mikroskopu Velikost pracovní komory elektronového mikroskopu a její kompletní konfigurace musí umožnit instalaci všech požadovaných zařízení 37 a detektorů bez omezení jejich deklarovaných funkcí a použití požadované zadavatelem. Systém ochrany nebo bezpečnostní prvek, který zastaví posun stolku mikroskopu se vzorkem v případě, že se dotkne kterékoli vnitřní 38 části komory mikroskopu. 39 Integrované aktivní odpružení komory v rámu mikroskopu. 40 41 42 43 44 45
Přístup do komory mikroskopu pro velké vzorky odsunutím či odklopením jedné stěny komory. Musí být možné bez použití nářadí. Maximální rozměry vzorku zakládaných přímo do pracovní komory s možností neomezeného zobrazení a analýzy celého povrchu vzorku: délka x šířka x výška Optimalizované geometrické uspořádání analytických detektorů umožńující simultánní EDS-EBSD a EDS-WDS analýzu. Optimalizované porty pro montáž detekčních systémů elektronového mikroskopu, detektorů EDS, WDS a EBSD, IR kamery a plazmového dekontaminátoru. Geometrie portů musí zaručit plnou funkčnost všech zařízení. Instalovaná zařízení se nesmí vzájemně omezovat. Počet volných portů na pracovní komoře elektronového mikroskopu pro budoucí instalaci dalších zařízení a detektorů Plazmový dekontaminátor pro eliminaci uhlovodíkové kontaminace a čištění povrchu vzorků a vnitřních prostor pracovní komory elektronového mikroskopu.
alespoň 0,1 Z (atomového čísla) ano alespoň 50 mm ano ano ano ano ano ano ano min. 120 x 100 x 50 mm ano ano alespoň 1 ano
46
Provoz dekontaminátoru neohrožuje vakuový systém mikroskopu.
ano
47
IR kamera pro sledování vnitřku pracovní komory elektronového mikroskopu a polohy vzorku a detektorů. Vakuový systém umožňující dosažení čistého vakua. V případě, že čerpací systém obsahuje olejovou vývěvu, pak čerpací systém je vhodným způsobem zajištěn proti vniku olejových par do pracovní komory elektronového mikroskopu za jakýchkoli okolností (i při odstávce nebo poruše systému).
ano
48
ano
49
Tlak v komoře je měřen vhodným způsobem v celém rozsahu pracovních podmínek a zobrazen pro kontrolu uživatelem.
ano
50 51 52
Zavzdušňování komory elektronového mikroskopu kompatibilní s použitím dusíku minimální čistoty 4.0 Čerpání a zavzdušnění zakládací komory je automatizováno a ovládáno pomocí softwaru. Čas potřebný k výměně vzorku kratší než 15 minut
ano ano ano
53
Elektronový mikroskop musí být vybaven možností práce v režimu nízkého vakua při tlaku v rozsahu (tlak v pracovní komoře)
► Stolek mikroskopu 3-osý posuv včetně rotace v rovině vzorku a náklonu stolku plně funkční pro všechny dodávané držáky vzorků, všechny pohyby 54 motorizované.
alespoň 10-500 Pa
ano
55 Softwarově ovládaný, automatizovaný stolek s posuvem v osách X x Y x Z 56 Opakovatelnost nájezdu stolku s přesností 57 Využitelný rozsah náklonu stolku mikroskopu v obou směrech (-X° až + X°) 58 Pozice zobrazované oblasti se zachovává při náklonu i rotaci vzorku. 59 Držák pro EBSD analýzu TEM fólií ► Detektor EDS 60
Detektor typu SDD, bez nutnosti chlazení kapalným dusíkem s garantovanou funkčností v celém rozsahu pracovních podmínek.
61 62 63
Detektor vybaven motorickým vysunováním a zasunováním do pracovní pozice. Velikost aktivní plochy snímacího čipu detektoru Schopnost detekce, kvalitativní a kvantitativní analýzy prvků v rozsahu od Be po Pu. Garantovaná hodnota energiového rozlišení na manganu (Mn Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po 64 instalaci detektoru Garantovaná hodnota energiového rozlišení na uhlíku (C Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po instalaci 65 detektoru ►EDS software 66 Multiuživatelský systém. 67 Musí umožňovat snímání obrazových signálů z mikroskopu. 68 Základní obrazová analýza (jas, kontrast, gamma korekce atd.). 69 Umožňuje kvantitativní bezstandardovou analýzu. 70 Musí umožňovat práci se standardy, vytváření vlastních knihoven standardů. 71 Musí umožňovat export/import spektra v otevřeném formátu (EMSA). Volba analýz v bodě, v oblasti libovolně zvolené uživatelem, v linii a v definovaném rastru. U všech typů analýz je automaticky 72 uloženo celé spektrum v každém bodě analýzy. 73 Vytváření map prvků s možností získání rozložení prvků v libovolné oblasti a podél čáry zvolené v nasnímané oblasti. 74 Musí umožňovat vytváření kvantitativní mapy rozložení prvků. 75 Maximální rozlišení prvkové distribuční mapy EDS 76 Vytváření kvantitativních linescanů s rozlišením 77 Automatická detekce fází, tvorba fázových map na základě chemického složení, modální analýza. 78 Musí umožňovat ovládat posuvy stolku mikroskopu. Musí umožňovat automatizaci procesu snímání větších ploch zahrnující snímkování povrchu vzorků a akvizice distribučních prvkových 79 map, možnost rozčlenění analyzované oblasti na dílčí celky následované akvizicí dat a jejich následné spojení do jednoho datového výstupu. 80 Kompenzace driftu vzorku v průběhu analýzy. 81
Software umožňuje plnou integraci EDS systému s WDS systémem při splnění DHK č. 2 (či případným budoucím WDS systémem).
82
Software umožňuje plnou integraci EDS a EBSD systémů. Software zahrnuje automatizovanou částicovou analýzu i z více analyzovaných polí s vyhodnocením dat zahrnující základní charakteristiky detekovaných částic (např. velikost, tvar atd.) a chemické složení částic. Musí umožňovat plánování automatizovaných analytických úloh za účelem automatické akvizice dat bez nutnosti dalšího zásahu uživatele, zahrnuje také možnost registrace libovolného snímku pořízeného v rámci softwaru a jeho využití pro navigaci a stanovení polohy analytických bodů (ploch).
83 84
85
Musí umožňovat řešení interferencí čar analyzovaných prvků dekonvolučními metodami a pulse pile-up korekci (korekce pile-up píků až minimálně třetího řádu) v průběhu akvizice dat pro veškerá kvantitativní data, prvkové distribuční mapy a liniové analýzy
86 Minimálně jedna offline licence dodaného EDS softwaru pro dalšího uživatele. ► Detektor WDS (Hodnotící parametr) 87 WDS systém umožňuje detekci, kvalitativní a kvantitativní analýzu prvků od Be do Pu. WDS systém umožňuje analýzu čar prvků v rozsahu energií rtg. záření (požadovaný rozsah kontinuálně pokryt vhodnými difrakčními 88 krystaly) 89 WDS systém musí umožnit montáž až 6 difrakčních krystalů najednou 90 WDS systém musí být vybaven difrakčními krystaly optimalizovanými pro analýzu C, N a O. WDS spektrometr je vybaven vstupní štěrbinou (umístěnou před detektorem) s motorizovaným ovládáním její pozice a šířky pro 91 optimalizaci intenzity vstupního signálu a poměru intenzit na peaku a pozadí. 92 Integrovaný systém měření proudu svazku pro kvantitativní WDS analýzu. WDS spektrometr musí být vybaven dvěma detektory na bázi průtokového proporcionálního čítače a proporcionálního čítače se 93 stálou náplní vhodného plynu (např. Xe) pro maximální efektivitu detekce rtg záření v požadovaném energiovém rozsahu, oba detektory umožňují detekci rtg. záření jak odděleně tak i současně podle volby uživatele.
alespoň 120 x 100 x 50 mm alespoň 1 mikrometr alespoň -5° až +70° ano ano ano ano min. 80 mm2 ano ≤ 125 eV ≤ 50 eV
ano ano ano ano ano ano ano ano ano alespoň 4096 x 4096 pixelů až 8192 bodů ano ano ano ano ano ano ano ano
ano ano ano alespoň 100 eV - 10 keV ano ano ano ano ano
94
Garantovaná intenzita signálu na čáře C Ka (měřená na standardu čistého uhlíku), poměr intenzity peaku k pozadí
≥ 400 pulsů za sekundu na 1 nA, P/B ≥ 50
95
Garantovaná intenzita signálu na čáře Fe Ka (měřená na standardu čistého železa), poměr intenzity peaku k pozadí
≥ 1000 pulsů za sekundu na 1 nA P/B ≥ 500
Součástí dodávky je sada standardů prvků/sloučenin pro kvantitativní WDS-EDS analýzu. Pokryty alespoň prvky: Al, Ba, Be, B, Ca, Ce, Cd, Cl, Cr, Co, C, Cu, Ge, Au, In, Ir, F, Fe, K, La, Pb, Mn, Mo, Mg, N, Na, Ni, Nb, P, Pd, Pt, Re, Rh, S, Se, Sc, Si, Sr, Ag, Ta, Te, Sb, Sn, Ti, W, V, Y, Zn, Zr, Bi, Hf. Referenční materiály dodány s certifikátem složení. ► WDS software (Hodnotící parametr) 97 Požadována plná softwarová integrace s EDS systémem v rámci jednoho softwaru. 96
98
Simultání EDS-WDS kvantitativní analýza s možností volby prvků analyzovaných WDS nebo EDS podle požadavků uživatele.
Analytické funkce umožňující akvizici spektrálních scanů, ověření přítomnosti prvku ve vzorku a kvantitativní analýzu s použitím 99 standardů. 100 Automatická kalibrace detektorů 101 Minimálně jedna offline licence dodaného WDS softwaru pro dalšího uživatele. ► EBSD detektor 102 EBSD detektor jehož funkčnost je zaručena v celém rozsahu pracovních podmínek. 103 Rozlišení kamery detektoru EBSD 104 Framerate EBSD detektoru 105 Součástí dodávky EBSD systému je i FSD detektor (forward scattered detector). 106 Dodání a zajištění výměny fosforových stínítek EBSD detektoru v ceně dodávky v počtu Musí umožňovat provést "in situ" EBSD analýzu - změnu mikrostruktury během tepelného a mechanického zatěžování (alespoň tah, 107 tlak) vzorků pomocí zkušebního zařízení instalovaného v pracovní komoře mikroskopu ► EBSD software
108
Software pro akvizici a analýzu EBSD dat musí umožňovat úplnou dostupnost všech funkcí k ovládání EBSD detektoru a podmínek analýzy a akvizice dat, dále umožňuje minimálně konstrukci map IPF (inverse pole figure), pólových obrazců, inverzních pólových obrazců, výpočet ODF/MDF funkcí (orientation/misorientation distribution function), analýzu textury, filtraci dat, manuální a podmíněný výběr dat v mapách, export vybraných dat do samostatných datasetů a vytváření vlastních databází krystalografických dat a jejich neomezené použití v rámci EBSD softwaru.
Alespoň dvě časově neomezené databáze krystalografických dat anorganických látek s úplnou přístupností ze softwaru ovládajícího EBSD systém. EBSD software je plně integrován s EDS softwarem v rámci jednoho softwarového rozhraní, umožňuje simultání akvizici EBSD-EDS dat 110 a podporu identifikace krystalové struktury daty z EDS. 111 Minimálně jedna offline licence dodaného EBSD softwaru a databází pro dalšího uživatele. ► Zkušební zařízení pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků 112 Zkušební zařízení musí být schopné testovat kovové i nekovové materiály v pracovní komoře elektronového mikroskopu 113 Zkušební zařízení odnímatelné z pracovní komory elektronového mikroskopu 114 Zkušební zařízení musí umožnit mechanické namahání vzorků na tah, tlak, ohyb 115 Maximální zatížení vzorku 109
116
Zkušební zařízení musí být schopné testovat zkušební vzorky za zvýšených teplot (Technická podmínka č. 117)
ano
ano ano ano ano ano ano ≥ 1 Mpix ≥ 100 fps ano alespoň 2 ks ano
ano
ano ano ano ano ano ano min. 2000 N ano
117 Maximální teplota vzorku 118 Rozsah rychlosti zatěžování 119 Maximální možná měřitelná deformace 120 Přesnost měření deformace 121 Systém ochrany proti přetížení zařízení ► Software pro nastavení parametrů mechanického a tepelného zatěžování vzorků Umožňuje nastavení parametrů namáhání (typ mechanického namáhání, možná kombinace namáhání, velikost zatížení, rychlost 122 zatěžování) 123 Musí umožňovat pořízení videozáznamu obrazu ze SEM synchronizovaný se zatěžovací křivkou. 124 Nastavení teploty vzorku (rychlost ohřevu, výdrž na teplotě, výše teploty, apod.) ► Software mikroskopu 126 Automatické nastavení jas-kontrast (ACB), zaostření (AF) a stigmátorů. 127 Funkce nastavení dynamického fokusu na hodnotu 70°. 128 Softwarová rotace obrazu a korekce náklonu vzorku. 129 Současné zobrazení alespoň dvou živých obrazů. 130 Umožňuje snímat obrazy 16 bitově s maximálním rozlišením 131 Obrazové formáty minimálně TIFF, BMP, JPG. 132 Integrovaný software pro základní obrazovou analýzu, vkládání měřítek do snímků a vytváření protokolu o pozorování. 133 Integrovaný software pro měření vzdáleností, úhlů a ploch v živém i uloženém obrazu SEM. 134
Software umožňuje načtení obrazu pomocí alespoň jednoho z instalovaných detektorů (např. SE detektoru), import obrazu vzorků pořízený jiným zařízením, registraci obrazu a použití pro navigaci mezi analyzovanými oblastmi na vzorku.
135 Umožňuje snímání videosekvencí obrazu analyzovaného vzorku. 136 Automatizované snímání, spojení a ukládání snímků definovaných oblastí. 137 Umožňuje zobrazit a snímat obrazy v kombinaci signálů SE a BSE (např. obraz 50% v SE a 50% v BSE) ► Řídící počítač pro mikroskop Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 138 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 139 bitová verze) a dvěma monitory s úhlopříčkou Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem 140 zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických 141 systémů. Operační paměť 142 2 pevné disky s kapacitou pro každý z nich 143 Barevná laserová tiskárna formátu A4 s rozlišením tisku. 144 Řídící panel ovládání mikroskopu. 145 Klávesnice česká (qwertz) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš 146 ► Řídící počítač pro EDS, EBSD, (WDS po dovybavení v budoucnu) Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 147 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 148 bitová verze) a s úhlopříčkou Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem 149 zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických 150 systémů. Operační paměť 151 2 pevné disky s kapacitou pro každý z nich. 152 Klávesnice česká (qwerty) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš 153 ► Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu + další požadavky v ceně dodávky 154 Systém chlazení (je-li nutný). 155 Kompresor pro stlačný vzduch (je-li nutný). 156 UPS schopna udržet mikroskop i nutná zařízení v provozu nejméně 1 hodinu. 157 Aktivní systém kompenzace elektromagnetického rušení s potlačením nejméně 30x včetně stejnosměrné složky. Systém pro analýzu tloušťky a chemického složení tenkých vrstev a multivrstev plně integrovaný do analytického a ovládacího 158 softwaru 159 Jedna výměna katody zdarma zahrnutá v ceně dodávky. 160 Další dvě výměny katody zdarma v ceně dodávky 161 Reaktivní a prediktivní softwarová korekce driftu
min. 600°C alespoň 0,05 az 4 mm/min alespoň 10 mm alespoň 20 mikrometrů ano ano ano ano ano ano ano ano alespoň 250 Mpx ano ano ano ano ano ano ano ano min. 24“ ano ano alespoň 32 GB alespoň 1 TB minimálně 1200 dpi ano ano ano min. 24“ ano ano alespoň 32 GB alespoň 1 TB ano ano ano ano ano ano ano Hodnotící parametr Hodnotící parametr
2. Prodávající ke splnění závazků ze Smlouvy Kupujícímu dodá, nainstaluje, otestuje Číslo Technické a funkční vlastnosti
Požadovaná hodnota
Garantovaná hodnota
► Technické požadavky na řádkovací elektronový mikroskop (FEGSEM) vybavený EDS a EBSD detektory (+ WDS detektorem při splnění DHK č. 2) a instalovaných zkušebním zařízením pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků ► Položky požadovaného systému 1 Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu ano ano Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 2 ano ano Pracovní komora elektronového mikroskopu 3 ano ano Stolek mikroskopu 4 ano ano Detektor EDS 5 ano ano EDS software 6 ano ano Hodnotící parametr vyplní Detektor WDS Hodnotící parametr 7 uchazeč (Ano/Ne) Hodnotící parametr vyplní WDS software Hodnotící parametr 8 uchazeč (Ano/Ne) EBSD detektor 9 ano ano EBSD software 10 ano ano Zkušební zařízení pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků 11 ano ano Software pro nastavení parametrů mechanického a tepelného zatěžování vzorků 12 ano ano Software mikroskopu 13 ano ano Řídící počítač pro mikroskop 14 ano ano Řídící počítač pro EDS, EBSD (WDS po dovybavení v budoucnu) 15 ano ano Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu + další požadavky v ceně dodávky 16 ano ano ► Optický systém rastrovacího elektronového mikroskopu 17 Jako zdroj elektronů je požadován Shottkyho emitor s vysokým jasem. ano ano 18 Dopadová energie emitovaných elektronů, měnitelná kontinuálně, v rozsahu alespoň 0,2 - 30 keV Vyplní uchazeč 19 Dosažitelná hodnota proudu svazku měřeného na Faradayově cele ≥ 100 nA Vyplní uchazeč do max. +/- 0,5 % za hodinu a +/- 1% za 20 Garantovaná stabilita proudu elektronového svazku (měřená na Faradayově cele po instalaci) s možnou odchylkou Vyplní uchazeč 12 hodin 21 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 30 kV; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). ≤ 1,2 nm Vyplní uchazeč 22 Rozlišení v SE při urychlovacím napětí 15 kV; ověřitelné na standardizovaném vzorku Au-C (gold on carbon). ≤ 1,5 nm Vyplní uchazeč 23 Objektivová čočka umožňuje práci v módu bez magnetického pole na vzorku. ano ano 24 Diferenční čerpání prostoru elektronového zdroje a optiky dostatečně účinnou vývěvou. ano ano 25 Automatické a manuální seřízení elektronového děla a optického systému. ano ano 26 Spojité nastavení proudu svazku v plném rozsahu urychlovacího napětí mikroskopu ano ano 27 Elektronový mikroskop vybaven systémem snížení rychlosti a energie dopadajících elektronů. ano ano ► Detekční systém rastrovacího elektronového mikroskopu 28 Detektor sekundárních elektronů (SE) uvnitř analytické komory. ano ano
29 30
Detektor sekundárních elektronů (SE) integrovaný do elektronového tubusu. Detektor sekundárních elektronů (SE) určený pro práci v modu nízkého vakua.
31
Detektor zpětně odražených elektronů (BSE) instalovaný v rámci pólového nástavce nebo motorizovaný, výsuvný detektor zpětně odražených elektronů s minimálním rozlišením (detektor plně ovladatelný z prostředí operačního softwaru)
32 Simultánní akvizice signálu z alespoň dvou libovolných detektorů. 33 Minimální velikost zorného pole bez deformace obrazu při použití nejmenšího možného zvětšení 34 Integrovaná detekce a měření proudu absorbovaných elektronů. 35 Detekce a možnost zobrazení proudu elektronů absorbovaných vzorkem (EBIC). 36 Součástí dodávky je i standard částic zlata na uhlíku pro ověření rozlišení mikroskopu. ► Pracovní komora elektronového mikroskopu Velikost pracovní komory elektronového mikroskopu a její kompletní konfigurace musí umožnit instalaci všech požadovaných zařízení 37 a detektorů bez omezení jejich deklarovaných funkcí a použití požadované zadavatelem. Systém ochrany nebo bezpečnostní prvek, který zastaví posun stolku mikroskopu se vzorkem v případě, že se dotkne kterékoli vnitřní 38 části komory mikroskopu. 39 Integrované aktivní odpružení komory v rámu mikroskopu. 40 41 42 43 44 45 46 47 48
Přístup do komory mikroskopu pro velké vzorky odsunutím či odklopením jedné stěny komory. Musí být možné bez použití nářadí. Maximální rozměry vzorku zakládaných přímo do pracovní komory s možností neomezeného zobrazení a analýzy celého povrchu vzorku: délka x šířka x výška Optimalizované geometrické uspořádání analytických detektorů umožńující simultánní EDS-EBSD a EDS-WDS analýzu. Optimalizované porty pro montáž detekčních systémů elektronového mikroskopu, detektorů EDS, WDS a EBSD, IR kamery a plazmového dekontaminátoru. Geometrie portů musí zaručit plnou funkčnost všech zařízení. Instalovaná zařízení se nesmí vzájemně omezovat. Počet volných portů na pracovní komoře elektronového mikroskopu pro budoucí instalaci dalších zařízení a detektorů Plazmový dekontaminátor pro eliminaci uhlovodíkové kontaminace a čištění povrchu vzorků a vnitřních prostor pracovní komory elektronového mikroskopu. Provoz dekontaminátoru neohrožuje vakuový systém mikroskopu. IR kamera pro sledování vnitřku pracovní komory elektronového mikroskopu a polohy vzorku a detektorů. Vakuový systém umožňující dosažení čistého vakua. V případě, že čerpací systém obsahuje olejovou vývěvu, pak čerpací systém je vhodným způsobem zajištěn proti vniku olejových par do pracovní komory elektronového mikroskopu za jakýchkoli okolností (i při odstávce nebo poruše systému).
ano ano
ano ano
alespoň 0,1 Z (atomového čísla)
Vyplní uchazeč
ano alespoň 50 mm ano ano ano
ano Vyplní uchazeč ano ano ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
min. 120 x 100 x 50 mm
Vyplní uchazeč
ano
ano
ano
ano
alespoň 1
Hodnotící parametr vyplní uchazeč
ano
ano
ano ano
ano ano
ano
ano
49
Tlak v komoře je měřen vhodným způsobem v celém rozsahu pracovních podmínek a zobrazen pro kontrolu uživatelem.
ano
ano
50 51 52
Zavzdušňování komory elektronového mikroskopu kompatibilní s použitím dusíku minimální čistoty 4.0 Čerpání a zavzdušnění zakládací komory je automatizováno a ovládáno pomocí softwaru. Čas potřebný k výměně vzorku kratší než 15 minut
ano ano ano
ano ano ano
53
Elektronový mikroskop musí být vybaven možností práce v režimu nízkého vakua při tlaku v rozsahu (tlak v pracovní komoře)
alespoň 10-500 Pa
Vyplní uchazeč
► Stolek mikroskopu 3-osý posuv včetně rotace v rovině vzorku a náklonu stolku plně funkční pro všechny dodávané držáky vzorků, všechny pohyby 54 motorizované. 55 Softwarově ovládaný, automatizovaný stolek s posuvem v osách X x Y x Z 56 Opakovatelnost nájezdu stolku s přesností 57
Využitelný rozsah náklonu stolku mikroskopu v obou směrech (-X° až + X°)
58 Pozice zobrazované oblasti se zachovává při náklonu i rotaci vzorku. 59 Držák pro EBSD analýzu TEM fólií ► Detektor EDS 60
Detektor typu SDD, bez nutnosti chlazení kapalným dusíkem s garantovanou funkčností v celém rozsahu pracovních podmínek.
61 62 63
Detektor vybaven motorickým vysunováním a zasunováním do pracovní pozice. Velikost aktivní plochy snímacího čipu detektoru Schopnost detekce, kvalitativní a kvantitativní analýzy prvků v rozsahu od Be po Pu. Garantovaná hodnota energiového rozlišení na manganu (Mn Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po 64 instalaci detektoru Garantovaná hodnota energiového rozlišení na uhlíku (C Ka) měřená v souladu s ISO 15632:2012 a ověřitelná měřením po instalaci 65 detektoru ►EDS software 66 Multiuživatelský systém. 67 Musí umožňovat snímání obrazových signálů z mikroskopu. 68 Základní obrazová analýza (jas, kontrast, gamma korekce atd.). 69 Umožňuje kvantitativní bezstandardovou analýzu. 70 Musí umožňovat práci se standardy, vytváření vlastních knihoven standardů. 71 Musí umožňovat export/import spektra v otevřeném formátu (EMSA). Volba analýz v bodě, v oblasti libovolně zvolené uživatelem, v linii a v definovaném rastru. U všech typů analýz je automaticky 72 uloženo celé spektrum v každém bodě analýzy. 73 Vytváření map prvků s možností získání rozložení prvků v libovolné oblasti a podél čáry zvolené v nasnímané oblasti. 74 Musí umožňovat vytváření kvantitativní mapy rozložení prvků. 75 Maximální rozlišení prvkové distribuční mapy EDS 76 Vytváření kvantitativních linescanů s rozlišením 77 Automatická detekce fází, tvorba fázových map na základě chemického složení, modální analýza. 78 Musí umožňovat ovládat posuvy stolku mikroskopu. Musí umožňovat automatizaci procesu snímání větších ploch zahrnující snímkování povrchu vzorků a akvizice distribučních prvkových 79 map, možnost rozčlenění analyzované oblasti na dílčí celky následované akvizicí dat a jejich následné spojení do jednoho datového výstupu. 80 Kompenzace driftu vzorku v průběhu analýzy. 81
Software umožňuje plnou integraci EDS systému s WDS systémem při splnění DHK č. 2 (či případným budoucím WDS systémem).
82
Software umožňuje plnou integraci EDS a EBSD systémů. Software zahrnuje automatizovanou částicovou analýzu i z více analyzovaných polí s vyhodnocením dat zahrnující základní charakteristiky detekovaných částic (např. velikost, tvar atd.) a chemické složení částic. Musí umožňovat plánování automatizovaných analytických úloh za účelem automatické akvizice dat bez nutnosti dalšího zásahu uživatele, zahrnuje také možnost registrace libovolného snímku pořízeného v rámci softwaru a jeho využití pro navigaci a stanovení polohy analytických bodů (ploch).
83 84
85
Musí umožňovat řešení interferencí čar analyzovaných prvků dekonvolučními metodami a pulse pile-up korekci (korekce pile-up píků až minimálně třetího řádu) v průběhu akvizice dat pro veškerá kvantitativní data, prvkové distribuční mapy a liniové analýzy
86 Minimálně jedna offline licence dodaného EDS softwaru pro dalšího uživatele. ► Detektor WDS (Hodnotící parametr) 87 WDS systém umožňuje detekci, kvalitativní a kvantitativní analýzu prvků od Be do Pu. WDS systém umožňuje analýzu čar prvků v rozsahu energií rtg. záření (požadovaný rozsah kontinuálně pokryt vhodnými difrakčními 88 krystaly) 89 WDS systém musí umožnit montáž až 6 difrakčních krystalů najednou 90 WDS systém musí být vybaven difrakčními krystaly optimalizovanými pro analýzu C, N a O. WDS spektrometr je vybaven vstupní štěrbinou (umístěnou před detektorem) s motorizovaným ovládáním její pozice a šířky pro 91 optimalizaci intenzity vstupního signálu a poměru intenzit na peaku a pozadí. 92 Integrovaný systém měření proudu svazku pro kvantitativní WDS analýzu.
ano
ano
alespoň 120 x 100 x 50 mm alespoň 1 mikrometr
ano ano
Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč Hodnotící parametr vyplní uchazeč ano ano
ano
ano
ano min. 80 mm2 ano
ano Vyplní uchazeč ano
≤ 125 eV
Vyplní uchazeč
≤ 50 eV
Vyplní uchazeč
ano ano ano ano ano ano
ano ano ano ano ano ano
alespoň -5° až +70°
ano
ano
ano ano alespoň 4096 x 4096 pixelů až 8192 bodů ano ano
ano ano Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč ano ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
alespoň 100 eV - 10 keV
Vyplní uchazeč
ano ano
ano ano
ano
ano
ano
ano
93
WDS spektrometr musí být vybaven dvěma detektory na bázi průtokového proporcionálního čítače a proporcionálního čítače se stálou náplní vhodného plynu (např. Xe) pro maximální efektivitu detekce rtg záření v požadovaném energiovém rozsahu, oba detektory umožňují detekci rtg. záření jak odděleně tak i současně podle volby uživatele.
94 95
ano
ano
Garantovaná intenzita signálu na čáře C Ka (měřená na standardu čistého uhlíku), poměr intenzity peaku k pozadí
≥ 400 pulsů za sekundu na 1 nA, P/B ≥ 50
Vyplní uchazeč
Garantovaná intenzita signálu na čáře Fe Ka (měřená na standardu čistého železa), poměr intenzity peaku k pozadí
≥ 1000 pulsů za sekundu na 1 nA P/B ≥ 500
Vyplní uchazeč
ano
ano
Součástí dodávky je sada standardů prvků/sloučenin pro kvantitativní WDS-EDS analýzu. Pokryty alespoň prvky: Al, Ba, Be, B, Ca, Ce, 96 Cd, Cl, Cr, Co, C, Cu, Ge, Au, In, Ir, F, Fe, K, La, Pb, Mn, Mo, Mg, N, Na, Ni, Nb, P, Pd, Pt, Re, Rh, S, Se, Sc, Si, Sr, Ag, Ta, Te, Sb, Sn, Ti, W, V, Y, Zn, Zr, Bi, Hf. Referenční materiály dodány s certifikátem složení. ► WDS software (Hodnotící parametr) 97 Požadována plná softwarová integrace s EDS systémem v rámci jednoho softwaru. 98
Simultání EDS-WDS kvantitativní analýza s možností volby prvků analyzovaných WDS nebo EDS podle požadavků uživatele.
Analytické funkce umožňující akvizici spektrálních scanů, ověření přítomnosti prvku ve vzorku a kvantitativní analýzu s použitím 99 standardů. 100 Automatická kalibrace detektorů 101 Minimálně jedna offline licence dodaného WDS softwaru pro dalšího uživatele. ► EBSD detektor 102 EBSD detektor jehož funkčnost je zaručena v celém rozsahu pracovních podmínek. 103 Rozlišení kamery detektoru EBSD 104 Framerate EBSD detektoru 105 Součástí dodávky EBSD systému je i FSD detektor (forward scattered detector). 106 Dodání a zajištění výměny fosforových stínítek EBSD detektoru v ceně dodávky v počtu Musí umožňovat provést "in situ" EBSD analýzu - změnu mikrostruktury během tepelného a mechanického zatěžování (alespoň tah, 107 tlak) vzorků pomocí zkušebního zařízení instalovaného v pracovní komoře mikroskopu ► EBSD software Software pro akvizici a analýzu EBSD dat musí umožňovat úplnou dostupnost všech funkcí k ovládání EBSD detektoru a podmínek analýzy a akvizice dat, dále umožňuje minimálně konstrukci map IPF (inverse pole figure), pólových obrazců, inverzních pólových 108 obrazců, výpočet ODF/MDF funkcí (orientation/misorientation distribution function), analýzu textury, filtraci dat, manuální a podmíněný výběr dat v mapách, export vybraných dat do samostatných datasetů a vytváření vlastních databází krystalografických dat a jejich neomezené použití v rámci EBSD softwaru. Alespoň dvě časově neomezené databáze krystalografických dat anorganických látek s úplnou přístupností ze softwaru ovládajícího 109 EBSD systém. EBSD software je plně integrován s EDS softwarem v rámci jednoho softwarového rozhraní, umožňuje simultání akvizici EBSD-EDS dat 110 a podporu identifikace krystalové struktury daty z EDS. 111 Minimálně jedna offline licence dodaného EBSD softwaru a databází pro dalšího uživatele. ► Zkušební zařízení pro mechanické a tepelné zatěžování vzorků 112
Zkušební zařízení musí být schopné testovat kovové i nekovové materiály v pracovní komoře elektronového mikroskopu
113 Zkušební zařízení odnímatelné z pracovní komory elektronového mikroskopu 114 Zkušební zařízení musí umožnit mechanické namahání vzorků na tah, tlak, ohyb 115 Maximální zatížení vzorku 116 Zkušební zařízení musí být schopné testovat zkušební vzorky za zvýšených teplot (Technická podmínka č. 117) 117 Maximální teplota vzorku 118 Rozsah rychlosti zatěžování 119 Maximální možná měřitelná deformace 120 Přesnost měření deformace 121 Systém ochrany proti přetížení zařízení ► Software pro nastavení parametrů mechanického a tepelného zatěžování vzorků Umožňuje nastavení parametrů namáhání (typ mechanického namáhání, možná kombinace namáhání, velikost zatížení, rychlost 122 zatěžování) 123 Musí umožňovat pořízení videozáznamu obrazu ze SEM synchronizovaný se zatěžovací křivkou. 124 Nastavení teploty vzorku (rychlost ohřevu, výdrž na teplotě, výše teploty, apod.) ► Software mikroskopu 126 Automatické nastavení jas-kontrast (ACB), zaostření (AF) a stigmátorů. 127 Funkce nastavení dynamického fokusu na hodnotu 70°. 128 Softwarová rotace obrazu a korekce náklonu vzorku. 129 Současné zobrazení alespoň dvou živých obrazů. 130 Umožňuje snímat obrazy 16 bitově s maximálním rozlišením 131 Obrazové formáty minimálně TIFF, BMP, JPG. 132 Integrovaný software pro základní obrazovou analýzu, vkládání měřítek do snímků a vytváření protokolu o pozorování. 133 Integrovaný software pro měření vzdáleností, úhlů a ploch v živém i uloženém obrazu SEM. 134
Software umožňuje načtení obrazu pomocí alespoň jednoho z instalovaných detektorů (např. SE detektoru), import obrazu vzorků pořízený jiným zařízením, registraci obrazu a použití pro navigaci mezi analyzovanými oblastmi na vzorku.
135 Umožňuje snímání videosekvencí obrazu analyzovaného vzorku. 136 Automatizované snímání, spojení a ukládání snímků definovaných oblastí. 137 Umožňuje zobrazit a snímat obrazy v kombinaci signálů SE a BSE (např. obraz 50% v SE a 50% v BSE) ► Řídící počítač pro mikroskop Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 138 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 139 bitová verze) a dvěma monitory s úhlopříčkou Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem 140 zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických 141 systémů. Operační paměť 142 2 pevné disky s kapacitou pro každý z nich 143 Barevná laserová tiskárna formátu A4 s rozlišením tisku. 144 Řídící panel ovládání mikroskopu. 145 Klávesnice česká (qwertz) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš 146 ► Řídící počítač pro EDS, EBSD (WDS po dovybavení v budoucnu) Typ PC - pracovní stanice (workstation) kompatibilní s pracovními stanicemi zadavatele. 147 Řídící počítač s operačním systémem, který bude plně kompatibilní s operačním systémem zadavatele (Windows 7 - Professional, 64 148 bitová verze) a s úhlopříčkou Dodávka řídícího počítače zahrnuje také balík kancelářského softwaru, který musí být plně kompatibilní s kancelářským softwarem 149 zadavatele (MS Office Professional 2013 CZ 64 bit). Konfigurace řídího počítače musí být navržena tak aby zajistila bezproblémový provoz a ovládání všech instalovaných analytických 150 systémů. Operační paměť 151 2 pevné disky s kapacitou pro každý z nich. 152 Klávesnice česká (qwerty) USB a optická nebo laserová bezdrátová multifunkční myš 153 ► Pomocná zařízení nutná k provozu mikroskopu + další požadavky v ceně dodávky 154 Systém chlazení (je-li nutný). 155 Kompresor pro stlačný vzduch (je-li nutný). 156 UPS schopna udržet mikroskop i nutná zařízení v provozu nejméně 1 hodinu. 157 Aktivní systém kompenzace elektromagnetického rušení s potlačením nejméně 30x včetně stejnosměrné složky. Systém pro analýzu tloušťky a chemického složení tenkých vrstev a multivrstev plně integrovaný do analytického a ovládacího 158 softwaru
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano ano
ano ano
ano ≥ 1 Mpix ≥ 100 fps ano alespoň 2 ks
ano Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč ano Vyplní uchazeč
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano
ano ano min. 2000 N ano min. 600°C alespoň 0,05 az 4 mm/min alespoň 10 mm alespoň 20 mikrometrů ano
ano ano Vyplní uchazeč ano Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč ano
ano
ano
ano ano
ano ano
ano ano ano ano alespoň 250 Mpx ano ano ano
ano ano ano ano Vyplní uchazeč ano ano ano
ano
ano
ano ano ano
ano ano ano
ano
ano
min. 24“
Vyplní uchazeč
ano
ano
ano
ano
alespoň 32 GB alespoň 1 TB minimálně 1200 dpi ano ano
Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč ano ano
ano
ano
min. 24“
Vyplní uchazeč
ano
ano
ano
ano
alespoň 32 GB alespoň 1 TB ano
Vyplní uchazeč Vyplní uchazeč ano
ano ano ano ano
ano ano ano ano
ano
ano
159
Jedna výměna katody zdarma zahrnutá v ceně dodávky.
160
Další dvě výměny katody zdarma v ceně dodávky
Hodnotící parametr
ano
161
Reaktivní a prediktivní softwarová korekce driftu
Hodnotící parametr
ano Hodnotící parametr vyplní uchazeč (Ano/Ne) Hodnotící parametr vyplní uchazeč (Ano/Ne)
