Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
1
Nyertes ENIAC projektek az MTA TTK MFA MEMS Laborjából
ENIAC SE2A ENIAC CAJAL
Contact email:
[email protected] Phone: +36-1-392-2614 Fax: +36-1-392-2226 Mailing Address: P.O.B. 49, H-1525 Budapest, HUNGARY Visiting Address: Konkoly Thege M. út 29-33, H-1121 Budapest, HUNGARY
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
FP7 ENIAC JU Nanoelektronikai kutatási program, melynek célja az eszközök további integrációja, miniatürizációja, funkcionalitásuk növelése
SE2A – Nanoelectronics for Safe, Fuel Efficient and Environment Friendly Automotive Solutions 2009-2010-2011
CAJAL4EU – Chip Architectures by Joint Associated Labs for European diagnostics 2010-2011-2012
2
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
3
MFA MEMS Labor •
Küldetés: fizikai-, kémiai- és biokémiai érzékelő rendszerek kutatása, fejlesztése és rendszerintegrációja
•
Mikrotechnológiai alapok – 300 m2-es „tisztalabor” komplett Si CMOS technológiai sorral és maszklaborral - egyedülálló Magyarországon
•
Interdiszciplináris - fizikusok, együttműködő csapata
Alapja: IC gyártásban használt
villamosmérnökök,
anyagok, technológiák
vegyészek,
gépészmérnökök
...melyek később kibővültek...
Anita PONGRACZ,
[email protected]
Részvétel az SE2A projektben Si alapú mikroérzékelők fejlesztése • Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor fejlesztése és rendszerintegrációja • Gázérzékelő szenzor • Kapacitív nyomásmérő szenzor • Kalorimetrikus áramlásmérő szenzor
TTK MFA MEMS Lab
4
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
5
SE2A- Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor A mikroérzékelő: - Si tömbi megmunkálása (membrán+kiálló kar) - Piezorezisztív elv (deformáció → ellenállásváltozás)
Végeselem szimulációs modellek (fent) SEM képek a Si chip tetejéről és aljáról (lent)
Üveggel merevített struktúra sematikus képe (bal) A felfűrészelt Si chipek (jobb)
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
6
SE2A- Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor A tokozás és rendszerintegráció (WESZTA-T Kft-vel együttműködésben): - Klímakamrás tesztek - Gumijavító foltba építve (szabadalom) - Tesztelés statikus deformáció esetén
Autógumi végeselem szimulációs modellje (bal), Szenzor teszt statikus kerékdeformáció közben (jobb)
www.weszta-t.hu
Tokozás gumijavító foltba (bal) Statikus deformáció esetén mért jelek (jobb)
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
7
SE2A- Autógumiba integrálható deformációmérő szenzor Éles tesztek (WESZTA-T Kft-vel együttműködésben): - Gumijavító foltba építve, autóra szerelve - Vezetéknélküli táplálás - Vezetéknélküli kommunikáció
www.weszta-t.hu
Normál útviszonyok
A szenzorrendszer bemutatása (bal), A vezetéknélküli kommunikációval és táplálással ellátott szenzor autóra szerelve és különböző útviszonyok mellett mért jelek (jobb)
Csúszós útviszonyok
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
Részvétel a CAJAL4EU projektben
micro-particles
plasma channel 30mm
whole blood channel
Nanoelektronikán alapuló bioszenzor technológiai platform fejlesztése orvosbiológiai célokra. Nanopórus bioszenzor kialakítása és integrálása mikrofluidikai rendszerekbe • Si, üveg és polimer alapú mikrofluidika • Transzport fluidika • Keverők • Szeparáció (pl. Vérplazma és alakos elemek)
8
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
9
Nanopórus bioszenzor kialakítása és integrálása mikrofluidikai rendszerekbe • • •
A membránszerkezet kialakítása MEMS technológiával (pl. fluidikai átmenő csatornák - DRIE) A szilícium rendszer anódikus kötése üveghez Nanopórus kialakítása fókuszált ionnyalábbal (FIB)
Integrált Pt mérőelektródák és fluidikai csatlakozók egyedi platformokhoz
Anita PONGRACZ,
[email protected]
TTK MFA MEMS Lab
10
MEGHÍVÓ Tisztelt Kollégák! A Gumiipari Szakosztály és a MAGUSZ közös rendezvényeként „Gumiabroncsba épített szenzor elektronikus csúszásgátláshoz” címmel szakmai programot szervez, amelyre meghívunk minden érdeklődőt. Időpont: 2012. Június 8. 10 óra Helyszín: Magyar Kémikusok Egyesülete, tárgyaló Cím: 1015 Budapest Hattyú u. 16. II. em 8. A rendezvény témája: Gumiabroncsba integrált deformáció szenzor és feldolgozó elektronika „Nanoelektronikai megoldások a biztonságos, üzemanyag-hatékony és környezetbarát autóipari alkalmazáshoz” című ENIAC program keretében
