A652–01–851 Překlad V. vydání
Uživatelská příručka Rotační lopatkové vývěvy RV3, RV5, RV8 a RV12
A 65X-YY-ZZZ
Typ vývěvy X
Varianta YY
Popis motoru ZZZ
2 = RV3 3 = RV5 4 = RV8 5 = RV12
01 až 99
903 = 220-240 V, 50/60 Hz, jednofázový 904 = 100/200 V, 50/60 Hz, jednofázový 905 = 200-230/380-460 V, 50/60 Hz, třífázový 906 = 110-115/120 V 50/60 Hz, jednofázový 965 = NEMA s holým hřídelem 970 = ISO s holým hřídelem
Prohlášení o shodě My,
Společnost Edwards Limited, se sídlem na adrese Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, Velká Británie
prohlašujeme na vlastní odpovědnost jako výrobce a subjekt v EU oprávněný sestavovat soubor technické dokumentace, že produkty rotační vývěvy řady RV: A65X – YY – ZZZ
Typ vývěvy X 2 = RV3 3 = RV5 4 = RV8 5 = RV12
Varianta YY 01 až 99
Popis motoru ZZZ 903 = 220-240 V, 50/60 Hz, jednofázový 904 = 100/200 V, 50/60 Hz, jednofázový 905 = 200-230/380-460 V, 50/60 Hz, třífázový 906 = 110-115/120, 50/60 Hz, jednofázový
na které se toto prohlášení vztahuje, splňují požadavky následujících norem nebo jiných normativních dokumentů: EN1012-2:1996, A1: 2009 EN61010-1: 2010* EN60034-1: 2010 C22.2 č. 77: 1995# C22.2 č. 100: 2004# C22.2 61010-1-04: 2004 UL61010A: 2002 UL1004: 1994 EN50581: 2012 * pouze jednofázové vývěvy # pouze jednofázové vývěvy.
Kompresory a vývěvy. Bezpečnostní požadavky. Vývěvy Bezpečnostní požadavky na elektrická měřicí, řídicí a laboratorní zařízení. Všeobecné požadavky Točivé elektrické stroje. Jmenovité údaje a vlastnosti Motory s vlastní nadproudovou ochranou Motory a generátory Bezpečnostní požadavky na elektrická měřicí, řídicí a laboratorní zařízení – část 1: Všeobecné požadavky Bezpečnostní požadavky na elektrická měřicí, řídicí a laboratorní zařízení – část 1: Všeobecné požadavky Elektrické motory Technická dokumentace k posuzování elektrických a elektrotechnických výrobků z hlediska omezování nebezpečných látek Vývěvy splňují požadavky normy EN 61010-1, pokud jsou nainstalovány v souladu s pokyny uživatelské příručky dodané se zařízením. Canadian Standards Authority and Underwriters Laboratory.
a splňuje všechna související ustanovení směrnic 2006/42/ES 2006/95/ES 2004/108/ES 2011/65/EU**
Směrnice o Směrnice o Směrnice o Směrnice o
strojních zařízeních nízkonapěťových zařízeních elektromagnetické kompatibilitě (EMC) omezení používání některých nebezpečných látek (RoHS)
* * tj. Produkty obsahují v homogenních materiálech méně než 0,1 hmotnostního procenta hexavalentního chromu, olova, rtuti, polybromovaných bifenylů a polybromovaných difenyletherů a 0,01 hmotnostního procenta kadmia (podléhá výjimkám povoleným směrnicím). Směrnice RoHS není právně závazná pro průmyslové vakuové systémy vyrobené do července 2019 (do července 2017 v případě vybavení).
Toto prohlášení se týká všech sériových čísel produktů vyrobených od data podepsání tohoto dokumentu.
22.08.2013, Burgess Hill Peter Meares Manažer technické podpory GV
Datum a místo
Tento produkt byl vyroben s využitím systému řízení kvality certifikovaného podle normy ISO9001:2008. Šablona dokumentu: 02B01010, příloha 4, vydání 1
P200-00-556, vydání G
Poznámka:
A652–01–851 V. vydání
Obsah
Obsah
LIOX/10/13
Část
Strana
1
Úvod ................................................................................................ 1
1.1 1.2 1.3 1.4 1.4.1 1.4.2 1.5
Rozsah a definice pojmů ................................................................................................ 1 Uplatnění směrnice ATEX ............................................................................................... 2 Popis ....................................................................................................................... 4 Provozní režimy a ovládací prvky ..................................................................................... 4 Volič režimu .............................................................................................................. 4 Řízení balastního plynu ................................................................................................. 5 Konstrukce ................................................................................................................ 5
2
Technické údaje .................................................................................. 7
2.1 2.2 2.2.1 2.2.2 2.3 2.4 2.5 2.6 2.7
Podmínky pro provoz a uskladnění .................................................................................... 7 Výkon ...................................................................................................................... 7 Všeobecné údaje ......................................................................................................... 7 Výkonové charakteristiky ..............................................................................................11 Mechanické parametry .................................................................................................12 Údaje o hluku a vibracích .............................................................................................12 Údaje o mazání .........................................................................................................12 Elektrické parametry: jednofázové vývěvy ......................................................................... 14 Elektrické parametry: třífázové vývěvy ............................................................................. 15
3
Instalace ......................................................................................... 17
3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 3.7 3.7.1 3.7.2 3.7.3 3.8 3.8.1 3.8.2 3.8.3 3.9 3.10
Bezpečnost ............................................................................................................... 17 Zásady pro sestavení systému ........................................................................................ 17 Rozbalení a kontrola ...................................................................................................18 Místo pro instalaci ......................................................................................................18 Naplnění vývěvy olejem ...............................................................................................18 Připojte motor (týká se pouze vývěv s holým hřídelem) .........................................................19 Elektrická instalace: jednofázové vývěvy ........................................................................... 19 Kontrola a nastavení motoru .......................................................................................... 19 Připojte vývěvu ke zdroji elektrického napájení ..................................................................19 Kontrola směru otáčení motoru ...................................................................................... 20 Elektrická instalace: třífázové vývěvy ............................................................................... 22 Kontrola a nastavení motoru .......................................................................................... 22 Připojte vývěvu k místnímu zdroji elektrického napájení ........................................................22 Kontrola směru otáčení motoru ...................................................................................... 24 Připojení vstupu a výstupu ............................................................................................24 Zkouška těsnosti systému ..............................................................................................25
4
Provoz ............................................................................................ 27
4.1 4.1.1 4.1.2 4.1.3 4.2 4.2.1 4.2.2 4.2.3 4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8
Uplatnění směrnice ATEX ..............................................................................................27 Úvod ...................................................................................................................... 27 Hořlavé/samozápalné materiály ..................................................................................... 27 Proplachování plynem ..................................................................................................28 Použití ovládacích prvků vývěvy ...................................................................................... 28 Úvod ...................................................................................................................... 28 Volič režimu ............................................................................................................. 29 Řízení balastního plynu ................................................................................................29 Postup při spouštění ....................................................................................................30 Postup potřebný k dosažení konečného vakua ..................................................................... 30 Čerpání kondenzujících výparů ....................................................................................... 31 Postup při dekontaminaci oleje ...................................................................................... 31 Provoz bez obsluhy .....................................................................................................31 Vypnutí ................................................................................................................... 32
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana i
A652–01–851 V. vydání
Obsah
5
Údržba ............................................................................................ 33
5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 5.8 5.9 5.10 5.11 5.12 5.12.1 5.12.2 5.12.3 5.12.4 5.12.5 5.12.6 5.12.7 5.12.8
Informace týkající se bezpečnosti ................................................................................... 33 Harmonogram údržby ..................................................................................................34 Kontrola hladiny oleje .................................................................................................34 Výměna oleje ............................................................................................................ 35 Kontrola a vyčištění vstupního filtru ................................................................................. 35 Kontrola a vyčištění řízení balastního plynu ........................................................................ 36 Vyčištění ukazatele hladiny oleje .................................................................................... 37 Vyčištění krytu ventilátoru motoru a skříně ........................................................................ 38 Vyčištění a celková kontrola vývěvy ................................................................................. 38 Montáž nových lopatek .................................................................................................38 Přezkoušení stavu motoru .............................................................................................38 Vyhledávání závad ......................................................................................................38 Úvod ...................................................................................................................... 38 Vývěvu nelze spustit ....................................................................................................38 Vývěva nedosahuje specifikovaného výkonu (nedokáže dosáhnout konečného vakua) ......................39 Chod vývěvy je hlučný .................................................................................................39 Teplota povrchu skříně vývěvy je vyšší než 100 °C ................................................................39 Po vypnutí vývěvy se neudrží dosažené vakuum ................................................................... 39 Rychlost čerpání je nízká ..............................................................................................40 Došlo k vnějšímu úniku oleje .......................................................................................... 40
6
Uskladnění a likvidace ......................................................................... 41
6.1 6.2
Uskladnění ............................................................................................................... 41 Likvidace ................................................................................................................. 41
7
Servis a náhradní díly .......................................................................... 43
7.1 7.2 7.3 7.4 7.4.1 7.4.2 7.4.3 7.4.4 7.4.5 7.4.6 7.4.7 7.4.8 7.4.9 7.4.10 7.4.11 7.4.12 7.4.13 7.4.14
Úvod ...................................................................................................................... 43 Servis ..................................................................................................................... 43 Náhradní díly ............................................................................................................ 43 Příslušenství ............................................................................................................. 45 Úvod ...................................................................................................................... 45 Vstupní kondenzační nádoba .......................................................................................... 45 Vstupní prachový filtr ..................................................................................................45 Vstupní vymrazovací pohlcovač vlhkosti ............................................................................ 45 Vstupní chemický pohlcovač vlhkosti ................................................................................ 46 Odlučovač za předvakuovou vývěvou ................................................................................ 46 Výstupní mlhový filtr ...................................................................................................46 Zaváděcí adaptér balastního plynu .................................................................................. 46 Sada pro spádové vypouštění oleje .................................................................................. 46 Nástavec pro vypouštění oleje ........................................................................................ 46 Sada výfukové trysky ...................................................................................................46 Antivibrační vložky .....................................................................................................46 Elektromagnetický ventil balastního plynu ......................................................................... 46 Elektromagnetický potrubní ventil ................................................................................... 46
8
Rotační lopatkové vývěvy s náplní PFPE .................................................... 49
8.1 8.2 8.3 8.4
Souhrn .................................................................................................................... 49 Instalace .................................................................................................................. 49 Provoz .................................................................................................................... 49 Údržba .................................................................................................................... 49
9
Rotační lopatkové vývěvy s holým hřídelem ................................................ 51
9.1 9.2
Popis ...................................................................................................................... 51 Připojení motoru k vývěvě s holým hřídelem ....................................................................... 51 Budete-li zařízení vracet, vyplňte formuláře HB na konci této příručky.
Strana ii
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Obsah
Ilustrace Obrázek 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
Strana
Vývěva RV ................................................................................................................. 3 Výkonové charakteristiky v režimu vysokého vakua (otáčky čerpání v závislosti na vstupním tlaku) ..... 11 Rozměry (mm) ...........................................................................................................13 Nastavení napětí motoru: jednofázové vývěvy ..................................................................... 21 Třífázové elektrické připojení: 200–230 V .......................................................................... 23 Třífázové elektrické připojení: 380–460 V .......................................................................... 23 Sestava vstupního filtru ................................................................................................35 Řízení balastního plynu ................................................................................................36 Sestava bočního ukazatele ............................................................................................37 Příslušenství ............................................................................................................. 47 Připojení motoru k vývěvě s holým hřídelem ....................................................................... 52
Tabulky Tabulka 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14
Strana
Podmínky pro provoz a uskladnění .................................................................................... 7 Všeobecné výkonové parametry ....................................................................................... 7 Výkonové parametry: Režim vysokého vakua ....................................................................... 8 Výkonové parametry: Režim vysokého průtoku ..................................................................... 9 Výkonové charakteristiky ..............................................................................................10 Mechanické parametry .................................................................................................12 Údaje o hluku a vibracích .............................................................................................12 Údaje o mazání .........................................................................................................12 Elektrické parametry (jednofázové vývěvy s výrobními čísly -903 nebo -906) ................................ 14 Elektrické parametry (jednofázové vývěvy s výrobními čísly -904) ............................................. 14 Elektrické parametry (třífázové vývěvy s výrobními čísly -905) ................................................. 15 Harmonogram údržby ..................................................................................................34 Náhradní díly a servisní sady .......................................................................................... 44 Čísla položek příslušenství .............................................................................................45
Související publikace Název publikace Bezpečnost vývěvy a vakuového systému
Číslo publikace P400–40–851
Povolení k používání ochranných známek Fomblin® je registrovaná ochranná známka společnosti Ausimont SpA.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana iii
A652–01–851 V. vydání
Tato stránka byla záměrně ponechána prázdná.
Strana iv
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Úvod
1
Úvod
1.1
Rozsah a definice pojmů
Tato příručka obsahuje pokyny pro instalaci, provoz a údržbu rotačních lopatkových vývěv Edwards RV3, RV5, RV8 a RV12. Vývěvu je nutno používat podle pokynů uvedených v této příručce. Než přistoupíte k instalaci a zprovoznění vývěvy, přečtěte si tuto příručku. Na důležité bezpečnostní informace upozorňují slova VAROVÁNÍ a UPOZORNĚNÍ; takto označené pokyny je nutno dodržovat. Použití slov VAROVÁNÍ a UPOZORNĚNÍ je vysvětleno níže.
VAROVÁNÍ Varování je používáno tam, kde nesprávný postup může způsobit zranění nebo smrt.
UPOZORNĚNÍ Upozornění je používáno tam, kde nesprávný postup může způsobit škody na zařízení, příslušenství či procesu. V celé této příručce jsou používány měrné jednotky mezinárodní soustavy SI. Podle doporučení normy IEC1010 jsou na vývěvě umístěny tyto varovné popisky:
Varování – postupujte podle průvodní dokumentace.
Varování – nebezpečí zasažení elektrickým proudem.
Varování – horké povrchy.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 1
A652–01–851 V. vydání
Úvod
1.2
Uplatnění směrnice ATEX
Toto zařízení konstrukčně vyhovuje požadavkům na zařízení skupiny II kategorie 3 podle Směrnice 94/9/ES Evropského parlamentu a Rady ze dne 23. března 1994 o sbližování právních předpisů členských států týkajících se zařízení a ochranných systémů určených pro použití v prostorech s nebezpečím výbuchu. (Směrnice ATEX). Kategorie 3 podle směrnice ATEX se vztahuje na možné zdroje vznícení uvnitř zařízení. Kategorie ATEX se netýká potenciálních zdrojů vznícení vně zařízení, neboť zařízení není určeno k použití ve venkovní potenciálně výbušné atmosféře. Ve vývěvě za normálního provozu není žádný potenciální zdroj vznícení, nicméně při poruše za jistých předvídatelných podmínek, definovaných směrnicí, mohou potenciální zdroje vznícení vzniknout. Přestože vývěva je konstruována k čerpání hořlavých materiálů a směsí, je z výše uvedeného důvodu nutno zajistit takové provozní podmínky, aby za normálních a rozumně předvídatelných okolností tyto materiály a směsi nemohly dosáhnout meze výbušnosti. Kategorie 3 je zaměřena na prevenci vznícení v případech výjimečných poruch, které by umožnily, aby hořlavé materiály a směsi procházely vývěvou ve výbušném stavu. Pokud jsou uvnitř zařízení hořlavé nebo samozápalné materiály, musíte: zabránit přístupu vzduchu do zařízení; zajistit dokonalou těsnost systému. Další informace vám poskytne společnost Edwards: potřebné kontaktní údaje naleznete na stránce s adresami na konci této příručky.
Strana 2
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Úvod
Obrázek 1 - Vývěva RV
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7.
Elektrická zásuvka Ukazatel napětí Zvedací rukojeť* Vstupní přípojka NW25 Řízení balastního plynu Zátka plnění oleje Výstupní přípojka NW25
8. Ukazatel hladiny oleje 9. Vypouštěcí zátka oleje 10. Gumové nožky (4 ks) 11. Volič režimu 12. Vypínač† 13. Kryt ventilátoru motoru 14. Správný směr otáčení
*
Pouze u vývěv RV3 a RV5; vývěvy RV8 a RV12 jsou vybaveny zvedací rukojetí.
†
Poznámka:
Pouze jednofázové vývěvy.
Vyobrazena je jednofázová vývěva RV3/RV5.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 3
A652–01–851 V. vydání
Úvod
1.3
Popis
Rotační lopatková vývěva Edwards RV je znázorněna na Obrázek 1. V následujícím popisu se k Obrázek 1 vztahují číslované odkazy v závorkách. Vývěvy RV jsou dvoustupňové, olejem uzavřené vývěvy s kluznými lopatkami. Vývěva má vstupní (4) a výstupní (7) přípojky NW25, řízení balastního plynu (5) a volič režimu (11). Je-li vývěva vypnutá, vstupní ventil uzavře vstupní přípojku a brání tak zpětnému nasávání vzduchu a oleje do vakuového systému. Vývěvy RV3 a RV5 mají zasouvací zvedací rukojeť (3). Vývěvy RV8 a RV12 jsou vybaveny zvedacím držákem umožňujícím použití vhodného zvedacího zařízení. Olejové čerpadlo přivádí stlačený olej do podtlakového čerpacího mechanizmu vývěvy RV. Hladinu a stav oleje v olejové skříni je možno kontrolovat prostřednictvím průhledného ukazatele (8). Olejová skříň má dvě plnicí zátky (6) a jednu vypouštěcí zátku (9). Mechanismus vývěvy je poháněn přímo, a to jednofázovým nebo třífázovým elektrickým motorem připojeným prostřednictvím pružné spojky. Celý motor je zakrytován a chlazen ventilátorem, který přivádí vzduch k chladicím žebrům motoru. Vývěvy jsou chlazeny přídavným ventilátorem připojeným ke spojce motoru. Jednofázové motory jsou vybaveny vypínačem (12) a ochranným zařízením proti přehřívání. Pokud se motor příliš zahřeje, ochrana proti přehřívání vývěvu vypne. Ochranné zařízení proti přehřívání je vybaveno automatickou funkcí odblokování; jakmile motor vychladne, ochrana se odblokuje a (pokud není začleněno regulační zařízení, které je třeba odblokovat ručně: viz Část 3.7.2 a Část 3.8.2) motor se znovu rozběhne. Od konce roku 2009 se do vývěv RV montují zdokonalené motory. Výhodou těchto motorů je to, že jsou vybaveny hliníkovou svorkovnicí a přepínači rozsahů napětí, které jsou přístupné zvenčí. Zavedení těchto motorů umožnilo pokrytí všech napěťových a frekvenčních podmínek pouze dvěma variantami motoru namísto původních čtyř. Všechny motory jsou vzájemně zaměnitelné, aniž by tím byl nepříznivě ovlivněn výkon vývěvy. Vývěva je namontována na základní desku s gumovými nožkami (10). V Části 7 naleznete podrobnosti o vhodných antivibračních vložkách a dalším příslušenství. Část 8 obsahuje dodatečné informace o vývěvách s náplní PFPE.
1.4
Provozní režimy a ovládací prvky
Vývěva má dva ovládací prvky: volič režimu (11) a řízení balastního plynu (5). Šest možných kombinací nastavení těchto ovládacích prvků poskytuje dostatečně široký výběr provozních charakteristik umožňující dosažení optimálního výkonu vývěvy pro danou aplikaci.
1.4.1
Volič režimu
Volič režimu má dvě polohy; výběr těchto poloh je popsán v Části 4.2. V celém zbývajícím textu této příručky jsou použity následující konvence: Režim vysokého vakua označuje symbol . Režim vysokého průtoku označuje symbol
.
Při nastavení voliče režimu do polohy odpovídající vysokému vakuu je olej pod tlakem přiváděn pouze do stupně nízkého sání. V tomto provozním režimu vývěva vytváří maximální možný absolutní podtlak. Při nastavení voliče režimu do polohy odpovídající vysokému průtoku je olej pod tlakem přiváděn do stupně vysokého sání i do stupně nízkého sání. V tomto provozním režimu vývěva dokáže dlouhodobě udržovat vysoké vstupní tlaky.
Strana 4
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Řízení balastního plynu
Pro usnadnění odčerpávání látek s vysokým obsahem par je do vývěvy přiváděn balastní plyn, který brání kondenzaci par z procházejících plynů. Ventilem balastního plynu lze přivádět do stupně nízkého vakua vzduch. Alternativně lze prostřednictvím vhodného externího ventilu přivádět také inertní plyn, jako například dusík. Řízení balastního plynu má tři polohy: Zavřeno (poloha „0“) Nízký průtok (poloha „I“) Vysoký průtok (poloha „II“)
1.5
Konstrukce
Hřídel a rotory vývěvy jsou vyrobeny z vysoce jakostní litiny. Těleso čerpadla a olejová skříň jsou vyrobeny z hliníkové slitiny. Veškeré povrchy vývěvy, které přicházejí do styku s plyny při odčerpávání, jsou prosty mědi, zinku a kadmia. Mezi ostatní konstrukční materiály patří fluorovaný uhlíkový elastomer, nitril, křemík, chemicky odolné polymery, nikl a nerezová ocel.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 5
Úvod
1.4.2
A652–01–851 V. vydání
Tato stránka byla záměrně ponechána prázdná.
Strana 6
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Technické údaje
Poznámka:
2.1
V souladu s normou EN 61010 a se standardy CSA musí být vývěva instalována a používána ve vnitřním prostředí, za provozních podmínek, které specifikuje Tabulka 1 níže.
Podmínky pro provoz a uskladnění Tabulka 1 - Podmínky pro provoz a uskladnění
Parametr
Referenční údaje
Rozsah teploty okolního prostředí (pro provoz)
12 až 40 °C
Rozsah teploty okolního prostředí (pro uskladnění)
- 30 až 70 °C
Normální teplota povrchu tělesa vývěvy *
50 až 70 °C
Maximální relativní vlhkost (pro provoz)
90%
Maximální nadmořská výška (pro provoz)
2 000 m
Stupeň znečištění ovzduší
2
Kategorie instalace
II
* Pro absolutní vakuum, při teplotě okolního prostředí 20 °C.
2.2
Výkon
2.2.1
Všeobecné údaje
Poznámka:
Hodnoty tlaku v tabulkách Tabulka 2 a Tabulka 3 byly měřeny kapacitním membránovým měřicím přístrojem ve vakuové komoře bez vymrazovacího zařízení, podle specifikace normy Pneurop 6602 (1979). Tabulka 2 - Všeobecné výkonové parametry
Parametr
Referenční údaje
Výkon v režimu vysokého vakua
Viz Tabulka 3
Výkon v režimu vysokého průtoku
Viz Tabulka 4
Ochrana proti zpětnému sání
1 x 10-5 mbar l s-1, 1 x 10-3 Pa l s-1
Maximální počáteční nárůst tlaku bez přívodu balastního plynu
1 x 10-1 mbar, 10 Pa
3
Maximální výtlačné množství: m h Elektrické napájení 50 Hz Elektrické napájení 60 Hz
RV3
RV5
RV8
RV12
3,7 4,5
5,8 5,0
9,7 11,7
14,2 17,0
3,3 3,9
5,1 6,2
8,5 10,0
12,0 14,2
-1
Maximální otáčky čerpání (Pneurop 6602, 1979): m3 h-1 Elektrické napájení 50 Hz Elektrické napájení 60 Hz Maximální přípustný vstupní tlak a vstupní tlak balastního plynu bar g Pa
0,5
0,5 5
0,5
1,5 x 10
1,5 x 10
0,2
0,2
5
0,5
1,5 x 10
5
1,5 x 105
Maximální přípustný výstupní tlak bar g Pa
5
0,2 x 10
0,2 x
0,2 105
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
0,2 x
0,2 105
0,2 x 105
Strana 7
Technické údaje
2
Technické údaje REŽIM VYSOKÉHO VAKUA Parametr
Jednotky
RV3
RV5
jednofázová třífázová jednofázová
RV8 třífázová
jednofázová
RV12 třífázová
jednofázová třífázová
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Přívod balastního plynu zavřený (poloha „0“) Konečný celkový tlak
mbar
2 x 10-3
2 x 10-3
2 x 10-3
2 x 10-3
Pa
2 x 10-1
2 x 10-1
2 x 10-1
2 x 10-1
mbar
3 x 10-2
3 x 10-2
3 x 10-2
3 x 10-2
Pa
3
3
3
3
min-1
5
5
5
5
Nízký regulovaný průtok balastního plynu (poloha „I“) Konečný celkový tlak Průtok balastního plynu
l
h-1
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů
kg
Maximální vstupní tlak vodních výparů
mbar Pa
0,06 27 2,7 x 10
3
0,04
0,06
0,04
0,06
0,04
0,06
0,04
18
16
11
10
7
7
5
1,8 x
103
1,6 x
103
1,1 x
103
1x
103
7x
102
7x
102
5 x 102
Vysoký regulovaný průtok balastního plynu (poloha „II“) Konečný celkový tlak Průtok balastního plynu
l
mbar
1,2 x 10-1
1 x 10-1
6 x 10-2
6 x 10-2
Pa
1,2 x 101
1 x 101
6
6
14
14
16
16
min-1 -1
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů
kg h
Maximální vstupní tlak vodních výparů
mbar Pa
0,22
0,12
80 8 x 10
0,22
54 3
5,4 x 10
0,12
50 3
5 x 10
0,22
32 3
0,20
38 3
3,2 x 10
0,29
34 3
3,8 x 10
3,4 x 10
0,25
32 3
3,2 x 10
28 3
2,8 x 103
A652–01–851 V. vydání
Strana 8
Tabulka 3 - Výkonové parametry: Režim vysokého vakua
REŽIM VYSOKÉHO PRŮTOKU Parametr
Jednotky
RV3 jednofázová
RV5 třífázová
jednofázová
RV8 třífázová
jednofázová
RV12 třífázová
jednofázová třífázová
Přívod balastního plynu zavřený (poloha „0“) Maximální celkový tlak
mbar
3 x 10-2
3 x 10-2
3 x 10-2
3 x 10-2
Pa
3
3
3
3
mbar
6 x 10-2
6 x 10-2
4 x 10-2
4 x 10-2
Pa
6
6
4
4
min-1
5
5
5
5
Nízký regulovaný průtok balastního plynu (poloha „I“) Maximální celkový tlak Průtok balastního plynu
l
h-1
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů
kg
Maximální vstupní tlak vodních výparů
mbar
0,06 27 3
Pa
0,04
0,06
0,04
0,06
0,04
0,06
0,04
18
16
11
10
7
7
5
1,8 x
2,7 x 10
103
1,6 x
103
1,1 x
103
1x
103
7x
102
7x
102
5 x 102
Vysoký regulovaný průtok balastního plynu (poloha „II“) Konečný celkový tlak
1,2 x 10-1
1 x 10-1
6 x 10-2
6 x 10-2
Pa
1,2 x 101
1 x 101
6
6
14
14
16
16
l
min-1 -1
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů
kg h
Maximální vstupní tlak vodních výparů
mbar
Strana 9
Pa
0,22
0,12
80 8 x 10
0,22
54 3
5,4 x 10
0,12
50 3
5 x 10
0,22
32 3
3,2 x 10
0,20
38 3
3,8 x 10
0,29
34 3
3,4 x 10
0,25
32 3
3,2 x 10
28 3
2,8 x 103
A652–01–851 V. vydání
Průtok balastního plynu
mbar
Technické údaje
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Tabulka 4 - Výkonové parametry: Režim vysokého průtoku
Technické údaje POLOHA VOLIČE REŽIMU Režim vysokého vakua
ŘÍZENÍ BALASTNÍHO PLYNU Zavřeno (poloha „0“)
Nízký průtok (poloha „I“)
Vysoký průtok (poloha „II“)
Konečný celkový tlak
Konečný celkový tlak
Konečný celkový tlak
mbar 2 x 10
-3
Pa 2 x 10
mbar -1
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Používejte pro nejvyšší konečný tlak
3 x 10
-2
jednofázové vývěvy
Konečný celkový tlak mbar 3 x 10
-2
Pa 3
Používejte pro stálý vstupní tlak nad 50 mbar/5 x 103 Pa
mbar
Pa
3
-1
1,2 x 101 (RV3) 1,0 x 101 (RV5) 6,0 (RV8/12)
1,2 x 10 (RV3) 1,0 x 10-1 (RV5) 6 x 10-2 (RV8/12)
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů 0,06 kg h
Režim vysokého průtoku
Pa
-1
třífázové vývěvy 0,04 kg
h-1
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů jednofázové vývěvy h-1
0,22 kg (RV3/5/8) 0,29 kg h-1 (RV12)
Konečný celkový tlak mbar 6x (RV3/5) 4 x 10-2 (RV8/12)
mbar
6 (RV3/5) 4 (RV8/12)
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů jednofázové vývěvy 0,06 kg h
-1
0,12 kg h-1 (RV3/5) 0,20 kg h-1 (RV8) 0,25 kg h-1 (RV12)
Konečný celkový tlak Pa
10-2
třífázové vývěvy
třífázové vývěvy 0,04 kg h
-1
10-1
1,2 x (RV3) 1,0 x 10-1 (RV5) 6 x 10-2 (RV8/12)
Pa 1,2 x 101 (RV3) 1,0 x 101 (RV5) 6,0 (RV8/12)
Maximální rychlost odčerpávání vodních výparů jednofázové vývěvy -1
0,22 kg h (RV3/5/8) 0,29 kg h-1 (RV12)
třífázové vývěvy 0,12 kg h-1 (RV3/5) 0,20 kg h-1 (RV8) 0,25 kg h-1 (RV12)
A652–01–851 V. vydání
Strana 10
Tabulka 5 - Výkonové charakteristiky
A652–01–851 V. vydání
Poznámka:
Výkonové charakteristiky Výkonové charakteristiky popsané níže platí pro použití s uhlovodíkovým olejem.
Výkonové charakteristiky vývěvy závisejí na poloze voliče režimu a řízení balastního plynu. Tyto výkonové charakteristiky jsou uvedeny v tabulkách Tabulka 3 a Tabulka 4. Tabulka 5 udává konečné vakuum a maximální vstupní tlak vodních výparů pro každou ze šesti kombinací nastavení ovládacích prvků. Křivky 0, I a II na Obrázku 2 znázorňují vztah mezi vstupním tlakem a výkonem sání v režimu silného vakua Obrázek 2 - Výkonové charakteristiky v režimu vysokého vakua (otáčky čerpání v závislosti na vstupním tlaku)
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 11
Technické údaje
2.2.2
A652–01–851 V. vydání
Technické údaje
2.3
Mechanické parametry Tabulka 6 - Mechanické parametry
Parametr
Referenční údaje
Rozměry
Viz Obrázek 3
Stupeň jištění (IEC 34-5: 1981) Jednofázové vývěvy Třífázové vývěvy
IP44 IP54
Maximální náklon
10°
Otáčky motoru Elektrické napájení 50 Hz Elektrické napájení 60 Hz Maximální hmotnost
1470 ot/min-1 1760 ot/min-1 RV3
RV5
RV8
RV12
Vývěva s motorem, bez oleje
25,0 kg
25,0 kg
28,0 kg
29,0 kg
Vývěvy s holým hřídelem
14,0 kg
14,0 kg
16,5 kg
17,5 kg
2.4
Údaje o hluku a vibracích Tabulka 7 - Údaje o hluku a vibracích
Parametr
Referenční údaje
Akustický tlak* Jednofázové vývěvy Třífázové vývěvy
48 dB (A) 50 dB (A)
Mohutnost vibrací† Třída 1C Třída 1C
Jednofázové vývěvy Třífázové vývěvy * †
Měřeno při dosažení konečného vakua ve vzdálenosti 1 metr od konce vývěvy podle ISO 11201, v režimu vysokého vakua , při provozní napájecí frekvenci 50 Hz. Měřeno na vstupní přípojce podle ISO 2372 (1974)
2.5
Údaje o mazání
Poznámka:
Materiálové bezpečnostní datové listy pro rotační lopatkové vývěvy Edwards jsou k dispozici na vyžádání. Tabulka 8 - Údaje o mazání
Parametr
Referenční údaje *
Doporučený olej
Vývěvy s uhlovodíkovou náplní Vývěvy s náplní PFPE Množství oleje
*
Edwards Ultragrade 19 Krytox 1506 nebo Fomblin 06/6 RV3
RV5
RV8
RV12
Maximální
0,70 l
0,70 l
0,75 l
1,00 l
Minimální
0,42 l
0,42 l
0,45 l
0,65 l
Pro provoz vývěvy při teplotě okolního prostředí, která je mimo rozsah mezních hodnot uvedených v části 2.1 nebo pro optimalizaci výkonu vývěvy, jsou-li odčerpávány zkondenzovatelné výpary, může být zapotřebí použití rozdílného oleje.
Strana 12
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Technické údaje
Obrázek 3 - Rozměry (mm)
A. B. C. D. E.
1. Vypínač (pouze u jednofázových vývěv) 2. Zvedací držák (pouze vývěvy RV8 a RV12; vývěvy RV3 a RV5 jsou vybaveny zvedací rukojetí.)
* †
Pohled shora - jednofázová vývěva Bokorysný pohled - jednofázová vývěva Bokorysný pohled - třífázová vývěva Čelní pohled - jednofázová vývěva Bokorysný pohled - vývěva s holým hřídelem
Vývěva
A*
A†
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
RV3
430
429
158
225
127
29
78
230
120
37
32
–
RV5
430
429
158
225
127
29
78
230
120
37
32
–
RV8
470
429
158
225
161
35
78
230
120
37
32
261
RV12
439
429
158
225
181
35
78
230
120
37
32
261
Jednofázové vývěvy. Třífázové vývěvy.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 13
A652–01–851 V. vydání
Technické údaje
2.6
Elektrické parametry: jednofázové vývěvy
Poznámka:
Společnost Edwards doporučuje použití pojistek pro maximální proudové zatížení podle tabulek Tabulka 9 a Tabulka 10. Pojistky s vyšší proudovou zatížitelností se nesmějí používat.
Motor pro dvojí napětí a dvojí frekvenci je konstruován pro jednofázové elektrické napájení a je vhodný pro provoz s frekvencí 50 Hz nebo 60 Hz. Motor lze ručně přepínat pro jmenovité napětí 110-120 V nebo 220-240 V (viz Část 3.7.1). Po spuštění studené vývěvy má motor několik sekund náběhovou spotřebu proudu podle tabulek Tabulka 9 a Tabulka 10, a je tedy nutno používat zpožděné tavné pojistky, aby po spuštění vývěvy nedocházelo k jejich nežádoucímu spálení. Během pěti minut se olej ve vývěvě zahřeje a spotřeba proudu zvolna klesá na hodnotu plného zatížení uvedenou v tabulkách Tabulka 9 a Tabulka 10.
Tabulka 9 - Elektrické parametry (jednofázové vývěvy s výrobními čísly -903 nebo -906)
Vývěva
RV3, RV5, RV8 a RV12
Jmenovité napájecí napětí (V)
Frekvence (Hz)
Výkon (W)
Proud při plném zatížení (A)
Maximální zatížitelnost pojistky (A)
220–240
50
450
3,4
5
230–240
60
550
3,0
5
110
50
450
6,8
13
115–120
60
550
6,9
13
Tabulka 10 - Elektrické parametry (jednofázové vývěvy s výrobními čísly -904)
Vývěva
RV3, RV5, RV8 a RV12
Poznámka:
Strana 14
Jmenovité napájecí napětí (V)
Frekvence (Hz)
Výkon (W)
Proud při plném zatížení (A)
Maximální zatížitelnost pojistky (A)
200
50
450
4,2
5
200–210
60
550
4,1
5
100
50
450
8,3
13
100–105
60
550
8,0
13
Pojistky musí být buď zpožděného typu CC nebo M nebo (ve Velké Británii) typu BS 88.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Elektrické parametry: třífázové vývěvy
Motor pro dvojí napětí a dvojí frekvenci je konstruován pro třífázové napájení a je vhodný pro provoz při frekvenci 50 Hz nebo 60 Hz. Motor lze ručně přepínat pro jmenovité napětí 220-240 V nebo 380-460 V (viz Část 3.8.1). Vývěvy jsou z výroby nastaveny na jmenovité napětí 380-460 V. Po spuštění studené vývěvy má motor náběhovou spotřebu proudu podle Tabulky 11 po dobu do 0,5 sekundy. Poté, co motor dosáhne předepsané hodnoty otáček, potřebný proud rychle klesá. Během 5minut se olej ve vývěvě zahřeje a spotřeba proudu zvolna klesá na hodnotu plného zatížení uvedenou v tabulce Tabulka 11. Spouští-li se zahřátá vývěva, motor odebírá po dobu 0,5 sekundy rozběhový proud uvedený v Tabulce 11. Bezprostředně poté se odběr proudu sníží na hodnotu odpovídající plnému zatížení. Ochrana proti zkratu a zemní ochrana vývěvy je zajištěna pojistkami třídy CC s hodnotami podle Tabulky 11 v místě připojení k napájení. Pokud tyto pojistky nejsou ve vaší zemi dostupné, lze také použít evropský typ aM o stejné hodnotě.
Tabulka 11 - Elektrické parametry (třífázové vývěvy s výrobními čísly -905)
Vývěva
Jmenovité napájecí napětí (V)
Frekvence (Hz)
Výkon (W)
Proud při plném zatížení (A)
Rozběhový proud (A)
Maximální zatížitelnost pojistky (A)
RV3 a RV5
200–220
50
250
1,7
10,2
2,5
200–230
60
300
1,7
10,2
2,5
380–415
50
250
1,0
5,7
2,5
460
60
300
1,0
7,0
2,5
200–208
50
450
2,5
14,0
4,0
200–230
60
550
2,9
12,0
4,0
380–415
50
450
1,5
9,0
2,5
460
60
550
1,5
8,7
2,5
RV8 a RV12
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 15
Technické údaje
2.7
A652–01–851 V. vydání
Tato stránka byla záměrně ponechána prázdná.
Strana 16
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Instalace
3.1
Bezpečnost
Instalace
3
VAROVÁNÍ Pro čerpání nebezpečných látek nedoporučuje společnost Edwards používat vývěvu RV s uhlovodíkovou náplní. Vývěvy s náplní PFPE jsou vhodné pro aplikace s kyslíkem: viz Část 8. Dodržujte bezpečnostní pokyny uvedené v této části a věnujte pozornost potřebným bezpečnostním opatřením. V opačném případě může dojít ke zranění osob a poškození zařízení. Zabraňte tomu, aby kterákoli část lidského těla mohla přijít do styku s vakuem. Ujistěte se, že vývěva RV je vhodná pro příslušnou aplikaci. V případě pochybností o vhodnosti vývěvy RV pro konkrétní aplikaci postupujte podle zásad společnosti Edwards uvedených v příručce Bezpečnost vývěvy a vakuového systému (viz Související publikace na konci obsahu v úvodu této příručky). Vývěvu RV musí instalovat patřičně vyškolený a zkušený technik. Při instalaci vývěvy dodržujte dále uvedené bezpečnostní pokyny, zejména pokud ji připojujete ke stávajícímu systému. Podrobné specifické bezpečnostní pokyny jsou uvedeny mezi ostatními pokyny příslušné části. Při styku s kontaminovanými součástmi používejte vhodný ochranný oděv. Než přistoupíte k instalaci, vakuový systém propláchněte a nechejte odvětrat. Instalační technik musí být dobře obeznámen s bezpečnostními zásadami pro práci s olejem pro vývěvu a s produkty zpracovávanými celým vakuovým systémem. Přijměte vhodná opatření k ochraně proti vdechnutí olejových výparů a nepřiměřenému styku pokožky s olejem; příliš dlouhé působení může být škodlivé. Odpojte elektrické napájení ostatních součástí vakuového systému, aby nemohlo dojít k náhodnému spuštění. Veškeré elektrické napájecí kabely bezpečně uložte, aby o ně nebylo možno zakopnout.
3.2
Zásady pro sestavení systému
Při sestavování vakuového systému berte v úvahu následující zásady: Pokud potřebujete před čerpáním kondenzujících výparů zahřát vývěvu nebo zajistit vyšší ochranu systému při vypnutí, použijte na oddělení vývěvy od vakuového systému vhodný uzavírací ventil. Vyhýbejte se vysokým teplotám procesních plynů na vstupu vývěvy; vývěva se může přehřát, zadřít a způsobit aktivaci zařízení na ochranu proti přehřívání motoru. Pokud používáte vývěvu v prostředí s vysokou teplotou a při vysokém průtoku plynu, teplota jejího tělesa může překročit 70 °C, a v takovém případě je nutno zajistit vhodnou zábranu proti kontaktu s horkými částmi. Chraňte výfukové potrubí proti zablokování. Maximální tlak ve výfuku je uveden v Tabulce 2. Pokud je namontován výstupní izolační ventil, zajistěte, aby vývěvu nebylo možno spouštět se zavřeným ventilem. Po vypnutí vakuový systém propláchněte inertním plynem, aby koncentrace nebezpečných plynů poklesla na bezpečnou míru. Pro zavádění balastního plynu do vývěvy je jako doplňkové příslušenství k dispozici adaptér (viz Část 7.4.8).
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 17
A652–01–851 V. vydání
Instalace
3.3
Rozbalení a kontrola
1. Odstraňte obalový materiál a vývěvu vyndejte z krabice. 2. Sejměte ochranné kryty ze vstupní a výstupní přípojky a zkontrolujte stav vývěvy. Pokud zjistíte poškození, do tří dnů písemně upozorněte dodavatele a přepravce; uveďte číslo součásti dodané vývěvy, své objednací číslo a číslo faktury dodavatele. Pro kontrolu uschovejte veškerý balicí materiál. Pokud je vývěva poškozená, nepoužívejte ji. Pokud vývěvu nelze ihned použít, nasaďte ochranné kryty na vstupní a výstupní přípojku. Vývěvu uložte na vhodném místě, za podmínek, které popisuje Část 6.1.
3.4
Místo pro instalaci VAROVÁNÍ Pro manipulaci s vývěvami typu RV8 a RV12 použijte vhodné zvedací zařízení. Hmotnost vývěv RV8 a RV12 dosahuje přibližně 29 kg.
Vývěvy RV3 a RV5 mají zvedací rukojeť umožňující ruční přemísťování zařízení. Pokud i pro tyto vývěvy chcete použít zvedací zařízení, nezvedejte vývěvu za rukojeť; pro stabilní uchycení použijte řemeny opásané kolem motoru a skříně vývěvy. Vývěvy RV8 a RV12 nezvedejte ručně; použijte mechanické zvedací zařízení připevněné ke zvedacímu držáku. Ke zvedání vývěv typu RV8 a RV12 není třeba popruhů. Pro vývěvu připravte pevnou vodorovnou podložku. Vývěvu umístěte tak, aby byl dobře viditelný boční ukazatel hladiny oleje a aby plnicí zátka, vypouštěcí zátka, volič režimu a řízení balastního plynu byly dobře přístupné. Při instalaci do uzavřené skříně zajistěte na obou koncích vývěvy odpovídající ventilaci, aby teplota okolního prostředí vývěvy nepřekročila 40 °C. Mezi stěnami skříně a vývěvou musí být volný prostor nejméně 25 mm.
3.5
Naplnění vývěvy olejem VAROVÁNÍ Pro čerpání kyslíku o koncentraci nad 25 % obj. se nesmí používat vývěva s uhlovodíkovou náplní. Hrozí totiž nebezpečí výbuchu olejové skříně vývěvy. K dispozici jsou vývěvy s náplní PFPE: viz Část 8.
Níže popsaným postupem naplňte vývěvu olejem. Doporučený olej viz Část 2.5. Čísla položek v závorkách viz Obrázek 1. 1. Odstraňte jednu z plnicích zátek (6). 2. Nalejte olej do vývěvy po značku MAX na stupnici bočního ukazatele (8). Pokud hladina oleje přesáhne značku MAX, odstraňte vypouštěcí zátku (9) a přebytečný olej z vývěvy vypusťte. 3. Po několika minutách znovu zkontrolujte hladinu oleje. Pokud je poté hladina oleje pod značkou MAX, dolejte olej. 4. Namontujte zpět plnicí zátku. Rukou zátku pevně utáhněte. Zamezte však nadměrnému utažení.
Strana 18
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Instalace
3.6
Připojte motor (týká se pouze vývěv s holým hřídelem)
Máte-li vývěvu s holým hřídelem, připojte k ní nyní motor: viz Část 9.
3.7
Elektrická instalace: jednofázové vývěvy
3.7.1
Kontrola a nastavení motoru
UPOZORNĚNÍ Motor musí být správně nastaven pro místní elektrické napájení. Pokud vývěvu spustíte s nesprávně nastaveným elektrickým napájením motoru, dojde k poškození motoru. Čísla položek v závorkách viz Obrázek 4. Napětí podle indikátoru přepínače napětí (3) na krytu motoru musí odpovídat napětí v místní elektrické napájecí síti. Pokud tomu tak není, přepněte napětí nastavené na motoru vývěvy na hodnotu napětí v síti za použití následujícího postupu. 1. Vyšroubujte dva přidržovací šrouby (6), kterými je zajištěn kryt (5) přepínače napětí. 2. Sejměte kryt (5) přepínače napětí a přestavte přepínač napětí (3) do druhé polohy. 3. Obraťte kryt (5) přepínače napětí a namontujte jej zpět na přepínač napětí (3). 4. Namontujte dva přidržovací šrouby (6).
3.7.2
Připojte vývěvu ke zdroji elektrického napájení
VAROVÁNÍ Elektrická instalace rotační lopatkové vývěvy musí vyhovovat platným bezpečnostním předpisům. Elektrické připojení musí být řádně jištěno a uzemněno.
Poznámky:
Pokud ve Velké Británii používáte přípojku 13 A, musí být v souladu s normou BS1363A a osazena 13 A pojistkou odpovídající BS1362. Aby nedocházelo při obnovení dodávky proudu po výpadku k automatickému spuštění motoru vývěvy, připojte vývěvu k napájení přes ovladač, který vyžaduje po výpadku proudu ruční zapnutí. Motor vývěvy připojte do zásuvky IEC 320, která vyhovuje platným místním normám pro elektrické rozvody. V souladu s normami CSA je nutno používat pouze napájecí kabely a konektory s osvědčením CSA/UL. Kabely musí být kategorie SJT (minimálně), se zemnicím vodičem. Vodiče kabelu musí být minimálně kategorie 18 AWG. Kabel musí mít odolnost alespoň 70 °C.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 19
A652–01–851 V. vydání
Instalace
Pokud byla vývěva RV dodána s kabelem, je na jednom konci jeho součástí lisovaná zástrčka IEC. Druhý konec kabelu bude mít zástrčku vhodnou pro místní elektrické napájení. Pokud je kabel bez síťové zástrčky, barevné označení vodičů je následující: Barva
Vodič
Zelená a žlutá
Ochranný (uzemnění)
Modrá
Neutrální
Hnědá
Fázový
1. Ujistěte se, že vypínač motoru (Obrázek 4, položka 4) je ve vypnuté poloze. 2. Zasuňte tvarovou kabelovou zástrčku IEC do zásuvky motoru (Obrázek 4, položka 2). 3. Zapojte síťovou zástrčku kabelu do zásuvky elektrického napájecího rozvodu. Pokud kabel nemá síťovou zástrčku, připojte jeho vodiče správně k elektrickému napájecímu rozvodu.
3.7.3
Kontrola směru otáčení motoru
UPOZORNĚNÍ Motor vývěvy se musí otáčet správným směrem. Pokud by se neotáčel správně, ve vývěvě a ve vakuovém systému by se vytvářel tlak. Čísla položek v závorkách viz Obrázek 1. 1. Skrze kryt sledujte ventilátor (13) motoru. 2. Vypínačem (12) na několik sekund zapněte elektrické napájení motoru. 3. Zkontrolujte, že se ventilátor motoru otáčí správným směrem (14), vyznačeným šipkou na krytu. Pokud směr otáčení není správný, vypněte ihned přívod proudu a poraďte se s dodavatelem nebo společností Edwards o dalším postupu.
Strana 20
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Instalace
Obrázek 4 - Nastavení napětí motoru: jednofázové vývěvy
A. Pohled shora na motor B. Pohled na kryt přepínače napětí C. Pohled na vypínač
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8.
Svorkovnice Elektrická zásuvka Přepínač napětí Vypínač Kryt přepínače napětí Přidržovací šrouby Poloha „I“ (zapnuto) Poloha „0“ (vypnuto)
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 21
A652–01–851 V. vydání
Instalace
3.8
Elektrická instalace: třífázové vývěvy
3.8.1
Kontrola a nastavení motoru
UPOZORNĚNÍ Motor musí být správně nastaven pro místní elektrické napájení. Pokud vývěvu spustíte s nesprávně nastaveným elektrickým napájením motoru, dojde k poškození motoru. 1. Odstraňte šrouby, pomocí kterých je připevněn kryt svorkovnice motoru. Sejměte kryt. 2. Z vnitřku svorkovnice vytáhněte kabelovou průchodku a nasaďte ji do otvoru v boku svorkovnice. 3. Motor musí být správně nastaven pro místní elektrické napájení. V případě potřeby přepojte spojky (Obrázek 5 a Obrázek 6, položka 1) tak, aby vyhovovaly místnímu elektrickému napájení: Pro elektrické napájení 200-230 V musí být spojky zapojeny podle Obrázku 5. Pro elektrické napájení 380–460 V musí být spojky uspořádány tak, jak je znázorněno na Obrázku 6.
3.8.2
Připojte vývěvu k místnímu zdroji elektrického napájení
VAROVÁNÍ Elektrická instalace rotační lopatkové vývěvy musí vyhovovat platným bezpečnostním předpisům. Elektrické připojení musí být řádně jištěno a uzemněno.
Poznámky:
Aby nedocházelo při obnovení dodávky proudu po výpadku k automatickému spuštění motoru vývěvy, připojte vývěvu k napájení přes ovladač, který vyžaduje po výpadku proudu ruční zapnutí. V souladu s normami CSA (Canadian Standards Association) musí být v přívodním vedení napájení vývěvy zařazen vypínač nebo jistič. Tento vypínač nebo jistič musí být v blízkosti vývěvy a dobře přístupný a musí být zřetelně vyznačeno, že se jedná o vypínač napájení vývěvy.
Společnost Edwards doporučuje připojení elektrického napájení prostřednictvím jističe s tepelnou nadproudovou ochranou, který je nastavitelný podle hodnoty plného proudového zatížení uvedeného v Tabulce 11. Zatížitelnost pojistek, jak ji uvádí Tabulka 11, je pouze orientační údaj. Dodavatel tepelné nadproudové ochrany vám může doporučit pro správnou funkci jiné hodnoty pojistky a ochrany proti nadproudu. Použitá pojistka musí být vhodná pro náběhové proudy, které uvádí Tabulka 11. 1. Sejměte kryt ze svorkovnice motoru. 2. Z vnitřku svorkovnice vytáhněte kabelovou průchodku a vsaďte ji do otvoru v boku svorkovnice. Pomocí vhodného nástroje pak tuto průchodku utáhněte momentem 3,75 Nm. 3. Protáhněte přívodní kabel kabelovou průchodkou. Průměr elektrického napájecího kabelu musí být v rozsahu 7 až 11 mm. 4. Pro připojení vývodů U1, V1, W1 a uzemnění ve svorkovnici, podle obrázků Obrázek 5 a Obrázek 6, použijte izolované zvlněné přípojky. Zemnící (ochranná svorka) musí být utažena momentem 2,13 až 2,87 Nm. 5. Utáhněte půlkulovou uzavřenou matici na kabelové průchodce tak, aby byl pevně sevřen vnější plášť kabelu. Pomocí vhodného nástroje pak tuto průchodku utáhněte momentem 2,5 Nm. Tento moment nesmí být překročen. 6. Ujistěte se, že je správně umístěno ploché těsnění krytu, nasaďte kryt a zajistěte jej pomocí šroubů.
Strana 22
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Instalace
Obrázek 5 - Třífázové elektrické připojení: 200–230 V
A. Spouštěč/stykač B. Svorkovnice motoru
1. Spojky
Obrázek 6 - Třífázové elektrické připojení: 380–460 V
A. Spouštěč/stykač B. Svorkovnice motoru
1. Spojky
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 23
A652–01–851 V. vydání
Instalace
3.8.3
Kontrola směru otáčení motoru
UPOZORNĚNÍ Motor vývěvy se musí otáčet správným směrem. Pokud by se neotáčel správně, ve vývěvě a ve vakuovém systému by se vytvářel tlak. 1. Viz Obrázek 1. Skrze kryt sledujte ventilátor (13) motoru. 2. Na několik sekund zapněte elektrické napájení motoru. 3. Zkontrolujte, že se ventilátor motoru otáčí správným směrem, který je vyznačen šipkou na montážní desce motoru. Pokud směr otáčení není správný: Ihned vypněte elektrické napájení. Odpojte vývěvu od elektrického napájení. Sejměte kryt svorkovnice a zaměňte vodiče L1 a L3: viz Obrázek 5 a Obrázek 6. Namontujte zpět kryt svorkovnice.
3.9
Připojení vstupu a výstupu VAROVÁNÍ Výfuk připojte k vhodné úpravně, aby nebezpečné plyny a výpary nemohly unikat do okolního ovzduší. Aby nedocházelo k odtoku kontaminovaného kondenzátu zpět do vývěvy, používejte kondenzační nádobu.
Před připojením vývěvy k vakuovému systému nasaďte na vstupní přípojku vývěvy středicí kroužek a vstupní filtr (jsou součástí dodávky vývěvy) (viz Obrázek 3, položka 4). Při připojování vývěvy k vakuovému systému dodržte následující zásady. Podrobné informace o níže uvedeném příslušenství viz Část 7. Pro připojení vývěvy použijte standardní armatury NW25 (není součástí dodávky). Pro optimální čerpací otáčky musí být vedení ke vstupní přípojce vývěvy co nejkratší a musí mít průměr alespoň 25 mm. Vakuové potrubí podepřete, aby nebylo namáháno ve spojích. Je-li třeba, pro snížení přenosu vibrací a zamezení námahy spojů zařaďte do vedení ohebné vlnovce. Pokud tento způsob použijete, zvolte ohebné vlnovce, které jsou dimenzovány pro maximální tlak vyšší, než nejvyšší tlak vytvářený systémem. Společnost Edwards doporučuje použití ohebných vlnovců Edwards. Pro umožnění čerpání kondenzujících výparů či velmi prašné aplikace zařaďte na vstup vhodné vymrazovací zařízení. Pro umožnění čerpání kondenzujících výparů nebo udržení podtlaku při vypnuté vývěvě použijte vhodný uzavírací ventil na oddělení vývěvy od vakuového systému. Styčné těsnicí plochy musí být čisté a nepoškozené.
Strana 24
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Instalace
Pro následující provozní podmínky doporučujeme na výstup vývěvy zařadit filtr olejové mlhy: pokud vývěvu používáte s otevřeným řízením balastního plynu (v poloze „I“ nebo „II“); pokud vývěvu dlouhodoběji používáte se vstupním tlakem nad 10 mbar (1 x 10³ Pa); pokud často spouštíte čerpání z atmosférického tlaku. Filtr olejové mlhy odstraní olejové výpary z vývěvy, a pokud není znečištěný, lze jej znovu použít.
3.10
Zkouška těsnosti systému
Po instalaci vývěvy RV přezkoušejte těsnost systému a zjištěné netěsnosti utěsněte, aby látky nemohly unikat ze systému a do systému nemohl vnikat vzduch.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 25
A652–01–851 V. vydání
Tato stránka byla záměrně ponechána prázdná.
Strana 26
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Provoz
4
Provoz VAROVÁNÍ Vyvarujte se styku jakékoli části těla s vakuem, které může způsobit zranění.
4.1
Uplatnění směrnice ATEX
4.1.1
Úvod
Toto zařízení konstrukčně vyhovuje požadavkům na zařízení skupiny II kategorie 3 podle Směrnice 94/9/ES Evropského parlamentu a Rady ze dne 23. března 1994 o sbližování právních předpisů členských států týkajících se zařízení a ochranných systémů určených pro použití v prostorech s nebezpečím výbuchu. (Směrnice ATEX) Kategorie 3 podle směrnice ATEX se vztahuje na možné zdroje vznícení uvnitř zařízení. Kategorie ATEX se netýká potenciálních zdrojů vznícení vně zařízení, neboť zařízení není určeno k použití ve venkovní potenciálně výbušné atmosféře. Ve vývěvě za normálního provozu není žádný potenciální zdroj vznícení, nicméně při poruše za jistých předvídatelných podmínek, definovaných směrnicí, mohou potenciální zdroje vznícení vzniknout. Přestože vývěva je konstruována k čerpání hořlavých materiálů a směsí, je z výše uvedeného důvodu nutno zajistit takové provozní podmínky, aby za normálních a rozumně předvídatelných okolností tyto materiály a směsi nemohly dosáhnout meze výbušnosti. Kategorie 3 je zaměřena na prevenci vznícení v případech výjimečných poruch, které by umožnily, aby hořlavé materiály a směsi procházely vývěvou ve výbušném stavu.
4.1.2
Hořlavé/samozápalné materiály
VAROVÁNÍ Aby plyny během čerpání nemohly dosáhnout meze vznětlivosti, dodržujte následující pokyny a doporučená opatření. Pokud jsou uvnitř zařízení hořlavé nebo samozápalné materiály, musíte: zabránit přístupu vzduchu do zařízení, zajistit naprostou těsnost systému, pomocí inertního plynu (např. dusíku), ředit hořlavé plyny a páry na vstupu a/nebo pomocí inertního plynu snížit jejich koncentraci uvnitř vývěvy a ve výstupním vedení pod hodnotu čtvrtiny známé spodní hranice výbušnosti, proplachovat vývěvu inertním plynem zaváděným přes přípojku balastního plynu, aby nedocházelo ke kondenzaci hořlavých výparů v mechanismu vývěvy a výfukovém potrubí.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 27
A652–01–851 V. vydání
Provoz
4.1.3
Proplachování plynem
VAROVÁNÍ Pokud používáte inertní plyn k ředění nebezpečných plynů na bezpečnou míru a dojde k přerušení přívodu inertního plynu, je nutno rotační lopatkové vývěvy RV3, RV5, RV8 a RV12 vypnout.
VAROVÁNÍ Aby plyny během čerpání nemohly dosáhnout meze vznětlivosti, dodržujte následující pokyny a doporučená opatření. Před spuštěním procesu zapněte přívod inertního plynu, aby byl z vývěvy a výfukového potrubí vytěsněn vzduch. Na konci procesu vypněte přívod inertního plynu až po vytěsnění zbývajících hořlavých plynů či výparů z vývěvy a výfukového potrubí. Pokud se v přívodním vedení mohou vyskytovat kapaliny vyvíjející hořlavé výpary, nechejte přívod inertního plynu do rotačních lopatkových vývěv RV3, RV5, RV8 a RV12 zapnutý po celou dobu, kdy jsou kapaliny přítomny. Hořlavé kapaliny mohou být v přívodním vedení přítomny v důsledku kondenzace nebo jako zbytkové produkty vlastního procesu. Při výpočtu množství inertního plynu potřebného k ředění uvažujte maximální možné průtočné množství hořlavých plynů či výparů. Například, je-li pro přívod hořlavého plynu do procesu používána řídicí jednotka hmotnostního průtoku, uvažujte průtočné množství hořlavého plynu při zcela otevřeném regulátoru. Provádějte průběžné měření průtoku proplachovacího inertního plynu: pokud průtok poklesne pod potřebnou mezní hodnotu, zastavte přívod hořlavého plynu nebo výparů do vývěvy. Poznámka:
Přečtěte si příručku Bezpečnost vývěvy a vakuového systému (publikace číslo P400–40–851), která byla dodána společně s vývěvou.
4.2
Použití ovládacích prvků vývěvy
4.2.1
Úvod
K optimalizaci výkonu vývěvy RV pro jednotlivé aplikace se používá volič režimu (Obrázek 1, položka 11) a řízení balastního plynu (Obrázek 1, položka5). Výkonové charakteristiky vývěvy při různých nastaveních ovládacích prvků jsou uvedeny v tabulkách Tabulka 3 a Tabulka 4. Nastavení polohy ovladače režimu i řízení balastního plynu můžete měnit jak na vypnuté vývěvě tak za provozu.
Strana 28
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Volič režimu
Poznámka:
Vývěva se dodává s nastaveným režimem vysokého vakua . Pokud se vám nepodaří ručně přepnout volič z polohy režimu vysokého vakua do polohy režimu vysokého průtoku, pomocí vhodného nářadí uchopte volič za plochou část a otočte jej.
Volič režimu ovládá přívod tlakového oleje ke stupni vývěvy pro vytváření vysokého vakua (viz Část 1.4.1). Volič režimu je možno otáčet do jedné z následujících dvou poloh: Chcete-li vybrat režim vysokého vakua , otočte volič režimu na doraz ve směru hodinových ruček a poté jej utáhněte rukou. Je-li zvolen režim vysokého vakua, je mezi voličem a povrchem bočního panelu vývěvy mezera asi 3 mm. Tento režim používejte: k dosažení konečného vakua, k čerpání čistých plynů, k čerpání čistých kondenzujících výparů. Chcete-li vybrat režim vysokého průtoku , otočte volič režimu na doraz proti směru hodinových ruček a poté jej zlehka utáhněte rukou. Tento režim používejte: pro dlouhodobý provoz s vysokým průtokem plynu (tj. se vstupním tlakem > 50 mbar), k čerpání znečištěných kondenzujících výparů, k dekontaminaci oleje.
4.2.3
Řízení balastního plynu
Řízení balastního plynu se používá k regulaci množství vzduchu (nebo inertního plynu) vedeného do stupně nízkého vakua vývěvy (viz Část 1.4.2). Použití balastního plynu zamezuje kondenzaci výparů ve vývěvě; kondenzáty by znečišťovaly olej. Řízení balastního plynu lze nastavit do jedné z následujících tří poloh: Chcete-li přívod balastního plynu zavřít, otočte regulátor do polohy „0“. Toto nastavení používejte: k dosažení konečného vakua, k čerpání suchých plynů. Chcete-li zvolit nízký průtok balastního plynu, otočte regulátor do polohy „I“. Toto nastavení používejte: k čerpání kondenzujících výparů o nízké koncentraci, k dekontaminaci oleje. Chcete-li zvolit vysoký průtok balastního plynu, otočte regulátor do polohy „II“. Toto nastavení používejte: k čerpání kondenzujících výparů o vysoké koncentraci. Při použití nastavení buď nízkého nebo vysokého průtoku balastního plynu se ve vývěvě zvyšují ztráty oleje. V případech, kdy je to možné, společnost Edwards doporučuje používat pro minimalizaci ztrát oleje nastavení nízkého průtoku balastního plynu (volit polohu „I“) namísto nastavení vysokého průtoku balastního plynu (polohy „II“).
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 29
Provoz
4.2.2
A652–01–851 V. vydání
Provoz
4.3
Postup při spouštění VAROVÁNÍ Ujistěte se, že konstrukce systému neumožňuje blokování výfukového potrubí.
Pokud je znečištěný olej, pokud je teplota vývěvy nižší než 12 °C nebo pokud dojde k poklesu napětí v elektrické napájecí síti o více než 10 % pod dolní mez udávanou indikátorem napětí (Obrázek 4, položka 3), může vývěva několik minut pracovat při snížených otáčkách. Pokud jednofázové vývěvy pracují delší dobu při snížených otáčkách, aktivuje se ochrana proti přehřívání motoru a dojde k zastavení vývěvy. Jakmile motor vychladne, teplotní ochrana se automaticky odblokuje a vývěva se znovu rozběhne. 1. Zkontrolujte, zda je hladina oleje mezi značkami MAX a MIN na stupnici bočního ukazatele; pokud není, postupujte podle pokynů, které uvádí Část 5.3. 2. Podle potřeby vyberte otočením voliče režimu až na doraz ve směru hodinových ruček režim vysokého vakua nebo proti směru hodinových ruček režim vysokého průtoku (viz Část 4.2.2). 3. Podle potřeby otočte řízení balastního plynu do jedné z poloh „0“, „I“ nebo „II“ (viz Část 4.2.3). 4. Zapněte elektrické napájení vývěvy; u jednofázové vývěvy k tomu použijte vypínač. 5. Postupy pro dosažení konečného vakua, pro práci s kondenzujícími výpary a pro dekontaminaci oleje jsou uvedeny v částech Část 4.4, 4.5 a 4.6. V ostatních režimech otevřete izolační ventil vakuového systému.
4.4
Postup potřebný k dosažení konečného vakua
Pokud vývěva nedosáhne výkonových parametrů, které uvádí část Část 2.2, než požádáte o odbornou pomoc zástupce společnosti Edwards, zkontrolujte, zda příčina není ve vakuovém systému. Zejména tlak výparů všech materiálů použitých v celém vakuovém systému (včetně oleje, viz dále) musí být výrazně nižší než konečné vakuum vytvářené vývěvou. Přehled možných příčin potíží při dosažení plnohodnotného výkonu uvádí Část 5.12.3; nejčastějšími příčinami však jsou: Použití nevhodného postupu měření tlaku nebo nevhodného tlakoměru, případně závada tlakoměru. Použití jiného než doporučeného oleje, jehož výpary vytvářejí jiný tlak, než jaký je potřebný k dosažení konečného vakua vytvářeného vývěvou. Pro dosažení konečného vakua postupujte následujícím způsobem: 1. Oddělte vývěvu RV od vakuového systému. 2. Otočením voliče režimu zvolte režim vysokého průtoku , nastavte řízení balastního plynu do polohy odpovídající nízkému průtoku (poloha „I“) a nechejte vývěvu běžet alespoň 1 hodinu (nebo přes noc), aby se olej zcela zbavil nečistot. 3. Otočením voliče režimu zvolte režim vysokého vakua je do polohy „0“).
a zavřete řízení balastního plynu (tj. nastavte
Otevřete oddělovací ventil vakuového systému a provádějte odčerpávání až do dosažení konečného vakua.
Strana 30
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Provoz
4.5
Čerpání kondenzujících výparů
Pokud je v procesních plynech velký podíl kondenzujících výparů, použijte funkci řízení balastního plynu (nastavte je do polohy „I“ nebo „II“). 1. Zavřete izolační ventil vakuového systému. 2. Podle potřeby vyberte otočením voliče režimu až na doraz ve směru hodinových ruček režim vysokého vakua nebo proti směru hodinových ruček režim vysokého průtoku (viz Část 4.2.2). 3. Otočte řízení balastního plynu do polohy odpovídající vysokému průtoku (polohy „II“) a spusťte vývěvu na dobu 30 minut, aby se zahřál olej; tím předejdete kondenzaci výparů ve vývěvě. 4. Podle potřeby aplikace nastavte řízení balastního plynu do odpovídající polohy (viz Část 4.2.3 a údaje v tabulkách Tabulka 3 a Tabulka 4). 5. Otevřete izolační ventil vakuového systému. Po vyčerpání kondenzujících výparů můžete v případě potřeby dekontaminovat olej: použijte postup popsaný v části Část 4.6.
4.6
Postup při dekontaminaci oleje
Olej ve vývěvě musí být čistý; je-li zkalený či zabarvený, znamená to, že je znečištěný procesními výpary. 1. Zkontrolujte stav oleje v průhledném bočním ukazateli (Obrázek 1, položka 8). Je-li olej zkalený či zabarvený, pokračujte níže uvedeným krokem 2 postupu. 2. Zavřete izolační ventil vakuového systému. 3. Otočením voliče režimu až na doraz proti směru hodinových ruček vyberte režim vysokého průtoku Pomocí funkce řízení balastního plynu nastavte nízký průtok (tj. zvolte polohu „I“).
.
4. Nechejte vývěvu běžet, dokud olej nebude čistý.
4.7
Provoz bez obsluhy
Rotační lopatková vývěva je určena pro provoz bez obsluhy za normálních provozních podmínek, které shrnuje Část 2.1. Pokud ovšem zpracováváte velké objemy plynů či výparů, společnost Edwards doporučuje provádění pravidelných kontrol vývěvy v intervalech, které nejsou delší než 14 dnů. Jednofázové vývěvy mají ochranu motoru proti přetížení; toto zařízení při překročení kritické teploty nebo proudu přeruší elektrické napájení vývěvy. Jakmile motor vychladne, ochranné zařízení se automaticky odblokuje. Při kontrole vývěvy sledujte, zda nedochází k cyklickému opakování vypnutí kvůli tepelnému přetížení. V případě potřeby přestavte volič režimu do polohy odpovídající vysokému průtoku a omezte tepelné zatížení procesními plyny, aby k přehřívání vývěvy nedocházelo.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 31
A652–01–851 V. vydání
Provoz
4.8
Vypnutí
Společnost Edwards doporučuje, aby se před vypnutím vývěvy prováděl níže popsaný postup dekontaminace oleje; předejdete tak poškození vývěvy znečištěným olejem. 1. Postupem uvedeným v Části 4.6 dekontaminujte olej. 2. Zavřete izolační ventil vakuového systému (pokud již není zavřený). 3. Zavřete přívod balastního plynu (tj. nastavte řízení balastního plynu do polohy „0“). 4. Jedná-li se o jednofázovou vývěvu, používejte k jejímu zastavení vypínač. 5. Vypněte elektrické napájení vývěvy.
Strana 32
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Údržba
5.1
Informace týkající se bezpečnosti
Údržba
5
VAROVÁNÍ Dodržujte následující bezpečnostní pokyny a věnujte pozornost potřebným opatřením. V opačném případě může dojít ke zranění osob a poškození zařízení. Pokud má vývěva náplň PFPE, než přistoupíte k údržbě, seznamte se s pokyny uvedenými v Části 8. Údržbu vývěvy musí provádět náležitě vyškolený a zkoušený technik. Dodržujte platné místní a národní bezpečnostní požadavky. Technik provádějící údržbu musí být dobře obeznámen s bezpečnostními postupy pro práci s olejem pro vývěvu a s produkty zpracovávanými celým čerpacím systémem. Než zahájíte práci, zkontrolujte, že máte všechny potřebné díly správného typu. Odpojte elektrické napájení vývěvy i ostatních součástí vakuového systému, aby nemohlo dojít k náhodnému spuštění. Než přistoupíte k provádění údržby, nechejte vývěvu vychladnout (tak, aby bylo možné se jí bezpečně dotýkat). Ujistěte se, že vývěva je vypnuta, aby nemohlo dojít k automatickému spuštění po odblokování teplotní ochrany. Poškozené O-kroužky a těsnění již nepoužívejte. Pokud bylo odpojeno elektrické napájení po dokončení údržby, znovu zkontrolujte směr otáčení vývěvy. Vývěva a olej se během provozu znečišťují čerpanými procesními chemikáliemi. Než přistoupíte k údržbě, zajistěte dekontaminaci vývěvy a proveďte patřičná opatření na ochranu osob proti působení nebezpečných látek. Pokud byla vývěva zahřátá na teplotu 310 °C nebo vyšší, vyvarujte se kontaktu a vdechování produktů tepelného rozkladu nebo fluorovaných materiálů, které se ve vývěvě mohou vyskytovat. Fluorované materiály jsou za normálních okolností bezpečné, avšak zahřátím nad 310 °C se mohou rozkládat na velmi nebezpečné látky (mezi které patří kyselina fluorovodíková). Vývěva se může přehřívat, pokud se nesprávně používá, má závadu, nebo je v blízkosti zdroje tepla. Materiálové bezpečnostní datové listy fluorovaných materiálů používaných ve vývěvě jsou k dispozici na vyžádání: obraťte se na svého dodavatele nebo na společnost Edwards. Při údržbě motoru v případě potřeby postupujte podle pokynů výrobce v dokumentaci přiložené k motoru.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 33
A652–01–851 V. vydání
Údržba
5.2
Harmonogram údržby
Harmonogram údržby, který shrnuje Tabulka 12, obsahuje operace údržby potřebné pro udržování rotační lopatkové vývěvy v provozuschopném stavu. Podrobné informace o každé činnosti uvádí příslušná část příručky. Pokud je vývěva používána k čerpání korozivních a abrazivních plynů či výparů, jako jsou ředidla, organické látky a kyseliny, je třeba provádět údržbu častěji; za takových podmínek doporučuje společnost Edwards vyměňovat těsnění vývěvy každý rok (podrobnosti o náhradních dílech uvádí Část 7.3). V případě potřeby upravte harmonogram údržby podle vlastních zkušeností. Při údržbě vývěv RV používejte náhradní díly a servisní sady Edwards; obsahují všechny součástky potřebné pro veškeré operace údržby. Čísla součástí pro náhradní díly a sady jsou uvedena v Části 7.3. Tabulka 12 - Harmonogram údržby Provoz
Frekvence
Viz část
Měsíčně
5.3
Po každých 3 000 provozních hodinách
5.4
Kontrola a vyčištění vstupního filtru
Ročně
5.5
Kontrola a vyčištění řízení balastního plynu
Ročně
5.6
Vyčištění ukazatele hladiny oleje
Ročně
5.7
Vyčištění krytu ventilátoru motoru a skříně
Ročně
5.8
Kontrola hladiny oleje Výměna oleje
Vyčištění a celková kontrola vývěvy
Po každých 15 000 provozních hodinách
5.9
Montáž nových lopatek
Po každých 30 000 provozních hodinách
5.10
Přezkoušení stavu motoru
Po každých 15 000 provozních hodinách
5.11
5.3 Poznámka:
Kontrola hladiny oleje V případě potřeby lze hladinu oleje kontrolovat i za provozu vývěvy. Pokud však chcete olej dolévat, je nutno vývěvu vypnout a odpojit přívod elektrického napájecího proudu jak k vývěvě tak ke všem ostatním částem vakuového systému.
Čísla položek v závorkách viz Obrázek 1. 1. Na bočním ukazateli (8) zkontrolujte, zda je hladina oleje mezi značkami stupnice MAX a MIN. 2. Pokud je hladina oleje blízko značky MIN, odstraňte jednu plnicí zátku (6) a dolejte do zásobníku olej po značku MAX. Pokud hladina oleje přesáhne značku MAX, odstraňte vypouštěcí zátku (9) a přebytečný olej z vývěvy vypusťte. Namontujte zpět plnicí zátku. 3. Pokud je olej znečištěný, vypusťte jej a dolejte do zásobníku čistý olej tak, jak je popsáno v Části 5.4.
Strana 34
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Výměna oleje
1. Viz Obrázek 1. Zapněte vývěvu na přibližně deset minut, aby se zahřál olej, a poté vývěvu vypněte (tím dojde ke snížení viskozity oleje, což zjednoduší jeho vypuštění). 2. Odpojte vývěvu od elektrického napájení a odpojte ji od vakuového systému. 3. Odstraňte jednu z plnicích zátek (6). 4. Vložením vhodné podložky pod motor vývěvu nakloňte a pod vypouštěcí otvor (9) vložte vhodnou nádobu na olej. Odstraňte vypouštěcí zátku a nechejte olej vytéct do nádoby. 5. Pokud je olej znečištěný, nalejte do olejového zásobníku čistý olej a nechte i ten vytéci z vývěvy. Opakováním tohoto kroku důkladně pročistěte zásobník vývěvy. 6. Namontujte zpět vypouštěcí zátku, odstraňte podložení motoru a propojte znovu vývěvu s vakuovým systémem. 7. Nalejte čistý olej do plnicího otvoru tak, aby hladina oleje dosáhla značky MAX na stupnici bočního ukazatele (8). 8. Počkejte několik minut, aby olej zatekl do vývěvy. V případě potřeby přidejte další olej. Namontujte zpět plnicí zátku.
5.5
Kontrola a vyčištění vstupního filtru
1. Viz Obrázek 7. Odpojte vakuový systém od vstupní přípojky (3) vývěvy a stáhněte středicí kroužek, filtr (1) a O-kroužek (2). Zkontrolujte stav středicího kroužku a O-kroužku. Jsou-li čisté, pokračujte krokem 5. Nejsou-li čisté, pokračujte krokem 2. 2. Oddělte O-kroužek (2) od sestavy středicího kroužku a filtru (1). O-kroužek nesmí přijít do styku s čisticím roztokem. 3. Očistěte středicí kroužek a filtr vhodným čisticím roztokem a nechejte je uschnout. 4. V případě potřeby otřete O-kroužek čistou, suchou a netřepivou tkaninou. 5. Nasaďte středicí kroužek s filtrem a O-kroužek zpět na vstupní přípojku. Připojte znovu vstupní vedení vakuového systému. Obrázek 7 - Sestava vstupního filtru
1. Sestava středicího kroužku a filtru 2. O-kroužek 3. Vstupní přípojka
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 35
Údržba
5.4
A652–01–851 V. vydání
Údržba
5.6 Poznámka:
Kontrola a vyčištění řízení balastního plynu Filtrační vložka řízení balastního plynu (Obrázek 8, položka 7) je na svém místě nalepena; nepokoušejte se ji odstranit.
1. Viz Obrázek 8. Pomocí řízení balastního plynu (1) nastavte vysoký průtok (polohu „II“). 2. Zatlačte regulátor co nejvíce proti tlačné pružině (6) a otočte jím proti směru hodinových ruček, aby se uvolnil bajonetový uzávěr (5); poté regulátor vytáhněte. 3. Je-li třeba, otřete regulátor čistou, suchou a netřepivou tkaninou a zkontrolujte, zda není zanesený vzduchový otvor (3). 4. Nasaďte regulátor zpět do vstupu balastního plynu a dbejte, aby tlačná pružina byla správně usazena mezi bajonetovými uzávěry. 5. Zatlačte regulátor co nejvíce dozadu a otočte jím ve směru hodinových ruček, aby zapadl bajonetový uzávěr. 6. Podle potřeby nastavte polohu řízení balastního plynu. Obrázek 8 - Řízení balastního plynu
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7.
Strana 36
Řízení balastního plynu O-kroužek Vzduchový otvor O-kroužek Bajonetový uzávěr Tlačná pružina Filtrační vložka
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Údržba
5.7
Vyčištění ukazatele hladiny oleje
Čísla položek v závorkách viz Obrázek 9. 1. Vypusťte olej způsobem popsaným v Části 5.4. 2. Vyšroubujte dva šrouby (1) a vyjměte stupnici (2), průzor (3) a O-kroužek (4) z olejové skříně (5). 3. Vhodným čisticím prostředkem očistěte šrouby, stupnici i průzor. 4. Otřete O-kroužek čistou, suchou a netřepivou tkaninou. 5. Pomocí vhodné tkaniny otřete vybrání pro boční ukazatel v olejové skříni. 6. Nasaďte na místo O-kroužek, průzor i stupnici a upevněte je dvěma šrouby. 7. Postupem, který popisuje Část 5.4, naplňte vývěvu olejem. 8. Zkontrolujte těsnost bočního ukazatele. Obrázek 9 - Sestava bočního ukazatele
1. 2. 3. 4. 5.
Šrouby (2 ks M6 x 20) Stupnice Průzor ukazatele O-kroužek Olejová skříň
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 37
A652–01–851 V. vydání
Údržba
5.8
Vyčištění krytu ventilátoru motoru a skříně
Znečištění krytu ventilátoru motoru a skříně může omezovat proudění vzduchu okolo motoru a vývěva se může přehřívat. 1. Vypněte vývěvu a odpojte ji od elektrického napájení. 2. Suchou tkaninou a měkkým kartáčkem odstraňte z krytu ventilátoru motoru a skříně nečistoty a usazeniny.
5.9
Vyčištění a celková kontrola vývěvy
Při čištění a celkové kontrole vývěvy postupujte podle pokynů přiložených k sadě pro čištění a celkovou kontrolu vývěvy (viz Část 7.3).
5.10
Montáž nových lopatek
Při výměně lopatek vývěvy postupujte podle pokynů přiložených k sadě lopatek vývěvy (viz Část 7.3).
5.11
Přezkoušení stavu motoru
Ochranné (zemnicí) vedení a izolační odpor motoru vývěvy kontrolujte podle platných předpisů týkajících se pravidelného zkoušení elektrických zařízení. Motor jednofázových vývěv RV odpovídá požadavkům normy IEC 1010–1. Aby požadavky IEC 1010-1 byly dodržovány trvale, doporučuje společnost Edwards, aby zemnicí vedení mělo max. 0,1 Ω a odpor izolace byl min. 10 MΩ. Pokud motor tyto podmínky nesplňuje, je nutno jej vyměnit.
5.12
Vyhledávání závad
5.12.1
Úvod
Tato část obsahuje přehled závad a jejich možných příčin, který vám pomůže při odstraňování závad. Pokud se vám nepodaří odstranit některou závadu za použití tohoto přehledu, obraťte se na nejbližší servisní středisko společnosti Edwards.
5.12.2
Vývěvu nelze spustit
Došlo ke spálení pojistky elektrického napájení. Napájecí napětí se neshoduje s nastaveným napětím motoru. Je zanesené výstupní potrubí nebo výstupní filtr (je-li nainstalován). Teplota oleje je nižší než 12 °C. Olej je příliš viskózní. Olej je znečištěný. Vývěva je zadřená po delším odstavení. Vývěva byla ponechána ve znečištěném stavu po procesu s kontaminujícími látkami a zadřela se. Motor je vadný.
Strana 38
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Vývěva nedosahuje specifikovaného výkonu (nedokáže dosáhnout konečného vakua)
Byl použit nevhodný měřicí postup nebo tlakoměr, který udává nesprávnou hodnotu tlaku. Například znečištěný Piraniův vakuometr může udávat tlak několikrát vyšší než je skutečný tlak v systému. Vývěva byla naplněna nesprávným typem oleje. Ve vakuovém systému se vyskytla netěsnost. Není správně nastavena kombinace voliče režimu a řízení balastního plynu. Hladina oleje poklesla pod minimální mez. Olej je znečištěný. Došlo ke znečištění nebo poškození vakuových armatur. Je zanesený vstupní filtr. Vývěva není zahřátá.
5.12.4
Chod vývěvy je hlučný
Je poškozený kryt ventilátoru motoru. Ložiska motoru jsou opotřebená. Olej je kontaminován pevnými částicemi.
5.12.5 Poznámka:
Teplota povrchu skříně vývěvy je vyšší než 100 °C Pokud je vstupní tlak trvale vyšší než 100 mbar (1 × 104 Pa), může teplota povrchu vývěvy RV12 dosahovat 115 °C při teplotě okolního prostředí 40 °C.
Teplota okolního prostředí je příliš vysoká. Přívod chladicího vzduchu je nedostatečný nebo je vzduch příliš horký. Napájecí napětí je příliš vysoké. Je zanesené výstupní vedení nebo výstupní filtr. Hladina oleje poklesla pod minimální mez. Vývěva byla naplněna nesprávným typem oleje. Olej je znečištěný. Procesní plyn je příliš horký nebo jeho proudění je příliš silné.
5.12.6
Po vypnutí vývěvy se neudrží dosažené vakuum
Řízení balastního plynu je otevřené (tj. nastavené do polohy „I“ nebo „II“). Je poškozená podložka vstupního ventilu. Vstupní ventil není uzavřený.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 39
Údržba
5.12.3
A652–01–851 V. vydání
Údržba
5.12.7
Rychlost čerpání je nízká
Připojené potrubí má příliš malý průměr. Připojené potrubí je příliš dlouhé. Je zanesený vstupní filtr.
5.12.8
Došlo k vnějšímu úniku oleje
Vnější těsnění hřídele je opotřebené nebo poškozené. Těsnění olejové skříně je znehodnocené. Došlo k úniku oleje ze řízení balastního plynu. Dochází k úniku oleje vypouštěcí zátkou. Dochází k úniku oleje bočním ukazatelem.
Strana 40
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Uskladnění a likvidace
6.1
Uskladnění UPOZORNĚNÍ
Dodržujte rozsah teploty při uskladnění, který je uveden v Části 2.1. Uskladění za teploty pod -30 °C trvale poškodí těsnění vývěvy. Poznámka:
Pokud je novou vývěvu nutno uskladnit v prostředí s vysokou vlhkostí, vyjměte ji z lepenkové krabice a tuto krabici zlikvidujte (viz Část 6.2).
Při uskladnění vývěvy postupujte následujícím způsobem: 1. Vypněte vývěvu za použití postupu, který je popsán v Části 4.8. 2. Odpojte vývěvu od elektrického napájení. 3. Propláchněte vakuový systém a vývěvu suchým dusíkem a odpojte vývěvu od vakuového systému. 4. Vyměňte olej za použití postupu popsaného v Části 5.4. 5. Nasaďte a upevněte ochranné kryty na vstupní a výstupní přípojku. 6. Než vývěvu uvedete do provozu, uskladněte ji v chladném a suchém místě. Před použitím vývěvu připravte a nainstalujte postupem, který popisuje Část 3. Pokud byla vývěva uskladněna déle než rok, před její instalací je nutno provést vyčištění a celkovou kontrolu podle pokynů přiložených k sadě pro čištění a celkovou kontrolu vývěvy.
6.2
Likvidace
Likvidaci vývěvy a všech z ní vymontovaných součástí proveďte podle platných bezpečnostních předpisů a nařízení týkajících se ochrany životního prostředí. Obzvláštní pozornost přitom věnujte součástem a odpadnímu oleji, které byly kontaminovány nebezpečnými procesními látkami. Nespalujte fluorované elastomery a O-kroužky.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 41
Uskladnění a likvidace
6
A652–01–851 V. vydání
Tato stránka byla záměrně ponechána prázdná.
Strana 42
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Servis a náhradní díly
7.1
Úvod
Produkty, náhradní díly a příslušenství Edwards jsou dodávány pobočkami společnosti Edwards v Belgii, Brazílii, Číně, Francii, Německu, Izraeli, Itálii, Japonsku, Koreji, Singapuru, Velké Británii, USA a širokou sítí distributorů v celém světě. Většina těchto středisek disponuje servisními techniky, kteří absolvovali obsáhlá školení u společnosti Edwards. Náhradní díly a příslušenství objednávejte u nejbližšího zastoupení nebo distributora výrobků společnosti Edwards. Při objednávání pro každou součást uveďte: Označení modelu a číslo položky zařízení Sériové číslo Číslo položky a popis dílu.
7.2
Servis
Produkty Edwards jsou podporovány celosvětovou sítí servisních středisek společnosti Edwards. Každé servisní středisko poskytuje širokou řadu služeb, mezi které patří: dekontaminace zařízení, servisní výměny a opravy, úpravy a zkoušení podle výrobních parametrů. Zařízení, na nichž byly provedeny servisní práce, se vracejí uživateli s plnou zárukou. Místní servisní střediska také vysílají techniky společnosti Edwards k provádění údržby, servisních zásahů nebo obrav přímo u uživatele zařízení. Bližší informace o možnostech servisu si vyžádejte v nejbližším servisním středisku či pobočce společnosti Edwards.
7.3
Náhradní díly
Tabulka 13 obsahuje přehled náhradních dílů a servisních sad pro rotační lopatkové vývěvy řady RV. Od konce roku 2009 se do vývěv RV montují zdokonalené motory. Výhodou těchto motorů je to, že jsou vybaveny hliníkovou svorkovnicí a přepínači rozsahů napětí, které jsou přístupné zvenčí. Zavedení těchto motorů umožnilo pokrytí všech napěťových a frekvenčních podmínek pouze dvěma variantami motoru namísto původních čtyř. Všechny motory jsou vzájemně zaměnitelné, aniž by tím byl nepříznivě ovlivněn výkon vývěvy.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 43
Servis a náhradní díly
7
A652–01–851 V. vydání
Servis a náhradní díly
Tabulka 13 - Náhradní díly a servisní sady Čísla položek Vývěvy s uhlovodíkovými oleji
vývěvy s náplní PFPE
Olej Ultragrade 19, 1 l Olej Ultragrade 19, 4 l
H110–25–015 H110–25–013
– –
Olej Fomblin 06/6, 1 kg Olej Fomblin 06/6, 5 kg
– –
H113–06–019 H113–06–020
A652–01–131
A652–01–131
Náhradní díly
Sada pro čištění a celkovou kontrolu (standardní) Sada lopatek RV3
A652–01–130
A652–01–130
Sada lopatek RV5
A653–01–130
A653–01–130
Sada lopatek RV8
A654–01–130
A654–01–130
Sada lopatek RV12
A655–01–130
A655–01–130
Kazetová sada RV3
A652–01–032
A652–09–032
Kazetová sada RV5
A653–01–032
A653–09–032
Kazetová sada RV8
A654–01–032
A654–09–032
Kazetová sada RV12
A655–01–032
A655–09–032
Sada vstupního ventilu
A652–01–036
A652–01–036
Sada rozběhového relé motoru*
A505–74–000
A505–74–000
Sada vnějších těsnění hřídele
A652–01–134
A652–01–134
Sada pouzdra rotoru
A652–01–136
A652–09–136
Sada motoru RV3/RV5 (Evropa, USA a Japonsko) 50/60 Hz, 250/300 W, třífázový, 200-230/380-460 V
A652–97–000
A652–97–000
Sada motoru RV8/RV12 (Evropa, USA a Japonsko) 50/60 Hz, 450/550 W, třífázový, 200-230/380-460 V
A654–97–000
A654–97–000
Sada pro čištění a celkovou kontrolu (nitrilová)
A652–01–137
–
*
K použití u motorů vybavených plastovou svorkovnicí a vyrobených před lednem 2010.
Strana 44
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Příslušenství
7.4.1
Úvod
Příslušenství, které lze doplnit k vývěvám řady RV znázorňuje Obrázek 10; příslušná čísla součástí uvádí Tabulka 14. Popis příslušenství je uveden v částech Část 7.4.2 až 7.4.14. Tabulka 14 - Čísla položek příslušenství Příslušenství
Viz část
Číslo položky
Vstupní kondenzační nádoba ITO20K
7.4.2
A441–10–000
Vstupní prachový filtr ITF20K
7.4.3
A442–15–000
Vstupní vymrazovací pohlcovač vlhkosti ITD20K
7.4.4
A445–10–000
Vstupní chemický pohlcovač vlhkosti ITC20K
7.4.5
A444–10–000
Odlučovač za předvakuovou vývěvou FL20K
7.4.6
A133–05–000
Výstupní mlhový filtr EMF10
7.4.7
A462–26–000
Výstupní mlhový filtr EMF20
7.4.7
A462–29–000
Zaváděcí adaptér balastního plynu
7.4.8
A505–02–000
Sada pro spádové vypouštění oleje
7.4.9
A505–01–000
Nástavec pro vypouštění oleje
7.4.10
A505–03–000
Sada výfukové trysky
7.4.11
A505–09–000
Antivibrační vložky (balení 4 ks)
7.4.12
A248–01–404
Elektromagnetický ventil balastního plynu EBV20 220–240 V 50/60 Hz 100–120 V 50/60 Hz
7.4.13
Potrubní ventil PV25EK (hliník) 220–240 V 50/60 Hz 110–127 V 50/60 Hz
7.4.14
Potrubní ventil PV25EK (nerezavějící ocel) 220–240 V 50/60 Hz 110–127 V 50/60 Hz
7.4.14
7.4.2
A500–06–930 A500–06–984 C413–01–000 C413–03–000 C413–02–000 C413–04–000
Vstupní kondenzační nádoba
Vstupní kondenzační nádoba vymrazuje veškeré kapičky tekutin a zabraňuje jejich vstupu do vývěvy.
7.4.3
Vstupní prachový filtr
Vstupní prachový filtr chrání vývěvu před abrazivním prachem.
7.4.4
Vstupní vymrazovací pohlcovač vlhkosti
Vstupní vymrazovací pohlcovač vlhkosti je vhodný k čerpání omezených objemů vodních výparů vysokou rychlostí při nízkém tlaku výparů.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 45
Servis a náhradní díly
7.4
A652–01–851 V. vydání
Servis a náhradní díly
7.4.5
Vstupní chemický pohlcovač vlhkosti
Vstupní chemický pohlcovač vlhkosti chrání vývěvu před chemicky aktivními plyny.
7.4.6
Odlučovač za předvakuovou vývěvou
Odlučovač za předvakuovou vývěvou slouží u systému čistého čerpání k ochraně před návratem olejových výparů do vakuového systému.
7.4.7
Výstupní mlhový filtr
Výstupní mlhový filtr na výstupu vývěvy odděluje a vymrazuje olejové kapičky a brání jejich uvolňování.
7.4.8
Zaváděcí adaptér balastního plynu
Zaváděcí adaptér balastního plynu se připojuje ke vstupu balastního plynu na vývěvě. Adaptér slouží k montáži elektromagnetického ventilu balastního plynu nebo regulaci přívodu inertního plynu do vývěvy.
7.4.9
Sada pro spádové vypouštění oleje
Sada se montuje mezi vypouštěcí přípojku výstupního mlhového filtru a plnicí zátku vývěvy. Je-li sada namontována, zajišťuje zpětné stékání oleje z mlhového filtru do vývěvy po vypnutí vývěvy nebo zavření přívodu balastního plynu (nastavení regulátoru do polohy „0“), jestliže neprobíhá čerpání procesního plynu.
7.4.10
Nástavec pro vypouštění oleje
Nástavec se nasazuje mezi olejový vypouštěcí otvor vývěvy a vypouštěcí zátku pro zlepšení vytékání oleje z vývěvy.
7.4.11
Sada výfukové trysky
Výfuková tryska nahrazuje výstupní přírubu. Výfuková tryska slouží k připojení výstupu vývěvy k plastové hadici s vnitřním průměrem 12 mm.
7.4.12
Antivibrační vložky
Antivibrační vložky snižují přenos vibrací a hlučnosti chodu vývěvy do podlahy či rámu a omezují namáhání způsobené nerovnou montážní základnou.
7.4.13
Elektromagnetický ventil balastního plynu
Elektromagnetický ventil nahrazuje na vývěvě vestavěné řízení balastního plynu; k montáži ventilu je nutný zaváděcí adaptér (viz Část 7.4.8). Tento ventil umožňuje automatické zapínání/vypínání přívodu balastního plynu a uzavírá vstup balastního plynu při vypnutí vývěvy.
7.4.14
Elektromagnetický potrubní ventil
Potrubní ventil se nasazuje mezi vedení vakuového systému a vstup vývěvy pro vyšší ochranu systému při vypnutí vývěvy.
Strana 46
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Servis a náhradní díly
Obrázek 10 - Příslušenství
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7.
Vstupní kondenzační nádoba Vstupní prachový filtr Vstupní vymrazovací pohlcovač vlhkosti Vstupní chemický pohlcovač vlhkosti Elektromagnetický ventil balastního plynu Odlučovač za předvakuovou vývěvou Elektromagnetický potrubní ventil
8. Výstupní mlhový filtr 9. Zaváděcí adaptér balastního plynu 10. Sada pro spádové vypouštění oleje 11. Antivibrační vložky 12. Nástavec pro vypouštění oleje
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 47
A652–01–851 V. vydání
Tato stránka byla záměrně ponechána prázdná.
Strana 48
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Rotační lopatkové vývěvy s náplní PFPE
8.1
Souhrn
Pokud si objednáte vývěvu RV s náplní PFPE, dodané zařízení bude dodáno s náplní polyperfluorpolyetherového olejem pro mechanické vývěvy Edwards, např. Fomblin YVAC 06/6 či Krytox 1506. Rotační lopatkové vývěvy s náplní PFPE jsou vhodné pro čerpání kyslíku ve vysokých koncentracích. Před instalací a zahájením provozu vývěvy RV s náplní PFPE se obeznamte s publikací Edwards P400–40–851 (Bezpečnost vývěvy a vakuového systému).
8.2
Instalace UPOZORNĚNÍ
Ve vývěvách upravených pro provoz s náplní PFPE se nesmí používat uhlovodíková maziva. Pro plnění těchto vývěv (jak uvádí Část 3.5) je nutno používat odpovídající olej Edwards typu PFPE. Uhlovodíkové oleje se nesmějí používat.
8.3
Provoz VAROVÁNÍ Vývěvy RV s náplní PFPE jsou vhodné pro čerpání kyslíku ve vysokých koncentracích, avšak společnost Edwards nedoporučuje jejich používání k čerpání nebezpečných materiálů.
Provoz vývěv s náplní PFPE je shodný s postupy, které popisuje Část 4, ovšem s omezením ve smyslu výše uvedeného varování.
8.4
Údržba VAROVÁNÍ Dodržujte následující bezpečnostní pokyny a věnujte pozornost potřebným opatřením. V opačném případě může dojít ke zranění osob. Dbejte zvýšené pozornosti při podezření, že vývěva (a tedy i olej PFPE) se přehřívá. Pokud má vývěva teplotu 260 °C či více, nedotýkejte se jí ani nevdechujte produkty tepelného rozkladu oleje PFTE, které mohou unikat. Oleje PFPE jsou v běžných podmínkách bezpečné, avšak mohou se rozkládat na velmi nebezpečné látky při teplotách nad 260 °C. Vývěva se může přehřívat, pokud se nesprávně používá, má závadu, nebo je v blízkosti zdroje tepla. Materiálové bezpečnostní datové listy olejů typu PFPE používaných ve vývěvě jsou k dispozici na vyžádání: obraťte se na svého dodavatele nebo na společnost Edwards.
Oleje Fomblin mají jiné vlastnosti než ostatní oleje určené pro vývěvy, a proto: při používání vývěvy RV s náplní PFPE a náplní oleje Fomblin dle doporučení společnosti Edwards pravidelně kontrolujte, zda olej neuniká, zejména kolem těsnění hřídele. Jestliže zjistíte únik oleje následkem netěsností, obraťte se na dodavatele nebo společnost Edwards.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 49
Rotační lopatkové vývěvy s náplní PFPE
8
A652–01–851 V. vydání
Tato stránka byla záměrně ponechána prázdná.
Strana 50
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
A652–01–851 V. vydání
Rotační lopatkové vývěvy s holým hřídelem
9.1
Popis
Dostupné jsou dva typy vývěv s holým hřídelem: jeden pro motor IEC72-1 s koncovým montážním čelem (IMB14) FT85 a průměrem hřídele 14 mm. druhý pro motor v provedení NEMA 56C s průměrem hřídele 5/8". Motor, který bude namontován, musí být dostatečně výkonově dimenzován pro použití s vývěvou RV: viz část s elektrickými parametry vývěvy v této příručce. Poznámka:
9.2
Výkonové parametry, které uvádí Část 2, platí pro vývěvy dodávané standardně již s motorem. Výkon vývěvy s holým hřídelem může být ovlivněn typem namontovaného motoru.
Připojení motoru k vývěvě s holým hřídelem
1. Viz Obrázek 11. Pomocí čtyř šroubů (455) přimontujte opěrnou desku (453) k motoru. 2. Pomocí dvou šroubů (422) připevněte zvedací desku (413) a poté přimontujte zvedací rukojeť (414). 3. Připevněte vodicí štít ventilátoru (409). 4. Vyrovnejte pero „B“ na hřídeli motoru a poté nasuňte ventilátor (410) na hřídel. Ujistěte se, že: Konec hřídele je vyrovnán s dolní plochou dutiny ventilátoru. Zadní strana ventilátoru je ve vzdálenosti 2,5 mm od vodicího štítu. 5. Připevněte ventilátor ke hřídeli pomocí šroubu (454): šroub poté utáhněte momentem v rozsahu 7 až 9 Nm. 6. Naneste vhodné mazivo na spojovací prvek (411) a tento poté připevněte ke spojovacímu náboji. 7. Vyrovnejte spojovací prvek na náboji s objímkou ventilátoru a přimontujte motor k vývěvě. 8. Zajistěte motor pomocí čtyř šroubů (421). Šrouby utáhněte momentem v rozsahu 10 až 12 Nm. Mějte na paměti, že: Mezera mezi spojovacími čely musí mít velikost 2 mm nebo méně. V případě potřeby nastavte polohu spojovacího náboje na hřídeli vývěvy tak, aby mezera měla správnou velikost.
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.
Strana 51
Rotační lopatkové vývěvy s holým hřídelem
9
A652–01–851 V. vydání
Rotační lopatkové vývěvy s holým
Obrázek 11 - Připojení motoru k vývěvě s holým hřídelem
A. Motor vývěvy B. Pero (na hřídeli) 132 409 410 411 413 414
Strana 52
Spojovací náboj Vodicí štít Ventilátor Spojovací prvek Zvedací deska (RV8, RV12) Zvedací rukojeť (RV3, RV5)
421 422 453 454 455
Šroub Matice a šroub Opěrná deska motoru Šroub Šroub
© Edwards Limited 2013. Všechna práva vyhrazena. Edwards a logo společnosti Edwards je ochranná známka společnosti Edwards Limited.