PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO 2

1 PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO 2 Sayono, Agus Santoso Puslitbang Teknologi Maju BATAN Jl. Babar...
Author:  Devi Cahyadi

5 downloads 111 Views 519KB Size

Recommend Documents